JP4884249B2 - 基板用マスキングテープ - Google Patents

Description

本発明は基板用マスキングテープに関し、より詳細には有機ＥＬ用基板、液晶用基板、有機薄膜太陽電池用基板、プラズマディスプレイ用基板、半導体ウエハ、光ディスク用基板等の各種基板に有機ＥＬ材料、導電性材料、フォトレジスト等の流動性材料を塗布して薄膜を形成する際に使用される基板用マスキングテープに関する。

有機エレクトロルミネッセントディスプレイ（ＯＥＬＤ）は、自発光による高い輝度、広視野角、高速応答性等により視認性に優れ、薄型、軽量、低消費電力、及び低コストが可能であることから次世代ディスプレーとして最有力視されている。有機ＥＬＤは、一般に、ガラス基板上に、アノード（透明電極）、ＨＴＬ（正孔輸送層）、ＥＭＬ（発光層）、ＥＴＬ（電子輸送層）及びカソードが順次積層された構造を有しており、各層の形成には薄膜形成技術が適用され、かかる薄膜形成技術として、例えば、インクジェット法が知られている。

インクジェット法は、例えば、発光ポリマー（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を含む塗布液をノズルからＯＮ／ＯＦＦにより自在に吐出し、基板上に画素ごとに塗り分ける方法であるが、液滴サイズがばらつきやすく、使用できる塗布液の固形成分比や粘度に制約があり、更に液滴そのものが途切れたりするといった問題がある。加えて、ノズル先端の乾燥による目詰まりを起こしやすく、メンテナンス性にも問題がある。

そこで、近年、ノズルから連続的に塗布液を吐出して薄膜を形成するノズル塗布法が注目されている。ノズル塗布法は、ボトルに充填された塗布液をセクションポンプで吸い上げてフィルタリングした後、吐出ノズルへ送り、ノズルから液柱を形成しつつ基板に連続的に吐出するため、インクジェット法における上記の問題がなく、塗布液を常にほぼ同じ流量で吐出できるという利点がある（特許文献１）。

しかしながら、塗布液を基板に連続的にノズルで塗布する方法では、塗布液の吐出制御の応答性は高くないことから、塗布液の吐出をオンオフ制御することが困難である。従って、基板上でノズルをスキャンさせている間に塗布液の吐出をオンオフして制御することは難しいので、スキャン中に塗布の必要な領域のみを選択して塗布液を塗布することはできない。そのため、ノズル塗布を行う場合には、基板における塗布が不要な領域にも塗布液を塗布した後で、塗布が不要な領域に塗布された塗布液を除去しなければならない。例えば、基板の四隅の四方の端部は塗布不要領域となる。ノズル塗布を行う場合において、基板の塗布不要領域から塗布液を除去する方法としては、塗布不要領域をマスキングテープやマスキング部材によってマスクする方法がある。また、ノズル塗布法で、１枚の基板から複数枚の表示用パネルを作製する場合、隣接する表示用パネルと表示用パネルの間にも塗布液を吐出しているため、隣接する表示用パネル間を塗り分けることができない。

本発明者らは、ノズル塗布法により流動性材料をガラス基板に吐出して、塗布不要領域に従来公知のマスキングテープを貼付して、隣接する表示パネル間に塗布液が塗布されないようにする対策を行ったところ、個々の表示パネル内（薄膜を形成すべき領域）に形成される塗布液による薄膜の厚みがマスキングテープの側部（側面近傍）で、塗布形状の不所望な広がりにより厚くなるという問題に遭遇した。このような流動性材料の塗布形状の不所望な広がりによる薄膜の不所望な厚みの増大が生じると、その後に、例えば、表示パネル内（薄膜を形成すべき領域）の両端に陰極用材料を蒸着した場合、陰極が前記流動性材料による薄膜の塗布形状が広がった部分において断線したり、蒸着形成された陰極によって外部からの水分や酸素を遮断することができないというような不具合が懸念される。
特開２００４−８９７７１号公報

上記事情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、基板上の塗布不要領域をマスキングテープでマスクして流動性材料からなる塗布液を塗布して薄膜を形成する際に、テープ周囲の薄膜（塗膜）に不所望な厚みの増大が生じるのを防止し得るマスキングテープを提供することである。

本発明者らは、上記課題を解決するために、従来公知のマスキングテープを使用した場合の、テープ周囲の流動性材料からなる薄膜（塗膜）に生じる不所望な厚みの増大の原因について調査したところ、ノズル塗布法で流動性材料を吐出して薄膜を形成すると、以下の現象が生じていることがわかった。
［１］マスキングテープの側面に付着した流動性材料がメニスカスを形成すること。
［２］マスキングテープの背面に塗布された流動性材料がマスキングテープの側部の薄膜形成面に脱落すること。
そこで、本発明者らは、かかる知見に基づいて、マスキングテープと薄膜形成材料（流動性材料）との濡れ性を改善する観点から研究を進めた結果、テープ背面（基材の粘着層非形成面）及びテープ側面（粘着層の側面）における水の接触角がそれぞれ特定範囲であると、上記［１］が抑制され、かつ、上記［２］が解消されて、テープ周囲での流動性材料による薄膜（塗膜）における不所望な厚みの増大を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、
（１）基材の一方の面に粘着層を有する基板用マスキングテープであって、
基材の他方の面における水の接触角が６５°未満であり、
粘着層の側面における水の接触角が１００°未満である、
基板用マスキングテープ、
（２）粘着層の被着面にセパレータを有する、上記（１）記載のマスキングテープ、
（３）基材がポリエステル系フィルムからなる、上記（１）又は（２）記載のマスキングテープ、
（４）基材の他方の面に表面処理層を有する、上記（１）〜（３）のいずれか一つに記載のマスキングテープ、
（５）粘着層の側面に表面処理層を有する、上記（１）〜（４）のいずれか一つに記載のマスキングテープ、
（６）表面処理層が光触媒を塗布したものである、上記（５）記載のマスキングテープ、
（７）基板がガラス基板である、上記（１）〜（６）のいずれか一つに記載のマスキングテープ、
（８）基板が有機ＥＬ用基板である、上記（１）〜（７）のいずれか一つに記載のマスキングテープ、及び
（９）ノズルから基板に向けて流動性材料を塗布する塗布法による薄膜形成時に用いる、上記（１）〜（８）のいずれか一つに記載のマスキングテープ、に関する。

本発明において、「流動性材料」とは、液体、半液体、ペ−スト、溶融物、溶液、分散液又は懸濁液等の形態の材料であり、ノズルによる連続塗布によって基板上への薄膜形成が可能な材料のことを意味する。

本発明の基板用マスキングテープは、その背面（基材の粘着層非形成面）及び粘着層の側面の水の接触角がそれぞれ特定の範囲となる、特定の濡れ性を示すことから、これを基板上の塗布不要領域（薄膜を形成すべきでない領域）に貼付して、流動性材料を塗布して薄膜形成をすると、テープの側部（側面近傍）に形成される流動性材料のメニスカスの高さを小さくでき、また、テープ背面に塗布された流動性材料のテープの側部への脱落が抑制されて、基板上（非マスク領域）に薄膜を不所望な厚みの増大を生じることなく安定に形成することが可能になる。従って、例えば、本発明の基板用マスキングテープを有機ＥＬ用基板に貼付して、該基板上に、複数の、薄膜を形成すべき領域（表示パネル領域）を区画し、ノズル塗布法で各機能層となる薄膜形成を順次行って、１枚の基板から複数枚の表示パネル（有機ＥＬＤ）を製造するにおいても、陰極の断線による導電不良や、陰極における外部からの水分や酸素の遮断不良等の不具合が発生するのを確実に防止することができ、その結果、生産効率が高められ、生産コストを大幅に削減することができる。

