JP4867440B2 - Pressure sensor - Google Patents

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本発明は、圧力センサに関するものである。   The present invention relates to a pressure sensor.

従来の圧力センサは、主に、印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子と、センサ素子を内部に収容するとともに、外部から内部に導入された圧力をセンサ素子に導入するケースとによって構成されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００２−２２１４６２号公報 A conventional pressure sensor mainly includes a sensor element that outputs an electrical signal based on an applied pressure, and a case that houses the sensor element inside and introduces pressure introduced from the outside into the sensor element. (For example, refer patent document 1).
JP 2002-221462 A

このような構成の圧力センサは、例えば、測定箇所に取り付け時に誤って落下したときのように、外部から衝撃が加わったとき、センサ素子の特性が変動したり、場合によっては、センサ素子や他の部品等が破壊したりするという問題がある。このため、従来では、圧力センサに衝撃を加えないように、圧力センサを慎重に扱うことでこの問題に対処していたが、圧力センサ自体がそのような衝撃に強い構造であることが好ましい。   The pressure sensor having such a configuration may change the characteristics of the sensor element when an impact is applied from the outside, for example, when it is accidentally dropped at the time of attachment to the measurement location. There is a problem that the parts and the like are destroyed. For this reason, conventionally, this problem has been dealt with by carefully handling the pressure sensor so as not to apply an impact to the pressure sensor. However, it is preferable that the pressure sensor itself has a structure resistant to such an impact.

本発明は、上記点に鑑み、従来構造と比較して、耐衝撃性を向上させることができる圧力センサを提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the pressure sensor which can improve impact resistance compared with the conventional structure in view of the said point.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、ケース（１０）に、ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を設けたことを特徴としている。具体的には、ケース（１０）は、圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有し、衝撃吸収手段は、この空間部と圧力検出の対象としない外部とが遮断されている状態で、ケース（１０）に設けられた孔（１４）である。 In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 is characterized in that the case (10) is provided with an impact absorbing means for absorbing an impact from the outside of the case. Specifically, the case (10) has a space where pressure is introduced from the outside that is the object of pressure detection, and the shock absorbing means is isolated from this space and the outside that is not the object of pressure detection. It is a hole (14) provided in the case (10).

本発明によれば、外部からの衝撃を受けたとき、衝撃吸収手段で外部からの衝撃を吸収できるので、従来構造と比較して、耐衝撃性を向上させることができる。   According to the present invention, when an external impact is received, the external impact can be absorbed by the impact absorbing means, so that the impact resistance can be improved as compared with the conventional structure.

ここで、「孔」とは、空間を構成する部分を意味し、「孔」には、閉じられた空間や、外部に対して開かれた空間等が含まれる。 In here, the "pore" means a portion constituting the space, the "pore" includes or closed spaces, include such space open to the outside.

また、請求項１に記載の発明において、さらに、衝撃吸収手段として、ケース（１０）の外側表面にバネ形状部（７０）を設けたり、ケース（１０）の表面全域に、ケース（１０）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）を設けたりできる。また、ケース（１０）が角部を有する形状の場合、衝撃吸収手段として、ケース（１０）表面の角部のみを部分的に覆うように、ケース（１０）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）を設けることができる。 Further, in the invention described in claim 1, as a shock absorbing means, a spring-shaped portion (70) is provided on the outer surface of the case (10), or the entire surface of the case (10) is provided from the case (10). Also, a rubber-like member (80) having flexibility can be provided. Further, when the case (10) has a shape having a corner, the rubber member having more flexibility than the case (10) so as to partially cover only the corner on the surface of the case (10) as a shock absorbing means. (80) can be provided.

また、本願発明は、例えば、請求項５〜９に示すダイアフラム封止型の圧力センサや、請求項１０〜１４に示す差圧検出型の圧力センサや、請求項１５に示すように、ダイアフラム封止型でかつ差圧検出型の圧力センサにも適用可能である。 The present gun invention, for example, a pressure sensor diaphragm seal type shown in claim 5-9, and a pressure sensor for differential pressure detection type shown in claim 10 to 14, as shown in claim 15, the diaphragm The present invention can also be applied to a pressure sensor of a sealing type and a differential pressure detection type.

そして、請求項５、９、１０、１４に記載の発明では、衝撃吸収手段として、圧力ポート部（１２、１３）に孔（１４）を設けることを特徴としている。具体的には、圧力ポート部（１２、１３）は、圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有しており、この空間部と圧力検出の対象としない外部とが遮断されている状態で、圧力ポート部（１２、１３）に孔を設ける。ここで、「孔」とは、空間を構成する部分を意味し、「孔」には、閉じられた空間や、外部に対して開かれた空間等が含まれる。 Then, in the invention according to claim 5,9,10,14, the shock absorbing means, characterized in that the pressure ports (12, 13) providing holes (14). Specifically, the pressure port portions (12, 13) have a space portion into which pressure is introduced from the outside that is a pressure detection target, and the space portion and the outside that is not a pressure detection target are blocked. In this state, holes are provided in the pressure port portions (12, 13). Here, “hole” means a portion constituting a space, and “hole” includes a closed space, a space opened to the outside, and the like.

また、請求項６、１１に記載の発明のように、衝撃吸収手段として、圧力ポート部（１２、１３）の外側表面にバネ形状部（７０）を設けたり、請求項７、１２に記載の発明のように、圧力ポート部（１２、１３）およびケース本体部（１１）の表面全域を覆うゴム状部材（８０）を設けたりできる。また、請求項８、１３に記載の発明のように、圧力ポート部（１２、１３）が角部を有する形状であれば、衝撃吸収手段として、ケース（１０）の表面のうち、圧力ポート部の角部のみを覆うように、ゴム状部材（８０）を設けることもできる。さらに、これらに加えて、請求項９、１４に記載のように、衝撃吸収手段として、圧力ポート部（１２、１３）に孔（１４）を設けることもできる。 Further, as in the invention described in claims 6 and 11, a spring-shaped part (70) is provided on the outer surface of the pressure port part (12, 13) as an impact absorbing means , As in the invention, a rubber-like member (80) that covers the entire surface of the pressure port portions (12, 13) and the case main body portion (11) can be provided. Further, as in the inventions of claims 8 and 13, if the pressure port portion (12, 13) has a shape having a corner portion, the pressure port portion of the surface of the case (10) is used as an impact absorbing means. A rubber-like member (80) can be provided so as to cover only the corners. Furthermore, in addition to these, as described in claims 9 and 14, a hole (14) can be provided in the pressure port portion (12, 13) as an impact absorbing means.

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

（第１実施形態）
図１に、本発明の第１実施形態における圧力センサＳ１の断面図を示す。本実施形態の圧力センサＳ１は、例えば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために当該排気管に取り付けられ、当該ＤＰＦ前後の排気管の差圧、すなわち、ＤＰＦの上流側圧力とＤＰＦの下流側圧力との差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして用いられる。なお、ＤＰＦとは、排気管途中に煤煙をトラップするフィルタを設け、一定量が溜まったら燃やすことで大気中に煤煙が放出されることを防ぐシステムである。 (First embodiment)
FIG. 1 shows a cross-sectional view of the pressure sensor S1 in the first embodiment of the present invention. The pressure sensor S1 of the present embodiment is attached to the exhaust pipe in order to detect a pressure loss of a DPF (diesel particulate filter) provided in an exhaust pipe of a diesel engine of an automobile, for example, and the exhaust pipe before and after the DPF , That is, a differential pressure (relative pressure) detection type pressure sensor that detects a differential pressure between the upstream pressure of the DPF and the downstream pressure of the DPF. Note that the DPF is a system that prevents a soot from being released into the atmosphere by providing a filter that traps soot in the middle of the exhaust pipe, and burning it when a certain amount accumulates.

図１に示すように、圧力センサＳ１は、ケース本体部１１と、第１、第２の圧力ポート部１２、１３とを有するケース１０と、圧力検出用のセンサ素子２０とを主に備えた構成となっている。なお、本実施形態の圧力センサＳ１は、ケース１０の構造に主な特徴を有するものである。   As shown in FIG. 1, the pressure sensor S <b> 1 mainly includes a case body 10 having a case body 11, first and second pressure port portions 12 and 13, and a sensor element 20 for pressure detection. It has a configuration. Note that the pressure sensor S <b> 1 of the present embodiment has a main feature in the structure of the case 10.

