JP4876360B2 - 光学的位置ずれ検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学的位置ずれ検出装置に関し、例えば半導体素子や液晶表示素子の製造工程におけるパターンの重ね合わせずれ測定などに用いられる装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程のフォトリソグラフィ工程において形成されたレジストパターンと下地パターンとの重ね合わせずれ量を測定する必要があり、この重ね合わせずれ量の測定に際して位置ずれ検出装置(重ね合わせ測定装置)が用いられている。この種の位置ずれ検出装置では、被検マーク(重ね合わせマーク)に対して照明光を照射し、マークからの反射光に基づいて形成されたマーク像をCCDカメラ等で撮像し、画像処理を経て重ね合わせずれ量を測定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述した位置ずれ検出装置では、測定光学系(照明光学系および結像光学系)において光軸に関して非回転対称な収差が存在し、且つその収差が測定視野領域内において非対称に分布している場合には、測定誤差(TIS: Tool Induced Shift)が発生する。その他にも、照明光束の主光線が傾斜している場合や、測定マークによる回折光の光束が非対称に遮られて(ケラれて)いる場合にもTISが発生する。
【0004】
そこで、特開2000−77295号公報に開示されているように、測定光学系に設けられている3要素の調整機構(照明開口絞り、結像開口絞り、第2対物レンズ)によりほぼ理想的な状態に調整する必要がある。図4に示す従来の位置ずれ検出装置では、結像光学系にリレー系を追加し、このリレー系の光路中に偏芯調整が可能な結像開口絞りを配置していた。その結果、リレー系を含む結像光学系の全長が長くなり、ひいては測定光学系を含む装置が大型化するという不都合があった。
【0005】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、偏芯調整が可能な結像開口絞りを含む結像光学系の全長が短縮化された小型の光学的位置ずれ検出装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明では、照明光学系を介して物体を照明し、結像光学系を介して形成された前記物体の像に基づいて前記物体の位置ずれを光学的に検出する光学的位置ずれ検出装置において、
前記結像光学系は、物体側に配置された第1対物レンズと、像側に配置された第2対物レンズとを備え、
前記第1対物レンズの瞳面またはその近傍には、前記第1対物レンズの光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な結像開口絞りが設けられていることを特徴とする光学的位置ずれ検出装置を提供する。
【0007】
本発明の好ましい態様によれば、前記結像開口絞りは、前記第1対物レンズの最も物体側のレンズと最も像側のレンズとの間の光路中に位置決めされている。この場合、前記結像開口絞りを支持する開口絞り板が、前記第1対物レンズの鏡筒に設けられた貫通孔を貫通するように位置決めされ、且つ前記光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能に構成されていることが好ましい。また、前記第2対物レンズは、その光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能に構成されていることが好ましい。さらに、前記照明光学系の瞳面またはその近傍には、前記照明光学系の光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な照明開口絞りが設けられていることが好ましい。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態では、物体側に配置された第1対物レンズと像側に配置された第2対物レンズとで結像光学系を構成し、第1対物レンズの瞳面(またはその近傍)に、偏芯調整が可能な(光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な)結像開口絞りを設けている。したがって、従来技術において付設されていたリレー系の分だけ、結像光学系の全長が短縮化される。その結果、偏芯調整が可能な結像開口絞りを含む結像光学系の全長が短縮化された小型の光学的位置ずれ検出装置を実現することができる。
【0009】
本発明の実施形態を、添付図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施形態にかかる光学的位置ずれ検出装置の構成を概略的に示す図である。本実施形態では、半導体ウェハ上の重ね合わせマーク(以下、単に「マーク」という)の重ね合わせずれ量を測定するための重ね合わせ測定装置に本発明を適用している。図1を参照すると、本実施形態の装置は、たとえばハロゲンランプのような光源1を備えている。
【0010】
光源1から供給された広帯域波長(たとえば530nm〜800nm)の照明光は、コンデンサーレンズ2で集光された後、視野絞り3を均一に照明する。視野絞り3には、図1に示すように、たとえば矩形状の開口部(光透過部)S1が形成されている。視野絞り3の開口部S1を通過した照明光は、照明リレーレンズ4によってコリメートされた後、ビームスプリッターとしてのハーフプリズム5に入射する。ハーフプリズム5で反射された照明光は、第1対物レンズ6を介して、ステージ22上に載置されたウェハ21の表面上に形成されたマーク20を垂直照明する。
【0011】
以上のように、コンデンサーレンズ2、視野絞り3、照明リレーレンズ4、ハーフプリズム5および第1対物レンズ6は、光源1からの照明光に基づいて被検物体としてのマーク20を照明するための照明光学系を構成している。なお、視野絞り3はウェハ21と光学的にほぼ共役に配置され、その開口部S1はマーク20を照明する領域を規定している。また、光源1とコンデンサーレンズ2との間の光路中において照明光学系の瞳面には、その光軸と直交する面(XZ平面)に沿って移動可能な(すなわち偏芯調整が可能な)照明開口絞り10が設けられている。
【0012】
照明されたマーク20からの反射光(回折光を含む)は、第1対物レンズ6を介してコリメートされ、ハーフプリズム5を透過した後、第2対物レンズ7に入射する。ここで、第2対物レンズ7は、その光軸と直交する面(XY平面)に沿って移動可能(すなわち偏芯調整が可能)に構成されている。第2対物レンズ7を介して集光された光は、たとえばCCDのような撮像素子8の撮像面にマーク20の像を形成する。撮像素子8からの出力信号は画像処理部9に供給され、画像処理部9ではマーク20の像の画像情報に基づいてマーク20の重ね合わせずれ量を測定する。
【0013】
以上のように、第1対物レンズ6、ハーフプリズム5および第2対物レンズ7は、照明されたマーク20からの反射光に基づいてマーク20の像を形成するための結像光学系を構成している。なお、第1対物レンズ6の瞳面には、その光軸とほぼ直交する面(XY平面)に沿って移動可能な(すなわち偏芯調整が可能な)結像開口絞り11が設けられている。ここで、第1対物レンズ6を無限遠系として設計する場合、その最も物体側(ウェハ側)のレンズと最も像側(撮像素子側)のレンズとの間の光路中に結像開口絞り11が位置決めされるのが通常である。
【0014】
本実施形態では、第2対物レンズ7を偏芯調整することにより、結像光学系の非回転対称な収差を補正することができる。また、照明開口絞り10を偏芯調整することにより、照明光束の主光線の傾斜(照明テレセントリシティの崩れ)を調整することができる。さらに、結像開口絞り11を偏芯調整することにより、マーク20からの回折光の光束が光軸に関して非対称に遮られないように調整することができる。すなわち、第2対物レンズ7、照明開口絞り10および結像開口絞り11の3要素の偏芯調整により、TISを良好に抑えたほぼ理想的な状態に測定光学系を調整することができる。以下、第2対物レンズ7、照明開口絞り10および結像開口絞り11の3要素を用いた偏心調整について説明する。
【0015】