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図示の便宜上、図面の寸法比率は説明のものと必ずしも一致しない。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る基板用マスキングテープの斜視図であり、図２（ａ）は第１実施形態に係る基板用マスキングテープの、Ｉ−Ｉ線に沿ってとられた断面図である。
本発明の基板用マスキングテープは、当該第１実施形態に係る基板用マスキングテープ１０に示されるように、基材１と、該基材１の一方の面に形成された粘着層３とを備えるものである。粘着層３はそれ自体が粘着性を有しており、後述する粘着剤から構成されている。そして、基材１の他方の面Ａ、すなわち該マスキングテープ１０の背面における水の接触角が６５°未満であり、かつ、粘着層の側面Ｂにおける水の接触角が１００°未満であることを特徴とする。
以下、基板用マスキングテープの各構成要素について詳細に説明するが、基板用マスキングテープを単にマスキングテープという。

（基材）
基材１としては、基材の他方の面における水の接触角が６５°未満（好ましくは６０°未満、より好ましくは５０°未満）となるものであれば特に限定なく使用することができる。かかる接触角が６５°以上であると、薄膜形成時において、マスキングテープ背面における濡れ性が不十分となり、マスキングテープ背面から流動性材料が脱落しやすくなり、流動性材料がテープ側部に脱落した場合は、薄膜の不所望な厚みの増大の原因となる。また、パーティクル、スプラッタ、コンタミ等の汚染の原因ともなる。
なお、基材の他方の面における水の接触角の下限は特に限定されないが、５°以上が好ましく、１０°以上がより好ましい。
本明細書において、「水の接触角」とは、内径０．４ｍｍのステンレス製の針を装着したガラス製注射器で３μｇの蒸留水を被験面に付着し、付着後２０秒以内に、２３℃×５０％ＲＨ下で接触角計（商品名：ＣＡ−Ｘ型、協和界面科学（株）製）を用いてθ／２法により測定されるものをいう。そして、本発明においては、上述のように水の接触角を測定したときに６５°未満となる基材を選択して使用する。

基材としては、例えば、プラスチックフィルムが好適に使用され、具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系フィルム；ナイロン等のポリアミド系フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリイミドフィルム等が挙げられる。中でも、耐溶剤性、耐水性等の観点から、ポリエステル系フィルムが好ましい。特にポリエステル系フィルムは、水の接触角が上記範囲のものを得やすくなる。また、耐熱性の観点からは、ポリイミドフィルムが好ましい。すなわち、基材にポリイミドフィルムを使用した場合、例えば、基板にマスキングテープを貼付したまま基板を例えば２５０℃程度の温度で熱処理（ベーク）することができ、好ましい。なお、これらのプラスチックフィルムは、無延伸フィルム及び延伸（一軸延伸又は二軸延伸）フィルムのいずれであってもよい。また、これらのプラスチックフィルムは、特別な表面処理をすることなく、素材（プラスチック）の特性によってフィルム表面の水の接触角が６５°未満となるものはそのまま用いることができるが、そうでないものは、表面の水の接触角が６５°未満となるように、基材の他方の面となるフィルムの面を親水化する表面処理を行う（表面処理層を設ける）。また、素材（プラスチック）の特性によってフィルム表面の水の接触角が６５°未満となるものであっても、表面処理をして、水の接触角がさらに小さくなるようにしてもよい。かかる親水化のための表面処理としては、帯電防止処理、プラズマ処理、コロナ処理、易接着処理等が挙げられる。

上記の帯電防止処理、コロナ処理及び易接着処理は、当該技術分野において公知の方法を適用することができるが、帯電防止処理としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリエステル、アクリル系ポリマー、ポリウレタン等をバインダーに使用した界面活性剤を塗布する処理、金属酸化物やＩＴＯ（スズドープ酸化インジウム）等を蒸着する等して行う金属酸化物薄膜の形成処理等が挙げられ、易接着処理としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリエステル、アクリル系ポリマー、ポリウレタン等を塗布する処理等が挙げられる。

なお、水の接触角が６５°未満となる面を有する基材としては、例えば、Ｔ１００Ｎ３８、Ｔ１００Ｃ３８（以上、商品名、三菱化学ポリエステル（株）製）として商業的に入手可能である。

また、基材の一方の面（粘着層被形成面）は、粘着層との接着性の向上等を意図して表面処理してもよい。表面処理としては、コロナ処理、易接着処理、帯電防止処理等が挙げられる。なお、かかるコロナ処理、易接着処理及び帯電防止処理は、当該技術分野において公知の方法を適用することができる。基材の厚さは、通常１０〜３００μｍであり、柔軟性等の観点から、好ましくは２０〜１００μｍ、より好ましくは２５〜５０μｍである。

（粘着層）
粘着層の形成に用いられる粘着剤としては、粘着層を形成した際に再剥離可能であって、粘着層側面における水の接触角が１００°未満（好ましくは９０°未満、より好ましくは８０°未満）となることの可能な粘着剤を選択する。かかる接触角が１００°以上であると、マスキングテープ側面における薄膜形成材料との濡れ性が不十分となり、テープの側部（側面近傍）に形成される薄膜形成材料のメニスカスの高さを小さくすることができず、薄膜の厚みや塗布形状が所望の状態と異なることとなる。また、水の接触角が小さ過ぎると、例えば、塗布液をストライプ状に塗布した場合に、塗布液の隣接するパターンが繋がると、塗布液をテープ側部に引張り過ぎることから、薄膜の厚みが所望の状態とは異なる状態になってしまうというような不具合を生じやすく、かかる不具合を解消する観点から、１０°以上（好ましくは１５°以上、より好ましくは２０°以上）とすることが望ましい。

なお、粘着層の厚さが薄いために、粘着層の側面の水の接触角を直接測定することは容易ではないが、粘着層の被着面及び側面は同一材料から構成されているため、粘着層の被着面及び側面における水の接触角は同等であると推認することが可能である。従って、本発明においては、粘着層の被着面における水の接触角を、粘着層の側面における水の接触角として規定する。

かかる粘着剤としては、ポリエステル系粘着剤、アクリル系粘着剤が好適に使用される。ポリエステル系粘着剤としては、濡れ性を高めるべく、ポリカーボネートジオール、ポリカプロラクトンジオール等から選択されるジオール化合物（水酸基価が好ましくは３５〜１３０ＫＯＨｍｇ／ｇ、より好ましくは４５〜１２０ＫＯＨｍｇ／ｇであるもの）と、セバシン酸、アジピン酸、アゼライン酸及びフタル酸から選択される二塩基酸とから得られるポリエステルを含有することが好ましい。

また、炭化水素基を含有する側鎖を有し、且つ数平均分子量が５０００以上であるポリエステルも好ましく用いられる。このような場合、側鎖としての炭化水素基を含有する基の含有割合は特に制限されず、粘着性、柔軟性、耐熱性や機械的特性などの各種特性に応じて適宜選択することができる。ポリエステルは単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。

側鎖としての炭化水素基を含有する基（「炭化水素含有基」と称する場合がある）としては、炭化水素基を含有している基であれば特に制限されない。従って、炭化水素含有基としては、炭化水素基のみから構成される基であってもよく、２価の有機基を介して炭化水素基が結合している形態の炭化水素含有基（例えば、炭化水素基−オキシ基、炭化水素基−オキシカルボニル基など）であってもよい。炭化水素含有基としては、炭化水素基のみから構成されている基（すなわち、炭化水素基）を好適に用いることができる。ポリエステルは、通常、炭化水素含有基を分子中に複数有している。このような複数の炭化水素含有基としては、１種のみの基が用いられてもよく、２種以上の基が用いられていてもよい。

前記炭化水素基としては、アルキル基などの脂肪族炭化水素基、シクロアルキル基（例えば、シクロへキシル基等）などの脂環式炭化水素基、アリール基（例えば、フェニル基やナフチル基等）などの芳香族炭化水素基のいずれかであってもよいが、好ましくは脂肪族炭化水素基である。脂肪族炭化水素基としては、アルキル基を好適に用いることができる。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基などの炭素数１〜２０のアルキル基が挙げられる。