ケース１０は、例えば、全体が略直方体形状であり、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料などにより構成される。   The case 10 has, for example, a substantially rectangular parallelepiped shape as a whole, and is made of a resin material such as PBT (polybutylene terephthalate) or PPS (polyphenylene sulfide).

ケース本体部１１は、センサ素子２０を内部に収容するものである。ケース本体部１１においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部１１ａが形成されており、当該一面と反対の面側（図１中の下面側）に第１の凹部１１ａと連通する第２の凹部１１ｂが形成されている。そして、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとの底部となる位置に、両凹部１１ａ、１１ｂに臨むように、センサ素子２０が設けられている。   The case body 11 houses the sensor element 20 therein. In the case main body 11, a first recess 11a is formed on one surface side (upper surface side in FIG. 1), and the first recess 11a is formed on the surface side opposite to the one surface (lower surface side in FIG. 1). A second recess 11b communicating with the second recess 11b is formed. And the sensor element 20 is provided in the position used as the bottom part of the 1st recessed part 11a and the 2nd recessed part 11b so that both the recessed parts 11a and 11b may be faced.

つまり、これら第１および第２の凹部１１ａ、１１ｂにより構成される空間にセンサ素子２０が設けられており、このセンサ素子２０よりもケース１０の一面側に位置する第１の凹部１１ａが、圧力ポート部からケース本体部１１の内部に導入された圧力を、センサ素子２０へ導入する第１の圧力導入通路１１ａとして構成され、センサ素子２０よりもケース１０の他面側に位置する第２の凹部１１ｂが第２の圧力導入通路１１ｂとして構成されている。   That is, the sensor element 20 is provided in a space formed by the first and second recesses 11a and 11b, and the first recess 11a located on the one surface side of the case 10 with respect to the sensor element 20 The pressure introduced from the port portion into the case body 11 is configured as a first pressure introduction passage 11 a for introducing the pressure into the sensor element 20, and a second pressure located on the other surface side of the case 10 with respect to the sensor element 20. The recess 11b is configured as a second pressure introduction passage 11b.

そして、センサ素子２０の一面２０ａが第１の圧力導入通路１１ａに面し、センサ素子２０の他面２０ｂが第２の圧力導入通路１１ｂに面しており、センサ素子２０の一面２０ａには第１の圧力導入通路１１ａから圧力が印加され、他面２０ｂには第２の圧力導入通路１１ｂから圧力が印加されるようになっている。   One surface 20a of the sensor element 20 faces the first pressure introduction passage 11a, the other surface 20b of the sensor element 20 faces the second pressure introduction passage 11b, and the one surface 20a of the sensor element 20 has the second surface 20a. The pressure is applied from the first pressure introduction passage 11a, and the pressure is applied to the other surface 20b from the second pressure introduction passage 11b.

第１、第２の圧力ポート部１２、１３は、圧力センサＳ１の外部から圧力が導入される部分であり、本実施形態では、ケース本体部１１と別体である。   The first and second pressure port portions 12 and 13 are portions into which pressure is introduced from the outside of the pressure sensor S1, and are separate from the case main body portion 11 in the present embodiment.

具体的には、第１、第２の圧力ポート部１２、１３には、それぞれ、圧力を導入するための導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。また、第１、第２の圧力ポート部１２、１３は、それぞれ、その内壁１２ｂ、１３ｂと第１、第２のダイアフラム５１、５２とによって、圧力検出対象としての上流側排気ガス、下流側排気ガスが導入される空間部を形成している。   Specifically, the first and second pressure port portions 12 and 13 are provided with introduction ports 12a and 13a for introducing pressure, respectively. Further, the first and second pressure port portions 12 and 13 are respectively provided with upstream exhaust gas and downstream exhaust gas as pressure detection targets by inner walls 12b and 13b and first and second diaphragms 51 and 52, respectively. A space for introducing gas is formed.

また、第１の圧力ポート部１２は、ケース本体部１１の一面側（図中上側）すなわち第１の凹部１１ａ側に組み付けられ、第２の圧力ポート部１３は、ケース本体部１１の他面側すなわち第２の凹部１１ｂ側（図中下側）に組み付けられている。なお、第１、第２の圧力ポート部１２、１３をケース本体部１１に組み付ける手段としては、例えば、ネジ部材としてのネジおよびナットや、リベット等を用いることができる。   The first pressure port portion 12 is assembled to one surface side (upper side in the figure) of the case body portion 11, that is, the first recess 11 a side, and the second pressure port portion 13 is the other surface of the case body portion 11. It is assembled to the side, that is, the second recess 11b side (lower side in the figure). As a means for assembling the first and second pressure port portions 12 and 13 to the case main body 11, for example, screws and nuts as screw members, rivets, and the like can be used.

また、第１、第２の圧力ポート部１２、１３は、外観の形状が略直方体であり、角を有している。また、第１、第２の圧力ポート部１２、１３は、多孔質であり、内部に複数の孔１４を有している。この孔１４は、発砲させる等により形成されるものである。また、孔１４は、図１では、１つ１つが閉じられた空間（空隙）であるが、複数の孔１４同士が連通していても良く、空間部１２ｂ、１３ｂと外部とが遮蔽されていれば、孔１４が外部と連通していても良い。   The first and second pressure port portions 12 and 13 have a substantially rectangular parallelepiped shape and have corners. The first and second pressure port portions 12 and 13 are porous and have a plurality of holes 14 therein. The hole 14 is formed by firing or the like. Further, in FIG. 1, each hole 14 is a space (gap) closed one by one, but a plurality of holes 14 may communicate with each other, and the space portions 12b and 13b and the outside are shielded. If so, the hole 14 may communicate with the outside.

センサ素子２０は、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンシング部として構成されるものである。具体的には、センサ素子２０は、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。   The sensor element 20 is configured as a sensing unit that outputs a signal based on an applied pressure. Specifically, the sensor element 20 generates an electric signal having a level corresponding to the applied pressure value.

本実施形態では、センサ素子２０として、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム２１を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップを採用している。具体的には、センサ素子２０は、半導体基板の一面側に、エッチングなどによって凹部２２を形成し、この凹部２２の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム２１を有する。   In the present embodiment, a semiconductor diaphragm type sensor chip having a diaphragm 21 as a thin portion on a semiconductor substrate such as a silicon substrate is employed as the sensor element 20. Specifically, the sensor element 20 includes a diaphragm 21 formed on one surface side of the semiconductor substrate by etching or the like, and configured as a thin portion with the formation of the recess 22.

この場合、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２とは反対側の面２０ａが、上記した第１の圧力導入通路１１ａに面するセンサ素子２０の一面であり、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面２０ｂが、上記した第２の圧力導入通路１１ｂに面するセンサ素子２０の他面である。   In this case, the surface 20a of the diaphragm 21 of the sensor element 20 opposite to the recess 22 is one surface of the sensor element 20 facing the first pressure introduction passage 11a, and the recess 22 of the sensor element 20 in the diaphragm 21 is. The side surface 20b is the other surface of the sensor element 20 facing the above-described second pressure introduction passage 11b.

このような半導体ダイアフラム式センサチップとしてのセンサ素子２０は、例えば、半導体プロセスによってシリコン半導体チップに対して、ダイアフラム２１および図示しない拡散抵抗素子などにより構成されるブリッジ回路などを形成してなるものを採用できる。   The sensor element 20 as such a semiconductor diaphragm type sensor chip is formed by forming, for example, a bridge circuit composed of a diaphragm 21 and a diffusion resistance element (not shown) on a silicon semiconductor chip by a semiconductor process. Can be adopted.

このようなセンサ素子２０は、圧力の印加によってダイアフラム２１が歪み、その歪みによって上記ブリッジ回路に生じる抵抗値変化を電気信号に変換して出力する機能を有するものである。   Such a sensor element 20 has a function of distorting the diaphragm 21 by application of pressure, converting a change in resistance value generated in the bridge circuit due to the distortion into an electric signal, and outputting the electric signal.

そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されており、これらセンサ素子２０と台座３０とは一体化されている。ここで、センサ素子２０と台座３０とは、例えば、陽極接合などにより接合される。   A pedestal 30 made of glass or the like is bonded to the sensor element 20, and the sensor element 20 and the pedestal 30 are integrated. Here, the sensor element 20 and the pedestal 30 are bonded by, for example, anodic bonding.

そして、図１に示されるように、センサ素子２０は、この台座３０を介して、ケース本体部１１における第１の凹部１１ａの底部に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着されている。   As shown in FIG. 1, the sensor element 20 is bonded to the bottom of the first concave portion 11a in the case main body 11 with an adhesive such as a silicone adhesive (not shown) via the base 30. Yes.

それによって、センサ素子２０および台座３０は、ケース本体部１１に取り付け固定された形で設けられている。ここで、台座３０には、第２の凹部１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。   Accordingly, the sensor element 20 and the pedestal 30 are provided in a form that is fixedly attached to the case body 11. Here, the pedestal 30 is formed with a through hole 31 communicating with the second recess 11b.

そして、第２の凹部１１ｂは台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されており、このセンサ素子２０を境として、第１の凹部１１ａと、第２の凹部１１ｂとは、遮断された形となっている。   The second recess 11b communicates with the through hole 31 of the pedestal 30. The tip of the second recess 11b is blocked by the sensor element 20, and the first recess 11a and the second recess are separated from the sensor element 20 as a boundary. The recess 11b is cut off.

また、図示しないが、ケース本体部１１には、センサ素子２０と外部との電気的な接続を行うためのコネクタ部が設けられている。このコネクタ部には、センサ素子２０と電気的に接続された配線部材としてのターミナルが設けられており、このターミナルを介して、センサ素子２０から出力される信号が取り出される。例えば、このターミナルが外部配線部材に接続されることで、センサ素子２０は、外部回路（たとえば、車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。   Although not shown, the case main body 11 is provided with a connector portion for electrical connection between the sensor element 20 and the outside. This connector portion is provided with a terminal as a wiring member electrically connected to the sensor element 20, and a signal output from the sensor element 20 is taken out through this terminal. For example, when this terminal is connected to an external wiring member, the sensor element 20 can exchange signals with an external circuit (for example, an ECU of the vehicle).

また、ケース本体部１１において、第１の凹部１１ａおよび第２の凹部１１ｂには、センサ素子２０へ圧力を伝達する圧力媒体としてのオイル４１、４２が充填されている。このオイル４１、４２は、例えば、フッ素系オイルやシリコーン系オイルなどによって構成される。   In the case body 11, the first and second recesses 11 a and 11 b are filled with oils 41 and 42 as pressure media that transmit pressure to the sensor element 20. The oils 41 and 42 are made of, for example, fluorine oil or silicone oil.

なお、センサ素子２０を境にして、第１の凹部１１ａ内のオイル４１の量と、第２の凹部１１ｂ内のオイル４２の量とが等しいものにすることが好ましい。これは、第１の凹部１１ａの容積や第２の凹部１１ｂの容積、センサ素子２０や台座３０の体積等を考慮して設計することで実現可能である。   Note that it is preferable that the amount of oil 41 in the first recess 11a is equal to the amount of oil 42 in the second recess 11b with the sensor element 20 as a boundary. This can be realized by designing in consideration of the volume of the first recess 11a, the volume of the second recess 11b, the volume of the sensor element 20 and the pedestal 30, and the like.

また、ケース本体部１１と第１の圧力ポート部１２との間には第１のダイアフラム５１が固定されており、ケース１０と第２の圧力ポート部１３との間には第２のダイアフラム５２が固定されている。   A first diaphragm 51 is fixed between the case main body 11 and the first pressure port portion 12, and a second diaphragm 52 is interposed between the case 10 and the second pressure port portion 13. Is fixed.

第１のダイアフラム５１は、第１の凹部１１ａを覆うように配置され、第１の凹部１１ａ内のオイル４１を封止している。一方、第２のダイアフラム５２は、第２の凹部１１ｂを覆うように配置され、第２の凹部１１ｂ内のオイル４２を封止している。このとき、オイル４１は、第１のダイアフラム５１およびセンサ素子２０の一面２０ａと接しており、オイル４２は、第２のダイアフラム５２およびセンサ素子２０の他面２０ｂと接している。   The 1st diaphragm 51 is arrange | positioned so that the 1st recessed part 11a may be covered, and the oil 41 in the 1st recessed part 11a is sealed. On the other hand, the 2nd diaphragm 52 is arrange | positioned so that the 2nd recessed part 11b may be covered, and the oil 42 in the 2nd recessed part 11b is sealed. At this time, the oil 41 is in contact with the first diaphragm 51 and the one surface 20 a of the sensor element 20, and the oil 42 is in contact with the second diaphragm 52 and the other surface 20 b of the sensor element 20.

第１および第２のダイアフラム５１、５２は、例えば、ＣｒやＮｉなどの耐食性や耐熱性にすぐれた金属材料で構成される。金属材料としては、例えば、（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり、かつ、Ｎｉを３０重量％以上含む金属材料を用いることができる。なお、金属材料に限らず、第１および第２のダイアフラム５１、５２を、樹脂等の他の材料で構成しても良い。   The 1st and 2nd diaphragms 51 and 52 are comprised with the metal material excellent in corrosion resistance and heat resistance, such as Cr and Ni, for example. As the metal material, for example, a metal material having a pitting corrosion index represented by (Cr + 3.3Mo + 20N) of 50 or more and containing 30% by weight or more of Ni can be used. In addition, you may comprise not only a metal material but the 1st and 2nd diaphragms 51 and 52 with other materials, such as resin.

なお、第１、第２のダイアフラム５１、５２はそれぞれ、各圧力ポート部１２、１３に対して、フロロシリコーン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等の樹脂からなる接着剤を介して接着されている。   The first and second diaphragms 51 and 52 are respectively bonded to the pressure port portions 12 and 13 via an adhesive made of a resin such as a fluorosilicone resin or a fluorine resin.

また、ケース本体部１１において、第１、第２のダイアフラム５１、５２が押しつけられて固定される部位には、それぞれ、Ｏリング６１、６２が設けられている。このＯリング６１、６２は、ゴムなどの通常のＯリング材料からなるものである。   Further, in the case main body 11, O-rings 61 and 62 are provided at portions where the first and second diaphragms 51 and 52 are pressed and fixed, respectively. The O-rings 61 and 62 are made of a normal O-ring material such as rubber.

そして、このＯリング６１、６２の配設により、第１、第２のダイアフラム５１、５２による各凹部１１ａ、１１ｂ内のオイル４１、４２の封止がより確実なものとなっている。   By providing the O-rings 61 and 62, the oils 41 and 42 in the recesses 11a and 11b by the first and second diaphragms 51 and 52 are more reliably sealed.

つまり、図１に示されるように、第１、第２の圧力ポート部１２、１３は、それぞれ、第１、第２のダイアフラム５１、５２を介して、Ｏリング６１、６２に押し当てられるように、ケース本体部１１に組み付けられている。このようにして、本実施形態では、第１、第２のダイアフラム５１、５２およびＯリング６１、６２によって各凹部１１ａ、１１ｂが封止されている。   That is, as shown in FIG. 1, the first and second pressure port portions 12 and 13 are pressed against the O-rings 61 and 62 via the first and second diaphragms 51 and 52, respectively. Further, it is assembled to the case main body 11. Thus, in the present embodiment, the recesses 11a and 11b are sealed by the first and second diaphragms 51 and 52 and the O-rings 61 and 62, respectively.

このように、ケース本体部１１の一面側に設けられた第１の凹部１１ａは、第１のダイアフラム５１によって内部にオイル４１を封止してなる第１の圧力導入通路１１ａとして構成され、ケース本体部１１の他面側に設けられた第２の凹部１１ｂは、第２のダイアフラム５２によって内部にオイル４２を封止してなる第２の圧力導入通路１１ｂとして構成されている。   Thus, the 1st recessed part 11a provided in the one surface side of the case main-body part 11 is comprised as the 1st pressure introduction channel | path 11a formed by sealing the oil 41 inside by the 1st diaphragm 51, and a case The second recess 11 b provided on the other surface side of the main body 11 is configured as a second pressure introduction passage 11 b formed by sealing the oil 42 inside by a second diaphragm 52.