図2は、第2対物レンズ、照明開口絞りおよび結像開口絞りを用いた偏芯調整に使用される調整用マークの構成を示す図である。本実施形態では、調整用マークとして、たとえば図2に示すようなL/S(ライン・アンド・スペース)マーク(線幅3μm、ピッチ6μm、段差85nm(0.085μm):測定波長λの1/8程度)を用いる。そして、調整用マークを観察して得られる画像信号強度プロファイルの左右エッジの非対称性に関する指標であるQ値(Q値=ΔI/I0×100(%)と定義する)を測定し、調整用マークがZ方向にデフォーカスしたときのQ値の変動特性すなわちフォーカス特性を評価する。
【0016】
図3は、調整用マークがZ方向にデフォーカスしたときのQ値の変動特性を説明する図である。ここで、図3(a)は、照明開口絞り10の偏芯調整により得られるQ値の変動特性を示している。また、図3(b)は、結像開口絞り11の偏芯調整により得られるQ値の変動特性を示している。さらに、図3(c)は、第2対物レンズ7の偏芯調整により得られるQ値の変動特性を示している。一般に、未調整の装置では、各光学部材の製造誤差および組立誤差などに起因して、図3(d)に示すようなQ値の変動特性が得られる。
【0017】
この場合、図3(d)に示すQ値の特性曲線において凸成分が大き過ぎると、第2対物レンズ7の偏芯調整量を的確に定めることができない。また、照明開口絞り10は、結像開口絞り11および第2対物レンズ7に比べて調整感度が鈍く、多少偏芯させてもその判断指標となる平行シフト成分αの変化量が少ないので、特性曲線における凸成分βおよび傾斜成分γをある程度除去した状態でなければ、照明開口絞り10の偏芯調整量の判定を正確に行うことができない。そこで、本実施形態では、結像開口絞り11、第2対物レンズ7、照明開口絞り10の順序で偏芯調整を行う。
【0018】
すなわち、本実施形態では、まず、調整感度の敏感な結像開口絞り11を偏芯調整することにより、特性曲線の凸成分を取り除く。次いで、第2対物レンズ7を偏芯調整することにより、特性曲線の傾斜成分を取り除く。さらに、照明開口絞り10を偏芯調整することにより、特性曲線の平行シフト成分を取り除く。こうして、1回目の調整操作によりQ値の特性曲線が所定の規格範囲内に収まった場合、調整は終了する。一方、1回目の調整によりQ値の特性曲線が所定の規格範囲内に収まらなかった場合、Q値の特性曲線が所定の規格範囲内に収まるまで上述の調整手順を繰り返す。なお、上述の調整に関する更なる詳細については、特開2000−77295号公報などを参照することができる。
【0019】
以上のように、本実施形態では、第1対物レンズ6と第2対物レンズ7とで結像光学系を構成し、第1対物レンズ6の瞳面に偏芯調整が可能な結像開口絞り11を設けている。したがって、図4に示すように従来技術において付設されていたリレー系(第1結像リレーレンズ12および第2結像リレーレンズ13)の分だけ、結像光学系の全長が短縮化される。その結果、本実施形態では、偏芯調整が可能な結像開口絞り11を含む結像光学系の全長が短縮化された小型の光学的位置ずれ検出装置を実現することができる。すなわち、測定誤差を良好に抑えたほぼ理想的な状態に測定光学系を調整することができ、且つ光学系全体を小型化することができる。また、結像光学系の光路中に配置される光学部材の総数が低減されるので、収差発生の要因が減り、測定精度を左右する総合的な収差が減るというメリットもある。
【0020】
次に、図5乃至図7に基づいて、第1対物レンズ6に設けられた偏芯機構付き結像開口絞り11の具体的な構成について説明する。図5は開口絞り板11a(結像開口絞り11を支持している)の偏芯機構装置の正面図であり、図6は図5の偏芯機構装置の底面図であり、図7は図5の偏芯機構装置の左側面図である。
【0021】
図5において、第1対物レンズ6の鏡筒には、結像開口絞り11を支持している開口絞り板11aを挿入可能なスリット状の貫通穴6a(鏡筒の周方向に沿って延びる細長いスリット穴)が光軸に関して対称的に一対形成されている。貫通穴6aは、開口絞り板11aをXY方向に偏芯調整できる程度の大きさを有している。なお、図5において、X方向とは紙面に対して水平な方向を言い、Y方向とは紙面に対して垂直な方向を言う。開口絞り板11aは、第1対物レンズ6の一方の貫通穴6aから挿入され、レンズ群6bと6cとの間を通り、その先端が他方の貫通穴6aから突出した状態で、第1対物レンズ6に設けられる。開口絞り板11aには結像開口絞り11が設けられ、結像開口絞り11は第1対物レンズ6の光軸に対してX方向およびY方向に偏芯調整される。
