JP4902511B2 - High-speed testing of semiconductor integrated circuits - Google Patents

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Description

本発明は、半導体集積回路の高速テストに関し、特にフリップフロップ間高速テストのテスト漏れ検出手段に関する。   The present invention relates to a high-speed test of a semiconductor integrated circuit, and more particularly to a test leak detection means for a high-speed test between flip-flops.

半導体集積回路の論理が所望の周波数で正しく動作するかを確認するために、LSIテスタが用いられる。LSIテスタでは、あらかじめ用意したテストパターンを実行することにより動作の検証を行う。具体的には、あるフリップフロップから別のフリップフロップまでのパスを所望の周波数で動作させ、データが正しく転送できればそのパスは正常動作したと判断される。   An LSI tester is used to confirm whether the logic of the semiconductor integrated circuit operates correctly at a desired frequency. The LSI tester verifies the operation by executing a test pattern prepared in advance. Specifically, a path from one flip-flop to another flip-flop is operated at a desired frequency, and if the data can be transferred correctly, it is determined that the path has operated normally.

これを半導体集積回路内の全てのパスで行い、その全てのパスが正常動作した時、テストした半導体集積回路は良品と判断される。   This is performed for all the paths in the semiconductor integrated circuit, and when all the paths operate normally, the tested semiconductor integrated circuit is determined to be a non-defective product.

テストパターンは設計者が別途作成し、LSIテスタに読み込ませて実行する。テストパターンは一般に、遅延時間が大きく製品の限界周波数に近いパス(クリティカルパス)を含むように作成される。さらに効率よくテストを行うため、例えば特許文献1では物理情報を元にクリティカルパスを抽出し、過不足なくテストを実施する方法を提案している。クリティカルパスを限定することにより効率的なテストパターンを生成し、品質、開発日程、コストの面で改善効果を期待するものである。   A test pattern is separately created by a designer, and is loaded into an LSI tester for execution. In general, the test pattern is created so as to include a path (critical path) having a large delay time and close to the limit frequency of the product. In order to perform the test more efficiently, for example, Patent Document 1 proposes a method for extracting a critical path based on physical information and performing the test without excess or deficiency. By limiting the critical path, an efficient test pattern is generated, and an improvement effect is expected in terms of quality, development schedule, and cost.

特開2005−308471号公報JP 2005-308471 A

通常、クリティカルパスと考えられるパスは必ずテストされるように、テストパターンを作成する。クリティカルパスではないと考えられるパスは、必ずしもテストパターンには含まれない。しかし万が一クリティカルパスか否かの判断を誤ると、テストすべきパスがテストされない可能性がある。また、テストパターンにクリティカルパスを含んでいると考えていても、実際にはそのパスがテストされないという可能性もある。もしこのようなテストされないパスが所望の動作周波数に達していない場合、LSIテスタで検査しても誤って良品と判断されることになる。   Usually, a test pattern is created so that a path considered to be a critical path is always tested. A path that is not considered to be a critical path is not necessarily included in the test pattern. However, if it is determined that the path is a critical path, the path to be tested may not be tested. Even if it is considered that the test pattern includes a critical path, there is a possibility that the path is not actually tested. If such an untested path does not reach the desired operating frequency, it is erroneously determined to be a good product even if it is inspected by the LSI tester.

万が一テストすべきパスがテストされなかった場合、半導体集積回路製品の出荷後、ユーザの下で初めて不良が発覚することになるが、テストパターンには元々テスト対象に含まれていないため、不良となったパスを発見するのは必ずしも容易ではない。   In the unlikely event that the path to be tested is not tested, a defect will be detected for the first time by the user after the shipment of the semiconductor integrated circuit product. Finding a new path is not always easy.

例えば図2において、フリップフロップ201から208、209、210へのパスがあり、201から208へは2通りのパスがあるので合計4個のパスが存在する。ここで201からゲート205を経由して208に至るパスのみクリティカルパスであると判断した場合、テストパターンはこのパスを活性化するように作成するが、他のパスは必ずしも活性化されない。201から210へのパスがクリティカルパスにもかかわらずテストされなかった場合、製品の出荷後にユーザの下で不良が検出されることになる。しかし未テストパスの検出手段がないため、不良パスの発見に時間を要する可能性がある。   For example, in FIG. 2, there are paths from flip-flops 201 to 208, 209, and 210, and there are two paths from 201 to 208, so there are a total of four paths. If it is determined that only the path from 201 to 208 via the gate 205 is a critical path, the test pattern is created to activate this path, but the other paths are not necessarily activated. If the path from 201 to 210 is not tested despite the critical path, a defect will be detected under the user after the product is shipped. However, since there is no means for detecting an untested path, it may take time to find a defective path.

