JP4869059B2 - アンテナ、プラズマ処理装置および基板の処理方法 - Google Patents
アンテナ、プラズマ処理装置および基板の処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4869059B2 JP4869059B2 JP2006503590A JP2006503590A JP4869059B2 JP 4869059 B2 JP4869059 B2 JP 4869059B2 JP 2006503590 A JP2006503590 A JP 2006503590A JP 2006503590 A JP2006503590 A JP 2006503590A JP 4869059 B2 JP4869059 B2 JP 4869059B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turn
- antenna
- loop
- leg
- radial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
- H01Q1/36—Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/321—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32467—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
- H01Q1/12—Supports; Mounting means
- H01Q1/22—Supports; Mounting means by structural association with other equipment or articles
- H01Q1/26—Supports; Mounting means by structural association with other equipment or articles with electric discharge tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q7/00—Loop antennas with a substantially uniform current distribution around the loop and having a directional radiation pattern in a plane perpendicular to the plane of the loop
Description
Claims (36)
- 窓を通してプロセスチャンバ内で電界を生成するアンテナであって、
アンテナ軸の周りに配置された第1外側ループターンを備える外側ループと、
前記アンテナ軸の周りに配置された第1内側ループターンを備える内側ループと、前記第1内側ループターンは、それぞれの方位角方向において前記第1外側ループターンよりも前記アンテナ軸により近いことと、
前記内側ループから伸びる第1レッグと、
前記外側ループから伸び、前記内側ループの中心を横切って前記第1レッグに対向する第2レッグと、
前記内側ループを横切って前記第1レッグと第2レッグとを接続することにより、前記外側ループと前記内側ループとを半径方向に電気的に接続する半径方向コネクタであって、前記外側および内側ループよりも前記窓から大きな距離をあけて配置される前記半径方向コネクタと
を備える
アンテナ。 - 請求項1に記載のアンテナであって、前記第1レッグは前記外側ループによって規定される第1平面に実質的に垂直であり、前記第2レッグは前記内側ループによって規定される第2平面に実質的に垂直であるアンテナ。
- 請求項1または2のいずれかに記載のアンテナであって、前記外側ループは前記窓から第1距離であり、前記半径方向コネクタは前記窓から第2距離であり、前記第2距離は前記第1距離の少なくとも3倍であるアンテナ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のアンテナであって、前記内側ループは前記外側ループと同軸であり、かつ同一平面上であるアンテナ。
- 請求項1から4のいずれかに記載のアンテナであって、前記内側ループおよび前記外側ループの間にそれらの間でのアークを除去するための誘電体媒体をさらに備えるアンテナ。
- 請求項1から5のいずれかに記載のアンテナであって、前記内側ループおよび前記外側ループは、前記アンテナをを通して伝送されるエネルギーの波長より小さい結合長を有するアンテナ。
- 請求項1から6のいずれかに記載のアンテナであって、前記外側ループは前記アンテナ軸の周りに配置された第2外側ループターンをさらに備え、前記内側ループは前記アンテナ軸の周りに配置された第2内側ループターンをさらに備えるアンテナ。
- 請求項7に記載のアンテナであって、前記第2外側ループターンは、前記第1外側ループターンの上に配置され、前記第2内側ループターンは、前記第1内側ループターンの上に配置され、前記第1外側ループターンおよび第1内側ループターンは、前記第2外側ループターンおよび前記第2内側ループターンの端子電圧を実効的に遮蔽するアンテナ。
- 請求項7または8のいずれかに記載のアンテナであって、第1外側ループターン、第2外側ループターン、第1内側ループターン、および第2内側ループターンの間に配置されたそれらの間でのアークを除去する誘電体媒体をさらに備えるアンテナ。
- 請求項1から9のずれかに記載のアンテナであって、前記内側ループおよび前記外側ループに結合されたRF電力源をさらに備えるアンテナ。
- 請求項10に記載のアンテナであって、前記内側ループおよび外側ループは協働して、前記RF電力源によって発生されたRFエネルギーで、方位角方向に対称な電界をプロセスチャンバに形成し、前記方位角方向に対称な電界は、実質的に方位角方向に対称なプラズマを形成し、これが実質的に均一なプロセスレートを前記プロセスチャンバの内部に置かれた基板の表面にわたって実現するアンテナ。
- 請求項1から11のいずれかに記載のアンテナであって、前記内側ループに電気的に接続された第1リードおよび前記外側ループに電気的に接続された第2リードをさらに備えるアンテナ。
- 請求項12に記載のアンテナであって、前記第2リードから伸びる半径方向ラインをさらに備え、前記半径方向コネクタは、半径方向電流によってもたらされるを方位角非対称性を低減するように、前記半径方向ラインに平行且つ近接して配置されている、アンテナ。
