KR102106772B1 - 레이저빔을 이용한 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자 - Google Patents

레이저빔을 이용한 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이미 완성된 유기소자의 유기박막에 레이저빔을 조사하여 패터닝할 수 있고, 패터닝된 영역과 그렇지 않는 영역의 가시광 반사율이 동일하여 패턴이 형성되었는지 여부를 육안으로 식별할 수 없는 레이저빔을 이용한 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자에 관한 것이다.

Description

레이저빔을 이용한 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자{Method for patterning organic thin film using laser beam and organic light emitting diode}
본 발명은 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이미 완성된 유기소자의 유기박막에 레이저빔을 조사하여 패터닝할 수 있고, 패터닝된 영역과 그렇지 않는 영역의 가시광 반사율이 동일하여 패턴이 형성되었는지 여부를 육안으로 식별할 수 없는 레이저빔을 이용한 유기박막의 패터닝 방법 및 유기전계발광소자에 관한 것이다.
일반적으로 유기전계발광소자는 애노드와 캐소드, 및 정공수송층, 발광층, 및 전자수송층을 포함하는 유기층으로 이루어진다. 또한 정공과 전자를 좀 더 효율적으로 주입하기 위해 애노드와 정공수송층 사이, 그리고 전자수송층과 캐소드 사이에 각각 정공주입층과 전자주입층을 더 포함할 수도 있다.
이때 상기 애노드로부터 정공주입층과 정공수송층을 통해 발광층으로 주입된 정공과, 캐소드로부터 전자주입층 및 전자수송층을 통해 발광층으로 주입된 전자가 엑시톤을 형성하고, 이 엑시톤으로부터 정공과 전자 사이의 에너지에 해당하는 빛을 발광하게 된다.
상기 애노드는 통상적으로 일함수가 높은 ITO, IZO, ITZO와 같은 투명 도전성 물질에서 선택되고, 캐소드는 통상적으로 일함수가 낮고 화학적으로 안정한 금속에서 선택된다.
이러한 유기전계발광소자에는 발광을 위한 일정한 패턴을 형성하게 되는데 예를 들면, ITO 전극 또는 캐소드를 포토리소그래피법을 이용하여 에칭하거나, 유기발광층의 선택적 증착 통해 패터닝한다.
하지만 종래의 패터닝 방법은 소자의 제작 중에 패터닝하는 방법들로서, 소자 제작 중에 이미 발광을 위한 패턴이 결정되게 되므로 소자 제작 완료 후에는 소자의 손상 없이는 발광을 위한 패턴 변경이 불가하다는 한계를 가지고 있다. 이 경우 소자 제작 완료 후 패턴을 변경하게 되면 패턴이 형성된 상부층 예를 들어, 발광층 상의 유기물층 및 캐소드가 모두 제거되므로 이를 다시 제작해야 하는 문제점이 발생한다.
또한, ITO 전극 또는 캐소드를 포토리소그래피법을 이용하여 에칭하거나, 유기발광층의 선택적 증착과 같은 종래의 패턴 형성방법으로 패턴을 형성할 경우, 유기전계발광소자의 전원 '오프' 상태에서 패턴이 형성된 부분과 그렇지 않은 부분의 가시광 반사율이 차이가 있으므로 사람이 육안으로 보았을 때, 패턴이 보이는 등 품질이 떨어지는 문제가 있다.