本発明は、クリティカルパスか否かにかかわらず、テストされなかったパスを抽出する手段を提供する。この情報を設計者にフィードバックすることにより、製品の出荷前に設計者がテストパターンを修正する機会を与え、クリティカルパスを確実にテストするという課題を解決する。   The present invention provides a means for extracting a path that has not been tested, regardless of whether it is a critical path. By feeding this information back to the designer, the designer is given an opportunity to correct the test pattern before shipping the product, and the problem of reliably testing the critical path is solved.

半導体集積回路内の各フリップフロップに対し、判定端子と呼ぶ、通常のデータ出力端子とは別の端子を設ける。判定端子は、テスト開始後データ出力端子が“0”から“1”または“1”から“0”に反転した場合に“1”を出力し続ける。あるフリップフロップ間のパスにおいて、始点と終点のフリップフロップの判定端子がともに“1”を出力していれば、そのパスはテストされたと判断される。テスト終了後も“0”のままの場合は、フリップフロップのデータ出力端子においてデータ反転が一度も起こらなかったことを意味し、そのフリップフロップを含むパスはテストされなかったと判断される。   Each flip-flop in the semiconductor integrated circuit is provided with a terminal called a determination terminal, which is different from a normal data output terminal. The determination terminal continues to output “1” when the data output terminal is inverted from “0” to “1” or “1” to “0” after the test is started. In a path between certain flip-flops, if both the determination terminals of the start and end flip-flops output “1”, it is determined that the path has been tested. If it remains “0” after the end of the test, it means that no data inversion has occurred at the data output terminal of the flip-flop, and it is determined that the path including the flip-flop has not been tested.

また、始点フリップフロップと終点フリップフロップが同一でパスが複数ある場合、そのパスが合流するゲートの入力端子からそれぞれ配線を引き出し、それぞれの配線を別々のカウンタに入力する。各々のカウンタは、入力されたデータが“0”から“1”または“1”から“0”に1回以上反転していれば“1”を出力する。フリップフロップの判定端子と同様、“1”を出力していればその配線はテストされたと判断される。   In addition, when the start point flip-flop and the end point flip-flop are the same and there are a plurality of paths, each wiring is drawn out from the input terminal of the gate where the paths merge, and each wiring is input to a separate counter. Each counter outputs “1” if the input data is inverted from “0” to “1” or “1” to “0” at least once. As with the determination terminal of the flip-flop, if “1” is output, it is determined that the wiring has been tested.

各フリップフロップの判定端子、またはカウンタ出力からの配線をいくつかのNANDゲートに分散させて入力し、全てのNANDゲートの出力が“0”である場合、半導体集積回路内の全パスがテストされたと判断する。NANDゲートの出力が“1”の場合、フリップフロップ間でデータが反転しておらずテストされていないパスがあることを意味する。この場合はそのパスを活性化するようにテストパターンを追加することにより、テスト漏れを防ぐことが可能となる。もしそのパスがクリティカルパスではなく、かつテストの必要のないパスであれば、特に対策をしなくてもよい。   If the decision terminal of each flip-flop or the wiring from the counter output is distributed and input to several NAND gates and all NAND gate outputs are “0”, all paths in the semiconductor integrated circuit are tested. Judge that If the output of the NAND gate is “1”, it means that there is a path that is not tested because the data is not inverted between the flip-flops. In this case, it is possible to prevent test leakage by adding a test pattern so as to activate the path. If the path is not a critical path and does not require testing, no action is required.

本発明により、ある半導体集積回路で高速テストのテストパターンを実行した時、全てのパスがテストされたか、あるいはテストされていないパスがどこにあるかを判断できる。テスト漏れと判断すれば、設計者がテストパターンにそのパスを活性化するパターンを追加する。これにより、テストの必要なパスを全てテストし、半導体集積回路の品質を向上させることができる。   According to the present invention, when a high-speed test pattern is executed on a certain semiconductor integrated circuit, it can be determined where all paths have been tested or where there are untested paths. If it is determined that the test is missing, the designer adds a pattern that activates the path to the test pattern. As a result, all the paths that need to be tested can be tested, and the quality of the semiconductor integrated circuit can be improved.

