JP4904063B2 - 有機電界発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
<薄膜転写用のドナーフィルムの製造(転写層が金属層のみである場合)>
Sylgard184A及びSylgard184B(Dow Corning Inc.社製)を攪拌用の容器で10:1の重量比で混合した。これから得たPDMS形成用の溶液をあらかじめ準備したウェーハで作ったマスタ上に注いだ。前記マスタは、ストライプ状のパターンを備えたものである。マスタ上に注いだPDMS形成用の溶液中の気泡を真空ポンプを利用して除去した後、オーブンに入れて60℃ないし80℃でPDMS形成用の溶液を硬化させた後、マスタを除去して、PDMSフィルム層を得た。
基板及び第1電極としてガラス基板及び15Ω/cm2(1200Å)ITOを50mm×50mm×0.7mmのサイズに切って、イソプロピルアルコール及び純水の中で各5分間超音波で洗浄した後、30分間UV、オゾン洗浄して使用した。前記ITO電極の上部にPFB(Dow Chemical社製の正孔輸送物質)をスピンコーティングして、10nmの厚さの正孔輸送層を形成した。前記正孔輸送層の上部に青色発光物質であるスピロフルオレン系の発光高分子で70nmの厚さの発光層を形成した後、前記発光層の上部にアルミナキノン(Alq3)からなる電子輸送層を30nmの厚さに蒸着した。前記で製造したドナーフィルムの凸部を接触させた後、IRランプで10分間照射して転写を行うことにより、パターニングされたカソードを形成して有機EL素子を完成した。
<薄膜転写用のドナーフィルムの製造(転写層が有機層のみである場合)>
Sylgard184A及びSylgard184B(Dow Corning Inc.社製)を攪拌用の容器で10:1の重量比で混合した。これから得たPDMS形成用の溶液をあらかじめ準備したウェーハで作ったマスタ上に注いだ。前記マスタは、ストライプ状のパターンを備えたものである。マスタ上に注いだPDMS形成用の溶液中の気泡を真空ポンプを利用して除去した後、オーブンに入れて60℃ないし80℃でPDMS形成用の溶液を硬化させた後、マスタを除去して、PDMSフィルム層を得た。
基板及び第1電極としてガラス基板及び15Ω/cm2(1200Å)ITOを50mm×50mm×0.7mmのサイズに切って、イソプロピルアルコール及び純水の中で各5分間超音波で洗浄した後、30分間UV、オゾン洗浄して使用した。前記ITO電極の上部にPFB(Dow Chemical社製の正孔輸送物質)をスピンコーティングして、10nmの厚さの正孔輸送層を形成した。前記正孔輸送層の上部に青色発光物質であるスピロフルオレン系の発光高分子で70nmの厚さの発光層を形成した。前記で製造したドナーフィルムの凸部を接触させた後、IRランプで10分間照射して転写を行うことにより、パターニングされた電子輸送層を形成した。前記電子輸送層上に金属Ca/Alを5nm/250nmの厚さに蒸着してカソードを形成することにより、有機EL素子を完成した。
<薄膜転写用のドナーフィルムの製造(転写層が金属層及び有機層である場合)>
Sylgard184A及びSylgard184B(Dow Corning Inc.社製)を攪拌用の容器で10:1の重量比で混合した。これから得たPDMS形成用の溶液をあらかじめ準備したウェーハで作ったマスタ上に注いだ。前記マスタは、ストライプ状のパターンを備えたものである。マスタ上に注いだPDMS形成用の溶液中の気泡を真空ポンプを利用して除去した後、オーブンに入れて60℃ないし80℃でPDMS形成用の溶液を硬化させた後、マスタを除去して、PDMSフィルム層を得た。
基板及び第1電極としてガラス基板及び15Ω/cm2(1200Å)ITOを50mm×50mm×0.7mmのサイズに切って、イソプロピルアルコール及び純水の中で各5分間超音波で洗浄した後、30分間UV、オゾン洗浄して使用した。前記ITO電極の上部にPFB(Dow Chemical社製の正孔輸送物質)をスピンコーティングして10nmの厚さの正孔輸送層を形成した。前記正孔輸送層の上部に青色発光物質であるスピロフルオレン系の発光高分子で70nmの厚さの発光層を形成した後、前記で製造したドナーフィルムの凸部を接触させた後、IRランプで10分間照射して転写を行うことにより、パターニングされたカソード及び電子輸送層を形成して有機EL素子を完成した。
基板及び第1電極としてガラス基板及び15Ω/cm2(1200Å)ITOを50mm×50mm×0.7mmのサイズに切って、イソプロピルアルコール及び純水の中で各5分間超音波で洗浄した後、30分間UV、オゾン洗浄して使用した。前記ITO電極の上部にPFB(Dow Chemical社製の正孔輸送物質)をスピンコーティングして、10nmの厚さの正孔輸送層を形成した。前記正孔輸送層の上部に青色発光物質であるスピロフルオレン系の発光高分子で70nmの厚さの発光層を形成した後、前記で製造したドナーフィルムの凸部を接触させた後、アノード及びカソードに接地を連結して30分間1A/cm2の電流を流して転写を行うことにより、パターニングされたカソード及び電子輸送層を形成して有機EL素子を完成した。
基板及び第1電極としてガラス基板及び15Ω/cm2(1200Å)ITOを50mm×50mm×0.7mmのサイズに切って、イソプロピルアルコール及び純水の中で各5分間超音波で洗浄した後、30分間UV、オゾン洗浄して使用した。前記ITO電極の上部にPFB(Dow Chemical社製の正孔輸送物質)をスピンコーティングして10nmの厚さの正孔輸送層を形成した。前記正孔輸送層の上部に青色発光物質であるスピロフルオレン系の発光高分子で70nmの厚さの発光層を形成した後、前記で製造したドナーフィルムにガラス支持台を付着して凸部を下側に接触させた後、150kPaの圧力を15秒間加えて転写を行うことにより、パターニングされたカソード及び電子輸送層を形成して有機EL素子を完成した。
<パターニングされた有機EL素子の製造>
基板及び第1電極としてガラス基板及び15Ω/cm2(1200℃)ITOを50mm×50mm×0.7mmのサイズに切って、イソプロピルアルコール及び純水の中で各5分間超音波で洗浄した後、30分間UV、オゾン洗浄して使用した。前記ITO電極の上部にPFB(Dow Chemical社製の正孔輸送物質)をスピンコーティングして10nmの厚さの正孔輸送層を形成した。前記正孔輸送層の上部に青色発光物質であるスピロフルオレン系の発光高分子で70nmの厚さの発光層を形成した後、前記発光層の上部にAlq3からなる電子輸送層を30nmの厚さに蒸着した。1×10−7torr(1.33×10−5Pa)の減圧下で熱蒸着によって20nmのAuを蒸着して有機EL素子を完成した。
本発明に係る方法で製造された有機EL素子の性能をテストするために、前記実施例1で製造した有機EL素子に対して電場の強度による電流及び発光強度を測定し、その結果を図4に示す。
本発明に係る方法で製造された有機EL素子の性能をテストするために、前記実施例1で製造した有機EL素子に対してMinoltaCS1000とKeithley236とによって効率(輝度/電流)を測定し、さらに、比較例1で製造した有機EL素子についても同様に効率を測定した。測定の結果、実施例1によると0.05cd/Aの効率を示したのに対し、比較例1では効率が0.01cd/Aであったこれにより、本発明による素子製造方法がさらに優れているということが分かる。
