JP4899809B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物に対し、Ｘ線を照射したときのＸ線の透過量から被検査物中の異物を検出するＸ線検査装置に関し、特に、被検査物を移動させながら被検査物中の異物を検出するＸ線検査装置に関する。

従来より、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物中（表面も含む）の異物（金属、骨、ガラス、石、合成樹脂材等）を検出するためにＸ線検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。図６は、Ｘ線検査装置の一部の構成を示す図である。このようなＸ線検査装置１１０においては、ベルトコンベア５の上方に配置されたＸ線管1でＸ線を発生させ、そのＸ線をスリット等からなるコリメータ（図示せず）を用いて扇状に広がるＸ線ビームとして形成し、そのＸ線ビームを、上側になっている搬送ベルト５ｂの下方に配置された多数のＸ線検出素子からなる直線状のＸ線検出器３で検出する。

ベルトコンベア５は、２個のローラ５ａと、２個のローラ５ａ間に掛け回された搬送ベルト５ｂとを有する。そして、上側になっている搬送ベルト５ｂの上面に、被検査物７は載置されることになる。よって、モータ等の駆動手段（図示せず）によっていずれかのローラ５ａが駆動することにより、搬送ベルト５ｂが循環して移動して、被検査物７が移動することになる。
なお、コリメータは、ベルトコンベア５が移動させる被検査物７の移動方向と直交するように、扇状に広がるＸ線ビームを形成し、直線状のＸ線検出器３は、扇状に広がるＸ線ビームを検出できるように、ベルトコンベア５が移動させる被検査物７の移動方向と直交するように配置されている。

これにより、Ｘ線検査装置１１０では、ベルトコンベア５に載置されて移動してくる被検査物７にＸ線を照射し、コンピュータ１０９で被検査物７のＸ線透過像データを作成して、そのＸ線透過像データを収集して時間軸に沿って並べると、２次元的なＸ線透過画像を得ることができる。このとき、被検査物７中に異物が存在し、その異物のＸ線吸収率が被検査物７自体のＸ線吸収率と異なれば、Ｘ線透過画像に異物が陰として表れることになる。

ここで、多数のＸ線検出素子からなる直線状のＸ線検出器の一例について説明する。図３は、Ｘ線検出器の平面図であり、図４は、図３に示すＡ−Ａ線の断面図である。Ｘ線検出器３は、Ｘ線を光に変換する蛍光体９１と光ダイオード列９２と支持体９３とからなる。光ダイオード列９２は、１画素（１チャンネル）を構成する光ダイオード（９２ａ、９２ｂ、・・）を多数個直線状に並べてなるものであって、蛍光体９１からの光を電気信号（検出信号）に変換するものである。この電気信号が、コンピュータ１０９に出力される。

このとき、通常、光ダイオードの感受性は、ばらつきがある。よって、光ダイオードからの電気信号の値をＸ線透過像データとしてそのまま用いるのではなく、予め、搬送ベルト５ｂを移動させない状態で、被検査物７がないときの各光ダイオードからの電気信号をそれぞれ得て、補正するための定数をそれぞれ決定するキャリブレーションデータを作成している。例えば、光ダイオード９２ａからの電気信号の値がＸＣであるならば、光ダイオード９２ａの定数をＸＣとし、光ダイオード９２ｂからの電気信号の値がＹＣであるならば、光ダイオード９２ｂの定数をＹＣとする。これにより、被検査物７の検査時、Ｘ線透過像データとして、光ダイオード９２ａからの電気信号の値がＸ’であるならば、値（（LEBEL ×Ｘ’）／ＸＣ）を、光ダイオード９２ｂからの電気信号の値がＹ’であるならば、値（（LEBEL ×Ｙ’） ／ＹＣ）を用いている。なお、「ＬＥＢＥＬ＝Ｘ線照射時、Ｘ線発生器とセンサの間に検査物がない時のＸ線透過像データとしたいレベル」である。
特開２００６−２７５８５３号公報

