JP4911355B2

JP4911355B2 - テストシステム

Info

Publication number: JP4911355B2
Application number: JP2007138580A
Authority: JP
Inventors: 淳高島; 祐介村瀬
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2007-05-25
Filing date: 2007-05-25
Publication date: 2012-04-04
Anticipated expiration: 2027-05-25
Also published as: JP2008292332A

Description

本発明は、被試験対象、例えば、ＩＣ，ＬＳＩ等を搭載するウェハを試験するテストシステムに関し、プローブカードの取り付けミスを防止するテストシステムに関するものである。

プローバは、下記特許文献１に示されるように、プローブカードを自動搬送して、プローブカードをＩＣテスタのテストヘッドと電気的に接続させ、ＩＣテスタが、ウェハのＩＣ、ＬＳＩ等の被試験対象（以下ＤＵＴと略す）の試験を行っている。

特開２００３−２１８１７６号公報

従来、プローブカードの挿入の向きを一方向にしか挿入できなかったが、プローブカードは高額なため、設計ミス等により、プローブカードが使用できなくならないように、プローブカードを回転させて、設計ミス等をカバーして取り付けられるようになった。また、特許文献１のように、搬送時、プローブカードが回転し、プローブカードが取り付けられるプローバもあるので、プローブカードの回転を考慮しても、プローバのトレーに間違えて取り付けてしまう場合がある。このため、プローブカードの取り付けミスが発生してしまうという問題点があった。

また、４つのＤＵＴが同時に測定できるプローブカードの場合、ＩＣテスタ側が４つのＤＵＴに対応して、４つの領域に分けて対応している。このため、プローブカードの取り付けミスをしても、プローブカードとＩＣテスタとの接続は同じになるので試験ができてしまう。ＤＵＴが、デジタル回路のみでなく、アナログ回路を有している場合、プローブカードとＩＣテスタの相性を調整するため、プローブカードにコンデンサや抵抗を設けている。このため、プローブカードの取り付けミスをすると、良品のＤＵＴが不良と判定されてしまう可能性があるという問題点があった。

そこで、本発明の目的は、プローブカードの取り付けミスを防止するテストシステムを実現することにある。

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記被試験対象に電気的に接続すると共に、場所を特定するための場所情報回路が少なくとも１つ設けられるプローブカードと、
このプローブカードと電気的に接続し、前記場所情報回路と電気的に接続するＩＣテスタと
を備え、前記ＩＣテスタは、前記場所情報回路により、前記プローブカードの方向を検出することを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
場所情報回路が場所を示す抵抗値を有する抵抗であることを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明であって、
プローブカードを自動搬送するプローバを設けたことを特徴とするものである。

本発明によれば、ＩＣテスタがプローブカードの場所情報回路と電気的に接続し、プローブカードの方向を確認できるので、プローブカードの取り付けミスを防止することができる。

以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。

図１において、プローブカード１は、円形状のプリント基板で、図示しない複数のプローブが中心部に設けられ、周囲に約９０度ごとに穴１１〜１４、抵抗Ｒ１〜Ｒ４が設けられる。抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれが四方向の約９０度ごとの場所を特定する異なる抵抗値を有する。プローバ２は、挿入口２１、この挿入口２１に挿入され、プローブカード１が取り付けられるトレー２２が設けられ、図示しないウェハやプローブカード１を搬送する。トレー２２は、プローブカード１のプローブが挿入される穴２３、穴１１〜１４のいずれかが挿入されるピン２４，２５が設けられる。テストヘッド３は、図示しない本体に接続し、プローバ２に回転可能に取り付けられ、プローブカード１と電気的に接続し、ウェハのチップ（ＤＵＴ）を試験すると共に、抵抗Ｒ１〜Ｒ４の測定結果により、本体がプローブカード１の方向を検出する。そして、テストヘッド３と本体とがＩＣテスタを構成する。

このような装置の動作を以下に説明する。図２は図１に示す装置のプローバ動作を説明する上面構成図である。

プローブカード１の穴１１，１３を、例えば、トレー２２のピン２４，２５に挿入し、プローブカード１をトレー２２に設置する。トレー２２は、挿入口２１からプローバ２に取り込まれる。そして、プローバ２が、内部でプローブカード１をトレー２２から取り外し、テストヘッド３へ電気的に接続させる。プローブカード１は、テストヘッド３の複数のピンと接触する。