なお、炭化水素含有基の含有割合としては、ポリエステル又はその架橋構造体のガラス転移温度（Ｔｇ）が−１０℃以下、好ましくは−２０℃以下（通常−１００℃まで）になるように、及び／又は、２３℃において透明且つ液状のポリエステルが得られるように適宜選択することができる。
ポリエステルの数平均分子量の下限は、例えば５０００、好ましくは１００００、より好ましくは１１０００、さらに好ましくは１２０００、特に好ましくは２００００であり、上限は、例えば９００００、好ましくは８００００、より好ましくは７００００、さらに好ましくは６００００である。ポリエステルの数平均分子量が５０００以上であると、粘着剤としての機械的強度が低下したりリワーク性や耐熱性が低下したりしにくい。一方、９００００以下、特に８００００以下であると、粘着シートの形成が比較的容易である。また、ポリエステルの分散度（重量平均分子量／数平均分子量）の下限は、通常は０．５、好ましくは１であり、上限は、通常は２５、好ましくは１４、より好ましくは１３である。ここで、数平均分子量はＧＰＣ（ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー）により測定して得られたものをいう。

ポリエステルは、少なくとも片方の成分に炭化水素側鎖基を有するポリオール成分とポリカルボン酸成分とのエステル化反応により得られる。ポリオール成分やポリカルボン酸成分は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
炭化水素含有基を有するポリオール成分としては、例えば、ネオペンチルグリコール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、２，２−ジエチル−１，３−プロパンジオール、２−メチル−２−プロピル−１，３，プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール，２−メチル−２，４−ペンタジオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタンジオール、１，３，５−トリメチル−１，３−ペンタンジオール、２−メチル−１，６−ヘキサンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、２−メチル−１，９−ノナンジオール、ダイマージオール、２−メチル−１，４−シクロヘキサンジオール等の炭化水素含有基を有するジオール成分などが挙げられる。

炭化水素含有基を有するポリカルボン酸成分として、例えば、メチルコハク酸、エチルコハク酸、２，２−ジメチルアジピン酸、２，３−ジメチルアジピン酸、２，４−ジメチルアジピン酸、３，３−ジメチルアジピン酸、ダイマー酸、２−メチル−１，４−シクロヘキサンジカルボン酸、２−エチル−１，４−シクロヘキサンジカルボン酸等の炭化水素含有基を有するジカルボン酸成分などが挙げられる。また、炭化水素含有基を有するポリカルボン酸成分としては、これらのポリカルボン酸による酸無水物や低級アルキルエステルなどのポリカルボン酸の誘導体を用いることもできる。

なお、この際、ポリエステルの耐熱特性、粘着性等を保持可能な範囲で（例えば、ポリエステル又はその架橋構造体のガラス転移温度を−１０℃以下に調整できる範囲で）、他のポリオール成分や他のポリカルボン酸成分を用いることが重要である。

他のポリオール成分としては、例えば、エチレングリコール、１，３−プロピレングリコール、１，４−ブタジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、１，１８−オクタデカンジオール等の直鎖状の脂肪族ジオール成分や１，２−シクロヘキサンジオール、１，３−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジオールなどの脂環族ジオール成分などが挙げられる。

他のポリカルボン酸成分としては、例えば、コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、１，１２−ドデカン酸、１，１４−テトラデカン二酸等の脂肪族ジカルボン酸成分や１，２−シクロヘキサンジカルボン酸、１，３−シクロヘキサンジカルボン酸、１，４−シクロヘキサンジカルボン酸などの脂環族ジカルボン酸成分やフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ビフェニルジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸成分などが挙げられる。また、他のポリカルボン酸成分としては、これらのポリカルボン酸による酸無水物や低級アルキルエステルなどのポリカルボン酸誘導体を用いることもできる。
他のポリオール成分及び他のポリカルボン酸成分の使用量は、例えば、ポリオール成分およびポリカルボン酸成分全量に対して０〜８０重量％の範囲から選択することができる。

なお、ポリオール成分としては、容易に目的とする分子量のポリマーを得るために市販のポリエステルジオール成分、ポリエーテルジオール成分、ポリカプロラクトンジオール成分などを用いることも可能である。具体的には、ポリエステルジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタンジオール、１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、１，８−デカンジオール、オクタデカンジオール等のジオール成分と、コハク酸、メチルコハク酸、アジピン酸、ピメリック酸、アゼライン酸、セバシン酸、１，１２−ドデカン酸、１，１４−テトラデカン二酸やこれらの酸無水物又は低級アルキルエステルなどジカルボン酸成分または低級アルキルエステルなどのジカルボン酸成分とその誘導体とを、単独若しくは混合状態で脱水反応して得られるポリエステルジオールなどが挙げられ、市販品としては、例えば、３−メチル−１，５−ペンタンジオールとアジピン酸とのポリエステルジオールである商品名「クラレポリオールＰ−５１０」、「クラレポリオールＰ−１０１０」、「クラレポリオールＰ−２０１０」、「クラレポリオールＰ−３０１０」、「クラレポリオールＰ−５０１０」［以上、（株）クラレ製］などが挙げられる。

ポリエーテルジオール成分としては、例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、テトラヒドロフラン等を開環重合させたポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、およびこれらを共重合させたコポリエーテル等が挙げられ、市販品としては、例えば、プロピレングリコールにプロピレンオキサイドを付加したポリエーテルジオールである商品名「アデカポリエーテルＰ−４００」、「アデカポリエーテルＰ−１０００」、「アデカポリエーテルＰ−２０００」、「アデカポリエーテルＰ−３０００」［以上、旭電化工業（株）製］などが挙げられる。

ポリカプロラクトンジオール成分としては、例えばε−カプロラクトン、σ−バレーロラクトンなど環状エステルモノマー開環重合により得られるカプロラクトン系ポリエステルジオール等が挙げられ、市販品としては、例えば、商品名「プラクセルＬ２０５ＡＬ」、「プラクセルＬ２１２ＡＬ」、「プラクセルＬ２２０ＰＬ」、「プラクセルＬ２３０ＡＬ」［以上、ダイセル化学工業（株）製］などが挙げられる。

本発明の粘着剤組成物においては、下記式で表される構造単位を持つ脂肪族カーボネートジオール成分を好ましく用いることができる。下記ジオール成分を用いることにより、さらに耐熱性に優れた粘着剤組成物を得ることができる。下記式中、Ｒは炭素数２〜２０の直鎖状または分枝状の炭化水素基である。