このような圧力導入通路１１ａ、１１ｂを有する本実施形態の圧力センサＳ１においては、第１の圧力導入通路１１ａのオイル４１による圧力、第２の圧力導入通路１１ｂのオイル４２による圧力が、それぞれセンサ素子２０の一面、他面に印加され、これらセンサ素子２０に印加された両圧力の差に基づいて、圧力検出を行うようになっている。   In the pressure sensor S1 of this embodiment having such pressure introduction passages 11a and 11b, the pressure caused by the oil 41 in the first pressure introduction passage 11a and the pressure caused by the oil 42 in the second pressure introduction passage 11b are respectively sensors. A pressure is detected based on a difference between both pressures applied to one surface and the other surface of the element 20 and applied to the sensor element 20.

次に、本実施形態の圧力センサＳ１の圧力検出動作について述べる。   Next, the pressure detection operation of the pressure sensor S1 of the present embodiment will be described.

図示しないが、例えば、第１の圧力ポート部１２の導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側に対してゴムホースなどにより接続され、第２の圧力ポート部１３の導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側に対してゴムホースなどにより接続されるようになっている。   Although not shown, for example, the introduction port 12a of the first pressure port portion 12 is connected to the upstream side of the DPF in the exhaust pipe by a rubber hose or the like, and the introduction port 13a of the second pressure port portion 13 is connected to the exhaust pipe. Is connected to the downstream side of the DPF by a rubber hose or the like.

それにより、第１の圧力ポート部１２へＤＰＦの上流側圧力（前圧）が導入され、第２の圧力ポート部１３へＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入される。そして、各圧力ポート部１２、１３に導入された上記圧力は、第１、第２のダイアフラム５１、５２を介してオイル４１、４２を伝わり、センサ素子２０に伝達される。具体的には、第１の圧力ポート部１２へ導入されたＤＰＦの上流側圧力（前圧）が第１のダイアフラム５１に対して印加され、第２の圧力ポート部１３へ導入されたＤＰＦの下流側圧力（後圧）が第２のダイアフラム５２に対して印加される。   Thereby, the upstream pressure (pre-pressure) of the DPF is introduced to the first pressure port portion 12, and the downstream pressure (rear pressure) of the DPF is introduced to the second pressure port portion 13. The pressure introduced into the pressure port portions 12 and 13 is transmitted through the first and second diaphragms 51 and 52 to the oil 41 and 42 and is transmitted to the sensor element 20. Specifically, the upstream pressure (pre-pressure) of the DPF introduced into the first pressure port portion 12 is applied to the first diaphragm 51, and the DPF introduced into the second pressure port portion 13 A downstream pressure (rear pressure) is applied to the second diaphragm 52.

そして、第１および第２のダイアフラム５１、５２に印加された圧力がそれぞれオイル４１、４２を介して、センサ素子２０の一面２０ａ、他面２０ｂに受圧される。そして、第１のダイアフラム５１側から受圧された圧力と第２のダイアフラム５２側から受圧された圧力との差圧をセンサ素子２０により検出する。   The pressure applied to the first and second diaphragms 51 and 52 is received by the one surface 20a and the other surface 20b of the sensor element 20 via the oils 41 and 42, respectively. The sensor element 20 detects a differential pressure between the pressure received from the first diaphragm 51 side and the pressure received from the second diaphragm 52 side.

具体的には、上述したように、センサ素子２０は、半導体ダイアフラム式のものである。そして、このセンサ素子２０におけるダイアフラム２１の一面２０ａには、第１の圧力導入通路１１ａ内のオイル４１から圧力が伝達されるようになっている。また、上述したように、第２の圧力導入通路１１ｂと連通する台座３０の貫通孔３１にも、第２の圧力導入通路１１ｂ内のオイル４２が入り込むことで充填されており、センサ素子２０におけるダイアフラム２１の他面２０ｂには、第２の圧力導入通路１１ｂ内のオイル４２から圧力が伝達されるようになっている。つまり、センサ素子２０のダイアフラム２１の一面２０ａに対して、第１のダイアフラム５１側からオイル４１を介してＤＰＦの上流側圧力が受圧され、当該ダイアフラム２１の他面２０ｂに対して、第２のダイアフラム５２側からオイル４２を介してＤＰＦの下流側圧力が受圧される。そして、センサ素子２０のダイアフラム２１は、その両面からの圧力の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０から、ターミナルを介して、外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。   Specifically, as described above, the sensor element 20 is a semiconductor diaphragm type. The pressure is transmitted from the oil 41 in the first pressure introduction passage 11a to one surface 20a of the diaphragm 21 in the sensor element 20. Further, as described above, the oil 42 in the second pressure introduction passage 11b is also filled into the through hole 31 of the base 30 communicating with the second pressure introduction passage 11b. Pressure is transmitted from the oil 42 in the second pressure introduction passage 11b to the other surface 20b of the diaphragm 21. In other words, the upstream side pressure of the DPF is received from the first diaphragm 51 side through the oil 41 to the one surface 20a of the diaphragm 21 of the sensor element 20, and the second surface 20b of the diaphragm 21 is subjected to the second surface 20b. The downstream pressure of the DPF is received from the diaphragm 52 side through the oil 42. The diaphragm 21 of the sensor element 20 is distorted by the pressure difference between the two surfaces, and a signal based on the distortion is output from the sensor element 20 to the outside via the terminal. In this way, pressure detection is performed.

次に、本実施形態の圧力センサＳ１の主な特徴を説明する。   Next, main features of the pressure sensor S1 of the present embodiment will be described.

上記したように、本実施形態の圧力センサＳ１は、第１、第２の圧力ポート部１２、１３に、衝撃吸収手段としての孔１４が設けられている。   As described above, in the pressure sensor S1 of the present embodiment, the first and second pressure port portions 12 and 13 are provided with the holes 14 as shock absorbing means.

ここで、本実施形態と異なり、第１、第２の圧力ポート部１２、１３に孔１４が設けられていない場合、圧力センサＳ１が外部からの衝撃を受けたとき、その応力が、第１、第２の圧力ポート部１２、１３から、オイル４１、４２を介して、センサ素子２０に伝わることで、センサ素子２０に衝撃が加えられてしまう。   Here, unlike the present embodiment, when the hole 14 is not provided in the first and second pressure port portions 12 and 13, when the pressure sensor S1 receives an impact from the outside, the stress is the first. The impact is applied to the sensor element 20 by being transmitted from the second pressure port parts 12 and 13 to the sensor element 20 via the oils 41 and 42.

これに対して、本実施形態によれば、外部からの衝撃を受けたとき、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の孔１４が変形することにより、外部からの衝撃を吸収できるので、外部からの衝撃を受けたときの応力がオイル４１、４２を介して、センサ素子２０に伝わるのを防ぐことができる。   On the other hand, according to the present embodiment, when the external impact is received, the external impact can be absorbed by the deformation of the holes 14 of the first and second pressure port portions 12 and 13. It is possible to prevent the stress when receiving an impact from the outside from being transmitted to the sensor element 20 via the oils 41 and 42.

なお、外部からの衝撃を吸収できるように、この孔１４の大きさおよび数は任意に設定される。   Note that the size and number of the holes 14 are arbitrarily set so that external impacts can be absorbed.

次に、本実施形態の他の例を説明する。図２に、図１の変形例を示す。図２に示すように、孔１４を、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の角部近辺に設けることが好ましい。これは、圧力センサＳ１が落下等したときでは、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の他の部位よりも角部が衝撃を受けやすいからである。   Next, another example of this embodiment will be described. FIG. 2 shows a modification of FIG. As shown in FIG. 2, the holes 14 are preferably provided in the vicinity of the corners of the first and second pressure port portions 12 and 13. This is because when the pressure sensor S1 is dropped or the like, the corners are more susceptible to impact than the other parts of the first and second pressure port parts 12 and 13.