以下に、本発明を実施するための形態について示す。   Below, the form for implementing this invention is shown.

図1は、本発明によるフリップフロップ間のテストの実施例を示す。図1においてフリップフロップ101をテストパスの始点とすると、終点となるフリップフロップは108、109、110の3個ある。終点108までのパスは2通りあるので、図1では合計4個のテストパスが存在する。実際の半導体集積回路で動作テストをした時、これら4個のパスがもれなくテストされたかを確認する方法について述べる。   FIG. 1 shows an embodiment of a test between flip-flops according to the present invention. In FIG. 1, if the flip-flop 101 is the start point of the test path, there are three flip-flops 108, 109, and 110 as end points. Since there are two paths to the end point 108, there are a total of four test paths in FIG. A method for confirming whether all four paths have been tested when an operation test is performed on an actual semiconductor integrated circuit will be described.

フリップフロップ101、108、109、110にデータ出力とは別に判定端子151、152、153、154を用意し、それぞれ配線128、129、130、131を接続する。これら4本の配線をNANDゲート111に入力させる。各フリップフロップはクロックに同期してデータを出力するが、図1のフリップフロップではクロック端子を省略している。判定端子151〜154は、各フリップフロップのデータ出力端子141〜144が“0”から“1”または“1”から“0”に切り替わった場合に、それぞれ“1”を出力するものとする。データ出力端子141〜144が“0”固定または“1”固定の場合は、対応する判定端子151〜154は“0”を出力するものとする。出力端子151〜154が全て“1”の場合、配線128〜131には全て“1”が伝達されるので、NANDゲート111の出力側配線132には“0”が出力される。このとき、全てのフリップフロップが使用され、かつデータの反転があったことを示しているので、全てのフリップフロップがテストされたと判断する。一方、判定端子151〜154のうち少なくとも1個で“0”が出力された場合、配線128〜131のうちそれに対応する配線には“0”が伝達されるので、NANDゲート111の出力側配線132には“1”が出力される。このとき、少なくとも1個のフリップフロップでデータの反転がないため、クロック周波数に関係なくフリップフロップが同じデータを出力し続けていると考えられる。したがってそのフリップフロップはテストされていないと判断する。   In addition to data output, determination terminals 151, 152, 153, and 154 are prepared for the flip-flops 101, 108, 109, and 110, and wirings 128, 129, 130, and 131 are connected thereto, respectively. These four wirings are input to the NAND gate 111. Each flip-flop outputs data in synchronization with the clock, but the clock terminal is omitted in the flip-flop of FIG. The determination terminals 151 to 154 output “1” when the data output terminals 141 to 144 of the flip-flops are switched from “0” to “1” or “1” to “0”, respectively. When the data output terminals 141 to 144 are fixed to “0” or “1”, the corresponding determination terminals 151 to 154 output “0”. When all of the output terminals 151 to 154 are “1”, “1” is transmitted to the wirings 128 to 131, and thus “0” is output to the output-side wiring 132 of the NAND gate 111. At this time, since all flip-flops are used and data is inverted, it is determined that all flip-flops have been tested. On the other hand, when “0” is output from at least one of the determination terminals 151 to 154, “0” is transmitted to the corresponding wiring among the wirings 128 to 131. “1” is output to 132. At this time, since the data is not inverted by at least one flip-flop, it is considered that the flip-flop continues to output the same data regardless of the clock frequency. Therefore, it is determined that the flip-flop has not been tested.