このような脂肪族カーボネートジオール成分の具体例としては、プロピレンカーボネートジオール、ヘキサメチレンカーボネートジオール、３−メチルペンテンカーボネートジオール等のカーボネートジオール成分；エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，２−プロピレングレコール、１，３−プロピレングリコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、α−メチルブタンジオール、α−ジメチルブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、３−メチル１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，８−オクタンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、シクロブタン−１，３−ジ（２−エタノール）、１，４−ジヒドロキシシクロヘキサン、シクロヘキサン−１，４−ジメタノール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、１，１２−ドデカンジオール、ネオペンチルグリコール、炭素数が２〜９個（好ましくは２〜４個）のアルキレン基を含むポリオキシアルキレングリコールやポリテトラメチレンエーテルグリコール等を含む長鎖ジオール並びにそれらの誘導体等のようなジオール類とホスゲンとを重縮合反応させて得られるポリカーボネートジオール成分；上記ジオール類と炭酸ジメチル、炭酸ジエチル、炭酸ジプロピル、炭酸ジイソプロピル、炭酸ジブチル、エチルブチル炭酸、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、炭酸ジフェニル、炭酸ジベンジル等のような炭酸ジエステル類とをエステル交換縮合させて得られるポリカーボネートジオール成分；上記ジオール類を２種以上併用して得られる共重合ポリカーボネートジオール成分；上記各種ポリカーボネートジオール成分とカルボキシル基含有化合物とをエステル化反応させて得られるポリカーボネートジオール成分；上記各種ポリカーボネートジオール成分とヒドロキシル基含有化合物とをエーテル化反応させて得られるポリカーボネートジオール成分；上記各種ポリカーボネートジオール成分とエステル化合物とをエステル交換反応させて得られるポリカーボネートジオール成分；上記各種ポリカーボネートジオール成分とヒドロキシル基含有化合物とをエステル交換反応させて得られるポリカーボネートジオール成分；上記各種ポリカーボネートジオール成分とジカルボン酸化合物とを重縮合反応させて得られる変形ポリエステル系ポリカーボネートジオール成分；上記各種ポリカーボネートジオール成分とアルキレンオキサイドとを共重合させて得られる共重合ポリエーテル系ポリカーボネートジオール成分などが挙げられ、好適に用いられるカーボネートジオール成分の市販品としては、例えば、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２０５」、「ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２１０」、「ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２２０」、「ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２０５ＰＬ」、「ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２１０ＰＬ」、「ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２２０ＰＬ」（以上、ダイセル化学工業（株）製）や「ＰＭＨＣ−２０５０」、「ＰＭＨＣ−２０７０」、「ＰＮＯＣ−１０００」「ＰＮＯＣ−２０００」（以上、（株）クラレ製）などが挙げられる。

さらに、本発明の粘着剤においては、接着性と耐熱性のバランスが容易に取れる理由から、３官能以上のポリオール成分や多価カルボン酸成分を添加することもできる。
３価以上の多価アルコールとしては、グリセリン、トリメチロールプロパン、１，２，４−ブタントリオール、１，２，５−ペンタントリオール、１，２，６−ヘキサントリオール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの脂肪族多価アルコールやこれらの誘導体が挙げられる。また、３価以上の多価カルボン酸としては、１，２，４−ブタントリカルボン酸、１，２，５−ヘキサントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、ｍｅｓｏ−ブタン−１，２，３，４−テトラカルボン酸などの脂肪族多価カルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸などの芳香族多価カルボン酸などや、これらの酸無水物または低級アルキルエステルなどが挙げられる。

また、多価カルボン酸成分として通常用いられるカルボン酸には、脂肪族ジカルボン酸や芳香族多価カルボン酸が挙げられる。具体的には、コハク酸、メチルコハク酸、アジピン酸、ピメリック酸、アゼライン酸、セバシン酸、１，１２−ドデカン酸、１，１４−テトラデカン二酸、ダイマー酸などの脂肪族ジカルボン酸や、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ビフェニルジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、およびこれらの酸無水物や低級アルキルエステルなどを挙げることができる。

３価以上の多価アルコールおよび／または３価以上の多価カルボン酸の使用量は、ポリエステルの分散度（重量平均分子量／数平均分子量）が適切な値になるように、その分子量や価数により最適の使用量が選択される。通常は、脂肪族ジオールとジカルボン酸との合計量に対して、２〜３０重量％、好ましくは４〜１５重量％となる割合とするのがよい。上記３価以上の多価アルコールおよび／または３価以上の多価カルボン酸の使用量が２重量％未満となると、ポリエステルの分散度が小さくなりやすく、２０重量％を超えると、ポリエステルの分散度が大きくなりすぎ、これらの場合は、後述するような支障をきたしやすいことがある。

３価以上の多価アルコールおよび／または３価以上の多価カルボン酸を用いた場合のポリエステルは、分散度（重量平均分子量／数平均分子量）２．２以上、好ましくは２．５以上、より好ましくは２．７以上である。上限としては、好ましくは２５以下、より好ましくは２０以下、さらに好ましくは１４以下、とりわけ好ましくは１３以下であるのがよい。ポリエステルの分散度は、既述のとおり、３価以上の多価アルコールおよび／または３価以上の多価カルボン酸の使用量や数平均分子量により調整可能であり、上記範囲内で、用途目的に応じた適宜の分散度に調整すればよい。分散度が下限値未満では、機械的強度と柔軟性のバランスをとりにくく、耐熱性と粗面への接着性の両立がはかれない傾向がある。また、分散度が大きすぎると、ポリエステルが高粘度となり、ゲル化が起こりやすく、粘着シートの形成が難しくなる傾向があるため、上記範囲内とするのが好ましい。
なお、重量平均分子量および数平均分子量はGPC（ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー）により測定して得られたものをいう。

このようなポリオール成分やポリカルボン酸成分を用い、適宜の触媒などを用いてエステル化反応させることによりポリエステル系粘着剤を得ることができる。この反応に際し、ポリオール成分とポリカルボン酸成分とは、等モル反応とするのが望ましいが、エステル反応を促進させるために、どちらかを過剰に用いて反応させてもよい。このような粘着剤組成物では、ポリエステルを架橋することにより、接着剤としての機能を効果的に発現させることができる。ポリエステルを架橋する架橋処理の方法としては、特に限定されないが、例えば、ポリエステル中に水酸基および／またはカルボキシル基と反応しうる官能基を有する化合物（例えば、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物の架橋剤など）を添加して架橋させる方法、いわゆる架橋剤を用いる方法を好適に採用することができる。架橋剤としては、前述のように、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物などが挙げられるが、中でも、ポリイソシアネート化合物を特に好ましく用いることができる。架橋剤は単独でまたは２種以上組み合わせて使用することができる。

架橋剤としてのポリイソシアネート化合物としては、例えば、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートなどの低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなどの脂環族イソシアネート類；２，４−トリレンジイソソアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（例えば、商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業（株）製）、トリメチロールプロパン／ヘキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（例えば、商品名「コロネートＨＬ」日本ポリウレタン工業（株）製）などのイソシアネート付加物などが挙げられる。

架橋剤の使用量は、架橋すべきポリエステルの分子量バランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途などによって適宜選択される。架橋剤の使用用途としては、一般的には、ポリエステル１００重量部に対して０．５重量部以上である。架橋剤としては、ポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分が１０重量％以上（好ましくは２０重量％以上）となるような使用量で用いることが好ましい。なお、ポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分の詳細については、後述する。このように、本発明では、機械的強度と柔軟性とを両立するために（又は、耐熱性と粘着性とを両立するために）、架橋剤の使用量を厳密に調整する必要がなく、容易にポリエステルの架橋処理を行うことができる。

また、実質的な架橋剤として、電子線硬化性化合物（多官能モノマー）を用いることができる。該多官能モノマーは、１分子中に複数個の不飽和結合を有する化合物であり、電子線などにより架橋反応を生じさせることが可能である。このような多官能モノマーとしては、（メタ）アクリレート系多官能モノマーを好適に用いることができる。該（メタ）アクリレート系多官能モノマーには、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトルヘキサ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート等が含まれる。多官能モノマーは単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。

前記多官能モノマーの使用量は、架橋剤と同様に、架橋すべきポリエステルとのバランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途などによって適宜選択される。多官能モノマーの使用量は一般にはポリエステル１００重量部に対して１重量部以上であり、この割合で用いて電子線にて架橋させることにより、ポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分を１０重量％以上（好ましくは２０重量％以上）とすることができる。このように、ポリエステルの架橋により粘着剤としての機能を良好とするためにはポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分としては、１０重量％以上（好ましくは２０重量％以上）であることが望ましい。ポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分が１０重量％未満であると、粘着剤の凝集力が不足して機械的強度が低下し、十分な耐熱性が得られない場合がある。なお、ポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分が７０重量％を超えると、ポリエステルの架橋体の柔軟性が損なわれ、粘着性が低下しやすくなるため、ポリエステルの架橋処理後の溶剤不溶成分の上限としては７０重量％（好ましくは６０重量％）が望ましい。