しかしながら、搬送ベルト５ｂが、図５に示すような、樹脂層９５と帆布９８とが積層されたものであるときに、帆布９８は縦糸９７と横糸９６とにより形成されている。ここで、近年のＸ線検出器は、分解能を決定する光ダイオードの微細化に伴い、検出強度が向上し、糸の直径レベルでの分解能が得られるようになった。よって、搬送ベルト５ｂを移動させない状態で、各光ダイオードからの電気信号を得ると、糸が存在する箇所に対応する光ダイオードと糸が存在しない箇所に対応する光ダイオードとの２種類の状態が存在することになるが、キャリブレーションデータとして、上述したように定数をそれぞれ決定していた。そのため、キャリブレーションデータの作成時に、糸が存在する箇所に対応していた光ダイオードが、被検査物７の検査時に、糸が存在しない箇所に対応したとき、被検査物７中に異物が存在していても、Ｘ線透過画像に異物が表れていないように見えることがあった。一方、キャリブレーションデータの作成時に、糸が存在しない箇所に対応していた光ダイオードが、被検査物７の検査時に、糸が存在する箇所に対応したとき、被検査物７中に異物が存在しなくていても、Ｘ線透過画像に異物が表れているように見えることがあった。

また、搬送ベルトの材質がゴムであるときにも、場所によって密度差は存在するので、上述したような問題があることがあった。
さらに、汚れやすい所で搬送ベルトを用いる場合にも、搬送ベルトに汚れが付着している箇所が存在するので、上述したような問題があることがあった。

そこで、本発明は、被検査物を移動させながら行う検査において、被検査物中の異物を正確に検出することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線を照射するＸ線源と、前記Ｘ線源と対向配置され、前記Ｘ線を検出して検出信号を出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間で、前記被検査物を載置し移動させるための被検査物載置部と、前記Ｘ線検出器のキャリブレーションデータを作成して記憶させるキャリブレーションデータ作成部と、前記キャリブレーションデータに基づいて、前記被検査物のＸ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部とを備えるＸ線検査装置であって、前記被検査物載置部は、帆布を有する搬送ベルト又はカーボン繊維を有するカーボン板を備えるベルトコンベアであり、前記キャリブレーションデータ作成部は、前記被検査物の検査時の移動速度より遅い移動速度で前記被検査物載置部を駆動しながら取得した複数の検出信号に基づいて、前記キャリブレーションデータを作成するようにしている。

本発明のＸ線検査装置によれば、キャリブレーションデータ作成部が、被検査物載置部を一定の時間駆動したときに取得した検出信号に基づいて、キャリブレーションデータを作成するので、例えば、被検査物載置部が縦糸と横糸とにより構成されていても、キャリブレーションデータの作成時に、Ｘ線検出器は、糸が存在する箇所と糸が存在しない箇所とに対応する両方の検出信号の値を検出することができる。これにより、例えば、Ｘ線検出器により一定の時間で取得した検出信号の値の平均値を算出して、その平均値から補正するための定数を決定するキャリブレーションデータを作成することができる。よって、平均値を算出するので、糸が存在する箇所に対応する検出信号の値と糸が存在しない箇所に対応する検出信号の値との差が大きくなることもなく、被検査物を移動させながら検査を行っても、被検査物中の異物を正確に検出することができる。
また、被検査物載置部に汚れが付着しても、キャリブレーションデータの作成時に、Ｘ線検出器により一定の時間で取得した検出信号の値の平均値を算出して、その平均値から補正するための定数を決定するキャリブレーションデータを作成することができる。よって、平均値を算出するので、汚れが付着する箇所に対応する検出信号の値のみを基準とすることもなく、被検査物を移動させながら検査を行っても、被検査物中の異物を正確に検出することができる。

（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線を照射するＸ線源と、前記Ｘ線源と対向配置され、前記Ｘ線を検出して検出信号を出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間で、前記被検査物を載置し移動させるための被検査物載置部と、前記Ｘ線検出器のキャリブレーションデータを作成して記憶させるキャリブレーションデータ作成部と、前記キャリブレーションデータに基づいて、前記被検査物のＸ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部とを備えるＸ線検査装置であって、前記被検査物載置部は、帆布を有する搬送ベルト又はカーボン繊維を有するカーボン板を備えるベルトコンベアであり、前記キャリブレーションデータ作成部は、前記被検査物の検査時の移動速度と異なる移動速度１〜３ｍ／ｍｉｎで前記被検査物載置部を駆動しながら取得した複数の検出信号に基づいて、前記キャリブレーションデータを作成するようにしている。
また、本発明のＸ線検査装置においては、前記キャリブレーションデータは、取得した検出信号の値を、平均することにより算出されるものであるようにしてもよい。

