JP4880521B2 - Drawing device - Google Patents
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
本発明は、電子回路基板、液晶素子用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス素子基板等の表面に感光材料層が形成されてなる平面基材（ワーク）の当該表面に、パターンを描画して露光させるダイレクト露光方式の描画装置に関する。 The present invention is directed to direct exposure by drawing a pattern on the surface of a planar substrate (work) having a photosensitive material layer formed on the surface of an electronic circuit substrate, a glass substrate for a liquid crystal element, a glass element substrate for a PDP, or the like. The present invention relates to an exposure type drawing apparatus.
電子回路基板（プリント回路基板）は、例えば、携帯電話，各種モバイル，パーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載されるが、これらの電子機器の小型化に伴い、基板上に形成される回路パターンにおける解像度，接続用ランド径，ビア径等についても、微細に構成される様、要求される傾向にある。 Electronic circuit boards (printed circuit boards) are mounted on electronic devices such as mobile phones, various mobiles, and personal computers, for example, and the resolution of circuit patterns formed on the substrates as these electronic devices become smaller Also, the connecting land diameter, via diameter, etc. tend to be required to be finely configured.
それらの要求に応えるには、従来のコンタクト方式の露光装置を用いる場合には、予め描画対象パターンと等倍のマスクを予め用意し、しかも、かかるマスクを正常に管理・維持しなければならない。また、露光中においても、マスク及びワークを相互に平行且つ夫々平面状に保持するとともに、マスクに照射する光束をその全域において平行光束に保たねばならない。そのため、コンタクト方式による露光は、手間が掛かり、しかも、回路パターンの微細化には不利であった。 In order to meet these demands, when a conventional contact type exposure apparatus is used, a mask having the same size as the drawing target pattern must be prepared in advance, and such a mask must be normally managed and maintained. Also, during exposure, the mask and workpiece must be held parallel to each other and planar, and the light beam applied to the mask must be maintained as a parallel light beam over the entire area. For this reason, exposure by the contact method takes time and is disadvantageous for miniaturization of circuit patterns.
そこで、近年では、回路パターンをイメージ化した描画データに基づいて変調されたレーザ光によってワーク表面上を走査するか、若しくは、描画データに基づいてＤＭＤ（Digital Micro mirror Device）等の光空間変調素子が形成したイメージの像をワーク表面上に投影することによってワーク表面上に回路パターンを描画するダイレクト露光方式が、普及している。ダイレクト露光方式の場合には、回路パターンを描画データとして有しているためにマスクの製造・維持管理のような手間が不要であり、要求される各種パターンに容易に対応できるからである。 Therefore, in recent years, the surface of a workpiece is scanned with laser light modulated based on drawing data obtained by imaging a circuit pattern, or an optical spatial modulation element such as a DMD (Digital Micro mirror Device) based on drawing data. A direct exposure method in which a circuit pattern is drawn on the work surface by projecting an image of the image formed on the work surface has become widespread. In the case of the direct exposure method, since a circuit pattern is included as drawing data, there is no need for trouble such as manufacturing and maintenance of the mask, and it is possible to easily cope with various required patterns.
もっとも、ダイレクト露光方式の場合にも、大量のワークに対して画一的に露光を行うべく、ワークの表面が平面状に保たれることを前提として設計されるので、回路パターンの像が平面状の像面に結像されるように、描画光学系を構成するレンズ群の像面湾曲が高度に補正され、この像面がテーブル上に搭載されたワークの表面と合致するように、ピント調整される必要がある。このような条件が満たされると、ワークの表面上に高精細な回路パターンの像が形成され、大量のワークに対する露光が可能となるのである。 However, even in the direct exposure method, the circuit pattern image is flat because it is designed on the premise that the surface of the work is kept flat so that a large amount of work can be uniformly exposed. The lens group that composes the drawing optical system is highly corrected for curvature of field so that the image surface is focused on the surface of the workpiece mounted on the table. Need to be adjusted. When such a condition is satisfied, a high-definition circuit pattern image is formed on the surface of the workpiece, and a large amount of workpiece can be exposed.
そして、かかるダイレクト露光方式においても、やはり、平面状の表面を有するテーブル上に、ワークが密着されることによって、ワークの表面が平面状に保持されるとともに、その表面が清浄に保たれなければならない。このように、テーブル上にワークを密着させる手段，及び、ワークの表面を清浄に保つ手段としては、従来のコンタクト方式の露光装置に用いられていたものを、流用することが考えられる。例えば、下記特許文献１〜４には、コンタクト方式の露光装置において用いられていたこれら手段の例が開示されている。 Even in such a direct exposure method, the work surface is kept in a flat state by being brought into close contact with the table having a flat surface, and the surface is not kept clean. Don't be. As described above, as means for bringing the workpiece into close contact with the table and means for keeping the surface of the workpiece clean, it is conceivable to use those used in a conventional contact type exposure apparatus. For example, the following Patent Documents 1 to 4 disclose examples of these means used in a contact type exposure apparatus.
まず、本出願人による特許出願に係る公開特許公報である特許文献１には、ワークを搭載するテーブルの表面に多数の吸引口が穿たれており、テーブルの背面に設置した真空吸着装置によってこれらの吸引口から吸引を行うことによって、ワークをテーブル表面上に真空吸着する手段が記載されている。しかしながら、特許文献１記載の構造でも、ワークの反りや皺を除いた状態でテーブルに接触させるには、枠を用いてワーク全体がテーブル表面に密着するようにワークをテーブルに押圧しなければならず、装置が大掛かりになったり、作業者の手による作業に頼らざるを得ないという問題が生じ得る。しかも、かかる作業が適切に行われないと、描画テーブルから浮き上がった部分に描画される回路パターンがピンぼけになるという問題が生じる他、全ての吸引口がテーブル内部において連通しているためにワークによって塞がれなかった吸引口から大気が侵入することによって全ての吸引口内部の真空度が上がらず（気圧が下がらず）、十分な吸着力を得ることができず、描画中にワークが描画テーブルから脱落したり、位置がずれてしまうという問題が生じうる。 First, in Patent Document 1, which is an open patent publication relating to a patent application filed by the present applicant, a number of suction ports are bored on the surface of a table on which a work is mounted, and these are sucked by a vacuum suction device installed on the back of the table. There is described a means for vacuum-sucking a workpiece onto the table surface by performing suction from the suction port. However, even in the structure described in Patent Document 1, in order to contact the table with the workpiece without warping or wrinkles, the workpiece must be pressed against the table using a frame so that the entire workpiece is in close contact with the table surface. Therefore, there may be a problem that the apparatus becomes large and the work by the operator must be relied on. In addition, if such work is not performed properly, there will be a problem that the circuit pattern drawn on the part floating from the drawing table will be out of focus, and because all the suction ports communicate with each other inside the table, When the atmosphere enters from the suction port that was not blocked, the vacuum level inside all the suction ports does not increase (atmospheric pressure does not decrease), and sufficient suction force cannot be obtained, and the workpiece is drawn on the drawing table during drawing. This may cause a problem of falling off the screen or shifting its position.
次に、やはり本出願人による特許出願に係る公開特許公報である特許文献２には、上述したような真空吸着手段については積極的に開示していないが、クリーニングローラをマスクの表面上に接触させて転がすことによって当該マスクの表面に付着した塵等を除去する手段が開示されている。しかしながら、特許文献２には、ワークの表面に付着した塵を除去する仕組みについては開示されていないので、これをワークに流用しようにも、いかなる機構により如何なるタイミングにて除塵を行うべきかが不明である。 Next, Patent Document 2, which is a published patent publication related to a patent application by the present applicant, does not actively disclose the vacuum suction means as described above, but the cleaning roller is brought into contact with the surface of the mask. A means for removing dust and the like adhering to the surface of the mask by rolling it is disclosed. However, Patent Document 2 does not disclose a mechanism for removing dust adhering to the surface of the workpiece, so it is unclear at what timing dust removal should be performed by any mechanism in order to divert the dust to the workpiece. It is.
これに対して、特許文献３には、基板が搬入部から露光部へ移動する際に、露光部の直前において、第１クリーニングヘッドの粘着ローラが基板上を転がることにより、基板表面に付着した塵を除塵することが記載されている。しかしながら、特許文献３にも、上述したような真空吸着手段について積極的に開示していないので、テーブル（プラテン）によるワーク（基板）の吸着とクリーニングローラ（粘着ローラ）との動作の相関が不明である。そのため、吸着が十分でないワーク（基板）がクリーニングローラ（粘着ローラ）によってテーブル（プラテン）から剥がされたり、位置をずらされてしまう問題が生じうる。 On the other hand, in Patent Document 3, when the substrate moves from the carry-in unit to the exposure unit, the adhesive roller of the first cleaning head rolls on the substrate immediately before the exposure unit, and adheres to the substrate surface. It describes that dust is removed. However, Patent Document 3 does not actively disclose the vacuum suction means as described above, so the correlation between the work (substrate) suction by the table (platen) and the operation of the cleaning roller (adhesion roller) is unknown. It is. For this reason, there may occur a problem that a work (substrate) that is not sufficiently attracted is peeled off from the table (platen) by the cleaning roller (adhesive roller) or the position thereof is shifted.
同様に、特許文献４には、基板が基板位置出しステージから基板露光ステージへ移動する際に、基板露光ステージの直前において、除塵手段を構成するローラが基板表面に接触して転がることにより、基板表面に付着した塵を除塵することが記載されている。しかしながら、特許文献４にも、上述したような真空吸着手段について積極的に開示していないので、テーブル（第１支持部）によるワーク（基板）の吸着とクリーニングローラとの動作の相関が不明である。そのため、吸着が十分でないワーク（基板）がクリーニングローラによってテーブル（第１支持部）から剥がされたり、位置をずらされてしまう問題が生じうる。
そこで、本願発明は、ダイレクト露光方式の描画装置であって、ワークの表面の塵を除塵すると同時に、ワークを平面状に伸ばしてテーブルに密着させるために、クリーニングローラをテーブル上のワークの表面に接触させる場合において、クリーニングローラをワークに接触することによるテーブル上でのワークのズレや剥がれが生じることのない描画装置を、提供するものである。 In view of this, the present invention is a direct exposure type drawing apparatus that removes dust on the surface of the workpiece, and at the same time, in order to extend the workpiece into a flat surface and bring it into close contact with the table, the cleaning roller is placed on the surface of the workpiece on the table. The present invention provides a drawing apparatus that does not cause displacement or peeling of a work on a table by bringing a cleaning roller into contact with the work.