なお、ポリエステル架橋処理後の溶剤不溶成分における溶剤としては、使用目的などに応じて適宜選択することができ、例えば、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素；ヘキサンなどの脂肪族炭化水素；シクロヘキサンなどの脂環式炭化水素；メタノール、エタノールなどのアルコール；酢酸エチルなどのエステル；メチルエチルケトンなどのケトン；エチレングリコールなどのグリコール；プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテルなど用いることができる。

また、ポリエステル又は架橋処理されたポリエステルのガラス転移温度は、−１０℃以下（例えば−１００℃〜−１０℃）、好ましくは−２０℃以下（例えば−１００℃〜−２０℃）であることが好ましい。ポリエステル又はポリエステルの架橋処理後のガラス転移温度が、−１０℃を超えると、ポリエステルの架橋構造体が硬くなって柔軟性が低下し、粘着性が低下する。なお、該ガラス転移温度としては、通常、ポリエステルの架橋処理後の架橋構造体におけるガラス転移温度を採用する場合が多く、本明細書でも同様に採用する。

また、アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、親水性モノマーとを単量体単位として含むアクリル系ポリマーを含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基は炭素数が２〜１４であることが好ましく、直鎖状、分岐状及び環状のいずれの形態であってもよい。このようなアルキル基としては、例えば、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、イソアミル基、へキシル基、ヘプチル基、２−エチルへキシル基、イソオクチル基、イソノニル基、イソデシル基等が挙げられる。中でも、炭素数２〜１０のアルキル基が好ましく、ブチル基、２−エチルへキシル基等の炭素数４〜８のアルキル基がより好ましい。炭素数が上記範囲外であると、粘着力が不十分となり粘着剤として機能し難くなる。なお、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、１種又は２種以上を組み合わせて使用できる。

親水性モノマーとしては、分子内に水酸基、アミノ基、アミド基、スルホン酸基、カルボキシル基、酸無水物基、イミド基、リン酸基、アルキレンオキシド基等の親水性基を有していれば特に限定されるものではない。具体的には、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、８−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、１０−ヒドロキシデシル（メタ）アクリレート、１２−ヒドロキシラウリル（メタ）アクリレート、（４−ヒドロキシメチルシクロへキシル）メチルアクリレート、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、ビニルアルコール、アリルアルコール、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、８−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、１０−ヒドロキシデシル（メタ）アクリレート、１２−ヒドロキシラウリル（メタ）アクリレート等の水酸基含有単量体；（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等のアミノ基含有単量体；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ，−メチレンビス（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド等のアミド基含有単量体；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有単量体；（メタ）アクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有単量体；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物基含有単量体；シクロへキシルマレイミド、イソプロピルマレイミド、Ｎ−シクロへキシルマレイミド、イタコンイミド、Ｎ−フェニルマレイミド等のイミド基含有単量体；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等のリン酸基含有単量体；その他、（メタ）アクリロニトリル、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム等が挙げられる。これらは、１種又は２種以上を組み合わせて使用できる。

アルキレンオキシド基含有モノマーのオキシアルキレン単位としては、炭素数１〜６のアルキレン基を有するものがあげられ、たとえば、オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、オキシブチレン基などがあげられる。オキシアルキレン鎖の炭化水素基は直鎖でもよく、分岐していてもよい。

また、上記アルキレンオキシド基含有モノマーへのオキシアルキレン単位の平均付加モル数としては、被着体との濡れ性の観点から３〜４０であることが好ましく、４〜３５であることがより好ましく、５〜３０であることが特に好ましい。上記平均付加モル数が３より大きいことで、被着体とのより良好な濡れ性が得られる。また、上記平均付加モル数が４０より大きい場合、被着体への汚染が増加する傾向がある。なお、オキシアルキレン鎖の末端は、水酸基のままや、他の官能基等で置換されていてもよい。さらに、前記アルキレンオキシド基含有モノマーがエチレンオキシド基を有するモノマーであることが好ましい。エチレンオキシド基を有するモノマーを有する（メタ）アクリルモノマーを用いることで、被着体とのより良好な濡れ性が得られ易い。（メタ）アクリル酸アルキレンオキシド付加物の具体例としては、例えば、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール−ポリブチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール−ポリブチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ブトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、オクトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ラウロキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ステアロキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ)アクリレート、オクトキシポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート等が挙げられる。

水の接触角が上記範囲の粘着層を与えることの可能なアクリル系粘着剤とするためには、例えば、（メタ）アクリル酸アルキル７０〜１００重量部（好ましくは７０〜８０重量部）と、親水性モノマー１〜３０重量部（好ましくは２０〜３０重量部）とから得られるアクリル系ポリマーを含有することが好ましく、この場合、親水性モノマーとして、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルホリン及び（メタ）アクリルアミドから選ばれるいずれか１種または２種以上を組み合わせて用いるのが好ましい。また、アクリル酸２−エチルへキシル７０〜８０重量部と、親水性モノマー２０〜３０重量部とから得られるアクリル系ポリマーを含有することや、ブチルアクリレート９０〜１００重量部と親水性モノマー１〜１０重量部とから得られるアクリル系ポリマーを含有することも好ましい。なお、重合方法は特に限定されるものではなく、例えば、溶液重合、エマルション重合等の通常の重合方法を採用することができる。また、重合開始剤としては、例えば、アゾ系開始剤、過酸化物系開始剤等の公知の重合開始剤を使用することができる。このようにして得られるアクリル系ポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、通常３０万〜２００万、好ましくは５０万〜１７０万である。Ｍｗが３０万未満であると、粘着剤としての凝集力が得られにくくなって、耐熱性や耐久性が低下する傾向にあり、他方２００万を超えると、高粘度となり、粘着シートの形成が困難となる傾向にある。

また、マスキングテープの作製後、粘着層の側面の水の接触角が１００°未満になるように、また、水の接触角が１００°未満の粘着層の側面の水の接触角をさらに小さくするために、マスキングテープの側面を表面処理してもよい。かかる表面処理としては、易接着処理、親水性材料（例えば、光触媒）の塗布等が挙げられる。光触媒としては、例えば、二酸化チタン（ＴｉＯ_２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ_２）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）、酸化タングステン（ＷＯ_３）、酸化ビスマス（Ｂｉ_２Ｏ_３）、酸化鉄（Ｆｅ_２Ｏ_３）等の光半導体が挙げられ、これらは１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、酸化チタンには、アナターゼ型とルチル型があり本実施態様ではいずれも使用することができるが、アナターゼ型が好適である。このような光触媒を用いることで、基材の濡れ性が一層高められ、膜厚の均一な薄膜をより確実に得ることができる。

また、粘着剤には、必要に応じて架橋剤や界面活性剤を含有することができる。架橋剤としては、当該技術分野において通常用いられている架橋剤を使用することができ、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤等が挙げられる。中でも、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤が好適である。かかる架橋剤の配合量は、上記ポリマー成分１００重量部（固形分）に対して、通常０．０１〜１０重量部、好ましくは１〜６重量部である。架橋剤の配合量が少なすぎると架橋密度が低下して十分な強度を得難くなる傾向にあり、他方多すぎると粘着力が低下したり、製造時の作業性に劣る傾向にある。また、界面活性剤としては、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル等の非イオン界面活性剤が挙げられる。中でも、泡だちが少なく、糊面をきれいにできる点から、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールが好適であり、エパン（商品名、第一工業製薬（株）製）として商業的に入手可能である。かかる界面活性剤の配合量は、上記ポリマー成分１００重量部（固形分）に対して、通常０．００１〜１重量部、好ましくは０．０１〜０．１重量部である。

さらに、粘着剤には、必要に応じて粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、顔料、着色剤等が添加されていてもよい。粘着付与剤としては、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂、脂肪族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、共重合系石油樹脂、脂環族系石油樹脂等を挙げることができる。