- 請求項1から13のいずれかに記載のアンテナであって、前記第1外側ループターンおよび第1内側ループターンのうちの少なくとも1つは完全な切り欠きの付けられたターンであるアンテナ。
- 請求項8から14のいずれかに記載のアンテナであって、前記第2外側ループターンおよび第2内側ループターンのうちの少なくとも1つは方位角方向のギャップを有し、半径方向距離だけ前記アンテナ軸から離れ、前記方位角方向のギャップに架かる部分ターンをさらに備え、前記部分ターンは前記アンテナ軸から、前記方位角方向のギャップが前記アンテナ軸から離れている半径方向の距離に等しい半径方向の距離にあるアンテナ。
- 基板を処理するプラズマ処理装置であって、
前記処理のためにプラズマが点火および維持されるプロセスチャンバ、
前記プロセスチャンバへRFエネルギーが透過することを可能にするよう構成される前記プロセスチャンバの側面を形成する窓、および
前記窓に隣接し、RFエネルギーを介して前記プロセスチャンバ内に電界を作るよう構成されたマルチレイヤアンテナであって、
前記アンテナ軸の周りに配置された第1外側ループターンを備える外側ループと、
前記アンテナ軸の周りに配置された第1内側ループターンを備える内側ループと、前記内側ループターンは、それぞれの方位角方向において前記第1外側ループターンよりも前記アンテナ軸により近いことと、
前記内側ループから伸びる第1レッグと、
前記外側ループから伸び、前記内側ループの中心を横切って前記第1レッグに対向する第2レッグと、
前記内側ループを横切って前記第1レッグと第2レッグとを接続することにより、前記外側ループと前記内側ループとを半径方向に電気的に接続する半径方向コネクタであって、前記外側および内側ループよりも前記窓から大きな距離をあけて配置される前記半径方向コネクタと
を備えるマルチレイヤアンテナ
を備えるプラズマ処理装置。 - 請求項16に記載のプラズマ処理装置であって、前記外側ループは前記窓から第1距離であり、前記半径方向コネクタは前記窓から第2距離であり、前記第2距離は前記第1距離の少なくとも3倍であるプラズマ処理装置。
- 基板を処理する方法であって、
前記基板を処理チャンバ内に置くことであって、前記処理チャンバは、前記処理チャンバ内の基板ホルダおよび前記処理チャンバの側面を形成する誘電体窓を備え、アンテナは前記誘電体窓に隣接する前記チャンバの外に配置され、
前記処理ガスを前記チャンバ内に導入すること、
前記アンテナを用いて方位角方向に対称な電界を作ることであって、前記アンテナは、アンテナ軸の周りに配置された第1外側ループターンを備える外側ループと、前記アンテナ軸の周りに配置された第1内側ループターンを備える内側ループと、前記内側ループターンは、それぞれの方位角方向において前記第1外側ループターンよりも前記アンテナ軸により近いことと、前記内側ループから伸びる第1レッグと、前記外側ループから伸び、前記内側ループの中心を横切って前記第1レッグに対向する第2レッグと、および前記内側ループを横切って前記第1レッグと第2レッグとを接続することにより、前記外側ループと前記内側ループとを半径方向に電気的に接続する半径方向コネクタであって、前記外側および内側ループよりも前記窓から大きな距離をあけて配置される前記半径方向コネクタとを備える、前記アンテナを用いて電界を作ること、
前記方位角方向に対称な電界を用いて前記処理ガスから方位角方向に実質的に均一なプラズマを形成すること、および
基板の表面にわたって実質的に均一なプロセスレートを作ること
を含む方法。 - 請求項18に記載の方法であって、前記第2レッグは前記外側ループによって規定される第1平面に実質的に垂直であり、前記第1レッグは前記内側ループによって規定される第2平面に実質的に垂直である方法。
- 請求項18または19のいずれかに記載の方法であって、前記外側ループは前記窓から第1距離であり、前記半径方向コネクタは前記窓から第2距離であり、前記第2距離は前記第1距離の少なくとも3倍である方法。
- 請求項18から20のいずれかに記載の方法であって、前記内側ループは前記外側ループと同軸であり、かつ同一平面上である方法。
- 請求項18から21のいずれかに記載の方法であって、前記内側ループおよび前記外側ループの間にそれらの間でのアークを除去するための誘電体媒体が配置される方法。
- 請求項18から22のいずれかに記載の方法であって、前記外側ループは前記アンテナ軸の周りに配置された第2外側ループターンをさらに備え、前記内側ループは前記アンテナ軸の周りに配置された第2内側ループターンをさらに備える方法。
- 請求項23に記載の方法であって、前記第2外側ループターンは、前記第1外側ループターンの上に配置され、前記第2内側ループターンは、前記第1内側ループターンの上に配置され、前記第1外側ループターンおよび第1内側ループターンは、前記第2外側ループターンおよび前記第2内側ループターンの端子電圧を実効的に遮蔽する方法。
- 請求項18から27のいずれかに記載の方法であって、前記アンテナを通る電流をラジオ周波に等しい周波数において交番させることをさらに含む方法。
- 請求項25に記載の方法であって、前記周波数は波長を有し、前記内側ループおよび外側ループの結合された長さは前記波長より小さい方法。
- 請求項18から26のいずれかに記載の方法であって、前記第1外側ループターンおよび第1内側ループターンは完全な切り欠きのあるターンである方法。
- 請求項23から27のいずれかに記載の方法であって、前記第2外側ループターンおよび第2内側ループターンのうちの少なくとも1つは方位角方向のギャップを有し、半径方向距離だけ前記アンテナ軸から離れ、前記方位角方向のギャップに架かる部分ターンをさらに備え、前記部分ターンは前記アンテナ軸から、前記方位角方向のギャップが前記アンテナ軸から離れている半径方向の距離に等しい半径方向の距離にある方法。
- 基板を処理する方法であって、
前記基板を処理チャンバ内に置くことであって、前記処理チャンバは、前記処理チャンバ内の基板ホルダおよび前記処理チャンバの側面を形成する誘電体窓を備え、アンテナは前記誘電体窓に隣接する前記チャンバの外に配置され、
前記処理ガスを前記チャンバ内に導入すること、
電流を前記アンテナを通して提供することであって、前記電流は、入力レッグから第1ループ、第1コネクタレッグ、半径方向コネクタ、第2コネクタレッグ、第2ループ、出力レッグへ流れ、前記第1ループは、アンテナ軸の周りに配置され、前記第2ループは、前記アンテナ軸について前記第1ループに同軸であり、前記第2コネクタレッグは、前記半径方向コネクタが前記第1ループを横切り前記第1および第2コネクタレッグを接続するように、前記第1および第2ループの中心を横切る前記第1コネクタレッグに対向し、前記入力レッグ、前記第1コネクタレッグ、前記第2コネクタレッグ、および前記出力レッグは平行であり、前記半径方向コネクタは前記外側および内側ループよりも前記窓から大きな距離をあけて配置され、前記電流は前記第1ループおよび第2ループを通して前記アンテナ軸について同じ方向に流れる、電流を提供すること、および