また、図２に示すように、ケース本体部１１に孔１４を設けても良い。また、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の片方にのみ孔１４を設けても良い。また、図示しないが、孔１４の内部を、衝撃吸収材で充填することもできる。この衝撃吸収材とは、ケース１０よりも柔軟性を有する材質のものである。   Further, as shown in FIG. 2, a hole 14 may be provided in the case main body 11. Alternatively, the hole 14 may be provided only in one of the first and second pressure port portions 12 and 13. Although not shown, the inside of the hole 14 can be filled with a shock absorber. This shock absorbing material is made of a material that is more flexible than the case 10.

（第２実施形態）
図３に、本実施形態における圧力センサＳ１の断面図を示す。なお、図１と同様の構成部には図１と同一の符号を付すことで、説明を省略する。 (Second Embodiment)
FIG. 3 shows a cross-sectional view of the pressure sensor S1 in the present embodiment. Note that the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.

本実施形態の圧力センサＳ１は、図１中の圧力センサＳ１に対して、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の孔１４を省略し、図３に示すように、ケース１０の表面にバネ形状部としての突起部７０を設けたものである。   In the pressure sensor S1 of the present embodiment, the holes 14 of the first and second pressure port portions 12 and 13 are omitted from the pressure sensor S1 in FIG. 1, and as shown in FIG. Is provided with a projection 70 as a spring-shaped portion.

突起部７０は、Ｌ字形状となっており、バネ性を有するバネ形状となっている。この突起部７０は、ケース１０の表面のうち、第１、第２の圧力ポート部１２、１３のみに設けられており、より詳細には、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の角部近傍に配置されている。これは、上記したように、角部が最も衝撃を受けやすい部位だからである。また、突起部７０は、例えば、ケース１０と同じ材料もしくはケース１０よりも柔軟性を有する材料で構成される。   The protrusion 70 is L-shaped and has a spring shape having spring properties. The protrusion 70 is provided only on the first and second pressure port portions 12 and 13 on the surface of the case 10, and more specifically, the first and second pressure port portions 12 and 13. It is arranged near the corner. This is because, as described above, the corner is the most susceptible to impact. Further, the protruding portion 70 is made of, for example, the same material as the case 10 or a material having more flexibility than the case 10.

本実施形態では、外部からの衝撃を受けたとき、突起部７０がバネ変形（弾性変形）することにより、外部からの衝撃を吸収できるので、外部からの衝撃を受けたときの応力がオイル４１、４２を介して、センサ素子２０に伝わるのを防ぐことができる。   In the present embodiment, when the impact from the outside is received, the protrusion 70 is spring-deformed (elastically deformed) so that the impact from the outside can be absorbed. , 42 can be prevented from being transmitted to the sensor element 20.

ここで、図４に、図３の変形例を示す。図４に示すように、突起部７０を、第１、第２の圧力ポート部１２、１３のみでなく、ケース本体部１１の表面に設けても良い。なお、突起部７０の位置は、ケース１０の表面であれば、任意に変更可能である。   Here, FIG. 4 shows a modification of FIG. As shown in FIG. 4, the protruding portion 70 may be provided not only on the first and second pressure port portions 12 and 13 but also on the surface of the case main body portion 11. Note that the position of the protrusion 70 can be arbitrarily changed as long as it is the surface of the case 10.

また、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の一方のみに突起部７０を設けることもできる。また、図３、４では、突起部７０の形状は、Ｌ字形状に限らず、バネ性を有する形状であれば、他の形状に変更しても良い。   Further, the protrusion 70 can be provided only on one of the first and second pressure port portions 12 and 13. 3 and 4, the shape of the protrusion 70 is not limited to the L shape, and may be changed to another shape as long as it has a spring property.

（第３実施形態）
図５に、本実施形態における圧力センサＳ１の断面図を示す。なお、図１と同様の構成部には図１と同一の符号を付すことで、説明を省略する。 (Third embodiment)
FIG. 5 shows a cross-sectional view of the pressure sensor S1 in the present embodiment. Note that the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.

本実施形態の圧力センサＳ１は、図１中の圧力センサＳ１に対して、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の孔１４を省略し、図５に示すように、ケース１０の表面上に、衝撃吸収手段としてのゴム状部材８０を部分的に設けたものである。   In the pressure sensor S1 of the present embodiment, the holes 14 of the first and second pressure port portions 12 and 13 are omitted from the pressure sensor S1 in FIG. On top of this, a rubber-like member 80 as an impact absorbing means is partially provided.

ゴム状部材８０は、圧力センサＳ１が外部から衝撃を受けたとき、その衝撃を吸収できるように、ゴム等のケース１０よりも柔軟性もしくは弾力性を有する材料で構成されたものである。   The rubber-like member 80 is made of a material that is more flexible or elastic than the case 10 such as rubber so that when the pressure sensor S1 receives an impact from the outside, the impact can be absorbed.

ゴム状部材８０は、ケース１０の表面のうち、第１、第２の圧力ポート部１２、１３のみを覆っており、より詳細には、第１、第２の圧力ポート部１２、１３のうち、角部のみを覆っている。これは、上記したように、角部が最も衝撃を受けやすい部位だからである。   The rubber-like member 80 covers only the first and second pressure port portions 12 and 13 of the surface of the case 10, and more specifically, of the first and second pressure port portions 12 and 13. Covers only the corners. This is because, as described above, the corner is the most susceptible to impact.

本実施形態では、外部からの衝撃を受けたとき、ゴム状部材８０が変形することにより、外部からの衝撃を吸収できるので、外部からの衝撃を受けたときの応力がオイル４１、４２を介して、センサ素子２０に伝わるのを防ぐことができる。   In the present embodiment, when the impact from the outside is received, the rubber-like member 80 is deformed to absorb the impact from the outside, so that the stress when the impact from the outside is applied via the oils 41 and 42. Thus, transmission to the sensor element 20 can be prevented.

なお、圧力センサＳ１を保護するという観点より、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の角部のみを覆うよりも、第１、第２の圧力ポート部１２、１３の表面全域を覆うことが好ましい。また、部分的であっても、第１、第２の圧力ポート部１２、１３とケース本体部１１の両方を覆うことが好ましい。さらに、図６に示すように、ケース１０の表面全域を覆うことが好ましい。   In addition, from the viewpoint of protecting the pressure sensor S1, the entire surface of the first and second pressure port portions 12 and 13 is covered rather than covering only the corners of the first and second pressure port portions 12 and 13. It is preferable. Moreover, even if it is partial, it is preferable to cover both the first and second pressure port portions 12 and 13 and the case main body portion 11. Furthermore, it is preferable to cover the entire surface of the case 10 as shown in FIG.

（他の実施形態）
（１）上記した各実施形態の圧力センサＳ１においては、センサ素子２０は、ケース本体部１１に設けられた図示しない回路チップに対してボンディングワイヤなどを介して電気的に接続されていてもよい。それにより、センサ素子２０からの信号は、当該回路チップにより、増幅や調整などの処理が施され、このように処理された信号は、ターミナルから外部へ出力することができる。 (Other embodiments)
(1) In the pressure sensor S1 of each embodiment described above, the sensor element 20 may be electrically connected to a circuit chip (not shown) provided in the case main body 11 via a bonding wire or the like. . Thereby, the signal from the sensor element 20 is subjected to processing such as amplification and adjustment by the circuit chip, and the signal thus processed can be output from the terminal to the outside.

また、センサ素子２０を構成するセンサチップとしては、センサ信号を処理する回路部が半導体プロセスなどにより一体に形成されたもの、いわゆる集積化センサチップを採用してもよい。   Further, as the sensor chip constituting the sensor element 20, a so-called integrated sensor chip in which a circuit portion for processing sensor signals is integrally formed by a semiconductor process or the like may be employed.

また、センサ素子としては、上記した半導体ダイアフラム式のセンサチップに限定されるものではなく、印加された圧力に基づいて信号を出力するものであればよい。   The sensor element is not limited to the above-described semiconductor diaphragm type sensor chip, and any sensor element that outputs a signal based on an applied pressure may be used.