（第２実施形態）
図２（ｂ）は、第２実施形態に係る基板用マスキングテープを示す断面図である。本実施形態に係る基板用マスキングテープ２０は、粘着層３の被着面にセパレータ５が形成されている点で上記第１実施形態に係る基板用マスキングテープ１０と相違しており、基材１及び粘着層３の構成は上記実施形態において説明したとおりである。なお、セパレータは、使用目的に応じて適宜装着することができる。セパレータとしては、上記基材で例示したものが挙げられる。セパレータの表面は、粘着層からの剥離性を高めるために、必要に応じてシリコーン処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の離型処理が施されていてもよい。また、セパレータの厚さは、通常１０〜３００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ、より好ましくは３８〜７５μｍである。

次に、本発明の基板用マスキングテープの製造方法について説明する。基板用マスキングテープは、一般に、基材に上記粘着剤を塗布し乾燥して粘着層を形成するか、あるいは上記粘着剤を剥離紙等の他の基材上に塗布し乾燥して粘着層を形成した後、これを基材に貼り合わせることで製造することができる。また、図１に示す基板用マスキングテープは、例えば、基材の一方面に粘着層を形成した後、粘着層の表面を基材の他方面と重ね合わせてロール状に巻き取ることで製造することができる。なお、基材上に粘着剤を塗布する場合には、慣用のコーター、例えば、グラビヤロールコーター、リバースロールコーター、キスロールコーター、ディップロールコーター、バーコーター、ナイフコーター、スプレーコーター、ファウンテンダイコーター等を用いることができる。この場合、乾燥後の粘着層の厚みが、通常３〜１００μｍ程度、好ましくは５〜６０μｍ程度、より好ましくは１０〜４０μｍ程度となるように粘着剤を塗布する。

本発明の基板用マスキングテープは、例えば、有機ＥＬ用基板に、有機ＥＬ材料、導電性材料等の流動性材料を、例えば、ノズル塗布法等で順次塗布して薄膜を塗り重ね、有機ＥＬＤ（表示パネル）を作製する有機ＥＬＤ（表示パネル）の製造工程において、流動性材料の塗布に先立ち、基板上の塗布不要領域に貼付して使用される。
本発明の基板用マスキングテープを使用することで、テープ周囲（側部）に塗布された流動性材料の薄膜（塗膜）は不所望な厚みの増大を生じることがなく、該薄膜（塗膜）の不所望な厚みの増大が原因で生じる問題（例えば、有機ＥＬＤでの陰極の断線や陰極における外部からの水分や酸素の遮断性の低下等）を回避することができる。

上記の「有機ＥＬ材料」とは、例えば、ポリパラフェニレンビニレン（ＰＰＶ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン（ＰＡＴ）、ポリチオフェン誘導体、フルオレン誘導体、ポリパラフェニレン（ＰＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体、カルバゾール誘導体、ポリシラン系ポリマー等の公知の発光ポリマーが溶媒に分散乃至溶解した分散液又は溶液を指し、また、「導電性材料」とは、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）−ポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）、ポリアニリン（ＰＡ）−ＰＳＳ、ＰＴＰＤＥＳ（すなわち、式：

で表わされるポリマー）等の公知の導電性ポリマーが溶媒に分散乃至溶解した分散液又は溶液を指す。これらの分散液又は溶液は、一般に、発光ポリマー又は導電性ポリマーを少なくとも０．１重量％以上、好ましくは０．５重量％以上、さらに好ましくは１重量％以上の濃度で含有する。

本発明の基板用マスキングテープを使用して有機ＥＬＤを作製する場合の一実施態様は次のとおりである。
本態様に係る有機ＥＬＤは、対向する一対の電極と、該電極間に配置された一層以上の有機層とを備えるものである。
まず、基板を準備する。基板としては、例えば、ガラス基板、プラスチック基板等の透明基板が用いられる。また、基板は、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウム錫）等により所定のパターンニングが施されていてもよい。次いで、室温〜８０℃にて基板の塗布不要領域（薄膜非形成領域）を本発明の基板用マスキングテープでマスクする。
次いで、ポリエチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ）を水に分散させた塗布液をノズル塗布法により基板に塗布し、厚さ５０ｎｍ〜１００ｎｍ程度の均一な薄膜を形成する。
次いで、基板用マスキングテープを剥離した後、基板を加熱乾燥するか、或いは、基板を加熱乾燥した後、基板用マスキングテープを剥離して、正孔輸送層を形成する。
次いで、室温又は８０℃にて基板の塗布不要領域（薄膜非形成領域）を本発明の基板用マスキングテープでマスクする。
次いで、有機ＥＬ材料（Ｒ，Ｇ，Ｂ）をノズル塗布法により基板に塗布し、基板用マスキングテープを剥離した後、基板を加熱乾燥するか、或いは、基板を加熱乾燥した後、基板用マスキングテープを剥離し、厚さ６０〜８０ｎｍ程度の均一な発光層を形成する。
次いで、基板を真空蒸着機中に移し、上記発光層上に膜厚１００〜３００ｎｍ程度の陰極を蒸着により形成する。そして、基板用マスキングテープの貼付部分を接着剤により封止する。このようにして、有機ＥＬＤが得られる。

本発明の基板用マスキングテープは上記のような有機ＥＬＤの製造プロセスでの使用に限定されず、液晶、有機薄膜太陽電池、プラズマディスプレイ等の製造プロセスにおいても適用することが可能である。すなわち、有機ＥＬ用基板のみならず、液晶用基板、有機薄膜太陽電池用基板、プラズマディスプレイ用基板、半導体ウエハ、光ディスク用基板等の各種基板に、流動性材料の薄膜（塗膜）を塗布形成する際の、基板上の塗布不要領域をマスクするマスキングテープとして好適に使用することができる。

また、本発明の基板用マスキングテープは、水系溶媒を使用した溶液又は分散液からなる流動性材料の基板への塗布工程を少なくとも有する製造プロセス（有機ＥＬＤ、液晶、有機薄膜太陽電池、プラズマディスプレイ等の製造プロセス）において特に好適である。すなわち、水系溶媒を使用した流動性材料を塗布して薄膜を形成する際に、テープ周囲（側部）に塗布された流動性材料の薄膜（塗膜）における不所望な厚みの増大を特に効果的に抑制することができる。なお、ここでいう「水系溶媒」とは、水又は水を主体とする溶媒を意味し、具体的には、一般的な水、純水、蒸留水、またはイオン交換水等や、水に対して５０重量％未満の範囲で炭素数が１〜７（好ましくは炭素数が１〜４）の脂肪族アルコール、アセトン等の親水性有機溶媒を混合したもの等が挙げられる。

本発明の基板用マスキングテープは、ノズル塗布法で基板上に薄膜を形成する場合に使用するだけでなく、インクジェット法やスピンコート法等の他の公知の方法で基板上に薄膜形成を行う場合にも適用可能である。

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

（粘着剤の調製）
（製造例１）
撹拌機、温度計及び反応副生成物分離管を付した、四つ口セパラブルフラスコに、ポリカーボネートジオール（商品名：ＰＬＡＣＣＥＬ ＣＤ２２０ＰＬ、水酸基価：５５．１ＫＯＨｍｇ／ｇ、ダイセル化学工業（株）製）２００．０重量部、セバシン酸１９．８重量部、及び触媒としてのテトラｎ−ブチルチタネート０．１重量部を仕込み、反応副生成物である水の排出溶剤として少量のキシレンを加えた。次いで、反応溶液を撹拌し１８０℃まで昇温し、この温度で一定撹拌した。しばらくすると、水の流出分離が認められ、反応が進行し始めたことを確認した後、約１８時間加熱撹拌した。そして、重量平均分子量４９，０００、分散度１．８のポリエステルを得た。
次いで、得られたポリエステル１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名：コロネートＨＬ、日本ポリウレタン工業（株）製）３．５重量部を加えてポリエステル系粘着剤を得た。