上記の課題を解決するために案出された本発明の描画装置は、描画データに基づいて変調された光線によってワークの表面に描画データに対応したパターンを描画するダイレクト露光方式の描画装置において、描画データに基づいて変調された光線によって像の描画を行う描画光学装置と、その表面に吸引口が形成された描画テーブルと、前記描画テーブルを、待機位置と、前記描画光学装置によって像の描画が行われる位置との間で往復移動させる描画テーブル移動機構と、吸引管を通じて前記描画テーブルの各吸引口と連通し、当該吸引管を通じて前記吸引口から吸引を行う吸引ポンプと、前記吸引管内の真空度を検知する圧力センサと、待機位置にある前記描画テーブル上における前記ワークの載置位置と前記描画光学装置との間において、前記描画テーブルの表面と平行且つ当該描画テーブルの移動方向と直交する方向に回転軸を向けてクリーニングローラを回転自在に保持するとともに、前記描画テーブルの表面に接触する位置と当該描画テーブルから離反した位置との間で移動させるクリーニングユニットと、前記クリーニングユニットに設置され、前記クリーニングローラを回転させるクリーニングローラ駆動モータと、前記ワークを前記描画テーブルに載置した際、前記圧力センサによって検知された真空度が所定の閾値以上となった場合にのみ、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させ、その状態のまま、前記描画テーブル移動機構に対して前記描画テーブルを前記待機位置から前記描画光学装置による像の描画がなされる位置まで移動させて、前記クリーニングローラ駆動モータに前記クリーニングローラを前記描画テーブルの移動と同期回転させ、前記ワークの表面で前記クリーニングローラを回転移動させる制御部とを、備えたことを特徴とする。この場合に、前記クリーニングローラの回転移動は、クリーニングローラーが前記ワークに一定の押圧を付加した状態で行うことが望ましい。 The drawing apparatus of the present invention devised to solve the above problems is a direct exposure type drawing apparatus that draws a pattern corresponding to the drawing data on the surface of the workpiece by a light beam modulated based on the drawing data. A drawing optical apparatus that draws an image with a light beam modulated based on drawing data, a drawing table having a suction port formed on the surface thereof, the drawing table, a standby position, and an image drawing by the drawing optical apparatus A drawing table moving mechanism that reciprocates between the drawing position, a suction pump that communicates with each suction port of the drawing table through a suction tube, and performs suction from the suction port through the suction tube; A pressure sensor that detects the degree of vacuum, and a position between the workpiece placed on the drawing table at the standby position and the drawing optical device. The cleaning roller is rotatably held with a rotation axis in a direction parallel to the surface of the drawing table and perpendicular to the moving direction of the drawing table, and a position in contact with the surface of the drawing table and the drawing table A cleaning unit that moves between the separated positions, a cleaning roller drive motor that is installed in the cleaning unit and rotates the cleaning roller, and the pressure sensor detects when the work is placed on the drawing table. The cleaning roller is moved to a position in contact with the drawing table with respect to the cleaning unit only when the degree of vacuum is equal to or greater than a predetermined threshold, and the drawing table moving mechanism is moved to the drawing table moving mechanism in that state. The drawing table is moved from the standby position to the drawing optical device. Is moved to a position where the drawing of the image is performed by the cleaning roller causes the cleaning roller to a drive motor to move the synchronized rotation of the drawing table, and a control unit for rotationally moving the cleaning roller with the surface of the workpiece, It is characterized by having. In this case, the rotational movement of the cleaning roller is preferably performed in a state where the cleaning roller applies a certain pressure to the workpiece.
このように構成された描画装置において、ワークが描画テーブルの表面に完全に密着していない場合であっても、ある程度密着しているならば、吸引管内の真空度が高くなるので、制御部は、圧力センサが検知した真空度が所定の閾値を越えた場合には、ある程度ワークが描画テーブルの表面に密着しているとみなして、クリーニングユニットに対してクリーニングローラを移動させて描画テーブルに接触させ、この状態において、描画テーブルを描画光学装置による像の描画がなされる位置まで移動させる。この移動の途中において、クリーニングローラは、ワークの表面を転がり、このワークの表面に付着していた塵を除塵するとともに、ワークを描画テーブルの表面に押圧することによって、このワークを伸ばして描画テーブルに密着させる。その結果、吸引口によるワークの真空密着が完全になるのである。このとき、上述したように、クリーニングローラを転がす前の状態においてもある程度ワークが描画テーブルの表面に密着していることが保証されているので、クリーニングローラを転がすことによって、ワークがめくれたり、ワークがずれることがない。 In the drawing apparatus configured in this way, even if the workpiece is not completely in close contact with the surface of the drawing table, the degree of vacuum in the suction tube increases if the work is in close contact with the surface. When the degree of vacuum detected by the pressure sensor exceeds a predetermined threshold, it is considered that the work is in close contact with the surface of the drawing table to some extent, and the cleaning roller is moved with respect to the cleaning unit to contact the drawing table. In this state, the drawing table is moved to a position where an image is drawn by the drawing optical apparatus. In the middle of this movement, the cleaning roller rolls on the surface of the workpiece, removes dust adhering to the surface of the workpiece, and presses the workpiece against the surface of the drawing table, thereby extending the workpiece and drawing table. Adhere to. As a result, the vacuum contact of the workpiece by the suction port becomes complete. At this time, as described above, it is guaranteed that the work is in close contact with the surface of the drawing table to some extent even before the cleaning roller is rolled. There is no slippage.
本願発明において、前記待機位置にある前記描画テーブルの表面に対向して配置され、前記ワークを着脱自在に保持するハンドラーと、前記ハンドラーと前記描画テーブルとを、前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置と、前記ワークが前記描画テーブルから離反する位置との間で相対的に移動させる離接機構を、更に設けても良い。この場合、離接機構は、ハンドラーの位置を移動させずに描画テーブルを移動させることによって両者を相対的に離接させても良いし、描画テーブルの位置を移動させずにハンドラーを移動させることによって両者を相対的に離接させても良い。何れの場合においても、制御部は、描画テーブルが待機位置にある場合にのみ、離接機構を制御することによって前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置へ前記ハンドラー及び前記描画テーブルを相対移動させ、前記ハンドラーが前記ワークを開放した時にのみ、前記吸引ポンプを作動させるようにすることが望ましい。 In the present invention, a handler disposed opposite to the surface of the drawing table at the standby position and detachably holding the workpiece, the handler and the drawing table, and the workpiece on the surface of the drawing table. A separation / contact mechanism that relatively moves between the contact position and the position at which the workpiece separates from the drawing table may be further provided. In this case, the separation / contact mechanism may move the drawing table without moving the position of the handler so that they are relatively separated from each other, or move the handler without moving the position of the drawing table. The two may be relatively separated from each other. In any case, the control unit controls the separation / attachment mechanism only when the drawing table is in the standby position, thereby relative to the handler and the drawing table to a position where the workpiece contacts the surface of the drawing table. It is desirable that the suction pump is operated only when the handler is moved and the workpiece is released.
なお、描画テーブルの表面は水平に保たれていることが、ワークの脱落を防止する上で望ましいが、例えば、描画テーブルの表面が垂直に立てられていても、本願発明の目的は達成可能である。 It is desirable that the surface of the drawing table be kept horizontal in order to prevent the workpiece from falling off. However, for example, the object of the present invention can be achieved even when the surface of the drawing table is set up vertically. is there.
描画テーブルの表面には吸引口が単独で設けられていても本願発明の目的は達成できるが、本願発明が最も有効に機能するのは、複数の吸引口が共通の吸引ポンプによって吸引される場合である。この場合には、ワークによって塞がれる吸引口の数に応じて、圧力センサによって検知される真空度の値が漸次変化するからである。さらに、同じ描画テーブルに様々なサイズのワークを搭載する可能性がある場合には、描画テーブルの上面の全面にわたって分散配置された多数の吸引口を一つの吸引ポンプによって吸引する構成であると、小さいサイズのワークを描画テーブルに搭載したときにワークによって塞がれない吸引口の数が多くなりすぎて、真空度が十分に上昇しない。そこで、そのような場合には、多数の吸引口を複数のグループにグループ化し、各グループ毎に専用の吸引ポンプによって吸引することが望ましい。この場合、ある吸引口のグループに連通する圧力センサによって検出された真空度は上限値を示しているが、他の吸引口のグループに連通する圧力センサによって検出された真空度は下限値を示すといったように、各圧力センサ相互間で条件成就の有無が競合する場合がありえる。その場合には、少なくとも一つの圧力センサによって検知された真空度が所定の閾値以上となった場合に、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させる，予め定められた数の圧力センサによって検知された真空度が全て所定の閾値以上となった場合に、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させる，等の、適用を行えば良い。 Although the object of the present invention can be achieved even if the surface of the drawing table is provided with a single suction port, the present invention functions most effectively when a plurality of suction ports are sucked by a common suction pump. It is. In this case, the value of the degree of vacuum detected by the pressure sensor gradually changes according to the number of suction ports blocked by the workpiece. Furthermore, when there is a possibility of mounting workpieces of various sizes on the same drawing table, it is configured to suck a large number of suction ports distributed over the entire upper surface of the drawing table with a single suction pump. When a small-sized workpiece is mounted on the drawing table, the number of suction ports that cannot be blocked by the workpiece increases so much that the degree of vacuum does not increase sufficiently. Therefore, in such a case, it is desirable to group a large number of suction ports into a plurality of groups and suck each group with a dedicated suction pump. In this case, the degree of vacuum detected by a pressure sensor communicating with a certain group of suction ports indicates an upper limit value, but the degree of vacuum detected by a pressure sensor communicated with another group of suction ports indicates a lower limit value. As described above, there is a case where the presence or absence of the condition is competing between the pressure sensors. In that case, when the degree of vacuum detected by the at least one pressure sensor exceeds a predetermined threshold value, the cleaning roller is moved to a position in contact with the drawing table with respect to the cleaning unit. When the degree of vacuum detected by a given number of pressure sensors is equal to or greater than a predetermined threshold, the cleaning roller is moved to a position in contact with the drawing table with respect to the cleaning unit. Just do it.