そして、本発明のＸ線検査装置においては、前記Ｘ線検出器は、多数のＸ線検出素子を直線状に配置してなるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、例えば、被検査物載置部が縦糸と横糸とにより構成されていても、キャリブレーションデータの作成時に、各Ｘ線検出素子は、糸が存在する箇所と糸が存在しない箇所とに対応する両方の検出信号の値を検出することができる。これにより、例えば、各Ｘ線検出素子により一定の時間で取得した検出信号の値の平均値を算出して、各平均値から補正するための定数をそれぞれ決定するキャリブレーションデータを作成することができる。よって、各Ｘ線検出素子について、それぞれの平均値を算出するので、糸が存在する箇所に対応する検出信号の値と糸が存在しない箇所に対応する検出信号の値との差が大きくなることもなく、全てのＸ線検出素子が、被検査物を移動させながら検査を行っても、被検査物中の異物を正確に検出することができる。

さらに、本発明のＸ線検査装置においては、前記キャリブレーションデータ作成部は、前記被検査物載置部を任意の移動速度で駆動したときに取得した検出信号に基づいて、前記キャリブレーションデータを作成するようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、例えば、被検査物載置部が縦糸と横糸とにより構成されている場合に、キャリブレーションデータの作成時に、Ｘ線検出器が、糸が存在する箇所と糸が存在しない箇所とに対応する両方の検出信号の値のみを検出すればいいので、被検査物載置部を糸のピッチ（短い距離）移動させるように、被検査物載置部の移動速度を遅くしてもよい。一方、被検査物載置部を長い距離移動させるために、被検査物載置部の移動速度を速くしてもよい。

また、本発明のＸ線検査装置においては、前記被検査物載置部は、カーボン繊維を有するカーボン板を備えるステージであるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、キャリブレーションデータ作成部が、被検査物載置部を一定の時間駆動したときに取得した検出信号に基づいて、キャリブレーションデータを作成するので、例えば、被検査物載置部がカーボン繊維を有するカーボン板を備えるステージであっても、Ｘ線検出器は、キャリブレーションデータの作成時に、カーボン繊維が存在する箇所とカーボン繊維が存在しない箇所とに対応する両方の検出信号の値を検出することができる。これにより、例えば、Ｘ線検出器により一定の時間で取得した検出信号の値の平均値を算出して、その平均値から補正するための定数を決定するキャリブレーションデータを作成することができる。よって、平均値を算出するので、カーボン繊維が存在する箇所に対応する検出信号の値とカーボン繊維が存在しない箇所に対応する検出信号の値との差が大きくなることもなく、被検査物を移動させながら検査を行っても、被検査物中を正確に検出することができる。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。

図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の外観を示す斜視図であり、図２は、Ｘ線検査装置の一部の構成を示すブロック図である。Ｘ線検査装置８０は、本体７０と、入口ベルトコンベア６０と、出口ベルトコンベア５０と、Ｘ線検査装置８０全体の制御を行う制御系（コンピュータ）２０とにより構成される。
入口ベルトコンベア６０は、本体７０の入口部に設けられるとともに、出口ベルトコンベア５０は、本体７０の出口部６ｂに設けられる。

本体７０は、入口部６ａと出口部とを有する箱形の防護箱６と、Ｘ線を発生するＸ線管１と、Ｘ線管１からのＸ線を検出するＸ線検出器３と、Ｘ線管１とＸ線検出器３との間を被検査物７が通過するように被検査物７を搬送するためのベルトコンベア５と、ベルトコンベア５を駆動する駆動機構（図示せず）とを備える。

防護箱６は、全体の構造を支えるフレームであり、入口部から被検査物７を入れるとともに、出口部６ｂから被検査物７を出すものである。また、防護箱６の内部から有害な量のＸ線が防護箱６の外部に漏洩しないように、放射線防護材料を用いて形成されている。さらに、入口部と出口部６ｂとには、防護箱６の内部から有害な量のＸ線が防護箱６の外部に漏洩しないように、防護のれん８が下げられている。