図1においてフリップフロップ101から108へのパスは、ゲート102を通るパスとゲート103及び105を通るパスの2通りある。上述の論理では、片方のパスだけがテストされたとしてもフリップフロップ108の判定端子152は“1”を出力する。これを防ぐため、図1ではゲート106の直前から配線133、134を引き出し、それぞれカウンタ112、113に接続する。カウンタ112、113はそれぞれ配線133、134が“0”から“1”または“1”から“0”に切り替わる回数をカウントし、規定回数以上切り替わった場合にそれぞれの出力側配線135、136に“1”を出力する。配線135、136にともに“1”が伝達された場合、NANDゲート114の出力側配線137には“0”が出力される。このとき、フリップフロップ101から108の2通りのパスのうち、両方がテストされたと判断する。一方、配線135、136のうち少なくとも一方で“0”が伝達された場合、NANDゲート114の出力側配線137には“1”が出力される。このとき、フリップフロップ101から108の2通りのパスのうち少なくとも一方でデータの反転がないため、テストされていないと判断する。   In FIG. 1, there are two paths from the flip-flops 101 to 108, a path through the gate 102 and a path through the gates 103 and 105. In the above logic, even if only one path is tested, the decision terminal 152 of the flip-flop 108 outputs “1”. In order to prevent this, in FIG. 1, the wires 133 and 134 are drawn out immediately before the gate 106 and connected to the counters 112 and 113, respectively. The counters 112 and 113 count the number of times the wirings 133 and 134 are switched from “0” to “1” or “1” to “0”, respectively. 1 "is output. When “1” is transmitted to both the wirings 135 and 136, “0” is output to the output-side wiring 137 of the NAND gate 114. At this time, it is determined that both of the two paths from the flip-flops 101 to 108 have been tested. On the other hand, when “0” is transmitted to at least one of the wirings 135 and 136, “1” is output to the output-side wiring 137 of the NAND gate 114. At this time, at least one of the two paths from the flip-flops 101 to 108 has no data inversion, so it is determined that the test has not been performed.

図1では、NANDゲート132と137がともに“0”を出力した時、正常にテストされたと判断する。半導体集積回路内にこのようなNANDゲートを複数配置し、それらが全て“0”を出力したとき、その半導体集積回路全体のテストが正常に行われたと判断する。   In FIG. 1, when both NAND gates 132 and 137 output “0”, it is determined that they have been normally tested. When a plurality of such NAND gates are arranged in the semiconductor integrated circuit and all of them output “0”, it is determined that the test of the entire semiconductor integrated circuit has been performed normally.

テスト終了後、各フリップフロップ及びカウンタのリセット入力端子161〜166にリセット信号を入力することにより、これまでの結果がリセットされ、別のテストパターンを引き続き実行することができる。   After the test is completed, by inputting a reset signal to the reset input terminals 161 to 166 of each flip-flop and counter, the results so far are reset, and another test pattern can be continuously executed.

図3に第2の実施例を示す。   FIG. 3 shows a second embodiment.

図3は、転送データの前にシリアルの識別信号を付加した波形を示している。このシリアルの識別信号は、各フリップフロップ間パスにおいてそれぞれ異なるものとする。例えば図2のフリップフロップ201において、この識別信号を含めたデータ信号を出力し、フリップフロップ208においてこれらの信号を受信する。208で受信した識別信号が201で出力した識別信号と一致していれば、フリップフロップ201〜208間がテストされたと判断する。同様に201〜209間、201〜210間にはそれぞれ異なる識別信号を付与しておき、テスト終了後に始点と終点のフリップフロップにおいて識別信号が一致していれば、それらのフリップフロップ間のテストが実施されたと判断する。   FIG. 3 shows a waveform in which a serial identification signal is added before the transfer data. This serial identification signal is different in each flip-flop path. For example, the flip-flop 201 in FIG. 2 outputs a data signal including this identification signal, and the flip-flop 208 receives these signals. If the identification signal received at 208 matches the identification signal output at 201, it is determined that the flip-flops 201-208 have been tested. Similarly, different identification signals are given between 201 to 209 and 201 to 210, respectively, and if the identification signals match at the start and end flip-flops after the test is completed, the test between these flip-flops is performed. Judge that it was implemented.

図2では、201と208の間のパスは2通り存在する。このような場合もそれぞれのパスに異なる識別信号を付与しておき、208が両方の識別信号を受信した場合、両方のパスがテストされたと判断する。識別信号が配線222を通るパスを指定する時は、配線223を通るパスは開かないようにする。   In FIG. 2, there are two paths between 201 and 208. Also in such a case, different identification signals are given to the respective paths, and when 208 receives both identification signals, it is determined that both paths have been tested. When the identification signal designates a path passing through the wiring 222, the path passing through the wiring 223 is not opened.

識別信号はテストパターンではないので、1ビットが1周期である必要はない。識別信号を確実に転送させるためには、例えば図3のように2周期で1ビットとすればよい。   Since the identification signal is not a test pattern, one bit does not need to be one cycle. In order to reliably transfer the identification signal, for example, as shown in FIG.

本発明は半導体集積回路の高速テストにおいて、フリップフロップ間の未テストパスを検出する手段として特に有用である。   The present invention is particularly useful as a means for detecting an untested path between flip-flops in a high-speed test of a semiconductor integrated circuit.