以上のように構成された本発明による描画装置によると、ワークの表面の塵を除塵すると同時に、ワークを平面状に伸ばしてテーブル上に密着させるために、クリーニングローラをテーブル上のワークの表面に接触させる場合において、クリーニングローラをワークに接触することによるテーブル上でのワークのズレや剥がれが生じることがない。 According to the drawing apparatus of the present invention configured as described above, the cleaning roller is placed on the surface of the workpiece on the table in order to remove dust on the surface of the workpiece and at the same time extend the workpiece into a flat shape and closely contact the table. In the case of contact, the work is not displaced or peeled off on the table due to the cleaning roller coming into contact with the work.
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
＜システム構成＞
本実施形態による描画装置は、単体では、ダイレクト露光方式によって基板の表面に回路パターンを描画することにより、その回路パターン通りに基板に塗布された感光材料を硬化させるものである。この基板の表面における感光材料層の下には、金属薄膜層が形成されているので、露光後の基板を現像しエッチングすることにより、描画された回路パターン通りの回路配線を基板表面上に形成することができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<System configuration>
The drawing apparatus according to the present embodiment alone, by drawing a circuit pattern on the surface of the substrate by the direct exposure method, cures the photosensitive material applied to the substrate according to the circuit pattern. Since a metal thin film layer is formed under the photosensitive material layer on the surface of the substrate, circuit wiring according to the drawn circuit pattern is formed on the substrate surface by developing and etching the exposed substrate. can do.
かかる基板には、その表裏に夫々回路配線が形成されることが殆どであるので、本実施形態による描画装置は、実際には、基板の両面に対して夫々露光を行うための露光システムに組み込まれて使用されることが多い。図１は、このような露光システムの平面レイアウトを示す図であり、図中の２，４が、夫々、本実施形態による描画装置（基板の表面に対する露光用の第１描画装置２，同基板の裏面に対する露光用の第２描画装置４）に該当する。 In most cases, circuit wiring is formed on the front and back surfaces of such a substrate, so that the drawing apparatus according to the present embodiment is actually incorporated in an exposure system for performing exposure on both sides of the substrate. Often used. FIG. 1 is a view showing a planar layout of such an exposure system. Reference numerals 2 and 4 in FIG. 1 denote the drawing apparatus according to the present embodiment (first drawing apparatus 2 for exposing the surface of the substrate 2 and the same substrate, respectively). This corresponds to the second drawing device 4) for exposing the back surface of the second drawing device 4).
なお、図１における１は、作業者若しくは図示せぬロボットが未描画の基板（以下、「ワークＷ」という）を、第１描画装置２を構成する後述するハンドラーに拾い上げさせるために載置するステージ（基板投入部）である。また、第１描画装置２を挟んで基板投入部１の反対側にある反転部３は、第１描画装置２を構成する後述するハンドラーから渡された基板を裏返して第２描画装置４の後述するハンドラーに渡す装置である。また、第２描画装置４を挟んで反転部３の反対側にある排出部５は、第２描画装置４の後述するハンドラーが描画済みのワークＷを置くためのステージであり、この排出部５上に置かれた露光済みのワークＷを、作業者若しくは図示せぬロボットが取り出して、次の工程に移動させるのである。 1 is placed so that a worker or a robot (not shown) picks up an undrawn substrate (hereinafter referred to as “work W”) by a handler (to be described later) constituting the first drawing device 2. A stage (substrate loading unit). Further, the reversing unit 3 on the opposite side of the substrate loading unit 1 across the first drawing device 2 turns over the substrate passed from a handler (which will be described later) constituting the first drawing device 2 and will be described later of the second drawing device 4. It is a device that passes to the handler. A discharge unit 5 on the opposite side of the reversing unit 3 across the second drawing device 4 is a stage on which a handler (to be described later) of the second drawing device 4 places a drawn work W. The discharge unit 5 The exposed workpiece W placed thereon is taken out by an operator or a robot (not shown) and moved to the next step.
ここで、図１を用いて、簡単に各描画装置２，４の概略構造を説明する（但し、両描画装置２，４は、相互に全く同じ構造を有しているので、以下では、第１描画装置２によって代表させて、その説明を行う）。先ず、図１では図示が省略されているが、基板投入部１と反転部３とを結ぶ直線上には、上述したハンドラーを吊り下げて移動させるリニアスライダが、敷設されている（図３参照）。そして、基板投入部１と反転部３との間における当該図示せぬリニアスライダの直下には、描画前及び描画後において、描画テーブル１３が待機する。この描画テーブル１３は、詳細構造を後述する真空吸着機構によりその表面に基板を吸着することができ、この基板を搭載したまま、上記図示せぬリニアスライダに直交する方向へ移動することにより、ハンドラー下方の位置から描画光学装置１１の下に入り込む。この描画光学装置１１は、公知のレーザ走査光学系や光空間変調素子を経路に組み込んだ描画光学系と、上記描画テーブル１３によって描画光学系下方に運ばれるワークＷの四隅に描かれたアライメント取り用のマーキングを撮影するためのカメラ９，９を備えている。図１において、待機位置にある描画テーブル１３と描画光学装置１１との間には、描画テーブル１３によって、ワークＷが描画光学装置１１の下方に移動されていく際に、基板の表面の除塵を行うためのクリーニングユニット１２が、設けられている。＜描画装置の機械構成＞
以下、各描画装置２の構成を、具体的に説明する。先ず、図２は、図１にその平面レイアウトを示す描画システムから第１描画装置２のみを抜き出して、その外観を示す斜視図である。但し、この図２おいても、ハンドラー及びリニアスライダの図示は、省略されている。次に、図３は、図２におけるII−II線に沿った断面（描画テーブル１３を通り、且つ、描画テーブル１３の移動方向及び鉛直方向に夫々平行な断面）を、矢印Ｘ方向から見た縦断面図である。但し、この図３においては、描画光学装置１１の図示は省略されている。また、図４は、図３における矢印IV側からクリーニングユニット１２を見た状態を示す図である。但し、この図４においては、当該クリーニングユニット１２を吊り下げているビーム１４（図３参照），リニアスライダ，ハンドラー１５，描画テーブル１３の駆動機構及び基台（描画装置２を構成する各装置を載置するフレーム（図２及び図３参照））１０の図示を省略している。更に、図２においては、クリーニングユニット１２の側面はカバーによって覆われているが、図３及び図４においては、クリーニングユニット１２の内部構造を描くために、かかるカバーの図示を省略している。
Here, the schematic structure of each of the drawing devices 2 and 4 will be briefly described with reference to FIG. 1 (however, the drawing devices 2 and 4 have the same structure as each other. as a representative by 1 drawing apparatus 2, it performs its description). First, although not shown in FIG. 1, a linear slider for suspending and moving the above-described handler is laid on a straight line connecting the substrate loading unit 1 and the reversing unit 3 (see FIG. 3). ). The drawing table 13 stands by immediately before and after drawing immediately below the linear slider (not shown) between the substrate loading unit 1 and the reversing unit 3. The drawing table 13 can adsorb the substrate to the surface by a vacuum adsorbing mechanism whose detailed structure will be described later. By moving the drawing table 13 in a direction perpendicular to the linear slider (not shown), the handler is mounted. It enters under the drawing optical apparatus 11 from a lower position. The drawing optical device 11 includes a drawing optical system in which a known laser scanning optical system and a spatial light modulation element are incorporated in the path, and alignment adjustments drawn at the four corners of the work W carried below the drawing optical system by the drawing table 13. Cameras 9 and 9 are provided for photographing the markings. In FIG. 1, when the workpiece W is moved below the drawing optical device 11 by the drawing table 13 between the drawing table 13 and the drawing optical device 11 at the standby position, the dust on the surface of the substrate is removed. A cleaning unit 12 is provided for performing. <Machine configuration of drawing apparatus>
Hereinafter, the configuration of each drawing apparatus 2 will be described in detail. First, FIG. 2 is a perspective view showing the external appearance of only the first drawing device 2 extracted from the drawing system whose planar layout is shown in FIG. However, also in FIG. 2, the illustration of the handler and the linear slider is omitted. Next, FIG. 3 is a cross section taken along line II-II in FIG. 2 (a cross section that passes through the drawing table 13 and is parallel to the moving direction of the drawing table 13 and the vertical direction) from the direction of the arrow X. It is a longitudinal cross-sectional view. However, in FIG. 3, the drawing optical device 11 is not shown. FIG. 4 is a view showing a state in which the cleaning unit 12 is viewed from the arrow IV side in FIG. However, in FIG. 4, the beam 14 (see FIG. 3) that suspends the cleaning unit 12, the linear slider, the handler 15, the drive mechanism of the drawing table 13, and the base (each device constituting the drawing device 2 is shown). Illustration of a frame (see FIGS. 2 and 3) 10 to be placed is omitted. Further, in FIG. 2, the side surface of the cleaning unit 12 is covered with a cover, but in FIGS. 3 and 4, the illustration of the cover is omitted in order to depict the internal structure of the cleaning unit 12.