【0022】
まず、Y軸方向の偏芯機構(Y軸調整ツマミ40、Y軸移動テーブル41、Y軸ガイドレール42、支持部材43、付勢バネ44、およびセットビス45)について、その構成及び動作を説明する。開口絞り板11aは、その両端がそれぞれY軸用移動テーブル41に固定され、Y軸用移動テーブル41がY軸用ガイドレール42上をY軸方向に駆動可能に設けられている。図6において、開口絞り板11aは、その側面が一方のY軸移動テーブル41に設けられた付勢バネ44によってY軸調整ツマミ40の先端部40aに押し当てられ、Y軸上での位置を維持している。
【0023】
Y軸調整ツマミ40は固定部材50の張出部にネジ結合され押え環43によって固定され、その先端部40aがミクロン単位でY軸方向に移動できるように構成されている。Y軸調整ツマミ40の先端部40aは、開口絞り板11aの側面11bに当接しており、Y軸調整ツマミ40を回動させると、開口絞り板11aがY軸用移動テーブル41とY軸用ガイドレール42とを介して付勢バネ44に抗してY軸方向に平行移動し、結像開口絞り11のY軸方向の偏芯調整がなされる。結像開口絞り11のY軸方向の偏芯調整がなされると、その位置を固定するために、セットビス45を開口絞り板11aの側面に当接させる。
【0024】
次に、X軸方向の偏芯機構(X軸調整ツマミ30、X軸移動テーブル31、X軸ガイドレール32、支持部材33、付勢バネ34、およびセットビス35)について、その構成及び動作を説明する。図5及び図7において、一対のY軸ガイドレール42は、それぞれX軸用移動テーブル31に固定されている。従って、Y軸偏芯機構(Y軸調整ツマミ40、Y軸移動テーブル41、Y軸ガイドレール42、支持部材43、付勢バネ44、およびセットビス45)と開口絞り板11aとは、X軸用移動テーブル31によりX軸方向に一体駆動されることになる。
【0025】
図5において、一対のX軸用移動テーブル31は、それぞれX軸用ガイドレール32上をX軸方向に駆動可能に設けられている。X軸用移動テーブル31は、X軸ガイドレール32と固定された関係にある部材に設けられた付勢バネ34によってX軸調整ツマミ30の先端部30aに押し当てられ、X軸上での位置を維持している。X軸調整ツマミ30はX軸用ガイドレール32の張出部にネジ結合され押え環33により固定され、その先端部30aがミクロン単位でX軸方向に移動できるように構成されている。
【0026】
一対のX軸用ガイドレール32は、それぞれ固定部材50を介して顕微鏡のレボルバー52にネジなどで固着される。X軸調整ツマミ30の先端部30aは、X軸用移動テーブル31の側面31aに当接しており、X軸調整ツマミ30を回動させると、開口絞り板11aがX軸用移動テーブル31とX軸用ガイドレール32とを介して付勢バネ34に抗してX軸方向に平行移動し、結像開口絞り11のX軸方向の偏芯調整がなされる。結像開口絞り11のX軸方向の偏芯調整がなされると、その位置を固定するために、セットビス35をX軸用移動テーブル31の側面に当接させる。
【0027】
最後に、図5を参照して、第1対物レンズ6をレボルバー52に固定する機構について説明する。レボルバー52には、第1対物レンズ6を取り付けるための取付け部材51が保持部(不図示)に回転可能に埋め込まれている。この取付け部材51は、フランジを備えた円環状筒の形状をしており、その筒部分には雌ネジ51aが切られ、第1対物レンズ6の雄ネジ(接合ネジ)6dと結合できるように構成されている。
【0028】
本実施形態では、第1対物レンズ6が取付け部材51にネジ結合された後に、開口絞り板11aが貫通穴6aに挿入される。その後、開口絞り板11aをY軸偏芯機構のY軸用移動テーブル41に固定するために、第1対物レンズ6の取付け部材51が保持部内を所定角度回動(光軸を中心とした回転)できることを利用して、開口絞り板11aの回転方向位置を調整する。開口絞り板11aがY軸用移動テーブル41に固定されると、保持部内での取付け部材51の位置を固定するため、すなわち、第1対物レンズ6の回転方向の自由度を規制するために、不図示のセットビスにより固定する。