前記アンテナを通る前記電流を用いて前記処理ガスをプラズマに変換すること
を含む方法。 - 請求項29に記載の方法であって、前記第1ループおよび前記第2ループは前記アンテナ軸について同心円状である方法。
- 請求項29から30のいずれかに記載の方法であって、前記第1ループは第1ターンおよび第2ターンを備え、前記第1ターンは第1平面を定義し、前記第2ターンは第2平面を定義し、前記第1平面は前記第2平面から距離が置かれ、前記第2ループは、前記第2平面内の第3ターンおよび前記第1平面内の第4ターンを備える方法。
- 請求項31に記載の方法であって、前記第1平面は前記誘電体窓から第1距離であり、前記第2平面は前記誘電体窓から第2距離であり、前記半径方向コネクタは前記誘電体窓から第3距離であり、前記第3距離は前記第1距離の少なくとも3倍であり、前記第3距離は前記第2距離の少なくとも3倍である方法。
- 請求項29から32のいずれかに記載の方法であって、前記アンテナを通る電流をラジオ周波に等しい周波数において交番させることをさらに含む方法。
- 請求項33に記載の方法であって、前記周波数は波長を有し、前記内側ループおよび外側ループの結合された長さは前記波長より小さく、それにより前記アンテナを通る前記電流は前記波長より短い距離を伝搬する方法。
- 請求項29から34のいずれかに記載の方法であって、前記第1ループおよび前記第2ループは協働して、RFエネルギーで、方位角方向に対称な電界をプロセスチャンバ内に形成する電流を提供し、
前記方位角方向に対称な電界から方位角方向に実質的に均一なプラズマを形成すること、および
前記処理チャンバの内側に配置された基板の表面にわたって実質的に均一なプロセスレートを作ること
を含む方法。 - 請求項29に記載の方法であって、前記電流はさらに半径方向ラインを介して前記出力レッグを介して流れ、前記半径方向コネクタは、半径方向電流によってもたらされるを方位角非対称性を低減するように、前記半径方向ラインに平行且つ近接して配置されている、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/374,868 | 2003-02-24 | ||
US10/374,868 US6744213B2 (en) | 1999-11-15 | 2003-02-24 | Antenna for producing uniform process rates |
PCT/US2004/004399 WO2004077608A2 (en) | 2003-02-24 | 2004-02-12 | Antenna for producing uniform process rates |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006518915A JP2006518915A (ja) | 2006-08-17 |
JP4869059B2 true JP4869059B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=32926260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006503590A Expired - Fee Related JP4869059B2 (ja) | 2003-02-24 | 2004-02-12 | アンテナ、プラズマ処理装置および基板の処理方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6744213B2 (ja) |
EP (1) | EP1632006B1 (ja) |
JP (1) | JP4869059B2 (ja) |
KR (1) | KR101094124B1 (ja) |
CN (1) | CN1833296B (ja) |
AT (1) | ATE506687T1 (ja) |
DE (1) | DE602004032334D1 (ja) |
IL (1) | IL170926A (ja) |
TW (1) | TWI326940B (ja) |
WO (1) | WO2004077608A2 (ja) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200253559Y1 (ko) * | 2001-07-30 | 2001-11-22 | 주식회사 플라즈마트 | 회전방향으로 균일한 플라즈마 밀도를 발생시키는유도결합형 플라즈마 발생장치의 안테나구조 |
US6855225B1 (en) * | 2002-06-25 | 2005-02-15 | Novellus Systems, Inc. | Single-tube interlaced inductively coupling plasma source |
GB0326500D0 (en) * | 2003-11-13 | 2003-12-17 | Oxford Instr Plasma Technology | Gas port assembly |
US20050205211A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-22 | Vikram Singh | Plasma immersion ion implantion apparatus and method |
US7527713B2 (en) * | 2004-05-26 | 2009-05-05 | Applied Materials, Inc. | Variable quadruple electromagnet array in plasma processing |
US7686926B2 (en) * | 2004-05-26 | 2010-03-30 | Applied Materials, Inc. | Multi-step process for forming a metal barrier in a sputter reactor |