공개특허번호 제10-2006-0089839호(2006.08.09. 공개)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 본 발명의 목적은 유기전계발광소자의 제작 후에 레이저빔을 조사하여 유기박박을 패터닝할 수 있는 패터닝 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 유기전계발광소자의 유기박막 부분 이외에 다른 부분에 손상을 가하지 않으면서 유기박막만을 패터닝할 수 있는 패터닝 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 패터닝된 부분과 그렇지 않은 부분의 가시광 반사율이 동일하여 유기전계발광소자가 '오프'되었을 때, 육안으로 패턴이 보이지 않아 유기전계발광소자의 품질을 매우 향상시킬 수 있는 패터닝 방법을 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유기박막을 포함하는 유기소자를 준비하는 단계; 및 레이저빔을 상기 유기소자에 조사하여 상기 유기박막을 변성시킴으로써 원하는 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고, 패턴 형성 후에 상기 유기소자로 가시광을 조사하였을 때, 상기 유기박막 중, 패턴이 형성된 부분과 그렇지 않은 부분의 가사광 반사율이 동일하여 육안으로 패턴을 식별할 수 없는 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법을 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 유기박막에 전류를 공급할 때, 패턴이 형성된 부분은 전류가 흐르지 않는다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 레이저빔은 상기 유기소자 중, 상기 유기박막을 제외한 다른 구성요소에는 손상이 없는 파장 범위를 갖는다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 레이저빔은 350mm 내지 2㎛의 파장 범위를 갖는다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 유기소자는 기판, 제1전극, 상기 유기박막 및 제2전극이 순자로 적층되어 구성되며, 상기 레이저빔은 상기 기판, 상기 제2전극 및 상기 제2전극에는 영향이 없이 상기 유기박막만을 변성시켜, 패턴이 형성된 부분에 전류가 흐르지 않게 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 유기박막은 발광층을 구비하며, 상기 유기소자는 유기전계발광소자(OLED)이다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 유기박막은 전자주입층-전자수송층 및 정공수송층-정공주입층을 더 포함하며, 상기 레이저빔의 조사는 복수회 반복되고, 상기 발광층, 상기 전자주입층-전자수송층 또는 상기 정공수송층-정공주입층에 선택적으로 복수의 패턴을 형성한다.
또한, 본 발명은 상기 패터닝 방법으로 유기박막에 패턴이 형성된 발광소자를 더 제공한다.
또한, 본 발명은 투명기판; 상기 투명기판상에 구비되는 투명전극; 상기 투명전극 상에 구비되며, 발광층을 포함하는 유기박막; 및 상기 유기박막 상에 구비되는 제2전극;을 포함하며, 상기 유기박막에는 소자 제작 완료 후에 상기 패터닝 방법으로 패턴이 형성된다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.
먼저, 본 발명의 유기박막의 패터닝 방법에 의하면, 발광소자의 제작완료 후에도 레이저빔을 조사하여 유기박박을 패터닝할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 유기박막의 패터닝 방법에 의하면, 발광소자의 제작 완류 후에 유기박막의 서로 다른 층에 다양한 형태의 패터닝을 반복적으로 수행할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 유기박막의 패터닝 방법에 의하면, 유기전계발광소자의 유기박막 부분 이외에 다른 부분에 손상을 가하지 않으면서 유기박막만을 패터닝할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 유기박막의 패터닝 방법에 의하면, 패터닝된 부분과 그렇지 않은 부분의 가시광 반사율이 동일하여 유기전계발광소자가 '오프'되었을 때, 육안으로 패턴이 보이지 않아 유기전계발광소자의 품질을 매우 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법에 이용되는 레이저빔의 파장을 설명하기 위한 도면,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법으로 패터닝한 후에 가시광 반사율을 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 유기박막의 패턴을 보여주는 유기전계발광소자의 단면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 형성된 유기박막의 패턴을 보여주는 유기전계발광소자의 사진을 보여주는 도면,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 유기박막의 패터닝 후 유기박막의 거칠기를 분석한 결과를 보여주는 도면,
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 형성된 유기전계발광소자의 전력특성 및 효율 변화를 보여주는 그래프이다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법은 유기소자(100)중 유기박막(130)을 패터닝하는 방법이며, 패터닝된 부분은 전류가 흐르지않아 동작하지 않는다.
또한, 상기 유기소자(100)는 유기태양전지, 유기전계발광 소자, 유기전계효과트랜지스터 등과 같이 전하수송성 유기화합물을 구비하는 소자이며, 일반적으로 한 개의 층 이상으로 구성되는 유기 박막 구조를 갖는 장치이다.
특히, 상기 유기소자(100)가 발광소자일 경우에는 패터닝된 부분에 전류가 흐르지 않아 발광하지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법은 먼저, 유기박막(130)을 포함하는 유기소자(100)를 준비한다.
또한, 상기 유기소자(100)는 상기 유기박막(130) 이외에, 기판(110), 제1 전극(120) 및 제2 전극(140)을 포함하며, 상기 기판(110), 상기 제1 전극(120), 상기 유기박막(130) 및 상기 제2 전극(140)이 순차로 적층되어 구성된다.
즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법은 소자의 제조 공정 중에 전극을 포토리소그래피법을 이용하여 에칭하거나, 유기발광층의 선택적 증착 통해 패터닝하는 것이 아니라 기 제작된 유기소자(100)에 패터닝을 수행하는 방법이다.
다음, 레이저빔을 상기 유기소자(100)에 원하는 패턴으로 조사하고, 상기 유기박막(130)에는 레이저빔의 조사 패턴으로 변성된 패턴(150)이 형성된다(S2000).
또한, 상기 레이저빔은 상기 유기소자(100) 중, 상기 유기박막(130)만을 변성시키는 파장 범위를 갖는다.
도 2는 상기 레이저빔의 파장 파장범위를 도시한 것으로, 도 2를 참조하면, (a)영역에서는 약 350nm 미만의 자외선 영역에서 광흡수가 강하게 일어나며, (b)영역에서는 약 350㎚ 내지 2㎛ 범위의 가시광선 및 근적외선 영역에서 광흡수가 일어나며, (c)영역에서는 약 2㎛ 이상의 영역에서 광흡수가 강하게 일어나는 것을 알 수 있다.
즉, (a)영역은 상기 제1전극(120)으로서 ITO 등과 같은 투명전극의 광흡수를 보여주는 영역이고, (b)영역은 상기 유기박막(130)의 광흡수를 보여주는 영역이며, (c)영역은 상기 제2전극(140)으로서 Al, Ag 등과 같은 금속전극의 광흡수를 보여주는 영역이다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법은 상기 레이저빔의 파장범위를 상기 유기박막(130)의 광흡수가 일어나는 350㎚ 내지 2㎛ 범위의 파장으로 설정하여 상기 전극들(120,140)에는 광습수가 일어나지 않아 어떠한 손상도 발생하지 않고, 상기 유기박막(130)만이 변성되게 하여 패터닝할 수 있다.
만약, 상기 전극들(120,140)에서 레이저 흡수가 일어날 경우 변성될 수 있는데, 이 경우 열 전달을 통한 형상변화, 두께변화, 표면거칠기 변화 등이 유발되어 저항 증가나 전류 밀도 변화 등 유기소자의 전기적 특성이 변화할 수 있으므로 레이저 파장 및 출력의 선택이 매우 중요하다.
또한, 상기 레이저빔의 형태는 연속레이저나 펄스레이저 등 그 종류를 불문하고 사용할 수 있으나 파장 영역은 대략 400 내지 4000㎚ 범위(가시광에서 근적외선 영역)이고, 조사에너지는 단위면적(직경 50㎛)당 1uJ ~ 1000uJ이 적절하며, 바람직하게는 5uJ~500uJ이 적절하다.
한편, 상기 유기박막(130)은 다양한 유기물이나 유기반도체 등의 소재를 사용하여 형성되는 것이 일반적인 바 열에 매우 약한 특성을 보이므로, 레이저빔과 같은 고열의 에너지가 짧은 시간에 가해질 경우 상기 유기박막(130)의 변성(탄화 등)을 유발시키게 된다.
