JP4908885B2 - 半導体装置の特性予測方法及び特性予測装置 - Google Patents
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基板内又は所定層内に含まれる結晶欠陥に対して高選択比の異方性エッチングによって該基板又は所定層をエッチングし、結晶欠陥を頂点として形成されていくエッチング残渣を基板又は層の表面に露出させ、エッチング残渣に基づいて結晶欠陥を評価する。
XD=D−(d/2)tanθ ・・・(1)
以下、欠陥評価の結果に基づいて半導体装置の特性を予測する方法について説明する。本実施の形態では、シリコン基板中に存在する空洞欠陥及び酸素析出欠陥がシリコン酸化膜中に取り込まれた場合におけるシリコン酸化膜の耐圧特性への影響を評価する場合について説明する。
P=M×N×(0.45T+L×α)・・・・・(2)
E=P×100=M×N×(0.45T+L×α)×100・・・・・(3)
Claims (5)
- 基板内又は所定層内に含まれる結晶欠陥に対して高選択比の異方性エッチングによって、該基板又は所定層をエッチングして、空洞欠陥及び酸素析出欠陥を頂点として形成される錐体状のエッチング残渣を前記基板又は層の表面に顕在化させるエッチング工程と、
エッチング残渣を観察して、エッチング残渣の要因である空洞欠陥及び酸素析出欠陥の両方について密度、形状及びサイズの少なくとも1つを評価する欠陥評価工程と、
前記欠陥評価工程において得られた空洞欠陥及び酸素析出欠陥の両方の密度、形状及びサイズの少なくとも1つに基づいて、空洞欠陥及び酸素析出欠陥について各々区別して前記基板又は所定層と同等の基板又は層に形成されるデバイスの特性を予測することを特徴とする半導体装置の特性予測方法。 - 請求項1に記載の特性予測方法において、
前記基板又は所定層の酸化膜の膜厚T、
空洞欠陥及び酸素析出欠陥の基板の体積当りの欠陥密度M、面積N、結晶欠陥の酸化膜の膜厚方向へサイズL、形状因子αとして、
E=M×N×(0.45T+L×α)×100
の関係式から空洞欠陥及び酸素析出欠陥について各々区別して前記酸化膜の不良率Eを求めることを特徴とする特性予測方法。 - 請求項2に記載の特性予測方法において、
前記形状因子は、空洞欠陥及び酸素析出欠陥において異なることを特徴とする特性予測方法。 - 請求項1に記載の特性予測方法において、
空洞欠陥及び酸素析出欠陥の両方の密度及びサイズと前記所定層の絶縁耐圧特性との関係を実測したデータベースを参照して、前記欠陥評価工程において得られた空洞欠陥及び酸素析出欠陥の両方の密度及びサイズに基づいて、空洞欠陥及び酸素析出欠陥について各々区別して前記所定層の絶縁耐圧特性を予測することを特徴とする特性予測方法。 - 基板内又は所定層内に含まれる結晶欠陥に対して高選択比の異方性エッチングによって該基板又は所定層をエッチングして空洞欠陥及び酸素析出欠陥を頂点として形成され前記基板又は層の表面に顕在化した錐体状のエッチング残渣、を観察する観察手段と、
前記観察手段によって得られた空洞欠陥及び酸素析出欠陥の両方の密度、形状及びサイズの少なくとも1つに基づいて、空洞欠陥及び酸素析出欠陥について各々区別して前記基板又は所定層と同等の基板又は層に形成されるデバイスの特性を予測する予測手段と、
を備えることを特徴とする半導体装置の特性予測装置。
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