US8187416B2 (en) * | 2005-05-20 | 2012-05-29 | Applied Materials, Inc. | Interior antenna for substrate processing chamber |
JP5561812B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2014-07-30 | サムコ株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP5098882B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2012-12-12 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP5301812B2 (ja) * | 2007-11-14 | 2013-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
WO2011022612A2 (en) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | Mattson Technology, Inc. | Inductive plasma source |
US20110094683A1 (en) | 2009-10-26 | 2011-04-28 | Applied Materials, Inc. | Rf feed structure for plasma processing |
US20110094994A1 (en) * | 2009-10-26 | 2011-04-28 | Applied Materials, Inc. | Inductively coupled plasma apparatus |
US9313872B2 (en) * | 2009-10-27 | 2016-04-12 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
CN102054649B (zh) * | 2009-10-27 | 2014-03-19 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置以及等离子体处理方法 |
JP5554047B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2014-07-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US8741097B2 (en) | 2009-10-27 | 2014-06-03 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
JP5592098B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2014-09-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5554099B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-07-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5905447B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2016-04-20 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | プラズマ処理システムにおける誘導コイルアセンブリ |
JP5916044B2 (ja) * | 2010-09-28 | 2016-05-11 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5851682B2 (ja) | 2010-09-28 | 2016-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US8884178B2 (en) * | 2010-10-20 | 2014-11-11 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for igniting and sustaining plasma |
JP5018994B1 (ja) * | 2011-11-09 | 2012-09-05 | 日新電機株式会社 | プラズマ処理装置 |
FR2998722B1 (fr) * | 2012-11-23 | 2016-04-15 | Thales Sa | Systeme antennaire a boucles imbriquees et vehicule comprenant un tel systeme antennaire |
CN105340059B (zh) * | 2013-06-17 | 2019-03-22 | 应用材料公司 | 用于等离子体反应器的增强等离子体源 |
KR20150088453A (ko) * | 2014-01-24 | 2015-08-03 | 한국전자통신연구원 | 다중 대역 플라즈마 루프 안테나 |
US10062670B2 (en) | 2016-04-18 | 2018-08-28 | Skyworks Solutions, Inc. | Radio frequency system-in-package with stacked clocking crystal |
US10320071B2 (en) | 2016-04-19 | 2019-06-11 | Skyworks Solutions, Inc. | Methods for selectively shielding radio frequency modules |
TWI800014B (zh) | 2016-12-29 | 2023-04-21 | 美商天工方案公司 | 前端系統及相關裝置、積體電路、模組及方法 |
US10515924B2 (en) | 2017-03-10 | 2019-12-24 | Skyworks Solutions, Inc. | Radio frequency modules |
US10460914B2 (en) | 2017-11-30 | 2019-10-29 | Lam Research Corporation | Ferrite cage RF isolator for power circuitry |