これら各図に示されているように、描画装置２の基台１０上には、上述したハンドラー１５の移動方向（リニアスライダの敷設方向）に直交する方向に、一対のレール１６が互いに平行に施設されている。描画テーブル１３の下面には、これらのレールに係合する車輪ないしスライダが設けられているので、この描画テーブル１３は、これらのレール１６に沿って移動することができる。また、基台１０上におけるこれらレール１６の間には、これらレール１６と平行に、ボールネジ１７が回転自在に軸支されており、同じく基台１０上に設置された描画テーブル駆動モータ１８により回転駆動される。また、描画テーブル１３の下面には、ボールネジ１７と螺合するボールナット１９が固定されている。従って、ボールネジ１７が描画テーブル駆動モータ１８によってボールネジ１７が回転すると、その回転方向に応じた向きに、描画テーブル１３が移動し、ハンドラー１５の直下にある待機位置と、描画光学装置（描画光学系）１１の直下である当該描画光学装置１１による描画がなされる位置との間で、移動することができる。これら各レール１６，ボールネジ１７，描画テーブル駆動モータ１８及びボールナット１９が、描画テーブル移動機構に相当する。 As shown in these drawings, on the base 10 of the drawing apparatus 2, a pair of rails 16 are parallel to each other in a direction perpendicular to the moving direction of the handler 15 (laying direction of the linear slider) described above. It is a facility. Since the lower surface of the drawing table 13 is provided with wheels or sliders that engage with these rails, the drawing table 13 can move along these rails 16. A ball screw 17 is rotatably supported between the rails 16 on the base 10 in parallel with the rails 16 and is rotated by a drawing table drive motor 18 installed on the base 10. Driven. A ball nut 19 that is screwed with the ball screw 17 is fixed to the lower surface of the drawing table 13. Accordingly, when the ball screw 17 is rotated by the drawing table drive motor 18, the drawing table 13 is moved in the direction corresponding to the rotation direction, and the standby position immediately below the handler 15 and the drawing optical device (drawing optical system). ) And a position where the drawing by the drawing optical device 11 is performed directly below the position 11. Each rail 16, ball screw 17, drawing table drive motor 18 and ball nut 19 correspond to a drawing table moving mechanism.
この描画テーブル１３は、レール１６と平行な側面を有する扁平な箱状形状を有しており、その表面を構成する天板２７には、図５に示すように、多数の吸引口２７ａが、貫通形成されている。これら各吸引口２７ａは、天板２７の表面に複数設定された各区画毎に、グループ化されている。この区画は、例えば、同心の円環状の複数区画，若しくは、同心の矩形状の複数区画とすることができる。そして、図５に示すように、天板２７ａの裏面には、各グループに属する吸引口２７ａ同士を連通させる溝２８ａが形成された樋状の連通部材２８が、外部から気密に固着されている。そして、各連通部材２８の溝２８ａは、吸引管Ｖを通じて、夫々に専用に設けられた吸引ポンプＰ１〜Ｐ３により吸引力が供給され、その内部の空気が吸引される。 The drawing table 13 has a flat box shape having side surfaces parallel to the rails 16, and the top plate 27 constituting the surface has a large number of suction ports 27a as shown in FIG. It is formed through. Each of these suction ports 27 a is grouped for each of a plurality of sections set on the surface of the top plate 27. This section may be, for example, a concentric annular section or a concentric rectangular section. As shown in FIG. 5, a hook-shaped communication member 28 having a groove 28 a for communicating the suction ports 27 a belonging to each group is fixed to the rear surface of the top plate 27 a from the outside in an airtight manner. . And the suction force is supplied to the groove | channel 28a of each communicating member 28 by the suction pumps P1-P3 provided for each through the suction pipe V, and the air inside is sucked.
これら各連通部材２８と吸引ポンプＰ１〜Ｐ３とを夫々接続する吸引管Ｖは、その途中で分岐して、個別の圧力センサＳ１〜Ｓ３に接続されている。これら圧力センサＳ１〜Ｓ３は、吸引管Ｖを通じて連通する溝２８ａ及び各吸引口２７ａの内部空間の真空度を検知するセンサである。従って、各グループに属する全吸引口２７ａが全て塞がれると、圧力センサＳ１〜Ｓ３によって検出される真空度は吸引ポンプＰ１〜Ｐ３の定格値まで上昇するが、一部の吸引口２７ａが塞がれていないと検出される真空度はその分だけ下がり、全ての吸引口２７ａが開放していると検出される真空度は大気圧とさほど違わない値となる。 The suction pipe V that connects each of the communication members 28 and the suction pumps P1 to P3 branches in the middle and is connected to the individual pressure sensors S1 to S3. These pressure sensors S <b> 1 to S <b> 3 are sensors that detect the degree of vacuum in the internal space of the groove 28 a communicating with the suction pipe V and the suction ports 27 a. Therefore, when all the suction ports 27a belonging to each group are closed, the degree of vacuum detected by the pressure sensors S1 to S3 increases to the rated value of the suction pumps P1 to P3, but some of the suction ports 27a are blocked. The degree of vacuum detected if not removed is lowered by that amount, and the degree of vacuum detected if all the suction ports 27a are open is a value that is not so different from atmospheric pressure.
なお、各グループに属する全吸引口２７ａは、一つの連通部材２８によって相互に連通されていても良いが、複数の連通部材２８によって幾つかの小グループ毎に連通されるとともに吸引管Ｖによって相互に連通されても良い。要は、各グループを構成する全吸引口２７ａが一つの吸引ポンプＰによって吸引されれば良いのである。 Note that all the suction ports 27a belonging to each group may be connected to each other by one communication member 28, but are connected to each other by a plurality of communication members 28 for each of several small groups and to each other by the suction pipe V. You may communicate with. In short, all the suction ports 27a constituting each group may be sucked by one suction pump P.
図３に戻り、上述したビーム１４は、図示せぬ支柱によって基台１０に対して固定されている。そして、このビーム１４の先端下面には、ハンドラー１５の移動方向（図３の紙面に直交する方向）に長軸を向け且つ下方に開いた箱状形状を有するリニアスライダ用のフレーム２０が、固定されている。このフレーム２０の内部における長手方向に対向した壁面間には、一対のレール２１，２１及び図示せぬサーボモータ（ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８，図５参照）により回転駆動されるボールネジ２３が、図３の紙面に直交する方向に向けて、互いに平行に掛け渡されている。これらレール２１，２１上には、ボールネジ２３に螺合している扁平な箱状のスライダ２４が、スライド自在に搭載されている。これらレール２１，２１，ボールネジ２３，ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８及びスライダ２４が、リニアスライダを構成する。そして、このスライダ２４の下面四隅に、ハンドラーを吊り下げるための支柱２５が夫々固定されている。従って、ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８がボールネジ２３を任意の方向に回転させることにより、ハンドラー１５を、リニアスライドの敷設方向に沿って任意の向きに移動させることができる。 Returning to FIG. 3, the beam 14 described above is fixed to the base 10 by a post (not shown). A frame 20 for a linear slider having a box-like shape with a long axis opened in the downward direction is fixed to the lower surface of the distal end of the beam 14 in the moving direction of the handler 15 (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 3). Has been. Between the walls facing the longitudinal direction inside the frame 20, there are a pair of rails 21 and 21 and a ball screw 23 which is rotationally driven by a servo motor (not shown) (see FIG. 5). These are stretched in parallel to each other in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. On these rails 21 and 21, a flat box-shaped slider 24 screwed into the ball screw 23 is slidably mounted. These rails 21, 21, ball screw 23, handler horizontal movement drive servomotor 8 and slider 24 constitute a linear slider. And the support | pillar 25 for suspending a handler is each fixed to the lower-surface four corners of this slider 24. FIG. Therefore, the handler horizontal movement driving servomotor 8 rotates the ball screw 23 in an arbitrary direction, whereby the handler 15 can be moved in an arbitrary direction along the laying direction of the linear slide.
次に、ハンドラー１５は、鉛直方向を向けてその中心に設けられた軸１５ａを、その下面から進退させる電動シリンダ，油圧シリンダ，若しくはそれらの代替品であるシリンダ（ハンドラー上下移動駆動用シリンダ）１５ｂと、その軸１５ａの先端に固定された吸着部１５ｃとから、構成されている。この吸着部１５ｃは、各側面を描画テーブル１３と平行に配置した扁平な箱形形状を有しており、その四隅には、下方に開口した吸盤状の基板吸着パッド２６が設けられている。これら各基板吸着パッド２６は、別途設けられた吸引ポンプＰ４（図５参照）により吸引力を供給されてその内部の空気が吸引される。従って、各基板吸着パッド２６の開口を対象物（ワークＷ）の平面によって塞いだ状態で、吸引ポンプＰ４を作動させると、各基板吸着パッド２６は当該対象物を吸着して保持することができ、シリンダ１５ｂ（離接機構に相当）の動作により、当該対象物を持ち上げることができる。更に、リニアスライダの動作により、当該対象物を移動させることができる。 Next, the handler 15 is an electric cylinder, a hydraulic cylinder, or a cylinder (handler up / down movement driving cylinder) 15b which is an electric cylinder, a hydraulic cylinder, or a substitute for moving the shaft 15a provided at the center in the vertical direction from the lower surface thereof. And a suction portion 15c fixed to the tip of the shaft 15a. The suction portion 15c has a flat box shape in which each side surface is arranged in parallel with the drawing table 13, and suction cup-like substrate suction pads 26 opened downward are provided at the four corners. Each of the substrate suction pads 26 is supplied with a suction force by a separately provided suction pump P4 (see FIG. 5), and the air inside thereof is sucked. Therefore, when the suction pump P4 is operated in a state where the opening of each substrate suction pad 26 is closed by the plane of the object (work W), each substrate suction pad 26 can suck and hold the object. The object can be lifted by the operation of the cylinder 15b (corresponding to the separation / contact mechanism). Furthermore, the object can be moved by the operation of the linear slider.