フリップフロップ間パスと、フリップフロップの判定端子、カウンタ、NANDゲートを備えた、本発明の特徴を示した図である。It is the figure which showed the characteristic of this invention provided with the path | pass between flip-flops, the determination terminal of the flip-flop, the counter, and the NAND gate. 従来のフリップフロップ間パスを示した図である。It is the figure which showed the conventional path | pass between flip-flops. 転送データの前に、フリップフロップ間パスの識別信号を付加した波形を示す図である。It is a figure which shows the waveform which added the identification signal of the path | pass between flip-flops before the transfer data.

符号の説明Explanation of symbols

101、108〜110…フリップフロップ、102〜107…ゲート、111、114…NANDゲート、112〜113…カウンタ、121〜138…配線、141〜144…データ出力端子、151〜154…判定端子、161〜166…リセット入力端子、201、208〜210…フリップフロップ、202〜207…ゲート、221〜227…配線。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 101,108-110 ... Flip-flop, 102-107 ... Gate, 111, 114 ... NAND gate, 112-113 ... Counter, 121-138 ... Wiring, 141-144 ... Data output terminal, 151-154 ... Determination terminal, 161 ˜166, reset input terminal, 201, 208-210, flip-flop, 202-207, gate, 221-227, wiring.

Claims (4)

半導体集積回路の高速テストにおいて、
テスト開始後各フリップフロップのデータ出力端子が1回以上“0”から“1”または“1”から“0”に反転した場合に“1”を出力し続け、テスト開始後データ出力端子に全く変化がない場合は“0”を出力し続ける、
もう一つの出力端子(判定端子と呼ぶ)を各フリップフロップが備えることを特徴とする半導体集積回路の高速テスト。
In high-speed testing of semiconductor integrated circuits,
When the data output terminal of each flip-flop is inverted from “0” to “1” or “1” to “0” at least once after the test starts, “1” continues to be output. If there is no change, continue to output “0”.
A high-speed test of a semiconductor integrated circuit, wherein each flip-flop has another output terminal (referred to as a determination terminal).
請求項1における各フリップフロップの判定端子より取り出した各配線は1個または複数個のNANDゲートに入力されており、
高速テスト終了後にNANDゲートの出力が“0”であればそれに対応するフリップフロップはデータ出力に反転があったことを意味し、
フリップフロップ間で高速テストが実施されたと判定できることを特徴とする半導体集
積回路の高速テスト。
Each wiring taken out from the determination terminal of each flip-flop according to claim 1 is input to one or a plurality of NAND gates,
If the output of the NAND gate is “0” after the high-speed test, the corresponding flip-flop means that the data output has been inverted,
A high-speed test of a semiconductor integrated circuit, characterized in that it can be determined that a high-speed test is performed between flip-flops.
始点と終点が同一のフリップフロップ間においてパスが複数存在する場合、
その全てのパスがテストされたかを判定するため、それぞれのパスが合流するゲートの入力端子の直前から各々別の配線が引き出され、
それぞれ別のカウンタに入力されて、そのカウンタに入力された配線がテスト開始後1回以上“0”から“1”または“1”から“0”に反転した場合、カウンタは“1”を出力し続け、
入力された配線にデータの反転が全くない場合は“0”を出力し続けることにより、同一フリップフロップ間の全てのパスがテストされたか判定できることを特徴とする半導体集積回路の高速テスト。
If there are multiple paths between flip-flops with the same start and end points,
In order to determine whether all of the paths have been tested, separate wirings are drawn from immediately before the input terminals of the gates where the paths merge.
If the wiring input to each counter is inverted from “0” to “1” or “1” to “0” at least once after the test starts, the counter outputs “1”. Continue
A high-speed test of a semiconductor integrated circuit characterized in that it can be determined whether or not all paths between the same flip-flops have been tested by continuing to output “0” when there is no data inversion in the input wiring.
請求項1におけるフリップフロップの判定端子及び請求項3におけるカウンタの出力端子において、
出力されたデータを高速テスト終了後に“0”に戻すため、各フリップフロップ及びカウンタにリセット用の入力端子を備えることを特徴とする半導体集積回路の高速テスト。
In the determination terminal of the flip-flop in claim 1 and the output terminal of the counter in claim 3,
A high-speed test of a semiconductor integrated circuit, wherein each flip-flop and counter are provided with reset input terminals in order to return the output data to “0” after completion of the high-speed test.
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