（製造例２）
製造例１と同様の反応容器に、アクリル酸２−エチルへキシル（２−ＥＨＡ）７５重量部、Ｎ−アクリロイルモルホリン（ＡＣＭＯ）２５重量部、アクリル酸（ＡＡ）３重量部、及びアクリル酸２−ヒドロキシエチル（ＨＥＡ）０．５重量部を仕込み、通常の溶液（酢酸エチル）重合を行ない、重量平均分子量が１，１００，０００のアクリル系ポリマーを得た。
次いで、得られたアクリル系ポリマー９５重量部に対して、エポキシ系架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学工業（株）製）１．５重量部、イソシアネート系架橋剤（商品名：コロネートＬ、日本ポリウレタン工業（株）製）２重量部、及び非イオン界面活性剤（商品名：エパン７ １０、第一工業製薬（株）製）０．０５重量部を加えてアクリル系粘着剤（以下、「アクリル系粘着剤Ａ」という）を得た。

（製造例３）
製造例１と同様の反応容器に、２−ＥＨＡ９０重量部、及びＨＥＡ３．５重量部を仕込み、通常の溶液（酢酸エチル）重合を行ない、重量平均分子量が６００，０００のアクリル系ポリマーを得た。
次いで、得られたアクリル系ポリマー１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業（株）製、コロネートＨＸ）３．５重量部を加えてアクリル系粘着剤（以下、「アクリル系粘着剤Ｂ」という）を得た。

（製造例４）
固形分６０％のシリコーンポリマー（商品名：Ｘ−４０−３２２９、信越化学工業（株）製）７０重量部に、固形分６０％のシリコーンポリマー（商品名：ＫＲ−３７７０、信越化学工業（株）製）３０重量部、固形分５％の触媒（商品名：ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ、信越化学工業（株）製）０．５重量部、トルエン１００重量部を加えてシリコーン系粘着剤を得た。

（製造例５）
製造例１と同様の反応容器に、ブチルアクリレート（ＢＡ）９５重量部、アクリル酸（ＡＡ）５重量部を仕込み、通常の溶液（酢酸エチル）重合を行い、重量平均分子量６００，０００のアクリル系ポリマーを得た。
次いで、得られたアクリル系ポリマー１００重量部に対して、エポキシ系架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学工業（株）製）４．５重量部、イソシアネート系架橋剤（商品名：コロネートＬ、日本ポリウレタン工業（株）製）１重量部を加えてアクリル系粘着剤（以下、「アクリル系粘着剤Ｃ」という）を得た。

（実施例１）
下記シリコーン処理セパレータのシリコーン処理面に、製造例１で得られたポリエステル系粘着剤を厚みが１５μｍになるように塗布し、１３０℃×３ｍｉｎの条件で乾燥した。乾燥後の粘着面に、一方面に帯電防止層を有し、他方面にコロナ処理面を有するポリエステルフィルム（商品名：Ｔ１００Ｎ３８、厚さ３８μｍ、三菱化学ポリエステル（株）製）のコロナ処理面を貼り合わせることでマスキングテープを得た。得られたマスキングテープを平滑なガラス板上に載置し、基材側からトリミング用カミソリでカットして、サンプルとした。なお、トリミング用カミソリは、１回使用した刃は使用しないこととした。

＜シリコーン処理セパレータの製造＞
（離型コート剤の作製）
ポリジメチルシロキサン（商品名：ＫＳ−３６０１、信越化学工業（株）製）１００重量部にアセチレン系反応制御剤（商品名：ＣＡＴ ＰＬＲ−１、信越化学工業（株）製）２重量部、アセチレン系反応制御剤（商品名：ＣＡＴ ＰＬＲ−２、信越化学工業（株）製）１重量部、溶剤（商品名：ノルマルヘキサン、丸善（株）製）、溶剤（商品名：ノルマルヘプタン、東亜合成（株）製）を加えて２０分攪拌し、さらに触媒（商品名：ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ、信越化学工業（株）製）５重量部を加えて１０分攪拌することでシリコーン塗液を得た。
（離型フィルムの作製）
片面コロナ処理ポリエステルフィルム（商品名：Ｓ−１０５、厚さ５０μｍ、東レ（株）製）のコロナ処理面に上記シリコーン塗液をグラビア法で塗布し、１４０℃×１ｍｉｎ乾燥させることで離型ポリエステルフィルム（シリコーン離型層の乾燥後重量０．０７ｇ／ｃｍ^２）を得た。

（実施例２）
製造例２で得られたアクリル系粘着剤Ａを用い、粘着剤の乾燥条件を１４０℃×３ｍｉｎに変更したこと以外は、実施例１と同様の方法によりマスキングテープを得た。

（実施例３）
粘着面に貼り合わせる基材をポリエステルフィルム（商品名：Ｓ−１０、厚さ３８μｍ、東レ（株）製）とし、マスキングテープの背面に下地処理剤（商品名：アルコール系下地処理剤、丸昌産業（株）製）及び光触媒（商品名：Ｍ−５タイプアルコール溶剤、丸昌産業（株）製）を塗布したこと以外は、実施例２と同様の方法によりマスキングテープを得た。

（実施例４）
製造例３で得られたアクリル系粘着剤Ｂを用いて粘着剤の乾燥条件を１３０℃×１ｍｉｎとし、実施例１と同様にトリミング用ナイフでカット後に、マスキングテープの側面に下地処理剤（商品名：アルコール系下地処理剤、丸昌産業（株）製）、及び光触媒（商品名：Ｍ−５タイプアルコール溶剤、丸昌産業（株）製）を塗布したこと以外は、実施例１と同様の方法によりマスキングテープを得た。

（実施例５）
製造例５で得られたアクリル系粘着剤Ｃを用い、粘着剤の乾燥条件を１４０℃×３ｍｉｎに変更したこと以外は、実施例１と同様の方法によりマスキングテープを得た。

（比較例１）
製造例３で得られたアクリル系粘着剤Ｂを用い、粘着剤の乾燥条件を１３０℃×１ｍｉｎとしたこと以外は、実施例１と同様の方法によりマスキングテープを得た。

（比較例２）
一方面に帯電防止層を有し、他方面にコロナ処理面を有するポリエステルフィルム（商品名：Ｔ１００Ｎ３８、厚さ３８μｍ、三菱化学ポリエステル（株）製）のコロナ処理面に、下記の下塗り剤と、製造例４で得られたシリコーン系粘着剤を順次塗布し、下塗り剤の乾燥条件を１２０℃×２ｍｉｎ、粘着剤の乾燥条件を１００℃×５ｍｉｎとし、粘着面にポリエステルフィルム（商品名：Ｓ−１０、厚さ３８μｍ、東レ（株）製）を貼り合せたこと以外は、実施例１と同様の方法によりマスキングテープを得た。

＜下塗り剤の調製＞
固形分３０％のシリコーンポリマー（商品名：Ｘ−４０−３５０１、信越化学工業（株）製）１００重量部に、固形分５％の触媒（商品名：ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ、信越化学工業（株）製）０．５重量部、ヘキサン１３０重量部、及びメチルエチルケトン１３０重量部を加えて下塗り剤を得た。

（比較例３）
粘着面に貼り合わせる基材をポリエステルフィルム（商品名：Ｓ−１０、厚さ３８μｍ、東レ（株）製）としたこと以外は、実施例２と同様の方法によりマスキングテープを得た。

（比較例４）
粘着面に貼り合わせる基材を、厚さが４０μｍであって、片面にコロナ処理を施したポリプロピレン・ポリエチレンブレンドフィルム（ポリプロピレン：ポリエチレン＝９０：１０（重量比））とし、コロナ処理面を粘着剤に貼り合わせたこと以外は、実施例２と同様の方法によりマスキングテープを得た。