なお、ハンドラー１５の側面には、ハンドラー１５，フレーム２０及びビーム１４の形状に沿って逆Ｌ字状に折り曲げられた第１位置検出片２９が、取り付けられている。この第１位置検出片２９の先端には、リニアスライドのレール２１と平行にビーム１４に形成されたスリット１４ａを通ってビーム１４の内部空間に差し込まれた短冊状の第２位置検出片３０が取り付けられている。この第２位置検出片３０は、上述したように、ハンドラー１５が移動すると、これと一体に、上記スリット内を移動していく。そして、ビーム１４内部における、ハンドラー１５が待機位置にある描画テーブル１３の直上（描画テーブル１３の表面に対向する位置）に位置した際に第２位置検出片３０を検出できる位置に、フォトセンサ３１が取り付けられている。従って、このフォトセンサ３１が第２位置検出片３０を検知した際におけるハンドラー１５の位置が、即ち、待機位置にある描画テーブル１３の直上であることになる。なお、かかるフォトセンサは、他に、基板投入部１又は排出部５に対応した位置，及び反転部３に対応した位置にも、別途設けられている。 A first position detection piece 29 that is bent in an inverted L shape along the shape of the handler 15, the frame 20, and the beam 14 is attached to the side surface of the handler 15. A strip-shaped second position detection piece 30 inserted into the inner space of the beam 14 through a slit 14 a formed in the beam 14 parallel to the rail 21 of the linear slide is provided at the tip of the first position detection piece 29. It is attached. As described above, when the handler 15 moves, the second position detection piece 30 moves in the slit together with the second position detection piece 30. Then, the photo sensor 31 is located at a position where the second position detection piece 30 can be detected when the handler 15 is positioned immediately above the drawing table 13 at the standby position (position facing the surface of the drawing table 13). Is attached. Therefore, the position of the handler 15 when the photo sensor 31 detects the second position detection piece 30, that is, directly above the drawing table 13 at the standby position. In addition, such a photosensor is separately provided at a position corresponding to the substrate loading unit 1 or the discharging unit 5 and a position corresponding to the reversing unit 3.
次に、クリーニングユニット１２の構造を詳細に説明する。即ち、このクリーニングユニット１２は、ビーム１４の下面に取り付けられたクリーニングユニット位置修正用テーブル３２と、このクリーニングユニット位置修正用テーブル３２を構成する水平移動板３６の下面においてハンドラー１５の移動方向及び鉛直方向に夫々平行に固定された垂下板３７と、この垂下板３７における描画光学装置１１側の面に鉛直方向に敷設された一対のレール３８と、各レール３８に対して夫々スライドのみ可能に係合された二個一組（計４個）のスライダ３９と、その背面に各スライダ３９が固定されることにより垂下板３７と平行にスライド自在に設けられたスライド板４０と、このスライド板４０における描画光学装置１１側の面において水平方向に向けて固定された水平板４１と、当該水平板４１の角度を保持するために当該水平板４１における各側縁とスライド板４０との間に夫々固定された一対の三角形の補強リブ５０と、水平移動板３６の下面に固定されているとともに水平板４１の高さを調整するクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４２と、スライド板４０の上縁に固定されているとともに垂下板３７に開けられた二箇所の切り欠き３７ａを夫々貫通して配置されている二枚の作動板４４と、垂下板３７におけるハンドラー１５側の面における各切り欠き３７ａの下方に固定されて夫々上記作動板４４の下降を規制する二つのカウンターバランス４５と、水平板の下面に設けられたメンテナンス用テーブル４６と、このメンテナンス用テーブル４６を構成する水平移動板４７の両側縁から垂直に垂下するように固定された一対の軸受板４８と、両軸受け板の間において描画テーブル１３の表面と平行且つ当該描画テーブル１３の移動方向と直交する方向に回転軸を向けて回転自在に保持されたクリーニングローラ４９及び補助ローラ５０と、一方の軸受板４８における外側面に対してステー５１ａを介して固定されているとともに、クラッチ５１ａを通じてクリーニングローラ４９の回転軸に直結されたクリーニングローラ駆動モータ５１とから、構成されている。 Next, the structure of the cleaning unit 12 will be described in detail. That is, the cleaning unit 12 includes a cleaning unit position correction table 32 attached to the lower surface of the beam 14, and the moving direction and vertical direction of the handler 15 on the lower surface of the horizontal moving plate 36 constituting the cleaning unit position correction table 32. A hanging plate 37 fixed parallel to each direction, a pair of rails 38 laid in a vertical direction on a surface of the hanging plate 37 on the drawing optical device 11 side, and each slide 38 can be slid only. A set of two (a total of four) sliders 39 combined, a slide plate 40 that is slidable in parallel with the hanging plate 37 by fixing each slider 39 to the back surface thereof, and the slide plate 40 The horizontal plate 41 fixed in the horizontal direction on the surface on the drawing optical device 11 side, and the corner of the horizontal plate 41 In order to maintain the horizontal plate 41, a pair of triangular reinforcing ribs 50 fixed between the side edges of the horizontal plate 41 and the slide plate 40 are fixed to the lower surface of the horizontal moving plate 36 and the horizontal plate 41 A cleaning unit that adjusts the height, and a cylinder 42 for moving up and down, and two fixed to the upper edge of the slide plate 40 and two cutouts 37a opened in the drooping plate 37, respectively. Two actuating plates 44, two counter balances 45 fixed below the notches 37a on the surface of the hanging plate 37 on the handler 15 side and restricting the lowering of the actuating plates 44, and provided on the lower surface of the horizontal plate. The fixed maintenance table 46 and the horizontal moving plate 47 constituting the maintenance table 46 are fixed so as to hang vertically from both side edges. A pair of bearing plates 48, and a cleaning roller 49 and an auxiliary roller 50 that are rotatably held with a rotation axis in a direction parallel to the surface of the drawing table 13 and perpendicular to the moving direction of the drawing table 13 between the bearing plates. The cleaning roller drive motor 51 is fixed to the outer surface of one bearing plate 48 via a stay 51a and is directly connected to the rotation shaft of the cleaning roller 49 through the clutch 51a.
クリーニングユニット位置修正用テーブル３２は、ビーム１４の下面に対して水平方向に向けて固定されたベース板３３と、上述した水平移動板３６と、当該水平移動板３６の上面上において相互に平行に固定された一対のレール３５，３５と、上記ベース板３３の下面において上記各レール３５，３５をハンドラー１５の移動方向と平行（即ち、リニアスライドのレール２１と平行）に、且つ、当該方向へスライドのみ可能に吊り下げる二個一組（形４個）のスライダ３４と、ベース板３３に対する水平移動板３６の相対位置を任意の位置にて保持するための周知のブレーキ５２とから、構成されている。このクリーニングユニット位置修正用テーブル３２は、描画テーブル１３に対するクリーニングローラ４９の相対位置（クリーニングローラ４９の軸方向における相対位置）を調整して保持するために用いられる。 The cleaning unit position correcting table 32 is parallel to each other on the base plate 33 fixed in the horizontal direction with respect to the lower surface of the beam 14, the horizontal moving plate 36 described above, and the upper surface of the horizontal moving plate 36. A pair of fixed rails 35 and 35 and the rails 35 and 35 on the lower surface of the base plate 33 are parallel to the moving direction of the handler 15 (that is, parallel to the rail 21 of the linear slide) and in that direction. It is composed of a pair (four pieces) of sliders 34 that are suspended only in a slidable manner and a known brake 52 for holding the relative position of the horizontal movement plate 36 with respect to the base plate 33 at an arbitrary position. ing. The cleaning unit position correction table 32 is used to adjust and hold the relative position of the cleaning roller 49 with respect to the drawing table 13 (the relative position of the cleaning roller 49 in the axial direction).
また、垂下板３７に設けられた一対のレール３８，３８に対して各スライダ３９がスライドとすると、このスライダ３９に固定されたスライド板４０とともに、このスライド板４０に固定された水平板４１等の部材が、一体に上下動する。水平移動板３６の下面に固定されたクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂと同様に、鉛直方向を向けてその中心に設けられた軸４３ａを、その下面から進退させる電動シリンダ，油圧シリンダ，若しくはそれらの代替品であり、その軸４３ａの先端が水平板４１に係合している。従って、このクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が軸４３ａを繰り出すことにより、スライド板４０に対して一体となっているクリーニングローラ４９等の部材の全体が降下し、逆に、軸４３ａを繰り込むことによって、それらの部材の全体が上昇する。 Further, if each slider 39 slides with respect to a pair of rails 38 provided on the hanging plate 37, a horizontal plate 41 fixed to the slide plate 40, etc. together with a slide plate 40 fixed to the slider 39, etc. These members move up and down together. As with the handler vertical movement driving cylinder 15b, the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 fixed to the lower surface of the horizontal movement plate 36 moves the shaft 43a provided at the center in the vertical direction from the lower surface to the forward and backward movement. The front end of the shaft 43 a is engaged with the horizontal plate 41. Therefore, when the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 extends the shaft 43a, the entire member such as the cleaning roller 49 integrated with the slide plate 40 is lowered, and conversely, the shaft 43a is retracted. As a result, the whole of these members rises.
以上説明したクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３の動作により、スライド板４０の上縁に対して固定された各作動板４４も、垂下板３７に開けられた切り欠き３７ａ内を上昇及び下降する。垂下板３７に固定された各カウンターバランス４５は、スライド板４０と一体に上下動する各部材全体の重量と等しい弾発力にてピストン４５ａを突出させる油圧ダンパー，エアダンパー等である。従って、このカウンターバランス４５は、ピストンを鉛直方向の上向きに突出させてその先端で各作動板４４を突き上げるように固定されているので、スライド板４１及び作動板４４に掛かる重量とその弾発力が釣り合っている。そのため、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が作動していなくても、クリーニングローラ４５の高さが保たれ、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が僅かの力で軸４３ａを繰り込むことにより、クリーニングローラ４５を上昇させることができる。また、カウンターバランス４５の内部構造により、ピストン４５ａを外部の力により進退させると抵抗が生じるので、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が軸４３ａを繰り出しても、一挙にクリーニングローラ４５が下降してしまって描画テーブル１３に衝突してしまうことがない。 Due to the operation of the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 described above, the operation plates 44 fixed to the upper edge of the slide plate 40 are also raised and lowered in the notches 37 a opened in the drooping plate 37. Each counter balance 45 fixed to the drooping plate 37 is a hydraulic damper, an air damper, or the like that causes the piston 45a to protrude with an elastic force equal to the weight of the entire member that moves up and down integrally with the slide plate 40. Accordingly, the counter balance 45 is fixed so that the piston protrudes upward in the vertical direction and pushes up each operating plate 44 at its tip, so that the weight applied to the slide plate 41 and the operating plate 44 and the elastic force thereof. Are balanced. Therefore, even if the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 is not operated, the cleaning roller 45 is kept high, and the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 retracts the shaft 43a with a slight force. The roller 45 can be raised. In addition, because the internal structure of the counterbalance 45 causes resistance when the piston 45a is advanced and retracted by an external force, even when the cleaning unit vertical movement drive cylinder 43 extends the shaft 43a, the cleaning roller 45 is lowered at a stroke. There is no collision with the drawing table 13.
