JP4882425B2 - 差圧測定装置 - Google Patents
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Description
高圧側予加重ダイアフラム53と低圧側予加重ダイアフラム56の復元力は最大測定圧力の約2倍に相当するように凸状の形状が設計されている。したがって、約2倍を超える圧力が加わることにより、高圧側予加重ダイアフラム53と低圧側予加重ダイアフラム56は変位しはじめることになる。
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の高圧側凹部を形成し、
該高圧側凹部に前記高圧側保護ダイアフラムを固定するとともにその高圧側保護ダイアフラムを覆うように前記高圧側シールダイアフラムを前記本体ボディに固定し、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の低圧側凹部を形成し、
該低圧側凹部に前記低圧側保護ダイアフラムを固定するとともにその低圧側保護ダイアフラムを覆うように前記低圧側シールダイアフラムを前記本体ボディに固定したことを特徴とする差圧測定装置。
(2) 高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成され、その凸状の曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している前記高圧側伝導穴の開口を配置すると共に、前記高圧側保護ダイアフラムを収納するための前記高圧側伝導穴の開口を取り巻く環状の高圧側凹部を形成し、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成され、その凸状の曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している前記低圧側伝導穴の開口を配置すると共に、前記低圧側保護ダイアフラムを収納するための前記低圧側伝導穴の開口を取り巻く環状の低圧側凹部を形成したことを特徴とする差圧測定装置。
(3) 前記高圧側保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記高圧側バックプレート面の環状の高圧側凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定され、
前記低圧側保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記低圧側バックプレート面の環状の低圧側凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定されることを特徴とする(2)に記載の差圧測定装置。
(4) 前記高圧側シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記高圧側バックプレート面に固定された前記高圧側保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定され、
前記低圧側シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記低圧側バックプレート面に固定された前記低圧側保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定されることを特徴とする(2)に記載の差圧測定装置。
(5) 前記高圧側バックプレート面の中央位置に前記高圧側伝導穴の開口が設けられると共に、前記差圧センサの一方に連通し、
前記低圧側バックプレート面の中央位置に前記低圧側伝導穴の開口が設けられると共に、前記差圧センサの他方に連通していることを特徴とする(2)に記載の差圧測定装置。
(6) 前記高圧側保護ダイアフラムを収納するための前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の高圧側凹部の任意の位置に前記低圧側過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該低圧側過大圧伝導穴が反対側の低圧側伝導穴と連通し、
前記低圧側保護ダイアフラムを収納するための前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の低圧側凹部の任意の位置に前記高圧側過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該高圧側過大圧伝導穴が反対側の高圧側伝導穴と連通することを特徴とする(2)に記載の差圧測定装置。
(7) 前記本体ボディの内部には封入液が充填され、
前記高圧側シールダイアフラムと前記高圧側保護ダイアフラムとの間は一定の間隔に保つように前記封入液の量が調整され、
前記低圧側シールダイアフラムと前記低圧側保護ダイアフラムとの間は一定の間隔に保つように前記封入液の量が調整されることを特徴とする(2)に記載の差圧測定装置。
(8) 高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記低圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記高圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記高圧側保護ダイアフラムは、前記高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、
前記低圧側保護ダイアフラムは、前記低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備えることを特徴とする差圧測定装置。
「実施例1」
12 増幅部
13 高圧側フランジ
14 低圧側フランジ
15 受圧部(差圧カプセル)
21 高圧側バックプレート面
22 低圧側バックプレート面
23 差圧センサ
24 本体ボディ
25 高圧側保護ダイアフラム
26 低圧側保護ダイアフラム
27 高圧側シールダイアフラム
28 低圧側シールダイアフラム
31 高圧側伝導穴
32 高圧側凹部
33 低圧側過大圧伝導穴
34 低圧側伝導穴
35 低圧側凹部
36 高圧側過大圧伝導穴
37 開口部
38 折り返し
41 高圧側封入液室
42 低圧側封入液室
Claims (8)
- 高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の高圧側凹部を形成し、
該高圧側凹部に前記高圧側保護ダイアフラムを固定するとともにその高圧側保護ダイアフラムを覆うように前記高圧側シールダイアフラムを前記本体ボディに固定し、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の低圧側凹部を形成し、
該低圧側凹部に前記低圧側保護ダイアフラムを固定するとともにその低圧側保護ダイアフラムを覆うように前記低圧側シールダイアフラムを前記本体ボディに固定したことを特徴とする差圧測定装置。 - 高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成され、その凸状の曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している前記高圧側伝導穴の開口を配置すると共に、前記高圧側保護ダイアフラムを収納するための前記高圧側伝導穴の開口を取り巻く環状の高圧側凹部を形成し、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成され、その凸状の曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している前記低圧側伝導穴の開口を配置すると共に、前記低圧側保護ダイアフラムを収納するための前記低圧側伝導穴の開口を取り巻く環状の低圧側凹部を形成したことを特徴とする差圧測定装置。 - 前記高圧側保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記高圧側バックプレート面の環状の高圧側凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定され、
前記低圧側保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記低圧側バックプレート面の環状の低圧側凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定されることを特徴とする請求項2に記載の差圧測定装置。 - 前記高圧側シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記高圧側バックプレート面に固定された前記高圧側保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定され、
前記低圧側シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記低圧側バックプレート面に固定された前記低圧側保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定されることを特徴とする請求項2に記載の差圧測定装置。 - 前記高圧側バックプレート面の中央位置に前記高圧側伝導穴の開口が設けられると共に、前記差圧センサの一方に連通し、
前記低圧側バックプレート面の中央位置に前記低圧側伝導穴の開口が設けられると共に、前記差圧センサの他方に連通していることを特徴とする請求項2に記載の差圧測定装置。 - 前記高圧側保護ダイアフラムを収納するための前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の高圧側凹部の任意の位置に前記低圧側過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該低圧側過大圧伝導穴が反対側の低圧側伝導穴と連通し、
前記低圧側保護ダイアフラムを収納するための前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の低圧側凹部の任意の位置に前記高圧側過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該高圧側過大圧伝導穴が反対側の高圧側伝導穴と連通することを特徴とする請求項2に記載の差圧測定装置。 - 前記本体ボディの内部には封入液が充填され、
前記高圧側シールダイアフラムと前記高圧側保護ダイアフラムとの間は一定の間隔に保つように前記封入液の量が調整され、
前記低圧側シールダイアフラムと前記低圧側保護ダイアフラムとの間は一定の間隔に保つように前記封入液の量が調整されることを特徴とする請求項2に記載の差圧測定装置。 - 高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記低圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記高圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記高圧側保護ダイアフラムは、前記高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、
前記低圧側保護ダイアフラムは、前記低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備えることを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006054828A JP4882425B2 (ja) | 2006-03-01 | 2006-03-01 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006054828A JP4882425B2 (ja) | 2006-03-01 | 2006-03-01 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007232580A JP2007232580A (ja) | 2007-09-13 |
JP4882425B2 true JP4882425B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=38553298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006054828A Active JP4882425B2 (ja) | 2006-03-01 | 2006-03-01 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4882425B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4186824B2 (ja) * | 2004-01-20 | 2008-11-26 | 横河電機株式会社 | 差圧測定装置 |
-
2006
- 2006-03-01 JP JP2006054828A patent/JP4882425B2/ja active Active
Also Published As
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JP2007232580A (ja) | 2007-09-13 |
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