（２）上記した実施形態では、圧力導入通路に封入される圧力媒体としてシリコーンオイルなどのオイル４１、４２を用いたが、圧力媒体としては、第１、第２ダイアフラム５１、５２からの圧力をセンサ素子２０に適切に伝達できるものであれば、液体、気体などに関わらず、種々のものを用いることができる。   (2) In the above-described embodiment, the oils 41 and 42 such as silicone oil are used as the pressure medium sealed in the pressure introduction passage. As the pressure medium, the pressure from the first and second diaphragms 51 and 52 is used. Any material can be used as long as it can be properly transmitted to the sensor element 20 regardless of liquid, gas, or the like.

（３）上記した各実施形態では、差圧検出型の圧力センサにおいては、第１の圧力ポート部１２から第１のダイアフラム５１に対して排気管におけるＤＰＦの上流側圧力が導入され、第２の圧力ポート部１３から第２のダイアフラム５２に対して排気管におけるＤＰＦの下流側圧力が導入されるようになっていた。   (3) In each of the above-described embodiments, in the differential pressure detection type pressure sensor, the upstream pressure of the DPF in the exhaust pipe is introduced from the first pressure port portion 12 to the first diaphragm 51, From the pressure port portion 13, the downstream side pressure of the DPF in the exhaust pipe is introduced to the second diaphragm 52.

これとは反対に、上記実施形態の差圧検出型の圧力センサにおいては、第１のダイアフラム５１にＤＰＦの下流側圧力が導入され、第２のダイアフラム５２にＤＰＦの上流側圧力が導入されるようにしてもよい。   On the contrary, in the differential pressure detection type pressure sensor of the above embodiment, the downstream pressure of the DPF is introduced into the first diaphragm 51 and the upstream pressure of the DPF is introduced into the second diaphragm 52. You may do it.

また、外部から圧力を導入するための圧力ポート１１、１２の構成は、上記した図示例に限定されるものではない。   Further, the configuration of the pressure ports 11 and 12 for introducing pressure from the outside is not limited to the above-described illustrated example.

（４）上記した各実施形態においては、圧力センサＳ１として、圧力媒体４１、４２がダイアフラム５１、５２で封止されたダイアフラム封止式のものを例として説明したが、圧力媒体４１、４２としてゲル等の固体を用いた場合のように、圧力センサＳ１をダイアフラム５１、５２で封止されない構造としても良い。   (4) In each of the above-described embodiments, the pressure sensor S1 has been described as an example of a diaphragm-sealed type in which the pressure media 41 and 42 are sealed with the diaphragms 51 and 52. The pressure sensor S1 may be configured not to be sealed with the diaphragms 51 and 52 as in the case of using a solid such as gel.

また、このような場合では、ケース本体部１１と、第１、第２の圧力ポート部１２、１３とを別体ではなく、一体物としてもよい。   In such a case, the case main body 11 and the first and second pressure port portions 12 and 13 may be integrated instead of separate.

（５）上記した各実施形態の圧力センサＳ１に対して、圧力媒体４１、４２を省略した構造とすることができる。すなわち、圧力を測定すべき気体や液体、すなわち、圧力流体が直接、圧力導入通路１１ａ、１１ｂに導入される構造とすることもできる。   (5) It can be set as the structure which abbreviate | omitted the pressure media 41 and 42 with respect to pressure sensor S1 of each above-mentioned embodiment. That is, it is also possible to adopt a structure in which a gas or liquid whose pressure is to be measured, that is, a pressure fluid is directly introduced into the pressure introduction passages 11a and 11b.

（６）上記した各実施形態では、差圧検出型の圧力センサＳ１を例として説明したが、差圧検出型でなくても良い。例えば、圧力センサとしては、センサ素子の一方の面にのみ測定すべき圧力を導入し、センサ素子の他方の面側は真空や大気圧などの基準圧力とした絶対圧検出型とすることもできる。この場合、圧力導入通路は、センサ素子の一方の面にのみ測定すべき圧力を導入するための圧力導入通路が１つ設けられた構成となる。   (6) In each of the above-described embodiments, the differential pressure detection type pressure sensor S1 has been described as an example. However, the differential pressure detection type may not be used. For example, the pressure sensor may be of an absolute pressure detection type in which a pressure to be measured is introduced only on one surface of the sensor element, and the other surface side of the sensor element is a reference pressure such as vacuum or atmospheric pressure. . In this case, the pressure introduction passage has a configuration in which one pressure introduction passage for introducing a pressure to be measured only on one surface of the sensor element is provided.

（７）上記した各実施形態は、可能な範囲で組み合わせが可能である。例えば、第１実施形態と第２実施形態を組み合わせたり、第１実施形態と第３実施形態とを組み合わせたりしても良い。   (7) Each embodiment mentioned above can be combined in the possible range. For example, the first embodiment and the second embodiment may be combined, or the first embodiment and the third embodiment may be combined.

本発明の第１実施形態における圧力センサＳ１の断面図である。It is sectional drawing of pressure sensor S1 in 1st Embodiment of this invention. 図１の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of FIG. 本発明の第２実施形態における圧力センサＳ１の断面図である。It is sectional drawing of pressure sensor S1 in 2nd Embodiment of this invention. 図３の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of FIG. 本発明の第１実施形態における圧力センサＳ１の断面図である。It is sectional drawing of pressure sensor S1 in 1st Embodiment of this invention. 図５の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１０…ケース、１１…ケース本体部、
１２…第１の圧力ポート部、１３…第２の圧力ポート部、
２０…センサ素子、３０…台座、４１、４２…オイル、
５１…第１のダイアフラム、５２…第２のダイアフラム、
６１、６２…Ｏリング、７０…突起部、８０…ゴム状部材。 10 ... Case, 11 ... Case body,
12 ... 1st pressure port part, 13 ... 2nd pressure port part,
20 ... sensor element, 30 ... pedestal, 41, 42 ... oil,
51 ... 1st diaphragm, 52 ... 2nd diaphragm,
61, 62 ... O-ring, 70 ... projection, 80 ... rubber-like member.

Claims (15)

印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を内部に収容するとともに、圧力検出の対象とする外部から内部に導入された圧力を前記センサ素子（２０）に導入するケース（１０）とを備える圧力センサにおいて、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記ケース（１０）は、前記圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有し、
前記衝撃吸収手段は、前記空間部と圧力検出の対象としない外部と遮断されている状態で、前記ケース（１０）に設けられた孔（１４）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A pressure sensor comprising: a case (10) that houses the sensor element (20) inside and introduces pressure introduced into the sensor element (20) from the outside to be a target of pressure detection ;
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The case (10) has a space part into which pressure is introduced from the outside as a target of the pressure detection,
It said shock absorbing means in a state of being isolated from the outside which is not used for the space and the pressure detection, the pressure sensor, wherein a hole (14) der Rukoto provided in the casing (10). 前記衝撃吸収手段は、前記ケース（１０）の外側表面に設けたバネ形状部（７０）であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 1 , wherein the shock absorbing means is a spring-shaped portion (70) provided on an outer surface of the case (10). 前記衝撃吸収手段は、前記ケース（１０）の表面全域を覆っており、前記ケース（１０）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The pressure according to claim 1 , wherein the impact absorbing means is a rubber-like member (80) that covers the entire surface of the case (10) and is more flexible than the case (10). Sensor. 前記ケース（１０）は、角部を有する形状であり、
前記衝撃吸収手段は、前記ケース（１０）表面の前記角部のみを部分的に覆っており、前記ケース（１０）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The case (10) has a shape having a corner,
The shock absorbing means is a rubber-like member (80) that partially covers only the corner of the surface of the case (10) and has more flexibility than the case (10). Item 2. The pressure sensor according to Item 1 . 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）に固定され、圧力検出の対象とする外部から圧力を導入するためのポートを有する圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記圧力ポート部（１２、１３）から前記ケース本体部（１１）の内部に導入された圧力を、前記センサ素子（２０）へ導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）と、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）に充填され、圧力を媒介して前記センサ素子（２０）に伝える圧力媒体（４１、４２）と、
前記圧力媒体（４１、４２）を封止するとともに、前記圧力ポート部（１２、１３）に導入された圧力を前記圧力媒体（４１、４２）に伝えるダイアフラム（５１、５２）とを備え、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記圧力ポート部（１２、１３）は、前記圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有し、
前記衝撃吸収手段は、前記空間部と圧力検出の対象としない外部とが遮断されている状態で、前記圧力ポート部（１２、１３）に設けられた孔（１４）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) that houses the sensor element (20), and a pressure port section (12) that is fixed to the case main body (11) and has a port for introducing pressure from the outside as a pressure detection target. , 13) with said case (10),
A pressure introduction passage (provided in the case body part (11)) for introducing the pressure introduced from the pressure port part (12, 13) into the case body part (11) into the sensor element (20). 11a, 11b)
A pressure medium (41, 42) that fills the pressure introduction passage (11a, 11b) and transmits the pressure to the sensor element (20) via the pressure;
A diaphragm (51, 52) for sealing the pressure medium (41, 42) and transmitting the pressure introduced to the pressure port portion (12, 13) to the pressure medium (41, 42);
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The pressure port part (12, 13) has a space part into which pressure is introduced from the outside as a target of the pressure detection,
Said shock absorbing means in a state in which the outside is not used for the space and the pressure detection is interrupted, and wherein the hole (14) der Rukoto provided in the pressure port portion (12, 13) Pressure sensor. 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）に固定され、外部から圧力を導入するためのポートを有する圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記圧力ポート部（１２、１３）から前記ケース本体部（１１）の内部に導入された圧力を、前記センサ素子（２０）へ導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）と、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）に充填され、圧力を媒介して前記センサ素子（２０）に伝える圧力媒体（４１、４２）と、
前記圧力媒体（４１、４２）を封止するとともに、前記圧力ポート部（１２、１３）に導入された圧力を前記圧力媒体（４１、４２）に伝えるダイアフラム（５１、５２）とを備え、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記衝撃吸収手段は、前記圧力ポート部（１２、１３）の外側表面に設けたバネ形状部（７０）あることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) for housing the sensor element (20) and a pressure port (12, 13) fixed to the case main body (11) and having a port for introducing pressure from the outside. The case (10);
A pressure introduction passage (provided in the case body part (11)) for introducing the pressure introduced from the pressure port part (12, 13) into the case body part (11) into the sensor element (20). 11a, 11b)
A pressure medium (41, 42) that fills the pressure introduction passage (11a, 11b) and transmits the pressure to the sensor element (20) via the pressure;
A diaphragm (51, 52) for sealing the pressure medium (41, 42) and transmitting the pressure introduced to the pressure port portion (12, 13) to the pressure medium (41, 42);
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
It said shock absorbing means, the pressure sensor, wherein the spring-shaped portion (70) Oh Rukoto provided on the outer surface of said pressure ports (12, 13). 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）に固定され、外部から圧力を導入するためのポートを有する圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記圧力ポート部（１２、１３）から前記ケース本体部（１１）の内部に導入された圧力を、前記センサ素子（２０）へ導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）と、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）に充填され、圧力を媒介して前記センサ素子（２０）に伝える圧力媒体（４１、４２）と、
前記圧力媒体（４１、４２）を封止するとともに、前記圧力ポート部（１２、１３）に導入された圧力を前記圧力媒体（４１、４２）に伝えるダイアフラム（５１、５２）とを備え、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記衝撃吸収手段は、前記圧力ポート部（１２、１３）および前記ケース本体部（１１）の表面全域を覆っており、前記圧力ポート部（１２、１３）および前記ケース本体部（１１）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) for housing the sensor element (20) and a pressure port (12, 13) fixed to the case main body (11) and having a port for introducing pressure from the outside. The case (10);
A pressure introduction passage (provided in the case body part (11)) for introducing the pressure introduced from the pressure port part (12, 13) into the case body part (11) into the sensor element (20). 11a, 11b)
A pressure medium (41, 42) that fills the pressure introduction passage (11a, 11b) and transmits the pressure to the sensor element (20) via the pressure;
A diaphragm (51, 52) for sealing the pressure medium (41, 42) and transmitting the pressure introduced to the pressure port portion (12, 13) to the pressure medium (41, 42);
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The impact absorbing means covers the entire surface of the pressure port portion (12, 13) and the case main body portion (11), and is more than the pressure port portion (12, 13) and the case main body portion (11). a pressure sensor, wherein the rubber-like member (80) der Rukoto having flexibility. 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）に固定され、外部から圧力を導入するためのポートを有する圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記圧力ポート部（１２、１３）から前記ケース本体部（１１）の内部に導入された圧力を、前記センサ素子（２０）へ導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）と、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）に充填され、圧力を媒介して前記センサ素子（２０）に伝える圧力媒体（４１、４２）と、
前記圧力媒体（４１、４２）を封止するとともに、前記圧力ポート部（１２、１３）に導入された圧力を前記圧力媒体（４１、４２）に伝えるダイアフラム（５１、５２）とを備え、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記圧力ポート部（１２、１３）は、角部を有する形状であり、
前記衝撃吸収手段は、前記ケース（１０）の表面のうち、前記圧力ポート部の前記角部のみを部分的に覆っており、前記圧力ポート部（１２、１３）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) for housing the sensor element (20) and a pressure port (12, 13) fixed to the case main body (11) and having a port for introducing pressure from the outside. The case (10);
A pressure introduction passage (provided in the case body part (11)) for introducing the pressure introduced from the pressure port part (12, 13) into the case body part (11) into the sensor element (20). 11a, 11b)
A pressure medium (41, 42) that fills the pressure introduction passage (11a, 11b) and transmits the pressure to the sensor element (20) via the pressure;
A diaphragm (51, 52) for sealing the pressure medium (41, 42) and transmitting the pressure introduced to the pressure port portion (12, 13) to the pressure medium (41, 42);
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The pressure port portion (12, 13) has a shape having a corner,
The impact absorbing means partially covers only the corner portion of the pressure port portion of the surface of the case (10), and is more rubbery than the pressure port portion (12, 13). a pressure sensor, wherein member (80) der Rukoto. 前記圧力ポート部（１２、１３）は、圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有し、
前記衝撃吸収手段は、前記空間部と圧力検出の対象としない外部とが遮断されている状態で、前記圧力ポート部（１２、１３）に設けられた孔（１４）であることを特徴とする請求項６ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure port portion (12, 13) has a space portion into which pressure is introduced from the outside to be subjected to pressure detection,
The shock absorbing means is a hole (14) provided in the pressure port portion (12, 13) in a state where the space portion and the outside not subject to pressure detection are blocked. The pressure sensor according to any one of claims 6 to 8. 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）の一面と他面にそれぞれ固定され、圧力検出の対象とする外部から圧力を導入するためのポートを有する第１、第２の圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第１の圧力ポート部（１２）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の一面（２０ａ）側へ導入する第１の圧力導入通路（１１ａ）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第２の圧力ポート部（１３）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の他面（２０ｂ）側へ導入する第２の圧力導入通路（１１ｂ）とを備え、
前記第１の圧力導入通路（１１ａ）からの圧力、前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）からの圧力が、それぞれ、前記センサ素子（２０）の一面、他面に印加され、前記センサ素子（２０）は、これら両圧力の差に基づく電気信号を出力するようになっており、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記圧力ポート部（１２、１３）は、前記圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有し、