また、メンテナンス用テーブル４６は、クリーニングユニット位置修正用テーブル３２とほぼ同じ構成を有している。但し、メンテナンス用テーブル４６に備えられているロックピン５３は、クリーニングユニット位置修正用テーブル３２に備えられているブレーキ５２とは異なり、ベース板に対する水平移動板４７の相対位置を任意の位置で保持する機能は有しておらず、水平移動板４７を図４における最も右側に移動させた位置（使用状態）において固定するのみである。何故ならば、このメンテナンス用テーブル４６は、各ローラ４９，５０をメンテナンスするために、水平移動板４７以下の部材を引き出すために設けられた機構だからである。 The maintenance table 46 has substantially the same configuration as the cleaning unit position correction table 32. However, unlike the brake 52 provided on the cleaning unit position correction table 32, the lock pin 53 provided on the maintenance table 46 holds the relative position of the horizontal moving plate 47 with respect to the base plate at an arbitrary position. It does not have a function to perform, and is only fixed at a position (use state) where the horizontal moving plate 47 is moved to the rightmost side in FIG. This is because the maintenance table 46 is a mechanism provided to pull out the members below the horizontal movement plate 47 in order to maintain the rollers 49 and 50.
このクリーニングローラ４９は、上述したクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が水平板４１を押し下げることにより、待機位置にある描画テーブル１３の表面におけるワークＷの載置位置と描画光学装置１１との間に降下して、当該描画テーブル１３の表面に接触する。このクリーニングローラ４９の外周面は粘着性を有するので、その状態において描画テーブル１３の移動に同期してクリーニングローラ駆動モータ５１によって回転駆動されると、描画テーブル１３上に固定されたワークＷの表面を転がることにより、このワークＷの表面に付着した塵をその外周面に付着させることができる。 The cleaning roller 49 is disposed between the drawing optical device 11 and the placement position of the workpiece W on the surface of the drawing table 13 at the standby position by the above-described cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 pushing down the horizontal plate 41. It descends and contacts the surface of the drawing table 13. Since the outer peripheral surface of the cleaning roller 49 has adhesiveness, the surface of the work W fixed on the drawing table 13 is rotated by the cleaning roller driving motor 51 in synchronization with the movement of the drawing table 13 in this state. , The dust attached to the surface of the work W can be attached to the outer peripheral surface.
また、補助ローラ５０は、クリーニングローラ４９の表面よりも粘着性の高い外周面を有するローラである。従って、この補助ローラ５０がクリーニングローラ４９に接触することにより、クリーニングローラ４９の外周面に付着した塵を補助ローラ５０の外周面 に転写することができる。この補助ローラ５０は、例えば、ローラ体の外周面に粘着面を外側に向けて粘着テープを巻回した構造を有するものとすることができる。この場合、上述したメンテナンス用テーブル４６を用いたメンテナンスには、補助ローラ５０の表面から使用済みの粘着テープ一周分を剥ぎ取る作業が含まれることとなる。
＜描画装置の制御系の構成＞
次に、以上のような機械構成を有する描画装置における各部の動作を制御するための制御系の構成を、説明する。図５に示すように、上述した各圧力センサＳ１〜Ｓ３，各吸引ポンプＰ１〜Ｐ４，描画テーブル駆動モータ１８，クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３，ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ，ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８及びクリーニングローラ駆動モータ５１は、シーケンサー若しくはプログラムに従って動作するマイコンや各種ドライバ回路から構成される制御部６に接続されている。そして、各圧力センサＳ１〜Ｓ３は、検知した真空度を制御部６に入力し、制御部６は、図６のフローチャートに従った処理を実行することにより、各吸引ポンプＰ１〜Ｐ４，描画テーブル駆動モータ１８，クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３，ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ，ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８及びクリーニングローラ駆動モータ５１に対して駆動電流及び制御信号を供給して、それらの動作を制御する。
Further, the auxiliary roller 50 is a roller having an outer peripheral surface having higher adhesiveness than the surface of the cleaning roller 49. Accordingly, when the auxiliary roller 50 comes into contact with the cleaning roller 49, dust attached to the outer peripheral surface of the cleaning roller 49 can be transferred to the outer peripheral surface of the auxiliary roller 50. The auxiliary roller 50 may have, for example, a structure in which an adhesive tape is wound around the outer peripheral surface of the roller body with the adhesive surface facing outward. In this case, the maintenance using the maintenance table 46 described above includes an operation of peeling off one round of the used adhesive tape from the surface of the auxiliary roller 50.
<Configuration of control system of drawing apparatus>
Next, the configuration of a control system for controlling the operation of each unit in the drawing apparatus having the above-described mechanical configuration will be described. As shown in FIG. 5, the pressure sensors S1 to S3, the suction pumps P1 to P4, the drawing table drive motor 18, the cleaning unit vertical movement drive cylinder 43, the handler vertical movement drive cylinder 15b, and the handler horizontal movement drive. The servo motor 8 and the cleaning roller drive motor 51 are connected to a control unit 6 including a microcomputer that operates according to a sequencer or a program and various driver circuits. And each pressure sensor S1-S3 inputs the detected vacuum degree to the control part 6, and the control part 6 performs each process according to the flowchart of FIG. 6, and each suction pump P1-P4 and drawing table. A drive current and a control signal are supplied to the drive motor 18, the cleaning unit vertical movement drive cylinder 43, the handler vertical movement drive cylinder 15b, the handler horizontal movement drive servo motor 8 and the cleaning roller drive motor 51. Control the behavior.
なお、この制御部６には、更に、描画光学装置１１を構成する描画エンジン７にも接続されており、この描画エンジン７に対して、カメラ９による撮影準備の完了及び描画の準備完了を通知する。この描画エンジン７は、カメラ９によって撮影したワーク表面の画像からマーキングの位置を検知し、検知したマーキングの位置に従って、別途入力された回路パターンの描画データに対するアライメント調整（画像の位置及び向きの調整）を行い、描画光学系としてレーザ走査光学系が組み込まれているものを用いている場合には、アライメント調整後の描画データに従って図示せぬ光源からの描画光をＯＮ／ＯＦＦ変調するとともに、図示せぬ描画光学系を構成するポリゴンミラーを回転させる。また、描画光学系にＤＭＤ等の光空間変調素子が組み込まれているものを用いている場合には、図示せぬ光源から描画光を射出させるとともに、アライメント調整後の描画データに従って当該光空間変調素子を作動させる。以上により、描画エンジン７は、描画光学系の下方を通過する描画テーブル１３上のワークＷの表面に、回路パターンを描画するのである。 The control unit 6 is further connected to a drawing engine 7 constituting the drawing optical apparatus 11, and notifies the drawing engine 7 of completion of shooting preparation by the camera 9 and completion of drawing preparation. To do. The drawing engine 7 detects the marking position from the image of the workpiece surface photographed by the camera 9, and adjusts the alignment (drawing position and orientation adjustment of the image) according to the separately input circuit pattern drawing data according to the detected marking position. ), And a drawing optical system incorporating a laser scanning optical system is used, the drawing light from a light source (not shown) is modulated on / off according to the drawing data after alignment adjustment. A polygon mirror constituting a drawing optical system (not shown) is rotated. When a drawing optical system incorporating a spatial light modulation element such as DMD is used, drawing light is emitted from a light source (not shown) and the spatial light modulation is performed according to the drawing data after alignment adjustment. Activate the element. As described above, the drawing engine 7 draws the circuit pattern on the surface of the work W on the drawing table 13 that passes under the drawing optical system.
以下、図６のフローチャートを参照して、この制御部６による制御内容を、詳細に説明する。この図６のフローチャートに示す制御は、制御部６に対して、前段のステージ（第１描画装置２の場合には基板投入部１，第２描画装置４の場合には反転部３）での作業の完了が、図示せぬ入力手段によって入力されることにより、スタートする。スタート後最初のＳ０１では、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することにより、ハンドラー５を前段のステージへ移動させ、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ及び吸引ポンプＰ４を動作させることにより、前段のステージ上に置かれているワークＷを吸着させ、再度ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ及びハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８を制御することにより、ワークＷを吸着しているハンドラー５を描画テーブル１３上に移動させる。 Hereinafter, the control content by the control unit 6 will be described in detail with reference to the flowchart of FIG. The control shown in the flowchart of FIG. 6 is performed for the control unit 6 at the preceding stage (the substrate loading unit 1 in the case of the first drawing device 2 and the reversing unit 3 in the case of the second drawing device 4). The completion of the operation is started by being input by an input means (not shown). In the first S01 after the start, the control unit 6 controls the handler up / down movement driving cylinder 15b to move the handler 5 to the preceding stage and operate the handler up / down movement driving cylinder 15b and the suction pump P4. Thus, the work W placed on the preceding stage is sucked, and the handler 5 sucking the work W is picked up by controlling the handler vertical movement driving cylinder 15b and the handler horizontal movement driving servo motor 8 again. Move on the drawing table 13.
次のＳ０２では、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することによってハンドラー１５を降下させ、描画テーブル１３上に載置する。 In the next step S02, the control unit 6 controls the handler vertical movement driving cylinder 15b to lower the handler 15 and place it on the drawing table 13.
次のＳ０３では、制御部６は、各吸引ポンプＰ１〜Ｐ３を動作させて、描画テーブル１３の天板２７に形成された多数の吸引口２７ａから夫々吸引を行い、ワークＷの吸着を試みさせる。これとともに、制御部６は、吸引ポンプＰ４の動作を停止させることにより、ハンドラー５の各基板吸着パッド２６によるワークＷの吸着を解除する。 In the next S03, the control unit 6 operates each of the suction pumps P1 to P3 to perform suction from the numerous suction ports 27a formed on the top plate 27 of the drawing table 13, thereby trying to attract the workpiece W. . At the same time, the controller 6 releases the suction of the work W by the substrate suction pads 26 of the handler 5 by stopping the operation of the suction pump P4.
次のＳ０４では、制御部６は、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することによって吸着部１５ｃを上昇させる。 In next S04, the control unit 6 raises the adsorption unit 15c by controlling the handler vertical movement drive cylinder 15b.
次のＳ０５では、制御部６は、各圧力センサＳ１〜Ｓ３が入力している真空度の検出値を監視し、全ての圧力センサＳ１〜Ｓ３によって検知された真空度が５００ｍｍＨｇ以上となるのを待つ。そして、全ての圧力センサＳ１〜Ｓ３によって検知された真空度が５００ｍｍＨｇ以上となると、制御部６は、処理をＳ０６へ進める。なお、描画テーブル１３の上面の面積に比してワークＷの面積が狭い場合には、或るグループに属する全ての吸引口２７ａがワークＷによって塞がれない場合があり、かかる場合には、そのグループに対応した圧力センサＳによって検出される真空度が５００ｍｍＨｇ以上に上昇しないことがありえる。そのため、Ｓ０５での条件を緩和し、例えば、全ての圧力センサＳのうちの所定個数の圧力センサＳによって検出された真空度が５００ｍｍＨｇ以上となった場合にＳ０５の条件が満たされると、みなしても良い。また、Ｓ０５のチェックを開始した後所定時間が経過してもＳ０５の条件が満たされない場合には、制御部６、ワークＷに皺が生じている等の理由に因りワークＷが正常に載置されていないと判断して、アラームを発しても良い。この場合、アラームを認識した作業者が、手作業にて、ワークＷを引き延ばしたり上から押圧する等の矯正を行うことになる。 In the next S05, the control unit 6 monitors the detected values of the degree of vacuum inputted by the pressure sensors S1 to S3, and the degree of vacuum detected by all the pressure sensors S1 to S3 becomes 500 mmHg or more. wait. And when the degree of vacuum detected by all the pressure sensors S1-S3 becomes 500 mmHg or more, the control part 6 will advance a process to S06. When the area of the work W is smaller than the area of the upper surface of the drawing table 13, all the suction ports 27a belonging to a certain group may not be blocked by the work W. In such a case, It is possible that the degree of vacuum detected by the pressure sensor S corresponding to the group does not rise above 500 mmHg. Therefore, the conditions in S05 are relaxed, and for example, when the degree of vacuum detected by a predetermined number of pressure sensors S among all the pressure sensors S is 500 mmHg or more, it is considered that the conditions in S05 are satisfied. Also good. If the condition of S05 is not satisfied even after a predetermined time has elapsed after the start of the check of S05, the work W is normally placed due to reasons such as wrinkles in the control unit 6 and the work W. It may be judged that it is not done and an alarm may be issued. In this case, the worker who has recognized the alarm performs correction such as extending the workpiece W or pressing it from above manually.
Ｓ０６では、制御部６は、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３を制御することにより、クリーニングユニット１２におけるスライド板４０以下の部材を降下させ、クリーニングローラ４９を、描画テーブル１３の表面上に接触させる。 In S06, the control unit 6 controls the cleaning unit vertical movement drive cylinder 43 to lower the members below the slide plate 40 in the cleaning unit 12 and bring the cleaning roller 49 into contact with the surface of the drawing table 13. .
続いて、制御部６は、次のＳ０７において、描画エンジン７に対して撮影準備完了を通知し、次のＳ０８において、クリーニングローラ駆動モータ５１を制御することによりクリーニングローラ４９を同期回転させつつ、描画テーブル駆動モータ１８を制御することにより、描画テーブル１３を走査光学装置１１側の端点に向けて前進させる。すると、Ｓ０７での通知を受けた描画エンジン７は、カメラ９を動作させて、撮影された動画を取り込み、マーキングの位置検出行う。そして、描画テーブル１３の移動途中において、描画エンジン７がカメラ９から入力された動画中に各マーキングを検出すると、それらの位置（即ち、ワークＷの位置及び傾き）を割り出して、描画データのアライメントを行う。また、描画テーブル１３の移動を通じて、クリーニングローラ４９が、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３から一定の押圧を受けつつワークＷの表面全域を転がるので、当該ワークＷの表面に付着している塵を除塵することができるとともに、ワークＷの裏面全域が、描画テーブル１３の上面に密着し、各吸引口２７ａによる真空吸着が完全となる（即ち、各センサＳ１〜Ｓ３によって検知される真空度が各吸引ポンプＰ１〜Ｐ３の定格値以上となる）。 Subsequently, the control unit 6 notifies the drawing engine 7 of the completion of shooting preparation in the next S07, and in the next S08, the cleaning roller 49 is synchronously rotated by controlling the cleaning roller drive motor 51, By controlling the drawing table drive motor 18, the drawing table 13 is advanced toward the end point on the scanning optical device 11 side. Then, the drawing engine 7 that has received the notification in S07 operates the camera 9 to capture the captured moving image and detect the marking position. When the drawing engine 7 detects each marking in the moving image input from the camera 9 during the movement of the drawing table 13, the position (that is, the position and inclination of the workpiece W) is determined, and the drawing data is aligned. I do. Further, as the drawing table 13 moves, the cleaning roller 49 rolls over the entire surface of the workpiece W while receiving a constant pressure from the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43, so that dust adhering to the surface of the workpiece W is removed. In addition to being able to remove dust, the entire back surface of the workpiece W is in close contact with the top surface of the drawing table 13, and the vacuum suction by each suction port 27a is complete (that is, the degree of vacuum detected by each sensor S1 to S3 is different). It becomes more than the rated value of the suction pumps P1 to P3).
描画テーブル１３の移動完了後に実行されるＳ０９では、制御部６は、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３を制御することにより、クリーニングユニット１２におけるスライド板４０以下の部材を上昇させ、クリーニングローラ４９を、描画テーブル１３から離反させる。 In S09 that is executed after the movement of the drawing table 13 is completed, the control unit 6 controls the cleaning unit vertical movement driving cylinder 43 to raise the members below the slide plate 40 in the cleaning unit 12 and to move the cleaning roller 49. Then, move away from the drawing table 13.
続いて、制御部６は、次のＳ１０において、描画エンジン７に対して描画準備完了を通知し、次のＳ１１において、描画テーブル駆動モータ１８を制御することにより、描画テーブル１３をハンドラ１５側の端点に向けて後退させる。すると、Ｓ１０での通知を受けた描画エンジン７は、図示せぬ描画光学系中のポリゴンミラーを回転させるとともに、描画テーブル１３の移動に同期してアライメント済みの描画データに基づいてレーザ光をＯＮ／ＯＦＦ変調する（描画光学系としてレーザ走査光学系が組み込まれたものが用いられた場合）。若しくは、描画テーブル１３の移動前に、光空間変調素子を作動させることにより（描画光学系として光空間変調素子が組み込まれたものが用いられた場合）、ワークＷ上に回路パターンを描画してから、描画テーブル１３を移動させる。以上により、ワークＷ状に回路パターンが描画される。 Subsequently, the control unit 6 notifies the drawing engine 7 of the completion of drawing preparation in the next S10, and controls the drawing table drive motor 18 in the next S11, whereby the drawing table 13 is moved to the handler 15 side. Retreat toward the end point. Upon receiving the notification in S10, the drawing engine 7 rotates the polygon mirror in the drawing optical system (not shown) and turns on the laser beam based on the aligned drawing data in synchronization with the movement of the drawing table 13. / OFF modulation (when a laser scanning optical system incorporated as a drawing optical system is used). Alternatively, before the drawing table 13 is moved, the circuit pattern is drawn on the work W by operating the light spatial modulation element (when the light spatial modulation element is incorporated as the drawing optical system). Then, the drawing table 13 is moved. As described above, the circuit pattern is drawn in a work W shape.
描画テーブル１３の移動完了後に実行されるＳ１２では、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することにより、吸着部１５ｃを降下させることによって各基板吸着パッド２６をワークＷの表面に接触させる。これとともに、制御部６は、吸引ポンプＰ４を動作させることにより、各基板吸着パッド２６をワークＷに吸着させる。 In S <b> 12 executed after the movement of the drawing table 13 is completed, the control unit 6 controls the handler vertical movement driving cylinder 15 b to lower the suction unit 15 c to bring each substrate suction pad 26 onto the surface of the workpiece W. Make contact. At the same time, the controller 6 causes each workpiece suction pad 26 to be attracted to the workpiece W by operating the suction pump P4.
次のＳ１３では、制御部６は、各吸引ポンプＰ１〜Ｐ３の動作を停止させることにより、ワークＷの描画テーブル１３からの離脱を可能とした上で、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ及びハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８を制御することにより、ワークＷを吸着しているハンドラー５を次段のステージ（第１描画装置２の場合には反転部３，第２描画装置４の場合には排出部５）へ移動させる。その後、ワークＷを次段のステージに載置すると、ハンドラーＷは、ワークＷの吸着を解除して、描画テーブル１３上の原点に復帰する。
＜実施形態による効果＞
以上のように構成され且つ動作する本実施形態の描画装置によれば、描画テーブル１３の天板２７に形成された多数の吸引口２７ａは、描画テーブル１３の上面に区切られた各区画毎にグループ化され、各グループ毎に、専用の吸引ポンプＰによって吸引される。従って、全ての吸引口２７ａが同時にワークＷによって塞がれていなくても、個々のグループ毎に、同じグループに属する全ての吸引口２７ａによって塞がれていれば、そのグループに属する吸引口２７ａに連通するポンプＰの定格真空度（例えば６５０ｍｍＨｇ）にて、ワークＷが描画テーブル１３の上面に真空吸着される。
In the next S13, the control unit 6 stops the operation of each of the suction pumps P1 to P3 so that the workpiece W can be detached from the drawing table 13, and the handler vertical movement driving cylinder 15b and the handler horizontal By controlling the servo motor 8 for movement drive, the handler 5 attracting the workpiece W is removed from the next stage (the reversing unit 3 in the case of the first drawing apparatus 2 and the discharging part in the case of the second drawing apparatus 4). Move to part 5). Thereafter, when the work W is placed on the next stage, the handler W releases the suction of the work W and returns to the origin on the drawing table 13.