이 경우 상기 유기소자(100)에 전기장 인가 시, 수직 방향으로만 전류가 흐를 수 있는 유기소자(100)의 구조적 특성 때문에 레이저빔에 의해 변성된 영역에서는 전류의 흐름이 제한되게 되어 발광소자의 경우에는 발광이 이루어지지 않게 된다. 본 발명에서는 이러한 원리를 이용함으로써 기 완성된 유기소자(100)의 유기박막(130)을 패터닝할 수 있는 것이다.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법으로 패터닝한 후에 가시광 반사율을 설명하기 위한 도면으로, 도 3의 (a)는 전극을 포토리소그래피법을 이용하여 에칭하거나, 유기발광층의 선택적 증착 통해 패턴을 형성한 종래의 유기소자(10)를 보여주는 것이고, (b)는 본 발명의 패터닝 방법으로 패터닝이 완성된 유기소자(200)를 보여주는 것이다.
종래의 유기소자(10)의 경우 가시광을 입사시킬 경우, 패턴이 형성된 부분(11)의 반사율(r1)과 그렇지 않은 부분(12)의 반사율(r2)의 차이가 나게 되는데 이러한 반사율의 차이는 유기소자로 전원을 공급하지 않은 상태에서 육안으로 관찰하였을 때, 패턴이 육안으로 관찰되므로 마치 얼룩이 존재하는 것처럼 보여 품질이 떨어지는 문제점이 있다.
그러나 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법으로 패터닝된 유기소자(200)는 패턴이 형성된 부분(210)의 반사율(r3)과 그렇지 않은 부분(220)의 반사율(r4)이 동일하므로 전원을 공급하지 않은 상태에서 패턴이 육안으로 관찰되지 않는다. 즉, 전원을 '오프'한 상태에서는 어떠한 패턴도 인지할 수 없으며, 얼룩도 관찰되지 않으므로 품질이 매우 높은 장점이 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 방법은 유기전계발광소자(300)에 패터닝을 수행하는 방법이다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 방법은 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법과 비교하여 패터닝되는 대상만 상이하며 레이저빔을 조사하여 패터닝을 수행하고, 패턴이 형성된 부분과 그렇지 않은 부분에 가사광 반사율이 동일한 점은 실질적으로 동일하다.
자세하게는 먼저, 유기박막(330)을 포함하는 유기소자로써 유기전계발광소자(300)를 준비한다(S4000).
또한, 유기전계발광소자(300)는 일반적으로 기판(310)상에 제1전극(320), 유기박막(330) 및 제2전극(340)이 순차적으로 적층되어 있으며, 일정한 발광패턴을 형성하기 위해 상기 유기박막(330)을 패터닝한다.
또한, 상기 기판(310)은 유리와 같은 투명기판을 사용하고, 상기 제1전극(320)은 ITO, ZTO 등과 같은 투명전극을 사용하며, 상기 제2전극(340)은 Al, Ag 등과 같은 금속전극을 사용한다.
그리고, 상기 유기박막(330)은 정공수송층-정공주입층(331), 발광층(332) 및 전자주입층-전자수송층(333) 등을 포함하여 구성될 수 있으며, 다양한 유기물이나 유기물반도체 등의 소재로 형성된다.
즉, 본 발명의 다른 실시예는 상기 유기박막(330)을 패터닝함에 있어서, 기 제작된 유기전계발광소자(300)를 준비한 다음 레이저빔을 조사하여 상기 유기박막(330)을 패터닝하는 기술이다.
또한, 레이저빔의 파장 범위와 종류, 조사에너지등은 본 발명의 일 실시예에 따른 패터닝 방법의 레이저의 파장 범위와 종류, 조사에너지와 실질적으로 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 방법은 레이저빔을 복수회 조사하여 상기 유기박막(300)의 서로 다른 층에 선택적으로 복수의 패턴을 형성할 수 있다.
도 5를 참조하여 더욱 자세하게 설명하면, 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 유기박막의 패턴을 보여주는 유기전계발광소자의 단면도로써, 먼저, 상기 발광층(332)에 레이저빔을 조사하여 변성시킴으로서 제1패턴(350)을 형성하고, 다음, 상기 전자주입층-전자수송층(333)에 레이저빔을 조사하여 변성시킴으로서 상기 제1패턴(350)과는 다른 형태의 제2패턴(360)을 형성할 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예에서는 레이저빔의 조사를 복수회 수행함으로써, 상기 유기박막(330)을 구성하는 특정 층 또는 복수 층에 다양한 형태의 패턴들을 형성할 수 있다.
또한, 레이저빔은 투명전극쪽으로 조사되어야 하므로 상기 투명기판(310) 쪽에서 조사하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 유기전계발광소자(300)가 전면발광(top emission)인 경우, 상기 기판(310)은 불투명기판이고, 상기 제2전극(334)은 투명전극이며, 상기 레이저빔을 상기 제2전극(334) 쪽에서 조사하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 유기전계발광소자(300)가 양면발광인 경우, 상기 기판(310)은 투명기판이고, 상기 제1전극(320) 및 상기 제2전극(340)은 투명전극이며, 상기 레이저빔을 상기 투명기판(310) 또는 상기 제2전극(340) 어느 쪽에서도 조사할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기박막의 패터닝 방법은 설정된 레이저빔이 조사되면 상기 기판(310), 제1전극(320) 및 제2전극(340)에는 어떠한 손상도 주지 않으면서 패턴(350)을 형성할 수 있다. 다시 말해서, 상기 유기박막(330)의 패턴(350) 형성이 이루어지고 난 다음에도 하부전극인 상기 제1전극(120) 및 상부전극인 상기 제2전극(140)은 여전히 남아있기 때문에 손상으로 인한 전극층의 보강이 필요 없을 뿐만 아니라, 상기 유기박막(330)의 추가적인 패턴(360) 형성이 가능하다. 특히, 두 번째 패턴(360) 형성을 위해 전자주입층-전자수송층(333)에 패턴을 형성하는 경우에는 상기 기판(310), 제1전극(320), 제2전극(340)뿐만 아니라, 상기 정공수송층-정공주입층(331) 및 발광층(332)에는 어떠한 손상도 주지 않으나, 상기 전자주입층-전자수송층(333)은 변성되어 전류가 통하지 않게 되므로 패턴(350)을 형성할 수 있다.
실시예
레이저 장비로서 연속레이저(continuous wave laser)를 사용하였는데, 출력 8~10W, 파장 1064 ㎚으로 설정하였고, 레이저의 스팟 직경(spot diameter)은 20~70㎛, 스캐닝 속도 1000mm/sec로 설정하여 조사하였다. 유기소자로서 Glass/ ITO (150nm)/ ZnO (zinc oxide) nanoparticle 층 (20nm)/PEIE (Polyethyleneimine ethoxylated) 층 (1nm)/ Merck PDY-132 (Brand name : super yellow) (70nm)/ MoO3 (molybdenum trioxide) (1nm)/ Aluminium (150nm)의 구조를 갖는 유기전계발광소자를 사용하였다.
도 6는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 유기박막의 패턴을 보여주는 유기전계발광소자의 사진으로서, (a)는 패터닝 전 완성된 유기전계발광소자의 사진이고, (b)는 레이저빔을 이용한 1차 패터닝이 이루어진 유기전계발광소자의 사진이며, (c)는 레이저빔을 이용한 2차 패터닝이 이루어진 유기전계발광소자의 사진이다.