前記衝撃吸収手段は、前記空間部と圧力検出の対象としない外部とが遮断されている状態で、前記圧力ポート部（１２、１３）に設けられた孔（１４）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) for accommodating the sensor element (20), and a port for introducing pressure from the outside, which is fixed to one surface and the other surface of the case main body (11), and is a target for pressure detection. first, and the case of chromatic second pressure port portion (12, 13) (10) having,
A first pressure introduction passage (11a) that is provided in the case body (11) and introduces the pressure introduced into the first pressure port (12) to the one surface (20a) side of the sensor element (20). )When,
A second pressure introduction passage (provided in the case body (11)) for introducing the pressure introduced into the second pressure port (13) to the other surface (20b) of the sensor element (20). 11b)
The pressure from the first pressure introduction passage (11a) and the pressure from the second pressure introduction passage (11b) are respectively applied to one side and the other side of the sensor element (20), and the sensor element ( 20) is designed to output an electrical signal based on the difference between these two pressures.
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The pressure port part (12, 13) has a space part into which pressure is introduced from the outside as a target of the pressure detection,
Said shock absorbing means in a state in which the outside is not used for the space and the pressure detection is interrupted, and wherein the hole (14) der Rukoto provided in the pressure port portion (12, 13) Pressure sensor. 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）の一面と他面にそれぞれ固定され、外部から圧力を導入するためのポートを有する第１、第２の圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第１の圧力ポート部（１２）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の一面（２０ａ）側へ導入する第１の圧力導入通路（１１ａ）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第２の圧力ポート部（１３）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の他面（２０ｂ）側へ導入する第２の圧力導入通路（１１ｂ）とを備え、
前記第１の圧力導入通路（１１ａ）からの圧力、前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）からの圧力が、それぞれ、前記センサ素子（２０）の一面、他面に印加され、前記センサ素子（２０）は、これら両圧力の差に基づく電気信号を出力するようになっており、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記衝撃吸収手段は、前記圧力ポート部（１２、１３）の外側表面に設けたバネ形状部（７０）あることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) that accommodates the sensor element (20), and first and second ports that are fixed to one surface and the other surface of the case main body (11), respectively, and have ports for introducing pressure from the outside. and the case of Yes in the pressure port portion (12, 13) (10),
A first pressure introduction passage (11a) that is provided in the case body (11) and introduces the pressure introduced into the first pressure port (12) to the one surface (20a) side of the sensor element (20). )When,
A second pressure introduction passage (provided in the case body (11)) for introducing the pressure introduced into the second pressure port (13) to the other surface (20b) of the sensor element (20). 11b)
The pressure from the first pressure introduction passage (11a) and the pressure from the second pressure introduction passage (11b) are respectively applied to one side and the other side of the sensor element (20), and the sensor element ( 20) is designed to output an electrical signal based on the difference between these two pressures.
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
It said shock absorbing means, the pressure sensor, wherein the spring-shaped portion (70) Oh Rukoto provided on the outer surface of said pressure ports (12, 13). 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）の一面と他面にそれぞれ固定され、外部から圧力を導入するためのポートを有する第１、第２の圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第１の圧力ポート部（１２）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の一面（２０ａ）側へ導入する第１の圧力導入通路（１１ａ）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第２の圧力ポート部（１３）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の他面（２０ｂ）側へ導入する第２の圧力導入通路（１１ｂ）とを備え、
前記第１の圧力導入通路（１１ａ）からの圧力、前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）からの圧力が、それぞれ、前記センサ素子（２０）の一面、他面に印加され、前記センサ素子（２０）は、これら両圧力の差に基づく電気信号を出力するようになっており、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記衝撃吸収手段は、前記圧力ポート部（１２、１３）および前記ケース本体部（１１）の表面全域を覆っており、前記圧力ポート部（１２、１３）および前記ケース本体部（１１）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) that accommodates the sensor element (20), and first and second ports that are fixed to one surface and the other surface of the case main body (11), respectively, and have ports for introducing pressure from the outside. and the case of Yes in the pressure port portion (12, 13) (10),
A first pressure introduction passage (11a) that is provided in the case body (11) and introduces the pressure introduced into the first pressure port (12) to the one surface (20a) side of the sensor element (20). )When,
A second pressure introduction passage (provided in the case body (11)) for introducing the pressure introduced into the second pressure port (13) to the other surface (20b) of the sensor element (20). 11b)
The pressure from the first pressure introduction passage (11a) and the pressure from the second pressure introduction passage (11b) are respectively applied to one side and the other side of the sensor element (20), and the sensor element ( 20) is designed to output an electrical signal based on the difference between these two pressures.
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The impact absorbing means covers the entire surface of the pressure port portion (12, 13) and the case main body portion (11), and is more than the pressure port portion (12, 13) and the case main body portion (11). a pressure sensor, wherein the rubber-like member (80) der Rukoto having flexibility. 印加された圧力に基づく電気信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記センサ素子（２０）を収容するケース本体部（１１）と、前記ケース本体部（１１）の一面と他面にそれぞれ固定され、外部から圧力を導入するためのポートを有する第１、第２の圧力ポート部（１２、１３）とを有する前記ケース（１０）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第１の圧力ポート部（１２）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の一面（２０ａ）側へ導入する第１の圧力導入通路（１１ａ）と、
前記ケース本体部（１１）に設けられ、前記第２の圧力ポート部（１３）に導入された圧力を前記センサ素子（２０）の他面（２０ｂ）側へ導入する第２の圧力導入通路（１１ｂ）とを備え、
前記第１の圧力導入通路（１１ａ）からの圧力、前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）からの圧力が、それぞれ、前記センサ素子（２０）の一面、他面に印加され、前記センサ素子（２０）は、これら両圧力の差に基づく電気信号を出力するようになっており、
前記ケース（１０）は、前記ケース外部からの衝撃を吸収する衝撃吸収手段を備え、
前記圧力ポート部（１２、１３）は、角部を有する形状であり、
前記衝撃吸収手段は、前記ケース（１０）の表面のうち、前記圧力ポート部の前記角部のみを部分的に覆っており、前記圧力ポート部（１２、１３）よりも柔軟性を有するゴム状部材（８０）であることを特徴とする圧力センサ。 A sensor element (20) for outputting an electrical signal based on the applied pressure;
A case main body (11) that accommodates the sensor element (20), and first and second ports that are fixed to one surface and the other surface of the case main body (11), respectively, and have ports for introducing pressure from the outside. and the case of Yes in the pressure port portion (12, 13) (10),
A first pressure introduction passage (11a) that is provided in the case body (11) and introduces the pressure introduced into the first pressure port (12) to the one surface (20a) side of the sensor element (20). )When,
A second pressure introduction passage (provided in the case body (11)) for introducing the pressure introduced into the second pressure port (13) to the other surface (20b) of the sensor element (20). 11b)
The pressure from the first pressure introduction passage (11a) and the pressure from the second pressure introduction passage (11b) are respectively applied to one side and the other side of the sensor element (20), and the sensor element ( 20) is designed to output an electrical signal based on the difference between these two pressures.
The case (10) includes impact absorbing means for absorbing impact from outside the case ,
The pressure port portion (12, 13) has a shape having a corner,
The impact absorbing means partially covers only the corner portion of the pressure port portion of the surface of the case (10), and is more rubbery than the pressure port portion (12, 13). a pressure sensor, wherein member (80) der Rukoto. 前記圧力ポート部（１２、１３）は、圧力検出の対象とする外部から圧力が導入される空間部を有し、
前記衝撃吸収手段は、前記空間部と圧力検出の対象としない外部とが遮断されている状態で、前記圧力ポート部（１２、１３）に設けられた孔（１４）であることを特徴とする請求項１１ないし１３のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure port portion (12, 13) has a space portion into which pressure is introduced from the outside to be subjected to pressure detection,
The shock absorbing means is a hole (14) provided in the pressure port portion (12, 13) in a state where the space portion and the outside not subject to pressure detection are blocked. The pressure sensor according to any one of claims 11 to 13 . 前記第１の圧力導入通路（１１ａ）には、第１の圧力媒体（４１）が充填され、前記第１の圧力媒体（４１）は第１のダイアフラム（５１）によって封止されており、
前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）には、第２の圧力媒体（４２）が充填され、前記第２の圧力媒体（４２）は第２のダイアフラム（５２）によって封止されており、
前記第１のダイアフラム（５１）が受けた圧力、前記第２のダイアフラム（５２）が受けた圧力は、それぞれ前記第１、第２の圧力媒体（４１、４２）を介して、前記センサ素子（２０）の一面（２０ａ）、他面（２０ｂ）へ印加され、前記センサ素子（２０）は、これら両圧力の差に基づく電気信号を出力するようになっていることを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The first pressure introduction passage (11a) is filled with a first pressure medium (41), and the first pressure medium (41) is sealed by a first diaphragm (51),
The second pressure introduction passage (11b) is filled with a second pressure medium (42), and the second pressure medium (42) is sealed by a second diaphragm (52),
The pressure received by the first diaphragm (51) and the pressure received by the second diaphragm (52) are transmitted through the sensor element (41, 42) via the first and second pressure media (41, 42), respectively. one side of 20) (20a), is applied to the other surface (20b), said sensor element (20) is according to claim 10, characterized in that it outputs an electrical signal based on the difference of these two pressures The pressure sensor as described in any one of thru | or 14 .
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