US20200209928A1 (en) * | 2018-12-27 | 2020-07-02 | Innolux Corporation | Electronic device |
CN111785605A (zh) | 2020-06-23 | 2020-10-16 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种线圈结构及半导体加工设备 |
US20220130704A1 (en) * | 2020-10-23 | 2022-04-28 | Applied Materials, Inc. | Bipolar electrostatic chuck to limit dc discharge |
CN116390320A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-07-04 | 安徽农业大学 | 一种电子回旋共振放电装置及应用 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10125497A (ja) * | 1996-06-10 | 1998-05-15 | Lam Res Corp | ほぼ均一なプラズマ束を誘導するための誘導結合源 |
JP2001085196A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-30 | Jusung Engineering Co Ltd | 誘導結合型プラズマ発生用アンテナ装置 |
JP2001516944A (ja) * | 1997-09-16 | 2001-10-02 | ラム リサーチ コーポレーション | 導電性セグメントを周辺部分に追加したコイルを有する真空プラズマ・プロセッサ |
KR20030008856A (ko) * | 2001-07-20 | 2003-01-29 | 주식회사 셈테크놀러지 | 균일 분포 플라즈마를 형성하는 대면적 플라즈마안테나(lapa)및 이를 포함하는 플라즈마 발생장치 |
WO2003012821A2 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for producing uniform process rates |
JP2003517197A (ja) * | 1999-11-15 | 2003-05-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 均一なプロセス速度を生成するための方法および装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6514376B1 (en) * | 1991-06-27 | 2003-02-04 | Applied Materials Inc. | Thermal control apparatus for inductively coupled RF plasma reactor having an overhead solenoidal antenna |
US5698036A (en) * | 1995-05-26 | 1997-12-16 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
US6089182A (en) * | 1995-08-17 | 2000-07-18 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
JP3153743B2 (ja) | 1995-08-31 | 2001-04-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US6028285A (en) * | 1997-11-19 | 2000-02-22 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High density plasma source for semiconductor processing |
US6229264B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-05-08 | Lam Research Corporation | Plasma processor with coil having variable rf coupling |
US6341574B1 (en) | 1999-11-15 | 2002-01-29 | Lam Research Corporation | Plasma processing systems |
US6302966B1 (en) | 1999-11-15 | 2001-10-16 | Lam Research Corporation | Temperature control system for plasma processing apparatus |
US6322661B1 (en) | 1999-11-15 | 2001-11-27 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for controlling the volume of a plasma |
KR100396214B1 (ko) * | 2001-06-19 | 2003-09-02 | 주성엔지니어링(주) | 초단파 병렬 공명 안테나를 구비하는 플라즈마 공정장치 |
-
2003
- 2003-02-24 US US10/374,868 patent/US6744213B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-02-12 CN CN2004800106180A patent/CN1833296B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-02-12 DE DE602004032334T patent/DE602004032334D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-02-12 KR KR1020057015733A patent/KR101094124B1/ko active IP Right Grant