100、200 支持層、
102a、202a、302a 金属層、
103、103a 有機層、
203、303 第1有機層、
202b、302b 第2有機層、
104、204、304 アノード、
105、205、305 基板、
302a’ 第1金属層、
302a” 第2金属層。
Claims (9)
- 基板上にアノードを形成する工程と、
前記アノード上に有機層を形成する工程と、
前記有機層上に、凹凸状にパターニングされた軟質の高分子フィルム層、及び前記高分子フィルム層に形成された金属層を備える薄膜転写用のドナーフィルムの金属層を接触させた後、熱、光、電気及び圧力のうち、1以上を加えて前記有機層に前記金属層を転写させて、パターニングされたカソードを形成する工程と、
を含み、前記軟質の高分子フィルム層は、ガラス転移温度が常温以下であり、シリコン系エラストマー、ポリブタジエン、ニトリルゴム、アクリルゴム、ブチルゴム、ポリイソプレン及びスチレン−ブタジエン共重合体からなる群から選択された1種以上である、有機電界発光素子の製造方法。 - 熱、光及び電気のうち、1以上を加えて前記有機層に前記金属層を転写させて、前記パターニングされたカソードを形成する、請求項1に記載の製造方法。
- 前記有機層は、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記シリコン系エラストマーは、ポリジメチルシロキサンであることを特徴とする請求項1ないし3の何れか1項に記載の製造方法。
- 前記軟質の高分子フィルム層は、パターニングされた側と反対側の面に支持層をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし4の何れか1項に記載の製造方法。
- 前記支持層は、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレンナフタレート、ポリエステルスルホネート、ポリスルホネート、ポリアリレート、フッ素化ポリイミド、フッ素化樹脂、ポリアクリル、ポリエポキシ、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリアセテート及びポリイミドからなる群から選択された何れか一つであることを特徴とする請求項5に記載の製造方法。
- アノードと、有機層と、カソードとを備え、請求項1ないし6の何れか1項に記載の製造方法により製造された有機電界発光素子。
- 前記アノードは、ITO、IZO、ITZO、Au、Ag、Al、ポリチオフェン、ポリピロール及びポリアニリン誘導体からなる群から選択された何れか一つであることを特徴とする請求項7に記載の有機電界発光素子。
- 前記カソードは、2.0eVないし6.0eVの仕事関数を有する金属からなる1層または2層からなることを特徴とする請求項7または8に記載の有機電界発光素子。
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US20090020910A1 (en) * | 2007-02-27 | 2009-01-22 | Stephen Forrest | System and method for depositing thin layers on non-planar substrates by stamping |
WO2008114353A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Pioneer Corporation | 薄膜パターン形成方法及び有機装置 |
US8101247B2 (en) * | 2007-06-19 | 2012-01-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Sub-micron laser direct write |
JP4926858B2 (ja) * | 2007-07-04 | 2012-05-09 | 富士フイルム株式会社 | 転写材料、パターン膜の形成方法および発光素子の製造方法 |
JP4852008B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2012-01-11 | 住友化学株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
KR101434365B1 (ko) * | 2008-01-22 | 2014-09-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 소자의 제조방법 |
KR100984182B1 (ko) * | 2008-04-14 | 2010-09-28 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 이의 제조 방법 |
WO2009157077A1 (ja) * | 2008-06-26 | 2009-12-30 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネルおよびその製造方法 |
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KR101121783B1 (ko) * | 2010-01-22 | 2012-03-22 | 성균관대학교산학협력단 | 유기발광소자의 금속 전극 전사용 전사 시트 및 이를 이용한 유기발광소자의 제조 방법 |
JP2011198701A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜方法および発光素子の作製方法 |
KR101149427B1 (ko) * | 2010-05-27 | 2012-05-24 | 한국과학기술원 | 유기전자소자 제조방법 |
KR102098563B1 (ko) * | 2010-06-25 | 2020-04-08 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 소자, 발광 장치, 디스플레이 및 전자 기기 |
JP5766422B2 (ja) * | 2010-10-05 | 2015-08-19 | 株式会社Joled | 有機el表示装置およびその製造方法 |
US9373666B2 (en) * | 2011-02-25 | 2016-06-21 | The Regents Of The University Of Michigan | System and method of forming semiconductor devices |
KR101154838B1 (ko) * | 2011-03-29 | 2012-06-18 | 한국과학기술원 | 전자소자 제조방법 |
