JP4897616B2 - プラズマ加工装置及びプラズマ加工方法 - Google Patents
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Description
前記被加工物を切断するためのプラズマが発生するように前記第1スライス電極と前記第2スライス電極との間に所定の電位差を生じさせる工程とを備えている。
図1は、本発明の第1実施形態によるプラズマ加工装置の概略図である。まず、図1を参照して、本発明の第1実施形態によるプラズマ加工装置の構成について説明する。
図2は、本発明の第2実施形態によるプラズマ加工装置の概略図である。次に、図2を参照して、本発明の第2実施形態によるプラズマ加工装置の構成について説明する。
図3は、本発明の第3実施形態によるプラズマ加工装置の概略図である。次に、図3を参照して、本発明の第3実施形態によるプラズマ加工装置の構成について説明する。
図4は、本発明の第4実施形態によるプラズマ加工装置の概略図である。次に、図4を参照して、本発明の第4実施形態によるプラズマ加工装置の構成について説明する。
6、26 第2スライス電極
8 電圧印加部
10 被加工物側電極
12 直流電源
18 電源(電圧印加部)
21 絶縁膜(絶縁材)
100 シリコンインゴット(被加工物)
101 被加工物
Claims (10)
- 被加工物をプラズマエッチングにより切断するプラズマ加工装置であって、
前記被加工物を切断するための第1スライス電極と、
前記第1スライス電極に対して間隔をおいて配置され、前記被加工物を切断するための第2スライス電極と、
前記第1スライス電極と前記第2スライス電極が前記被加工物に対してその被加工物の切断方向に対向するように配置されたときに当該被加工物を切断するためのプラズマが発生するように前記第1スライス電極と前記第2スライス電極との間に所定の電位差を生じさせる電圧印加部とを備えた、プラズマ加工装置。 - 前記電圧印加部は、前記第1スライス電極と前記第2スライス電極に符号が逆で等しい大きさの電圧をそれぞれ印加する、請求項1に記載のプラズマ加工装置。
- 前記第1スライス電極と前記第2スライス電極は、前記第1スライス電極と前記被加工物の間及び前記第2スライス電極と前記被加工物の間にそれぞれプラズマが発生するように前記被加工物に対して配置される、請求項1または2に記載のプラズマ加工装置。
- 前記第1スライス電極と前記第2スライス電極は、互いの間にプラズマを発生可能な間隔で隣接して配置される、請求項1または2に記載のプラズマ加工装置。
- 前記第1スライス電極と前記第2スライス電極は、互いの対向する側面間に絶縁材を挟んで配置される、請求項4に記載のプラズマ加工装置。
- 前記第1スライス電極と前記第2スライス電極は、前記被加工物の切断方向と直交する方向に間隔をあけて複数配置される、請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマ加工装置。
- 前記第1スライス電極と前記第2スライス電極は、前記被加工物の切断方向と直交する方向に交互に配置される、請求項6に記載のプラズマ加工装置。
- 前記電圧印加部は、断続的にプラズマを発生させる電圧を前記第1スライス電極と前記第2スライス電極にそれぞれ印加する、請求項1〜7のいずれか1項に記載のプラズマ加工装置。
- 前記被加工物に電気的に接続される被加工物側電極と、
この被加工物側電極を通じて前記被加工物に前記第1スライス電極と前記第2スライス電極に印加される電圧のピーク値よりも小さい直流電圧を印加する直流電源とを備える、請求項8に記載のプラズマ加工装置。 - 請求項1に記載のプラズマ加工装置を用いて被加工物をプラズマエッチングにより切断するプラズマ加工方法であって、
前記第1スライス電極と前記第2スライス電極を間隔をおいて配置するとともに、前記第1スライス電極と前記第2スライス電極を前記被加工物に対してその被加工物の切断方向に対向するように配置する工程と、
前記被加工物を切断するためのプラズマが発生するように前記第1スライス電極と前記第2スライス電極との間に所定の電位差を生じさせる工程とを備えた、プラズマ加工方法。
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