ベルトコンベア５は、２個のローラ５ａと、２個のローラ５ａ間に掛け回された搬送ベルト５ｂとを有する。そして、上側になっている搬送ベルト５ｂの上面に、被検査物７は載置されることになる。よって、駆動機構でいずれかのローラ５ａが駆動することにより、搬送ベルト５ｂが循環して移動して、被検査物７が、入口部から出口部６ｂに移動することになる。
搬送ベルト５ｂは、図５に示すように、ポリウレタン樹脂層９５と帆布９８とが積層されたものである。さらに、帆布９８は、ポリエステル繊維からなる縦糸９７と、ポリエステル繊維からなる横糸９６とにより形成されている。

駆動機構は、例えば、回転駆動用モータを有する。なお、駆動機構の制御は、コンピュータ２０の駆動信号発生部３６から出力された駆動信号が与えられることによって実行される。

Ｘ線管１は、防護箱６の上部に配置され、防護箱６の下部に配置されるＸ線検出器３に向けてＸ線を照射するものである。このとき、発生させたＸ線を、スリット等からなるコリメータ（図示せず）を用いて、ベルトコンベア５が移動させる被検査物７の移動方向と直交するように、扇状に広がるＸ線ビームとして形成する。

Ｘ線検出器３は、Ｘ線を光に変換する蛍光体９１と光ダイオード列９２と支持体９３とからなる（図３及び図４参照）。また、Ｘ線検出器３は、上側になっている搬送ベルト５ｂの下方に配置されるとともに、下側になっている搬送ベルト５ｂの上方に配置されるように、上側になっている搬送ベルト５ｂのすぐ下方に配置される。光ダイオード列９２は、１画素（１チャンネル）を構成する光ダイオード（９２ａ、９２ｂ、・・）を多数個（例えば、２５６個）直線状に並べてなるものであって、蛍光体９１からの光を電気信号（検出信号）に変換するものである。この電気信号が、コンピュータ２０に出力される。
このとき、Ｘ線検出器３は、Ｘ線管からの扇状に広がるＸ線ビームを検出できるように、ベルトコンベア５が移動させる被検査物７の移動方向と直交するように配置されている。

コンピュータ２０においては、ＣＰＵ２１を備え、さらに、キャリブレーションデータ等を記憶するメモリ２５と、モニタ画面２３ａ等を有する表示装置２３と、入力装置であるキーボード２２ａやマウス２２ｂとが連結されている。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線透過像データ作成部３１と、検出信号収得部３２と、Ｘ線透過像データ表示部３３と、駆動信号発生部３６と、キャリブレーションデータ作成部３８とを有する。また、メモリ２５は、キャリブレーションデータ記憶領域４１と、検出信号記憶領域４２とを有する。

駆動信号発生部３６は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの種々の操作によって出力されるキャリブレーション信号又は検査信号を受信することによって、ベルトコンベア５を設定速度で駆動する駆動信号を駆動機構に出力する制御を行うものである。例えば、被検査物７の検査時に、キーボード２２ａやマウス２２ｂの種々の操作によって検出信号を出力することにより、ベルトコンベア５を移動速度１０〜６０ｍ／ｍｉｎで駆動させ、一方、キャリブレーションデータの作成時に、キーボード２２ａやマウス２２ｂの種々の操作によってキャリブレーション信号を出力することにより、ベルトコンベア５を移動速度１〜３ｍ／ｍｉｎで駆動させることができる。

検出信号収得部３２は、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号を収得して、収得した時間とともに検出信号記憶領域４２に記憶させる制御を行うものである。例えば、時間ｔ１のときに、光ダイオード９２ａからのデジタル信号の値Ｘ１を記憶させ、光ダイオード９２ｂからのデジタル信号の値Ｙ１を記憶させるように、各光ダイオードからのデジタル信号の値をそれぞれ記憶させ、時間ｔ２のときにも、光ダイオード９２ａからのデジタル信号の値Ｘ２を記憶させ、光ダイオード９２ｂからのデジタル信号の値Ｙ２を記憶させるように、各光ダイオードからのデジタル信号の値をそれぞれ記憶させる。