そして、図２に示すように、プローバ２は、内部で、ウェハ４を前後、左右、上下、回転させ、所望の４つのチップ４１をプローブカード１のプローブに接続させる。図２では、破線で示されるチップ４１がプローブカード１のプローブに接続されている。

次に、プローブカード１の方向判断動作を、図３，４を用いて説明する。図３は図１に示す装置の動作を説明する概念図、図４は図１に示す動作を示すフローチャートである。

ウェハ４のチップ４１を試験する場合、プローブカード１の全てのプローブがウェハ４のチップ４１に接触しているとは限らない。特に、最初に試験する場合、１つのチップ４１しか接触していない場合もある。図３では、プローブカード１がウェハのチップａのみ接続され、チップｂ〜ｄは接続されていない例を示す。テストヘッド３が、プローバ２からチップａのみの試験を指示され、抵抗Ｒ１に対して、電流を発生し、電圧を測定する（Ｓ１）。この測定結果を、テストヘッド３から図示しない本体が受け取り、プローブカード１の方向を判断し（Ｓ２）、本体は、方向が正しいか判断する（Ｓ３）。方向が正しい場合、処理を終了する。正しくない場合、本体は、正しい方向、例えば、「プローブカードの向きが間違っています。プローブカードを右に９０度回転させ載せ替えて下さい。」と図示しない表示部に表示させ（Ｓ４）、処理を終了する。この場合、プローブカード１を、右に９０度回転させて、穴１２，１４をピン２４，２５に挿入して、トレー２２に設置し、プローブカード１の載せ替えを行う。

このように、テストヘッド３がプローブカード１の抵抗を測定し、この測定結果により、プローブカード１の方向を確認できるので、プローブカード１の取り付けミスを防止することができる。

また、四方向の場所の抵抗を設けたので、１つのチップの試験でも、プローブカード１の方向を確認できる。

なお、本発明はこれに限定されるものではなく、穴１１〜１４、抵抗Ｒ１〜Ｒ４のプローブカード１における位置はどこでもよい。すなわち、抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、プローブカード１とテストヘッド３の接触点、つまり、抵抗を測定する接触点の場所を特定できればよいので、抵抗自体の位置はどこでもよい。

また、場所情報回路は抵抗Ｒ１〜Ｒ４としたが、プローブカード１の特定の場所を示す場所データを記憶するメモリでもよい。この場合、測定ではなく、メモリからデータの読み出しをテストヘッド３が行うことはいうまでもない。

また、抵抗Ｒ１〜Ｒ４の数は、４つでなくてもよく、プローブカード１により試験が行える数のチップ４１を同時に最初から試験する場合は、抵抗が１つでもよい。すなわち、プローブカード１に少なくとも１つの抵抗を設ける構成であればよい。

また、四方向の約９０度ごとの場所を特定する抵抗を設けた例を示したが、二方向、つまり、約１８０度の関係をなす場所を特定する異なる抵抗値を有する２つの抵抗をプローブカード１に設ける構成でもよい。

そして、プローブカード１のプローブの配列は、田の字の４マルチだけでなく、図５に示すように、（ａ）は横４マルチ、（ｂ）は斜め４マルチ、（ｃ）は横８マルチ等、どのような配列でもよい。

本発明の一実施例を示した構成図である。図１に示す装置のプローバ動作を説明する上面構成図である。図１に示す装置の動作を説明する概念図である。図１に示す装置の示したフローチャートである。図１に示すプローブカード１のプローブの配列例を示した図である。

符号の説明

１プローブカード
Ｒ１〜Ｒ４抵抗
２プローバ
３テストヘッド

Claims

被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記被試験対象に電気的に接続すると共に、場所を特定するための場所情報回路が少なくとも１つ設けられるプローブカードと、
このプローブカードと電気的に接続し、前記場所情報回路と電気的に接続するＩＣテスタと
を備え、前記ＩＣテスタは、前記場所情報回路により、前記プローブカードの方向を検出することを特徴とするテストシステム。
場所情報回路が場所を示す抵抗値を有する抵抗であることを特徴とする請求項１記載のテストシステム。
プローブカードを自動搬送するプローバを設けたことを特徴とする請求項１または２記載のテストシステム。