【0029】
なお、上述の実施形態では、半導体ウェハ上の重ね合わせマークの重ね合わせずれ量を測定するための重ね合わせ測定装置に本発明を適用しているが、これに限定されることなく、結像光学系を介して形成された物体像に基づいて物体の位置ずれを光学的に検出する光学的位置ずれ検出装置に本発明を適用することもできる。以上のように、本実施形態では、従来技術のリレー光学系が不要となり、その結果、測定性能を左右する測定光学系の生産コストを低減することができ、測定光学系の不良発生時の交換作業が容易となり、装置の総合的な生産効率が向上する。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、物体側に配置された第1対物レンズと像側に配置された第2対物レンズとで結像光学系を構成し、第1対物レンズの瞳面に偏芯調整が可能な結像開口絞りを設けているので、従来技術において付設されていたリレー系の分だけ結像光学系の全長が短縮化される。こうして、本発明では、偏芯調整が可能な結像開口絞りを含む結像光学系の全長が短縮化された小型の光学的位置ずれ検出装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる光学的位置ずれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図2】第2対物レンズ、照明開口絞りおよび結像開口絞りを用いた偏芯調整に使用される調整用マークの構成を示す図である。
【図3】調整用マークがZ方向にデフォーカスしたときのQ値の変動特性を説明する図である。
【図4】本実施形態の比較例として従来の位置ずれ検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図5】第1対物レンズに設けられた偏芯機構付き結像開口絞りの具体的な構成について説明する図であって、開口絞り板(結像開口絞りを支持している)の偏芯機構装置の正面図である。
【図6】図5の偏芯機構装置の底面図である。
【図7】図5の偏芯機構装置の左側面図である。
【符号の説明】
1 光源
2 コンデンサーレンズ
3 視野絞り
4 照明リレーレンズ
5 ハーフプリズム
6 第1対物レンズ
7 第2対物レンズ
8 撮像素子
9 画像処理部
10 照明開口絞り
11 結像開口絞り
22 ステージ
21 ウェハ
20 重ね合わせマーク
Claims (5)
- 照明光学系を介して物体を照明し、結像光学系を介して形成された前記物体の像に基づいて前記物体の位置ずれを光学的に検出する光学的位置ずれ検出装置において、
前記結像光学系は、物体側に配置された第1対物レンズと、像側に配置された第2対物レンズとを備え、
前記第1対物レンズの瞳面またはその近傍には、前記第1対物レンズの光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な結像開口絞りが設けられていることを特徴とする光学的位置ずれ検出装置。 - 前記結像開口絞りは、前記第1対物レンズの最も物体側のレンズと最も像側のレンズとの間の光路中に位置決めされていることを特徴とする請求項1に記載の光学的位置ずれ検出装置。
- 前記結像開口絞りを支持する開口絞り板が、前記第1対物レンズの鏡筒に設けられた貫通孔を貫通するように位置決めされ、且つ前記光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能に構成されていることを特徴とする請求項2に記載の光学的位置ずれ検出装置。
- 前記第2対物レンズは、その光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学的位置ずれ検出装置。
- 前記照明光学系の瞳面またはその近傍には、前記照明光学系の光軸とほぼ直交する面に沿って移動可能な照明開口絞りが設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学的位置ずれ検出装置。
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