キャリブレーションデータ作成部３８は、キャリブレーション信号を受信することによって、検出信号記憶領域４２に記憶されたデジタル信号に基づいて、Ｘ線検出器３のキャリブレーションデータを作成して、キャリブレーションデータ記憶領域４１に記憶させる制御を行うものである。
ここで、Ｘ線検出器３のキャリブレーションデータを作成する方法の一例について説明する。
まず、キーボード２２ａやマウス２２ｂの種々の操作によって出力されるキャリブレーション信号を受信することによって、駆動信号発生部３６は、一定の時間、ベルトコンベア５を設定速度で駆動する駆動信号を出力する。このとき、検出信号収得部３２は、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号を収得して、収得した時間とともに検出信号記憶領域４２に記憶させることを、一定の時間の間、繰り返す。

その一定の時間の後に、キャリブレーションデータ作成部３８は、時間ｔ１のときに記憶された光ダイオード９２ａからのデジタル信号の値Ｘ１、時間ｔ２のときに記憶された光ダイオード９２ａからのデジタル信号の値Ｘ２、・・・、時間ｔｎのときに記憶された光ダイオード９２ａからのデジタル信号の値Ｘｎに基づいて、下記の式（１）によりＸＣ（光ダイオード９２ａのキャリブレーションデータ）を算出して、キャリブレーションデータ記憶領域４１に記憶させる。同様に、時間ｔ１のときに記憶された光ダイオード９２ｂからのデジタル信号の値Ｙ１、時間ｔ２のときに記憶された光ダイオード９２ｂからのデジタル信号の値Ｙ２、・・・、時間ｔｎのときに記憶された光ダイオード９２ｂからのデジタル信号の値Ｙｎに基づいて、下記の式（２）によりＹＣ（光ダイオード９２ｂのキャリブレーションデータ）を算出して、キャリブレーションデータ記憶領域４１に記憶させる。このように、検出信号記憶領域４２に記憶されたデジタル信号に基づいて、各光ダイオードのキャリブレーションデータをそれぞれ作成して、キャリブレーションデータ記憶領域４１に記憶させる。
ＸＣ＝（Ｘ１＋Ｘ２＋・・・＋Ｘｎ）／ｎ・・・（１）
ＹＣ＝（Ｙ１＋Ｙ２＋・・・＋Ｙｎ）／ｎ・・・（２）
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Ｘ線透過像データ作成部３１は、キャリブレーションデータに基づいて、被検査物７のＸ線透過像データを作成する制御を行うものである。
ここで、被検査物７のＸ線透過像データを作成する方法の一例について説明する。
まず、ベルトコンベア５に被検査物７を載置する。次に、キーボード２２ａやマウス２２ｂの種々の操作によって出力される検査信号を受信することによって、駆動信号発生部３６は、ベルトコンベア５を設定速度で駆動する駆動信号を出力する。
このとき、検出信号収得部３２は、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号を収得して、収得した時間とともに検出信号記憶領域４２に記憶させる。
さらに、Ｘ線透過像データ作成部３１は、時間ｔ１のときに記憶された光ダイオード９２ａからのデジタル信号の値Ｘ１’、光ダイオード９２ｂからのデジタル信号の値Ｙ１’、・・・等に基づいて、下記の式（３）、（４）等によりＸ線透過像データ（Ｘ、Ｙ、・・・等）を作成する。
Ｘ＝（LEBEL × Ｘ１’）／ＸＣ・・・（３）
Ｙ＝（LEBEL × Ｙ１’）／ＹＣ・・・（４）
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ＬＥＢＥＬ＝Ｘ線照射時、Ｘ線発生器とセンサの間に検査物がない時のＸ線透過像データと したいレベル。

Ｘ線透過像データ表示部３３は、Ｘ線透過像データに基づいて、モニタ画面２３ａにＸ線透過画像の画像表示を行う制御を行うものである。Ｘ線透過像データは、ある瞬間の一次元的なものであるので、Ｘ線透過像データを時間軸に沿って並べると、被検査物７の二次元的なＸ線透視画像が得られる。このとき、被検査物７中に異物が存在し、その異物のＸ線吸収率が被検査物７自体のＸ線吸収率と異なれば、Ｘ線透過画像に異物が陰として表れることになる。