［評価試験］
（１）水の接触角
ガラス板上に、被験面を上にしてマスキングテープを平らに固定した後、内径０．４ｍｍのステンレス製の針を装着したガラス製注射器で３μｇの蒸留水を被験面に付着させた。付着後２０秒以内に、２３℃×５０％ＲＨ下で接触角計（商品名：ＣＡ−Ｘ型、協和界面科学（株）製）でθ／２法にて接触角を測定した。接触角は10点測定し、上下２点ずつを除いた平均値とした。なお、粘着層側面は厚さが薄く直接接触角を測定することができないため、マスキングテープにセパレータがある場合は、上述のようにセパレータを剥離した粘着層の被着面における接触角を測定して粘着層側面における水の接触角とした。また、マスキングテープ背面にマスキングテープ糊面が接触して巻体となっている場合は、マスキングテープ背面よりマスキングテープを剥離した粘着層の被着面における接触角を測定して粘着層側面における水の接触角とした。光触媒をマスキングテープ側面に塗布した実施例４の場合には、セパレータを剥離した被着面に光触媒を同様に塗布し、その面の接触角を測定することで粘着層側面における水の接触角とした。評価結果を表１に示す。

（２）マスキングテープ側面における濡れ性試験
ガラス（１．３ｍｍ×６５ｍｍ×１６５ｍｍのマイクロスライドガラス、マツナミ（株）製）の非スズ接触面に同じ場所にトルエンが留まらないようにガラスを傾け、トルエンがガラス以外に触れないようにトルエンを流して洗浄し、自然乾燥させた面に、マスキングテープを貼り、測定面から１ｍｍ離れた場所に水分散液タイプの導電性材料（商品名：Ｂａｙｅｒ Ｐ ＶＰ ＣＨ ８０００、Ｂａｙｅｒ（株）製）を内径０．８ｍｍのステンレス製の針を装着したガラス製注射器で０．５μｇ付着させた。２３℃×５０％ＲＨで２４時間放置し、その後マスキングテープを剥離し、マスキングテープ側面に広がった導電性材料の幅を測定した。幅は５点測定した平均値とした。すなわち、図３（ａ）はマスキングテープＴを貼り、水分散液タイプの導電性材料３２を滴下し、２４時間放置した時点でのガラス板３０の測定面３１をその上方から観察した模式図であり、図３（ｂ）は、２４時間放置後、マスキングテープＴを剥離した状態の模式図である。上記「マスキングテープ側面に広がった導電性材料の幅」とは、図３（ｂ）の状態での、導電性材料３２のマスキングテープＴと接触していた側の最大幅部（Ｗ１）の幅である。
こうして測定した流動性材料の幅（Ｗ１）が３ｍｍよりも大きいものを良好と判断し、幅が３ｍｍ以下ものを不良と判断した。
評価結果を表１に示す。

（３）マスキングテープ背面における濡れ性試験
平滑な板に被験面を上にしてマスキングテープを固定し、２ｍｌのポリエチレン製スポイト（商品名：コードＮｏ．１−４６５６−０１、アズワン（株）製）で水分散液タイプの導電性材料（商品名：Ｂａｙｅｒ Ｐ ＶＰ ＣＨ ８０００、Ｂａｙｅｒ（株）製）を被験面に１滴滴下し、４５°傾けたときに導電性材料が転がり落ちるか否かを以下の基準により評価した。評価結果を表１に示す。
良好（○）：転がり落ちない。
不良（×）：転がり落ちる。

（４）マスキングテープ側部における薄膜の高さ
以下の方法で、マスキングテープ側部における薄膜の高さを測定した。
まず、ガラス基板若しくは透明プラスチック基板上にＩＴＯ膜を形成した後、ＩＴＯ膜をフォトリソグラフィー技術を用いてパターニングして複数本のストライプ状の第１電極を形成する。この第１電極は陽極に相当する。
次に、フォトリソグラフィー等を用いて電気絶縁性の隔壁（バンク）を形成し、上記の各第１電極間を埋める。隔壁の材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド等の有機材料等や液状ガラス等の無機材料を使用する。
次に、ＩＴＯ膜上にマスキングテープを貼り付け、続いて、水分散液タイプの導電性材料（商品名：Ｂａｙｅｒ Ｐ ＶＰ ＣＨ ８０００、Ｂａｙｅｒ（株）製）を各隔壁間に供給（塗布）する。この際の導電性材料の各隔壁間への供給は特開２００２−７５６４０号公報に記載の塗布装置を用いて行う。
その塗布工程後、同装置で正孔輸送液を各隔壁間への供給し、正孔輸送液から溶媒を除去するとともに、１００℃で５〜１０分ポストベーク処理を施して正孔輸送層を形成する。なお、正孔輸送層の膜厚が数十〜数百ｎｍとなるように、導電性材料の塗布量を設定する。
次に、マスキングテープを剥離し、正孔輸送層のテープ側面に面した剥離端部のＩＴＯ膜からの高さを段差・表面粗さ・微細形状測定装置Ｐ−１１（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ（株）製、商品名）を用いて測定する。
この高さが５μｍ以下を良好（〇）とし、５μｍより大きい場合を不良（×）と判定した。

有機ＥＬ素子は、有機ＥＬ材料を供給して第１電極の上に正孔輸送層を介して有機ＥＬ層を形成し、かかる有機ＥＬ層の形成完了後、第１電極に直交し、かつ、対向するように、第２電極を真空蒸着法等で基板上に複数本並設するようにまたは全面に形成することで作製される。ここで、第２電極をＣＶＤ装置で蒸着する場合には、ＣＶＤ装置による蒸着の上限である５μｍより正孔輸送層の剥離端部が小さくならなければ、第２電極より正孔輸送層の剥離端部が突出することとなる。よって、正孔輸送層の剥離端部の高さが５μｍ以下になるか否かで評価を行った。

なお、通常、正孔輸送層の膜厚は数十ｎｍ〜数百ｎｍの極薄膜であるため、この正孔輸送層の剥離端部の高さは正孔輸送層の膜厚と同じか、正孔輸送層の膜厚より大きくとも小さければ小さいほど好ましい。
また、上記の正孔輸送層の形成後に形成した有機ＥＬ層（ＰＰＶ）の剥離端部の高さも評価した。
その結果、比較例１〜４に対して実施例１〜５では、有機ＥＬ層の剥離端部の高さが相対的に小さくなっていることが確認された。

本発明の基板用マスキングテープの一実施形態を示す斜視図である。 本発明の基板用マスキングテープの一実施形態を示す断面図である。図２（ａ）は本発明の基板用マスキングテープの一実施形態を示す断面図であり、図２（ｂ）は本発明の基板用マスキングテープの他の実施形態に係る断面図である。 マスキングテープ側面の濡れ性試験を説明する図であり、図３（ａ）はマスキングテープを貼り、水分散性導電材料を滴下し、２４時間放置した状態の図、図３（ｂ）は２４時間放置後、マスキングテープを剥離した状態の図である。

符号の説明

１…基材、３…粘着層、５…セパレータ、１０…基板用マスキングテープ、２０…基板用マスキングテープ

Claims (9)

1. 基材の一方の面に粘着層を有する基板用マスキングテープであって、
   基材の他方の面における水の接触角が６５°未満であり、
   粘着層の側面における水の接触角が１００°未満である、
   基板用マスキングテープ。
2. 粘着層の被着面にセパレータを有する、請求項１記載のマスキングテープ。
3. 基材がポリエステル系フィルムからなる、請求項１又は２記載のマスキングテープ。
4. 基材の他方の面に表面処理層を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のマスキングテープ。
5. 粘着層の側面に表面処理層を有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のマスキングテープ。
6. 表面処理層が光触媒を塗布したものである、請求項５記載のマスキングテープ。
7. 基板がガラス基板である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のマスキングテープ。
8. 基板が有機ＥＬ用基板である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のマスキングテープ。
9. ノズルから基板に向けて流動性材料を塗布する塗布法による薄膜形成時に用いる、請求項１〜８のいずれか一項に記載のマスキングテープ。

Images