도 6를 참조하면, 이미 완성된 유기전계발광소자의 유기박막에 레이저빔을 조사함으로써 원하고자 하는 제1패턴을 형성하였음을 알 수 있으며, 레이저 패터닝 공정을 다시 수행함으로써 제1패턴과는 다른 형태의 제2패턴을 형성하였음을 확인할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 유기박막의 패터닝 후 유기박막의 거칠기를 분석한 결과이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기박막의 패터닝 공정은 유기박막의 화학적 변화를 유발(변성)하여 전류가 흐르지 않게 하는 것이 기본 원리이다. 여기서, 레이저 패터닝 공정 이후 표면 거칠기 등이 증가할 경우에는 유기전계발광소자의 전력효율이 감소하고, 수명에 큰 영향을 줄 수 있기 때문에 레이터 패터닝 공정 전과 후의 표면 거칠기를 비교하였다.
도 7을 참조하면, 원자현미경(AFM: Atomic Force Microscope)의 결과에서 확인할 수 있는 바와 같이, 레이저 패터닝 이후에도 유기박막의 표면 거칠기는 크게 변하지 않았음을 알 수 있으며, 레이저 패터닝 전 전체적으로 작은 돌기처럼 분포해 있던 유기박막의 표면이 레이저 패터닝 공정 이후에는 뭉쳐져서 원만한 표면 거칠기 분포를 보여주고 있음을 알 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 형성된 유기전계발광소자의 전력특성 및 효율 변화를 보여주는 그래프이다.
도 8(a)를 참조하면, 본 발명의 유기박막의 패터닝 공정에 따른 발광 면적 감소로 인하여 전류 밀도와 휘도가 감소한 것을 알 수 있다. 하지만, 도 8(b)에서와 같이 발광 효율(Luminous efficiency) (cd/A) 값에는 큰 변화가 없는 것으로 확인되어 레이저 패터닝에 따른 전력 효율 변화는 거의 없음을 확인할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
100: 유기소자 300: 유기전계발광소자
110, 310: 기판 120, 320: 제1전극
130, 330: 유기박막 140, 340: 제2전극
150: 패턴 350: 제1패턴
360: 제2패턴

Claims (9)

  1. 유기박막을 포함하는 유기소자를 준비하는 단계; 및
    레이저빔을 상기 유기소자에 조사하여 상기 유기박막을 변성시킴으로써 원하는 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 레이저빔의 광 파장은 상기 유기소자에서 발광하는 광의 파장보다 긴 파장으로 1000nm 내지 2500nm 파장 범위를 가지며,
    패턴 형성 후에 상기 유기소자로 가시광을 조사하였을 때, 상기 유기박막 중, 패턴이 형성된 부분과 그렇지 않은 부분의 가사광 반사율이 동일하여 육안으로 패턴을 식별할 수 없는 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기박막에 전류를 공급할 때, 패턴이 형성된 부분은 전류가 흐르지 않는 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저빔은 상기 유기소자 중, 상기 유기박막을 제외한 다른 구성요소에는 손상이 없는 파장 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법.
  4. 삭제
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 유기소자는 기판, 제1전극, 상기 유기박막 및 제2전극이 순자로 적층되어 구성되며,
    상기 레이저빔은 상기 기판, 상기 제2전극 및 상기 제2전극에는 영향이 없이 상기 유기박막만을 변성시켜 패턴이 형성된 부분에 전류가 흐르지 않게 하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 유기박막은 발광층을 구비하며, 상기 유기소자는 유기전계발광소자(OLED)인 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 유기박막은 전자주입층-전자수송층 및 정공수송층-정공주입층을 더 포함하며,
    상기 레이저빔의 조사는 복수회 반복되고, 상기 발광층, 상기 전자주입층-전자수송층 또는 상기 정공수송층-정공주입층에 선택적으로 복수의 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 패터닝 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 패터닝 방법으로 유기박막에 패턴이 형성된 발광소자.
  9. 투명기판;
    상기 투명기판상에 구비되는 투명전극;
    상기 투명전극 상에 구비되며, 발광층을 포함하는 유기박막; 및
    상기 유기박막 상에 구비되는 제2전극;을 포함하며,
    상기 유기박막에는 소자 제작 완료 후에 제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 패터닝 방법으로 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
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