以上のように、Ｘ線検査装置８０によれば、キャリブレーションデータ作成部３８が、ベルトコンベア５を一定の時間駆動したときに取得した検出信号に基づいて、キャリブレーションデータを作成するので、キャリブレーションデータの作成時に、各光ダイオードは、糸が存在する箇所と糸が存在しない箇所とに対応する両方の検出信号の値を検出することができる。これにより、各光ダイオードにより一定の時間で取得した検出信号の値の平均値を算出して、各平均値から補正するための定数をそれぞれ決定するキャリブレーションデータを作成することができる。よって、各光ダイオードについて、それぞれの平均値を算出するので、糸が存在する箇所に対応する検出信号の値と糸が存在しない箇所に対応する検出信号の値との差が大きくなることもなく、全ての光ダイオードが、被検査物７を移動させながら検査を行っても、被検査物７中の異物を正確に検出することができる。

（他の実施形態）
（１）上述したＸ線検査装置８０において、モニタ画面２３ａにＸ線透過画像の画像表示を行う構成としたが、Ｘ線透過像データの閾値を記憶させ、算出されたＸ線透過像データがＸ線透過像データの閾値を超えたときには、警告音を出力するような構成としてもよい。
（２）上述したＸ線検査装置８０において、被検査物載置部として、ベルトコンベアを用い、Ｘ線検出器として、多数のＸ線検出素子を直線状に配置してなるものを用いる構成としたが、被検査物載置部として、カーボン繊維を有するカーボン板を備えるステージを用い、Ｘ線検出器として、イメージインテンシファイアと当該イメージインテンシファイアの裏面に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとを有するような構成としてもよい。

本発明は、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物に対し、Ｘ線を照射したときのＸ線の透過量から被検査物中の異物を検出するＸ線検査装置に利用することができる。

本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の外観を示す斜視図である。 Ｘ線検査装置の一部の構成を示すブロック図である。 Ｘ線検出器の平面図である。 図３に示すＡ−Ａ線の断面図である。 搬送ベルトの構造を示す断面図である。 従来のＸ線検査装置の一部の構成を示す図である。

符号の説明

１： Ｘ線源
３： Ｘ線検出器
５： 被検査物載置部
７： 被検査物
２０： 制御系（コンピュータ）
２２： 入力装置
２３： 表示装置
２５： メモリ
３１： キャリブレーションデータ作成部
３３： Ｘ線透過像データ作成部
８０： Ｘ線検査装置

Claims (4)

1. Ｘ線を照射するＸ線源と、
   前記Ｘ線源と対向配置され、前記Ｘ線を検出して検出信号を出力するＸ線検出器と、
   前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間で、前記被検査物を載置し移動させるための被検査物載置部と、
   前記Ｘ線検出器のキャリブレーションデータを作成して記憶させるキャリブレーションデータ作成部と、
   前記キャリブレーションデータに基づいて、前記被検査物のＸ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部とを備えるＸ線検査装置であって、
   前記被検査物載置部は、帆布を有する搬送ベルト又はカーボン繊維を有するカーボン板を備えるベルトコンベアであり、
   前記キャリブレーションデータ作成部は、前記被検査物の検査時の移動速度より遅い移動速度で前記被検査物載置部を駆動しながら取得した複数の検出信号に基づいて、前記キャリブレーションデータを作成することを特徴とするＸ線検査装置。
2. Ｘ線を照射するＸ線源と、
   前記Ｘ線源と対向配置され、前記Ｘ線を検出して検出信号を出力するＸ線検出器と、
   前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間で、前記被検査物を載置し移動させるための被検査物載置部と、
   前記Ｘ線検出器のキャリブレーションデータを作成して記憶させるキャリブレーションデータ作成部と、
   前記キャリブレーションデータに基づいて、前記被検査物のＸ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部とを備えるＸ線検査装置であって、
   前記被検査物載置部は、帆布を有する搬送ベルト又はカーボン繊維を有するカーボン板を備えるベルトコンベアであり、
   前記キャリブレーションデータ作成部は、前記被検査物の検査時の移動速度と異なる移動速度１〜３ｍ／ｍｉｎで前記被検査物載置部を駆動しながら取得した複数の検出信号に基づいて、前記キャリブレーションデータを作成することを特徴とするＸ線検査装置。
3. 前記キャリブレーションデータは、取得した検出信号の値を、平均することにより算出されるものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記Ｘ線検出器は、多数のＸ線検出素子を直線状に配置してなることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

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