<Effect by embodiment>
According to the drawing apparatus of the present embodiment configured and operated as described above, a large number of suction ports 27a formed on the top plate 27 of the drawing table 13 are provided for each section divided on the upper surface of the drawing table 13. They are grouped and suctioned by a dedicated suction pump P for each group. Therefore, even if all the suction ports 27a are not simultaneously closed by the workpiece W, if each individual group is closed by all the suction ports 27a belonging to the same group, the suction ports 27a belonging to the group. The workpiece W is vacuum-sucked on the upper surface of the drawing table 13 at a rated vacuum degree (for example, 650 mmHg) of the pump P communicating with the drawing table 13.
なお、同じグループに属する吸引口２７ａのうちある程度の数の吸引口２７ａが塞がれていれば、全ての吸引口２７ａが塞がれているのでなくても、ある程度の真空度での真空吸着がなされる。このような場合としては、例えば、ワークＷに皺が生じていたり、波打っている場合である。そこで、本実施形態では、Ｓ０５において、各グループの吸引口２７ａに掛かる真空度が何れも５００ｍｍＨｇ以上となっている場合（上述したように、この条件の緩和は可能）には、完全ではないにしても、ワークＷの描画テーブル１３に対する一応の真空吸着がなされているものとみなして、ハンドラー１５の吸着部１５ｃをワークＷから離反（上昇）させるとともに、クリーニングローラ４９を下降させて、描画テーブル１３の表面に接触させる。この状態で、描画テーブル１３が水平方向に移動されるので、相対的に、クリーニングローラ４９がワークＷの表面上を転がされる。それにより、ワークＷの表面に付着していた塵がクリーニングローラ４９の外周面の粘着質によって除塵されるとともに、ワークＷの皺や湾曲が伸ばされて、描画テーブル１３の表面に密着される。これにより、各吸引ポンプの定格真空度による完全な真空吸着が実現されるのである。 If a certain number of suction ports 27a among the suction ports 27a belonging to the same group are closed, vacuum suction with a certain degree of vacuum is possible even if not all the suction ports 27a are closed. Is made. Such a case is, for example, a case where the work W is wrinkled or wavy. Therefore, in the present embodiment, if the degree of vacuum applied to the suction ports 27a of each group is 500 mmHg or more in S05 (as described above, this condition can be relaxed), it is not perfect. However, assuming that the workpiece W is temporarily sucked to the drawing table 13, the suction portion 15c of the handler 15 is separated (raised) from the workpiece W, and the cleaning roller 49 is lowered to draw the drawing table. 13 surfaces are brought into contact. In this state, since the drawing table 13 is moved in the horizontal direction, the cleaning roller 49 is relatively rolled on the surface of the workpiece W. As a result, dust adhering to the surface of the work W is removed by the adhesive material on the outer peripheral surface of the cleaning roller 49, and the wrinkles and curvature of the work W are extended and brought into close contact with the surface of the drawing table 13. As a result, complete vacuum suction is achieved by the rated vacuum degree of each suction pump.
この際、上述のように、各吸引口に掛かる真空度が５００ｍｍＨｇ以上となっているために、ある程度の強度でワークが描画テーブル１３に吸着されていることが保証されているので、クリーニングローラ４９の転動によってワークＷがめくれたり、描画テーブル１３上における位置や向きがずれることはない。 At this time, as described above, since the degree of vacuum applied to each suction port is 500 mmHg or more, it is guaranteed that the work is attracted to the drawing table 13 with a certain degree of strength. , The workpiece W is not turned over, and the position and orientation on the drawing table 13 are not shifted.
２ 第１描画装置
４ 第２描画装置
６ 制御部
７ 描画エンジン
１０ 基台
１１ 描画光学装置
１２ クリーニングユニット
１３ 描画テーブル
１５ ハンドラー
１５ｂ ハンドラー上下移動駆動用シリンダ
１５ｃ 吸着部
１６ レール
１７ ボールネジ
１８ 描画テーブル駆動モータ
２６ 基板吸着パッド
３７ 垂下板
４０ スライド板
４１ 水平板
４３ クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ
４８ 軸受板
４９ クリーニングローラ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 1st drawing apparatus 4 2nd drawing apparatus 6 Control part 7 Drawing engine 10 Base 11 Drawing optical apparatus 12 Cleaning unit 13 Drawing table 15 Handler 15b Handler up / down movement drive cylinder 15c Suction part 16 Rail 17 Ball screw 18 Drawing table drive motor 26 Substrate Suction Pad 37 Drooping Plate 40 Slide Plate 41 Horizontal Plate 43 Cleaning Unit Vertical Movement Cylinder 48 Bearing Plate 49 Cleaning Roller
Claims (5)
描画データに基づいて変調された光線によって像の描画を行う描画光学装置と、
その表面に吸引口が形成された描画テーブルと、
前記描画テーブルを、待機位置と、前記描画光学装置によって像の描画が行われる位置との間で往復移動させる描画テーブル移動機構と、
吸引管を通じて前記描画テーブルの各吸引口と連通し、当該吸引管を通じて前記吸引口から吸引を行う吸引ポンプと、
前記吸引管内の真空度を検知する圧力センサと、
待機位置にある前記描画テーブル上における前記ワークの載置位置と前記描画光学装置との間において、前記描画テーブルの表面と平行且つ当該描画テーブルの移動方向と直交する方向に回転軸を向けてクリーニングローラを回転自在に保持するとともに、前記描画テーブルの表面に接触する位置と当該描画テーブルから離反した位置との間で移動させるクリーニングユニットと、
前記クリーニングユニットに設置され、前記クリーニングローラを回転させるクリーニングローラ駆動モータと、
前記ワークを前記描画テーブルに載置した際、前記圧力センサによって検知された真空度が所定の閾値以上となった場合にのみ、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させ、その状態のまま、前記描画テーブル移動機構に対して前記描画テーブルを前記待機位置から前記描画光学装置による像の描画がなされる位置まで移動させて、前記クリーニングローラ駆動モータに前記クリーニングローラを前記描画テーブルの移動と同期回転させ、前記ワークの表面で前記クリーニングローラを回転移動させる制御部と
を備えたことを特徴とする描画装置。 In a direct exposure type drawing apparatus that draws a pattern corresponding to drawing data on the surface of a workpiece by a light beam modulated based on the drawing data,
A drawing optical device that draws an image with a light beam modulated based on the drawing data;
A drawing table with a suction port formed on its surface;
A drawing table moving mechanism for reciprocating the drawing table between a standby position and a position where an image is drawn by the drawing optical device;
A suction pump that communicates with each suction port of the drawing table through a suction tube, and performs suction from the suction port through the suction tube;
A pressure sensor for detecting the degree of vacuum in the suction pipe;
Cleaning between the mounting position of the workpiece on the drawing table in the standby position and the drawing optical device with the rotation axis directed in a direction parallel to the surface of the drawing table and perpendicular to the moving direction of the drawing table A cleaning unit that rotatably holds the roller and moves between a position in contact with the surface of the drawing table and a position away from the drawing table;
A cleaning roller drive motor installed in the cleaning unit and rotating the cleaning roller;
A position where the cleaning roller contacts the drawing table with respect to the cleaning unit only when the degree of vacuum detected by the pressure sensor is equal to or greater than a predetermined threshold when the work is placed on the drawing table. In this state, the drawing table is moved from the standby position to a position where an image is drawn by the drawing optical device, and the cleaning roller drive motor moves the cleaning table. A drawing apparatus comprising: a control unit configured to rotate a roller in synchronization with movement of the drawing table and to rotate and move the cleaning roller on the surface of the workpiece.
前記ハンドラーと前記描画テーブルとを、前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置と、前記ワークが前記描画テーブルから離反する位置との間で、相対的に移動さ
せる離接機構とを
更に備え、
前記制御部は、前記描画テーブルが前記待機位置にある場合にのみ、前記離接機構を制御することによって前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置に前記ハンドラー及び前記描画テーブルを相対移動させ、前記ハンドラーが前記ワークを開放した時にのみ、前記吸引ポンプを作動させる
ことを特徴とする請求項１記載の描画装置。 A handler that is disposed opposite to the surface of the drawing table at the standby position and holds the workpiece detachably;
And a separation mechanism for relatively moving the handler and the drawing table between a position where the workpiece contacts the surface of the drawing table and a position where the workpiece separates from the drawing table. ,
The control unit moves the handler and the drawing table relative to a position where the workpiece contacts the surface of the drawing table by controlling the separation / contact mechanism only when the drawing table is at the standby position. The drawing apparatus according to claim 1, wherein the suction pump is operated only when the handler opens the workpiece.
ことを特徴とする請求項２記載の描画装置。 The drawing apparatus according to claim 2, wherein the separation / contact mechanism causes the handler to approach or separate from the surface of the drawing table at the standby position.
前記圧力センサは、各吸引ポンプに連通される吸引管毎に夫々設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の描画装置。 A large number of suction ports are formed on the surface of the drawing table, and the large number of suction ports are grouped into a plurality of groups. For each group, a suction port belonging to the same group is dedicated to the group. Aspirated by a pump,
2. The drawing apparatus according to claim 1, wherein the pressure sensor is provided for each suction pipe communicated with each suction pump.
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