KR20130081531A (ko) | 2012-01-09 | 2013-07-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 도너 필름 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치 |
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US9876160B2 (en) | 2012-03-21 | 2018-01-23 | Parker-Hannifin Corporation | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
US9786834B2 (en) | 2012-04-12 | 2017-10-10 | Parker-Hannifin Corporation | EAP transducers with improved performance |
US9954159B2 (en) | 2012-08-16 | 2018-04-24 | Parker-Hannifin Corporation | Electrical interconnect terminals for rolled dielectric elastomer transducers |
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KR20140059376A (ko) * | 2012-11-07 | 2014-05-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기막 형성 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR102096243B1 (ko) * | 2012-12-06 | 2020-05-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전사필름 및 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법 |
KR20140129464A (ko) * | 2013-04-29 | 2014-11-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 도너 기판, 도너 기판의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR101725947B1 (ko) * | 2014-02-13 | 2017-04-11 | 주식회사 엘지화학 | 레이저 열전사 기법을 통한 매립형 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조한 매립형 전극 |
KR101595650B1 (ko) * | 2014-04-04 | 2016-02-19 | 고려대학교 산학협력단 | 투명 기판 구조물의 제조 방법 |
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KR102471349B1 (ko) * | 2015-05-08 | 2022-11-29 | 고려대학교 산학협력단 | 패턴 구조물의 제조 방법 |
CN104882569B (zh) * | 2015-06-24 | 2017-01-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled显示器件及其制备方法、显示面板和显示装置 |
JP2018523751A (ja) * | 2015-07-09 | 2018-08-23 | オルボテック リミテッド | Lift放出角度の制御 |
JP6642999B2 (ja) * | 2015-08-06 | 2020-02-12 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 有機el素子の製造方法 |
KR101717471B1 (ko) | 2015-10-19 | 2017-03-17 | 한국생산기술연구원 | 유무기 복합 한지발광소자 및 이의 제조방법 |
TW201715769A (zh) * | 2015-10-27 | 2017-05-01 | 謙華科技股份有限公司 | 製作有機發光二極體的方法 |
KR101983330B1 (ko) | 2015-10-30 | 2019-05-28 | 한국생산기술연구원 | 발광소자 구동장치 |
CN106206427A (zh) * | 2016-08-15 | 2016-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板的制作方法、显示装置的制作方法以及显示基板 |
EP3513955B1 (en) * | 2016-09-16 | 2021-01-13 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Substrate bonding method and laminated body production method |
KR101975289B1 (ko) * | 2016-10-28 | 2019-05-07 | 주식회사 다원시스 | 유기 발광 소자의 제조 시스템 및 제조 방법 |
KR101978886B1 (ko) * | 2016-10-31 | 2019-05-15 | 울산과학기술원 | 투명 전극의 제조 방법 및 투명 전극을 포함한 전자 기판 |
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KR20180080561A (ko) * | 2017-01-04 | 2018-07-12 | 한국과학기술원 | 초음파 분산을 이용한 선택적 리프트-오프 공정 기반의 유연 투명전극 및 그 제조 방법 |
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JP3585524B2 (ja) * | 1994-04-20 | 2004-11-04 | 大日本印刷株式会社 | 有機薄膜el素子の製造方法 |
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US20040191564A1 (en) * | 2002-12-17 | 2004-09-30 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Donor film for low molecular weight full color organic electroluminescent device using laser induced thermal imaging method and method for fabricating low molecular weight full color organic electroluminescent device using the film |
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