JP4877496B2 - カーボンナノチューブエミッタの電子放出特性評価方法 - Google Patents
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Description
これにより、CNTエミッタ単体での検査工程の費用と時間を大幅に削減でき、さらには従来真空封止された最終製品になるまでエミッタによる製品不良が判明しなかったことが、エミッタ基板製造段階において不良品を簡易に検出できるため、コストの大幅削減が可能となる。
に30インチパネルで1280×768(=295万個)設置され、水平方向に移動するホルダー17の上に載置されている。14の半導体レーザと15の収束レンズ等を用いてミクロンサイズに光をスポット照射する。その反射光は同じ光学系を通り、16のハーフミラーにより光検出器へ導入され、反射光強度が測定される。測定器あるいはエミッタ基板のどちらかをX、Y軸に動かして走査しながらの高速な測定が可能である。これにより、数万〜数100万点の数μmサイズの微小なエミッタ基板の電子放出特性のばらつきや、不良部の検出及び評価が可能である。
11…タングステンハロゲンランプ
12…分光器
13…回転機構付ホルダー
14…半導体レーザ
15…収束レンズ
16…ハーフミラー
17…ホルダー
Claims (2)
- カーボンナノチューブエミッタのカーボンナノチューブ膜に、光源から光を照射して、その反射光強度を測定し、これと電子放出特性の関係を求めることを特徴とする、カーボンナノチューブエミッタの電子放出特性評価方法。
- 電子放出特性がエミッション電圧である請求項1記載の方法。
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