- 2004-02-12 AT AT04710690T patent/ATE506687T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-02-12 JP JP2006503590A patent/JP4869059B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-02-12 EP EP04710690A patent/EP1632006B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-02-12 WO PCT/US2004/004399 patent/WO2004077608A2/en active Application Filing
- 2004-02-13 US US10/779,187 patent/US6873112B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-02-19 TW TW093104100A patent/TWI326940B/zh not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-09-18 IL IL170926A patent/IL170926A/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10125497A (ja) * | 1996-06-10 | 1998-05-15 | Lam Res Corp | ほぼ均一なプラズマ束を誘導するための誘導結合源 |
JP2001516944A (ja) * | 1997-09-16 | 2001-10-02 | ラム リサーチ コーポレーション | 導電性セグメントを周辺部分に追加したコイルを有する真空プラズマ・プロセッサ |
JP2001085196A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-30 | Jusung Engineering Co Ltd | 誘導結合型プラズマ発生用アンテナ装置 |
JP2003517197A (ja) * | 1999-11-15 | 2003-05-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 均一なプロセス速度を生成するための方法および装置 |
KR20030008856A (ko) * | 2001-07-20 | 2003-01-29 | 주식회사 셈테크놀러지 | 균일 분포 플라즈마를 형성하는 대면적 플라즈마안테나(lapa)및 이를 포함하는 플라즈마 발생장치 |
WO2003012821A2 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for producing uniform process rates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004077608A2 (en) | 2004-09-10 |
TW200507338A (en) | 2005-02-16 |
IL170926A (en) | 2012-01-31 |
WO2004077608A3 (en) | 2006-01-12 |
KR101094124B1 (ko) | 2011-12-15 |
JP2006518915A (ja) | 2006-08-17 |
KR20050103504A (ko) | 2005-10-31 |
DE602004032334D1 (de) | 2011-06-01 |
CN1833296B (zh) | 2010-10-20 |
EP1632006B1 (en) | 2011-04-20 |
US6873112B2 (en) | 2005-03-29 |
EP1632006A2 (en) | 2006-03-08 |
IL170926A0 (en) | 2011-08-01 |
ATE506687T1 (de) | 2011-05-15 |
US20040216676A1 (en) | 2004-11-04 |
CN1833296A (zh) | 2006-09-13 |
US6744213B2 (en) | 2004-06-01 |
TWI326940B (en) | 2010-07-01 |
EP1632006A4 (en) | 2008-11-26 |
US20030189524A1 (en) | 2003-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4869059B2 (ja) | アンテナ、プラズマ処理装置および基板の処理方法 | |
KR100826488B1 (ko) | 균일 처리속도 생성방법 및 장치 | |
JP4378169B2 (ja) | プロセスチャンバ内に電界を発生するアンテナ及びプラズマ処理装置 | |
JP5410950B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5155235B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ生成装置 | |
JP5572329B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ生成装置 | |
US20030057845A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP5705290B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
CN110770880B (zh) | 等离子处理装置 | |
IL159935A (en) | Method and apparatus for producing uniform process rates |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100413 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100713 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111011 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111101 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4869059 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |