JP2006194680A - Pressure sensor - Google Patents

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Shinya Asai
信哉 浅井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase pressure tightness against pressure fluctuation from the outside in a diaphragm-sealed, differential pressure detection pressure sensor comprising a case, a sensor element which is provided in the case to output signals on the basis of pressure applied, and pressure introduction channels which are provided in the case to introduce pressure into the sensor element. <P>SOLUTION: The pressure sensor S1 comprises the case 10, the sensor element 20 which is in the case 10 to output signals on the basis of pressure applied, and the first and second pressure introduction channels 11a, 11b which are provided in the case 10 to introduce pressure into the sensor element 20. The second pressure introduction channel 11b is provided with a gel member 200 as a pressure fluctuations relaxation member for relaxing fluctuations in the pressure applied to the sensor element 20. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ケースに圧力検出用のセンサ素子を設け、このセンサ素子に対してケースの圧力導入通路から圧力を導入するようにした圧力センサに関する。   The present invention relates to a pressure sensor in which a sensor element for pressure detection is provided in a case, and pressure is introduced into the sensor element from a pressure introduction passage of the case.

従来のこの種の圧力センサは、一般に、ケースと、ケースに設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子と、ケースに設けられセンサ素子へ圧力を導入する圧力導入通路とを備えて構成されている。   Conventional pressure sensors of this type generally include a case, a sensor element that outputs a signal based on an applied pressure provided in the case, and a pressure introduction passage that is provided in the case and introduces pressure to the sensor element. Configured.

このような圧力センサとしては、たとえば、特許文献１に記載の圧力センサが提案されている。この圧力センサは、差圧検出型であって且つダイアフラム封止型の圧力センサであり、たとえば、自動車の排気ガス圧力測定用のセンサ、すなわち排気圧センサなどとして適用される。   As such a pressure sensor, for example, a pressure sensor described in Patent Document 1 has been proposed. This pressure sensor is a differential pressure detection type and diaphragm sealed type pressure sensor, and is applied as, for example, an exhaust gas pressure sensor for an automobile, that is, an exhaust pressure sensor.

図６は、この差圧検出型且つダイアフラム封止型の圧力センサの一般的な概略断面構成を示す図である。ここでは、ダイアフラムからの圧力をセンシング部へ伝達する圧力媒体としてオイルを用いた両面オイル封止構造の圧力センサとしている。   FIG. 6 is a diagram showing a general schematic cross-sectional configuration of this differential pressure detection type and diaphragm sealed type pressure sensor. Here, the pressure sensor has a double-sided oil-sealed structure using oil as a pressure medium for transmitting the pressure from the diaphragm to the sensing unit.

この図６に示される圧力センサは、たとえば、ディーゼルエンジンのＤＰＦ（ディーゼル・パティキュレート・フィルタ）に用いることができるものである。このＤＰＦは、排気管途中に煤煙をトラップするフィルタを設け、一定量が溜まったら燃やすことで大気中に煤煙が放出されることを防ぐシステムである。   The pressure sensor shown in FIG. 6 can be used for a DPF (diesel particulate filter) of a diesel engine, for example. This DPF is a system that provides a filter for trapping soot in the middle of an exhaust pipe and prevents the soot from being released into the atmosphere by burning it when a certain amount accumulates.

そして、この圧力センサは、排気管内におけるフィルタ前後の圧力の差圧、すなわちＤＰＦの上流側圧力とＤＰＦの下流側圧力との差圧を測定する差圧検出方式を採用したものである。   This pressure sensor employs a differential pressure detection system that measures the differential pressure between the pressures before and after the filter in the exhaust pipe, that is, the differential pressure between the upstream pressure of the DPF and the downstream pressure of the DPF.

図６に示されるように、ケース１０の一面側と他面側とにそれぞれ互いに連通する第１の凹部１１ａ、第２の凹部１１ｂが設けられている。これら第１の凹部１１ａ、第２の凹部１１ｂは、それぞれ、第１の圧力導入通路１１ａ、第２の圧力導入通路１１ｂとして構成されるものである。   As shown in FIG. 6, a first recess 11 a and a second recess 11 b are provided on one side and the other side of the case 10 so as to communicate with each other. The first recess 11a and the second recess 11b are configured as a first pressure introduction passage 11a and a second pressure introduction passage 11b, respectively.

そして、両凹部１１ａ、１１ｂに面した形で、ケース１０にはセンサ素子２０が設けられている。このセンサ素子２０は、印加された圧力のレベルに応じて電気信号を出力するものである。   And the sensor element 20 is provided in the case 10 in the form which faced both the recessed parts 11a and 11b. The sensor element 20 outputs an electrical signal in accordance with the applied pressure level.

つまり、ここでは、各凹部１１ａ、１１ｂにより構成される空間が各圧力導入通路１１ａ、１１ｂを構成しており、各圧力導入通路１１ａ、１１ｂに面して、センサ素子２０の一面、他面が面した形で設けられている。   That is, here, the space constituted by the recesses 11a and 11b constitutes the pressure introduction passages 11a and 11b, and the one surface and the other surface of the sensor element 20 face the pressure introduction passages 11a and 11b. It is provided in a face-up form.

また、これら第１の圧力導入通路１１ａおよび第２の圧力導入通路１１ｂ内には、それぞれ、圧力媒体としてのオイル７０が充填されており、各圧力導入通路１１ａ、１１ｂは、それぞれ、Ｏリング９０を介して金属などからなるダイアフラム（メタルダイアフラム）８１、８２により覆われている。   The first pressure introduction passage 11a and the second pressure introduction passage 11b are filled with oil 70 as a pressure medium, and the pressure introduction passages 11a and 11b are respectively O-rings 90. Are covered with diaphragms (metal diaphragms) 81 and 82 made of metal or the like.

また、図６に示されるように、圧力ポート１２、１３は、ダイアフラム８１、８２を介してＯリング９０に押し当てられるようにケース１０に組み付けられている。ここで、ダイアフラム８１、８２の周辺部は圧力ポート１２、１３に接着されており、圧力ポート１２、１３とケース１０とに挟まれている。   Further, as shown in FIG. 6, the pressure ports 12 and 13 are assembled to the case 10 so as to be pressed against the O-ring 90 via the diaphragms 81 and 82. Here, the peripheral portions of the diaphragms 81 and 82 are bonded to the pressure ports 12 and 13, and are sandwiched between the pressure ports 12 and 13 and the case 10.

このようにして、ケース１０の一面側の第１の圧力導入通路１１ａおよびケース１０の他面側の第２の圧力導入通路１１ｂは、それぞれ、ダイアフラム８１、８２によって内部に圧力媒体としてのオイル７０を封止してなる室（つまり、圧力検出室）として構成されている。   In this way, the first pressure introduction passage 11a on the one surface side of the case 10 and the second pressure introduction passage 11b on the other surface side of the case 10 are respectively filled with oil 70 as a pressure medium by the diaphragms 81 and 82, respectively. Is configured as a chamber (that is, a pressure detection chamber).

ここで、たとえば、第１の圧力ポート１２の導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側、第２の圧力ポート１３の導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側にゴムホース等により接続されるものである。   Here, for example, the introduction port 12a of the first pressure port 12 is connected to the upstream side of the DPF in the exhaust pipe, and the introduction port 13a of the second pressure port 13 is connected to the downstream side of the DPF in the exhaust pipe by a rubber hose or the like. Is.

それにより、第１の圧力ポート１２へＤＰＦの上流側圧力（前圧）が導入され、第２の圧力ポート１３へＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入されるようになっている。   Thereby, the upstream pressure (pre-pressure) of the DPF is introduced to the first pressure port 12, and the downstream pressure (rear pressure) of the DPF is introduced to the second pressure port 13.

そして、各圧力ポート１２、１３に導入された上記圧力は、ダイアフラム８１、８２を介して圧力導入通路１１ａ、１１ｂ内のセンサ素子２０に伝達されるようになっている。具体的には、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの上流側圧力が印加され、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの下流側圧力が印加されるようになっている。   The pressure introduced into the pressure ports 12 and 13 is transmitted to the sensor elements 20 in the pressure introduction passages 11a and 11b via the diaphragms 81 and 82. Specifically, the upstream pressure of the DPF is applied to the first diaphragm 81, and the downstream pressure of the DPF is applied to the second diaphragm 82.

そして、両ダイアフラム８１、８２に印加された圧力がオイル７０を介してセンサ素子２０に受圧される。   The pressure applied to both diaphragms 81 and 82 is received by the sensor element 20 through the oil 70.

つまり、第１の圧力導入通路１１ａのオイル７０による圧力がセンサ素子２０の一面に印加され、第２の圧力導入通路１１ｂのオイル７０による圧力がセンサ素子２０の他面に印加され、センサ素子２０の両面における圧力の差（つまり差圧）にもとづいてセンサ素子２０によって圧力検出がなされるようになっている。   That is, the pressure due to the oil 70 in the first pressure introduction passage 11 a is applied to one surface of the sensor element 20, and the pressure due to the oil 70 in the second pressure introduction passage 11 b is applied to the other surface of the sensor element 20. The pressure is detected by the sensor element 20 based on the pressure difference between the two surfaces (that is, the differential pressure).

このように、図６に示される圧力センサは、センサ素子の両面に圧力を印加するために２つの圧力導入通路を備え、両圧力の差に基づいて圧力を検出する差圧検出型の圧力センサである。   As described above, the pressure sensor shown in FIG. 6 includes two pressure introduction passages for applying pressure to both surfaces of the sensor element, and detects a pressure based on the difference between the two pressures. It is.

また、図６に示される圧力センサは、各圧力導入通路をオイルなどの圧力媒体をダイアフラムで封止してなるものとし、当該ダイアフラムから圧力媒体を介してセンサ素子へ圧力を印加するダイアフラム封止型の圧力センサである。
特開２００２−２２１４６２号公報 Further, the pressure sensor shown in FIG. 6 is configured such that each pressure introduction passage is formed by sealing a pressure medium such as oil with a diaphragm, and pressure is applied from the diaphragm to the sensor element via the pressure medium. Type pressure sensor.
JP 2002-221462 A

しかしながら、上記図６に示されるような従来の圧力センサにおいては、外部から急激な圧力衝撃や圧力の脈動などが生じた場合、このような圧力変動がセンサ素子２０へ伝わり、センサ素子２０からノイズが出力されたり、センサ素子２０がダメージを受けたりする可能性がある。   However, in the conventional pressure sensor as shown in FIG. 6, when a sudden pressure impact or pressure pulsation occurs from the outside, such a pressure fluctuation is transmitted to the sensor element 20, and the sensor element 20 generates noise. May be output, or the sensor element 20 may be damaged.

そのため、この種の圧力センサにおいては、上述した外部からの圧力変動に対して耐ノイズ性を向上させたり、耐衝撃性を向上させるなど、センサの耐圧性の向上が要望されている。   Therefore, this type of pressure sensor is required to improve the pressure resistance of the sensor, for example, to improve noise resistance against external pressure fluctuations as described above, or to improve impact resistance.

なお、このような問題は、上記した差圧検出型の圧力センサや、ダイアフラム封止型の圧力センサに限定されるものではなく、ケースに圧力検出用のセンサ素子を設け、このセンサ素子に対してケースの圧力導入通路から圧力を導入するようにした圧力センサにおいては、共通した問題である。   Such a problem is not limited to the above-described differential pressure detection type pressure sensor or diaphragm sealed type pressure sensor, but a sensor element for pressure detection is provided in the case. This is a common problem in pressure sensors that introduce pressure from the pressure introduction passage of the case.

本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、ケースと、ケースに設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子と、ケースに設けられセンサ素子へ圧力を導入する圧力導入通路とを備える圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and includes a case, a sensor element that outputs a signal based on a pressure applied to the case, and a pressure introduction passage that is provided in the case and introduces pressure to the sensor element. It is an object of the present invention to improve pressure resistance against pressure fluctuations from the outside.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられ、センサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備える圧力センサにおいて、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）には、センサ素子（２０）に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられていることを特徴としている。   In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a case (10), a sensor element (20) provided in the case (10) and outputting a signal based on an applied pressure, 10) and a pressure sensor provided with pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure into the sensor element (20), the pressure introduction passages (11a, 11b) are applied to the sensor element (20). It is characterized in that pressure fluctuation mitigation means (200, 210, 220) for mitigating pressure fluctuation is provided.

それによれば、センサ素子（２０）へ通じる圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）に、圧力変動緩和手段（２００〜２２０）を設けているため、外部から急激な圧力衝撃や圧力の脈動などが生じても、この圧力変動緩和手段（２００〜２２０）によってセンサ素子（２０）へ伝わる圧力変動は緩和される。   According to this, since the pressure fluctuation relaxation means (200 to 220) is provided in the pressure introduction passages (11a, 11b) leading to the sensor element (20), a sudden pressure shock or pressure pulsation or the like is generated from the outside. However, the pressure fluctuation transmitted to the sensor element (20) is mitigated by the pressure fluctuation mitigating means (200 to 220).

そのため、外部の圧力変動によってセンサ素子（２０）からノイズが出力されたり、センサ素子（２０）がダメージを受けたりすることを極力抑制することができ、センサの耐ノイズ性や耐衝撃性を向上させることができる。   For this reason, it is possible to suppress as much as possible that noise is output from the sensor element (20) or the sensor element (20) is damaged by external pressure fluctuations, and the noise resistance and impact resistance of the sensor are improved. Can be made.

したがって、本発明によれば、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられセンサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備える圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   Therefore, according to the present invention, the case (10), the sensor element (20) that outputs a signal based on the pressure applied to the case (10), and the sensor element (20) provided to the case (10). In the pressure sensor including the pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure into the pressure), the pressure resistance against pressure fluctuations from the outside can be improved.

請求項２に記載の発明では、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられ、センサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備え、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）には圧力媒体（７０）が充填され、圧力媒体（７０）はダイアフラム（８１、８２）によって封止されており、ダイアフラム（８１、８２）が受けた圧力を、圧力媒体（７０）を介してセンサ素子（２０）へ印加するようにした圧力センサにおいて、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）には、センサ素子（２０）に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられていることを特徴としている。   In the second aspect of the invention, the case (10), the sensor element (20) provided in the case (10) and outputting a signal based on the applied pressure, the case (10), provided in the sensor Pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure into the element (20), the pressure introduction passages (11a, 11b) are filled with a pressure medium (70), and the pressure medium (70) is a diaphragm (81, 82), in the pressure sensor that applies the pressure received by the diaphragm (81, 82) to the sensor element (20) via the pressure medium (70), the pressure introduction passage (11a, 11b) is characterized by pressure fluctuation mitigating means (200, 210, 220) for mitigating fluctuations in pressure applied to the sensor element (20).

本発明は、圧力媒体（７０）をダイアフラム（８１、８２）で封止し、当該ダイアフラム（８１、８２）から圧力媒体（７０）を介してセンサ素子（２０）へ圧力を印加するダイアフラム封止型の圧力センサとしたものである。   The present invention seals a pressure medium (70) with a diaphragm (81, 82) and applies a pressure from the diaphragm (81, 82) to the sensor element (20) via the pressure medium (70). This is a type of pressure sensor.

つまり、本発明によれば、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられセンサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備えるダイアフラム封止型の圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   That is, according to the present invention, the case (10), the sensor element (20) that outputs a signal based on the pressure applied to the case (10), and the sensor element (20) provided to the case (10). In the diaphragm-sealed pressure sensor including the pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure to the pressure), the pressure resistance against external pressure fluctuations can be improved.

請求項３に記載の発明では、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられ、センサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備え、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）は、センサ素子（２０）の一面側へ圧力を導入する第１の圧力導入通路（１１ａ）と、センサ素子（２０）の他面側へ圧力を導入する第２の圧力導入通路（１１ｂ）とから構成されており、第１の圧力導入通路（１１ａ）からの圧力、第２の圧力導入通路（１１ｂ）からの圧力が、それぞれ、センサ素子（２０）の一面、他面に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力導入通路（１１ａ）および第２の圧力導入通路（１１ｂ）の少なくとも一方には、センサ素子（２０）に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられていることを特徴としている。   In the invention according to claim 3, the case (10), the sensor element (20) provided in the case (10) and outputting a signal based on the applied pressure, the case (10), provided in the sensor Pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure to the element (20), and the pressure introduction passages (11a, 11b) are first pressure introduction passages for introducing pressure to one side of the sensor element (20). (11a) and a second pressure introduction passage (11b) for introducing pressure to the other surface side of the sensor element (20), the pressure from the first pressure introduction passage (11a), the second In the pressure sensor in which the pressure from the pressure introduction passage (11b) is applied to one surface and the other surface of the sensor element (20), respectively, and pressure detection is performed based on the difference between the two pressures. Pressure introduction passage (11a) And at least one of the second pressure introduction passages (11b) is provided with pressure fluctuation mitigation means (200, 210, 220) for mitigating fluctuations in pressure applied to the sensor element (20). It is characterized by.

本発明は、センサ素子（２０）の両面に圧力を印加し、両圧力の差に基づいて圧力を検出する差圧検出型の圧力センサとしたものである。   The present invention is a differential pressure detection type pressure sensor that applies pressure to both surfaces of a sensor element (20) and detects the pressure based on the difference between the two pressures.

つまり、本発明によれば、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられセンサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備える差圧検出型の圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   That is, according to the present invention, the case (10), the sensor element (20) that outputs a signal based on the pressure applied to the case (10), and the sensor element (20) provided to the case (10). In the differential pressure detection type pressure sensor including the pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure to the pressure), the pressure resistance against pressure fluctuation from the outside can be improved.

また、請求項４に記載の発明では、請求項３に記載の圧力センサにおいて、第１の圧力導入通路（１１ａ）には、圧力媒体（７０）が充填され、圧力媒体（７０）は第１のダイアフラム（８１）によって封止されており、第２の圧力導入通路（１１ｂ）には、圧力媒体（７０）が充填され、圧力媒体（７０）は第２のダイアフラム（８２）によって封止されており、第１のダイアフラム（８１）が受けた圧力、第２のダイアフラム（８２）が受けた圧力は、それぞれ圧力媒体（７０）を介して、センサ素子（２０）の一面、他面へ印加されるようになっていることを特徴としている。   In the invention according to claim 4, in the pressure sensor according to claim 3, the first pressure introduction passage (11a) is filled with the pressure medium (70), and the pressure medium (70) is the first pressure medium (70). The second pressure introduction passage (11b) is filled with the pressure medium (70), and the pressure medium (70) is sealed by the second diaphragm (82). The pressure received by the first diaphragm (81) and the pressure received by the second diaphragm (82) are applied to one surface and the other surface of the sensor element (20) via the pressure medium (70), respectively. It is characterized by being adapted.

本発明によれば、ケース（１０）と、ケース（１０）に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、ケース（１０）に設けられセンサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備えるダイアフラム封止型且つ差圧検出型の圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   According to the present invention, the case (10), the sensor element (20) that outputs a signal based on the pressure applied to the case (10), and the sensor element (20) provided to the case (10). In a diaphragm-sealed and differential pressure detection type pressure sensor including pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure, pressure resistance against external pressure fluctuations can be improved.

また、請求項５に記載の発明のように、請求項１〜請求項４に記載の圧力センサにおいては、センサ素子（２０）は、圧力を印加するための薄肉部としてのダイアフラム（２１）を有するものにできる。   As in the invention described in claim 5, in the pressure sensor described in claims 1 to 4, the sensor element (20) has a diaphragm (21) as a thin wall portion for applying pressure. You can have it.

また、請求項６に記載の発明のように、請求項１〜請求項４に記載の圧力センサにおいては、センサ素子（２０）は、半導体基板の一面側に凹部（２２）を形成し、この凹部（２２）の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム（２１）を有するものであり、圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられている圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）は、センサ素子（２０）のダイアフラム（２１）における凹部（２２）側の面に対して圧力を導入するものであることを特徴としている。   As in the invention described in claim 6, in the pressure sensor described in claims 1 to 4, the sensor element (20) is formed with a recess (22) on one surface side of the semiconductor substrate. A pressure introducing passage (11a, 11b) having a diaphragm (21) configured as a thin wall portion along with the formation of the concave portion (22) and provided with pressure fluctuation relaxation means (200, 210, 220) It is characterized in that pressure is introduced to the surface of the diaphragm (21) of the sensor element (20) on the concave portion (22) side.

センサ素子（２０）を、半導体基板の一面側に凹部（２２）を形成し、この凹部（２２）の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム（２１）を有するものとした場合、ダイアフラム（２１）における凹部（２２）側の面の方が、凹部（２２）による角部などが存在するため、強度が弱い。   When the sensor element (20) has a recess (22) formed on one surface side of the semiconductor substrate and has a diaphragm (21) configured as a thin portion in accordance with the formation of the recess (22), the diaphragm (21 The surface on the recess (22) side in) is weaker because there are corners due to the recess (22).

つまり、この場合、センサ素子（２０）のダイアフラム（２１）における凹部（２２）側の面に対して圧力が印加される方が、当該ダイアフラム（２１）における凹部（２２）とは反対側の面に圧力が印加される場合よりも、当該ダイアフラム（２１）が破壊しやすい。   That is, in this case, when the pressure is applied to the surface of the diaphragm (21) on the concave portion (22) side of the sensor element (20), the surface of the diaphragm (21) opposite to the concave portion (22). The diaphragm (21) is more easily destroyed than when pressure is applied to the diaphragm.

そのため、本発明のようにセンサ素子（２０）のダイアフラム（２１）における凹部（２２）側の面に対して圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）に、圧力変動緩和手段（２００〜２２０）を設ければ、より効果的である。   Therefore, as in the present invention, the pressure fluctuation reducing means (200 to 220) is provided in the pressure introduction passages (11a, 11b) for introducing pressure to the surface of the diaphragm (21) of the sensor element (20) on the recess (22) side. ) Is more effective.

また、請求項７に記載の発明では、請求項１〜請求項６に記載の圧力センサにおいて、圧力変動緩和手段は、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）の内部に充填されたゲルからなるゲル部材（２００）であることを特徴としている。   Further, in the invention according to claim 7, in the pressure sensor according to claims 1 to 6, the pressure fluctuation relaxation means is a gel member made of gel filled in the pressure introduction passage (11a, 11b). (200).

それによれば、ゲル部材（２００）によって、センサ素子（２０）への圧力変動が吸収されるとともに、ゲル部材（２００）を介して、静的な圧力は確実にセンサ素子（２０）へ印加される。   According to this, pressure fluctuations to the sensor element (20) are absorbed by the gel member (200), and static pressure is reliably applied to the sensor element (20) via the gel member (200). The

また、請求項８に記載の発明では、請求項１〜請求項６に記載の圧力センサにおいて、圧力変動緩和手段は、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）を折れ曲がり形状とした曲がり通路（２１０）により構成されていることを特徴としている。   According to an eighth aspect of the present invention, in the pressure sensor according to any of the first to sixth aspects, the pressure fluctuation mitigating means includes a bent passage (210) in which the pressure introduction passages (11a, 11b) are bent. It is characterized by being composed.

それによれば、折れ曲がり形状の曲がり通路（２１０）を構成することによって、センサ素子（２０）への圧力変動が吸収されるとともに、静的な圧力は確実にセンサ素子（２０）へ印加される。   According to this, by forming the bent passage (210) having a bent shape, pressure fluctuations to the sensor element (20) are absorbed, and static pressure is reliably applied to the sensor element (20).

また、請求項９に記載の発明では、請求項１〜請求項６に記載の圧力センサにおいて、圧力変動緩和手段は、圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）を絞り形状とした絞り部（２２０）により構成されていることを特徴としている。   In the ninth aspect of the present invention, in the pressure sensor according to the first to sixth aspects of the present invention, the pressure fluctuation mitigating means includes a throttle portion (220) in which the pressure introduction passages (11a, 11b) have a throttle shape. It is characterized by being composed.

それによれば、絞り部（２２０）によって、センサ素子（２０）への圧力変動が吸収されるとともに、静的な圧力は確実にセンサ素子（２０）へ印加される。   According to this, pressure variation to the sensor element (20) is absorbed by the throttle part (220), and static pressure is reliably applied to the sensor element (20).

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る差圧検出型・ダイアフラム封止型の圧力センサＳ１の概略断面構成を示す図である。また、図２は、図１中のセンサ素子２０およびその近傍部の拡大図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of a differential pressure detection type / diaphragm sealing type pressure sensor S1 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged view of the sensor element 20 in FIG. 1 and its vicinity.

限定するものではないが、本実施形態は、たとえば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために当該排気管に取り付けられ、当該ＤＰＦ前後の排気管の差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして適用することができる。   Although not limited, this embodiment is attached to the exhaust pipe in order to detect a pressure loss of a DPF (diesel particulate filter) provided in an exhaust pipe of a diesel engine of an automobile, for example. It can be applied as a differential pressure (relative pressure) detection type pressure sensor for detecting the differential pressure of the exhaust pipe.

［構成等］
図１において、ケース１０は圧力センサＳ１の本体を区画するもので、たとえば、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料などを、成形することにより作られる。 [Configuration]
In FIG. 1, a case 10 defines the main body of the pressure sensor S1, and is made by molding a resin material such as PBT (polybutylene terephthalate) or PPS (polyphenylene sulfide).

ケース１０においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部１１ａが形成されており、当該一面と反対の面側（図１中の下面側）に第１の凹部１１ａと連通する第２の凹部１１ｂが形成されている。   In the case 10, a first concave portion 11a is formed on one surface side (upper surface side in FIG. 1), and communicated with the first concave portion 11a on a surface side opposite to the one surface (lower surface side in FIG. 1). A second recess 11b is formed.

そして、ケース１０においては、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとの底部となる位置に、両凹部１１ａ、１１ｂに臨むように、圧力検出用のセンサ素子２０が設けられている。   In the case 10, a sensor element 20 for pressure detection is provided at a position that becomes the bottom of the first recess 11a and the second recess 11b so as to face both the recesses 11a and 11b.

つまり、これら第１および第２の凹部１１ａ、１１ｂにより構成される空間にセンサ素子２０が設けられており、このセンサ素子２０よりもケース１０の一面側に位置する第１の凹部１１ａが第１の圧力導入通路１１ａとして構成され、センサ素子２０よりもケース１０の他面側に位置する第２の凹部１１ｂが第２の圧力導入通路１１ｂとして構成されている。   That is, the sensor element 20 is provided in a space constituted by the first and second recesses 11a and 11b, and the first recess 11a located on the one surface side of the case 10 relative to the sensor element 20 is the first. The second recessed portion 11b is configured as the second pressure introducing passage 11b and is located on the other surface side of the case 10 relative to the sensor element 20.

詳しくは、図２に示されるように、センサ素子２０の一面（図２中の上面）が第１の圧力導入通路１１ａに面しており、センサ素子２０の他面（図２中の下面）が第２の圧力導入通路１１ｂに面している。そして、センサ素子２０の一面には第１の圧力導入通路１１ａから圧力が印加され、他面には第２の圧力導入通路１１ｂから圧力が印加されるようになっている。   Specifically, as shown in FIG. 2, one surface of the sensor element 20 (upper surface in FIG. 2) faces the first pressure introduction passage 11a, and the other surface of the sensor element 20 (lower surface in FIG. 2). Faces the second pressure introduction passage 11b. A pressure is applied to one surface of the sensor element 20 from the first pressure introduction passage 11a, and a pressure is applied to the other surface from the second pressure introduction passage 11b.

このセンサ素子２０は、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンシング部として構成されるものである。具体的には、センサ素子２０は、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。   The sensor element 20 is configured as a sensing unit that outputs a signal based on an applied pressure. Specifically, the sensor element 20 generates an electric signal having a level corresponding to the applied pressure value.

本例では、図２に示されるように、このようなセンサ素子２０としては、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム２１を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップを採用している。   In this example, as shown in FIG. 2, as such a sensor element 20, a semiconductor diaphragm type sensor chip having a diaphragm 21 as a thin portion on a semiconductor substrate such as a silicon substrate is employed.

具体的には、センサ素子２０は、半導体基板の一面側に、エッチングなどによって凹部２２を形成し、この凹部２２の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム２１を有する。   Specifically, the sensor element 20 includes a diaphragm 21 formed on one surface side of the semiconductor substrate by etching or the like, and configured as a thin portion with the formation of the recess 22.

この場合、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２とは反対側の面が、上記した第１の圧力導入通路１１ａに面するセンサ素子２０の一面であり、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面が、上記した第２の圧力導入通路１１ｂに面するセンサ素子２０の他面である。   In this case, the surface of the diaphragm 21 of the sensor element 20 opposite to the concave portion 22 is one surface of the sensor element 20 facing the first pressure introduction passage 11a, and the concave portion 22 side of the diaphragm 21 of the sensor element 20 This surface is the other surface of the sensor element 20 facing the above-described second pressure introduction passage 11b.

このような半導体ダイアフラム式センサチップとしてのセンサ素子２０は、たとえば、半導体プロセスによってシリコン半導体チップに対して、ダイアフラム２１および図示しない拡散抵抗素子などにより構成されるブリッジ回路などを形成してなるものを採用できる。   The sensor element 20 as such a semiconductor diaphragm type sensor chip is formed by forming a bridge circuit composed of a diaphragm 21 and a diffusion resistance element (not shown) on a silicon semiconductor chip by a semiconductor process, for example. Can be adopted.

このようなセンサ素子２０は、圧力の印加によってダイアフラム２１が歪み、その歪みによって上記ブリッジ回路に生じる抵抗値変化を電気信号に変換して出力する機能を有するものである。   Such a sensor element 20 has a function of distorting the diaphragm 21 by application of pressure, converting a change in resistance value generated in the bridge circuit due to the distortion into an electric signal, and outputting the electric signal.

そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されており、これらセンサ素子２０と台座３０とは一体化されている。ここで、センサ素子２０と台座３０とは、たとえば陽極接合などにより接合することができる。   A pedestal 30 made of glass or the like is bonded to the sensor element 20, and the sensor element 20 and the pedestal 30 are integrated. Here, the sensor element 20 and the pedestal 30 can be bonded by, for example, anodic bonding.

そして、図１に示されるように、センサ素子２０は、この台座３０を介して、ケース１０における第１の凹部１１ａの底部に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着されている。   As shown in FIG. 1, the sensor element 20 is bonded to the bottom of the first recess 11 a in the case 10 via the pedestal 30 with an adhesive such as a silicone adhesive (not shown).

それによって、センサ素子２０および台座３０は、ケース１０に取り付け固定された形で設けられている。ここで、台座３０には、第２の凹部１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。   Thereby, the sensor element 20 and the pedestal 30 are provided and fixed to the case 10. Here, the pedestal 30 is formed with a through hole 31 communicating with the second recess 11b.

そして、第２の凹部１１ｂは台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されており、このセンサ素子２０を境として、第１の圧力導入通路１１ａとしての第１の凹部１１ａと、第２の圧力導入通路１１ｂとしての第２の凹部１１ｂとは、遮断された形となっている。   The second recess 11b communicates with the through hole 31 of the pedestal 30, but the tip of the second recess 11b is blocked by the sensor element 20, and the first pressure introduction passage 11a as the first pressure introduction passage 11a is bordered by the sensor element 20. The first recess 11a and the second recess 11b as the second pressure introduction passage 11b are cut off.

また、ケース１０に設けられた配線部材としてのターミナル１０ａは、センサ素子２０からの信号を取り出すためのものである。本例では、図１に示されるように、ターミナル１０ａは棒状部材であり、たとえば、ケース１０にインサート成形されることで固定されている。このようなターミナル１０ａは、たとえば銅や４２アロイなどの導電性金属よりなるものにできる。   A terminal 10 a as a wiring member provided in the case 10 is for taking out a signal from the sensor element 20. In this example, as shown in FIG. 1, the terminal 10 a is a rod-like member, and is fixed to the case 10 by insert molding, for example. Such a terminal 10a can be made of a conductive metal such as copper or 42 alloy.

ターミナル１０ａの一端側はセンサ素子２０の近傍において第１の凹部１１ａ内に露出しており、センサ素子２０とアルミや金などからなるワイヤ４０により結線され電気的に接続されている。このワイヤ４０は、たとえば通常のワイヤボンディング法などにより形成できるものである。   One end of the terminal 10a is exposed in the first recess 11a in the vicinity of the sensor element 20, and is connected to and electrically connected to the sensor element 20 by a wire 40 made of aluminum or gold. The wire 40 can be formed by, for example, a normal wire bonding method.

ここで、第１の凹部１１ａ内に露出しているターミナル１０ａの一端部の周囲には、ターミナル１０ａとケース１０との隙間をシールするためのシール材５０が設けられている。このシール材５０は、たとえば、シリコーン系樹脂やエポキシ系樹脂等の樹脂などからなるものである。   Here, a sealing material 50 for sealing a gap between the terminal 10a and the case 10 is provided around one end of the terminal 10a exposed in the first recess 11a. The sealing material 50 is made of, for example, a resin such as a silicone resin or an epoxy resin.

そして、ターミナル１０ａは、センサ素子２０からケース１０におけるセンサ素子２０の搭載面すなわち第１の凹部１１ａの底面と平行な方向に延びるように配置されている。そして、ターミナル１０ａのうちワイヤ４０との接続部とは反対側の端部が、ケース１０の開口部１０ｂから外部に露出している。   The terminal 10a is arranged so as to extend from the sensor element 20 in a direction parallel to the mounting surface of the sensor element 20 in the case 10, that is, the bottom surface of the first recess 11a. And the edge part on the opposite side to the connection part with the wire 40 among the terminals 10a is exposed outside from the opening part 10b of the case 10. FIG.

そして、このターミナル１０ａの露出端部は、ケース１０の開口部１０ｂとともに、図示しない外部配線部材に接続可能となっており、それによって、センサ素子２０は、ワイヤ４０、ターミナル１０ａを介して外部回路（たとえば、車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。   The exposed end of the terminal 10a can be connected to an external wiring member (not shown) together with the opening 10b of the case 10, whereby the sensor element 20 is connected to the external circuit via the wire 40 and the terminal 10a. Signals can be exchanged with (for example, an ECU of a vehicle).

つまり、ケース１０の開口部１０ｂの部分は、そこに露出するターミナル１０ａとともに、外部との接続を行うためのコネクタ部として構成されている。このように、ケース１０は、センシング部であるセンサ素子２０が設置されるセンシング部設置部として機能するとともに、コネクタケースとしても機能するものである。   That is, the opening 10b portion of the case 10 is configured as a connector portion for connecting to the outside together with the terminal 10a exposed there. As described above, the case 10 functions as a sensing unit installation unit in which the sensor element 20 as a sensing unit is installed, and also functions as a connector case.

また、図１に示されるように、外部から圧力を導入するための圧力ポート１２、１３が、ケース１０に組み付けられている。   Further, as shown in FIG. 1, pressure ports 12 and 13 for introducing pressure from the outside are assembled to the case 10.

第１の圧力ポート１２は、ケース１０の一面側すなわち第１の凹部１１ａ側（第１のダイアフラム８１側）に組み付けられ、第２の圧力ポート１３は、ケース１０の他面側すなわち第２の凹部１１ｂ側（第２のダイアフラム８２側）に組み付けられている。   The first pressure port 12 is assembled to one surface side of the case 10, that is, the first recess 11 a side (first diaphragm 81 side), and the second pressure port 13 is the other surface side of the case 10, that is, the second pressure port 13. It is assembled on the concave portion 11b side (second diaphragm 82 side).

これら圧力ポート１２、１３は、上記ケース１０と同様に、たとえば、ＰＢＴやＰＰＳ等の樹脂材料などを成形することにより作られる。また、第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３には、それぞれ、図１中において２点鎖線にて示す導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。   These pressure ports 12 and 13 are made by molding a resin material such as PBT or PPS, for example, similarly to the case 10 described above. In addition, the first pressure port 12 and the second pressure port 13 are respectively provided with introduction ports 12a and 13a indicated by two-dot chain lines in FIG.

ここで、ケース１０と第１の圧力ポート１２、および、ケース１０と第２の圧力ポート１３とは、ネジ部材としてのネジ６０およびナット６１、６２を用いて接合されることで、一体に組み付けられている。   Here, the case 10 and the first pressure port 12 and the case 10 and the second pressure port 13 are joined together by using screws 60 and nuts 61 and 62 as screw members, so that they are assembled together. It has been.

ナット６１はケース１０にインサート成形されたもので、ケース１０と第１および第２の圧力ポート１２、１３とをネジ６０およびナット６１によりネジ結合した後、ナット６２を用いて締結している。なお、これらネジ部材６０〜６２に代えて、リベットなどを用いてケース１０と圧力ポート１２、１３とを組み付けてもよい。   The nut 61 is insert-molded in the case 10, and the case 10 and the first and second pressure ports 12 and 13 are screw-coupled with the screw 60 and the nut 61, and then fastened with the nut 62. Instead of the screw members 60 to 62, the case 10 and the pressure ports 12 and 13 may be assembled using rivets or the like.

また、ケース１０における第１の圧力導入通路１１ａとしての第１の凹部１１ａおよび第２の圧力導入通路１１ｂとしての第２の凹部１１ｂには、圧力媒体としてのオイル７０が充填されている。このオイル７０は、フッ素系オイルやシリコーン系オイルなどからなるものである。   The first recess 11a as the first pressure introduction passage 11a and the second recess 11b as the second pressure introduction passage 11b in the case 10 are filled with oil 70 as a pressure medium. The oil 70 is made of fluorine-based oil, silicone-based oil, or the like.

そして、ケース１０と第１の圧力ポート１２との間には第１のダイアフラム８１が固定されており、ケース１０と第２の圧力ポート１３との間には第２のダイアフラム８２が固定されている。   A first diaphragm 81 is fixed between the case 10 and the first pressure port 12, and a second diaphragm 82 is fixed between the case 10 and the second pressure port 13. Yes.

本実施形態では、第１および第２のダイアフラム８１、８２は、ＣｒやＮｉなどの耐食性や耐熱性にすぐれた金属からなるメタルダイアフラムである。以下、これら第１および第２のダイアフラム８１、８２を、第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２ということにする。   In the present embodiment, the first and second diaphragms 81 and 82 are metal diaphragms made of a metal having excellent corrosion resistance and heat resistance such as Cr and Ni. Hereinafter, the first and second diaphragms 81 and 82 will be referred to as first and second metal diaphragms 81 and 82.

これら第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２は、たとえば（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり且つＮｉを３０重量％以上含む材料からなるものにできる。   These first and second metal diaphragms 81 and 82 can be made of a material having a pitting corrosion index represented by, for example, (Cr + 3.3Mo + 20N) of 50 or more and containing 30% by weight or more of Ni.

図１に示されるように、第１のメタルダイアフラム８１は、第１の凹部１１ａを覆うように配置され、第１の凹部１１ａ内のオイル７０を封止している。一方、第２のメタルダイアフラム８２は、第２の凹部１１ｂを覆うように配置され、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０を封止している。   As shown in FIG. 1, the first metal diaphragm 81 is disposed so as to cover the first recess 11a and seals the oil 70 in the first recess 11a. On the other hand, the second metal diaphragm 82 is disposed so as to cover the second recess 11b, and seals the oil 70 in the second recess 11b.

また、ケース１０において、第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２が押しつけられて固定される部位には、Ｏリング９０が設けられている。このＯリング９０は、ゴムなどの通常のＯリング材料からなるものである。   In the case 10, an O-ring 90 is provided at a portion where the first and second metal diaphragms 81 and 82 are pressed and fixed. The O-ring 90 is made of a normal O-ring material such as rubber.

そして、このＯリング９０の配設により、第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２による各圧力導入通路１１ａ、１１ｂ内のオイル７０の封止がより確実なものとなっている。   By providing the O-ring 90, the first and second metal diaphragms 81 and 82 can more reliably seal the oil 70 in the pressure introduction passages 11a and 11b.

つまり、図１に示されるように、圧力ポート１２、１３は、メタルダイアフラム８１、８２を介してＯリング９０に押し当てられるようにケース１０に組み付けられている。このようにして、本実施形態では、メタルダイアフラム８１、８２およびＯリング９０によって各圧力導入通路１１ａ、１１ｂが封止されている。   That is, as shown in FIG. 1, the pressure ports 12 and 13 are assembled to the case 10 so as to be pressed against the O-ring 90 through the metal diaphragms 81 and 82. In this way, in the present embodiment, the pressure introduction passages 11 a and 11 b are sealed by the metal diaphragms 81 and 82 and the O-ring 90.

なお、図１では示されていないが、後述する図３に示されるように、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部は、Ｏリング９０を介して圧力ポート１２、１３とケース１０における凹部１１ａ、１１ｂの開口縁部との間に挟み付けられている。   Although not shown in FIG. 1, as shown in FIG. 3 to be described later, the peripheral portions of the metal diaphragms 81 and 82 are connected to the pressure ports 12 and 13 and the recesses 11a in the case 10 via the O-ring 90. It is pinched | interposed between the opening edge parts of 11b.

そして、図１では示さないが、各メタルダイアフラム８１、８２はそれぞれ、各圧力ポート１２、１３に対して、フロロシリコーン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等の樹脂からなる接着剤を介して接着されている。なお、この接着剤は後述する図３において、符号１００を付して示してある。   Although not shown in FIG. 1, the metal diaphragms 81 and 82 are respectively bonded to the pressure ports 12 and 13 through an adhesive made of a resin such as a fluorosilicone resin or a fluorine resin. . This adhesive is indicated by reference numeral 100 in FIG. 3 described later.

このように、ケース１０の一面側に設けられた第１の凹部１１ａは、第１のメタルダイアフラム８１によって内部に圧力媒体としてのオイル７０を封止してなる第１の圧力導入通路１１ａとして構成され、ケース１０の他面側に設けられた第２の凹部１１ｂは、第２のメタルダイアフラム８２によって内部に圧力媒体としてのオイル７０を封止してなる第２の圧力導入通路１１ｂとして構成されている。   Thus, the first recess 11 a provided on the one surface side of the case 10 is configured as the first pressure introduction passage 11 a formed by sealing the oil 70 as the pressure medium inside by the first metal diaphragm 81. The second recess 11b provided on the other surface side of the case 10 is configured as a second pressure introduction passage 11b in which oil 70 as a pressure medium is sealed inside by a second metal diaphragm 82. ing.

詳細な作動は後述するが、このような圧力導入通路１１ａ、１１ｂを有する本実施形態の圧力センサＳ１においては、第１の圧力導入通路１１ａのオイル７０による圧力、第２の圧力導入通路１１ｂのオイル７０による圧力が、それぞれセンサ素子２０の一面、他面に印加され、これらセンサ素子２０に印加された両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようになっている。   Although detailed operation will be described later, in the pressure sensor S1 of this embodiment having such pressure introduction passages 11a and 11b, the pressure of the oil 70 in the first pressure introduction passage 11a, the second pressure introduction passage 11b, The pressure by the oil 70 is applied to one surface and the other surface of the sensor element 20, respectively, and pressure detection is performed based on the difference between the two pressures applied to the sensor element 20.

そして、図１、図２に示されるように、本実施形態の圧力センサＳ１の独自の構成として、圧力導入通路１１ｂには、センサ素子２０に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段２００が設けられている。   As shown in FIGS. 1 and 2, as a unique configuration of the pressure sensor S <b> 1 of the present embodiment, the pressure introduction passage 11 b has a pressure fluctuation for reducing fluctuations in pressure applied to the sensor element 20. Mitigation means 200 is provided.

ここでは、圧力変動緩和手段２００が設けられている圧力導入通路１１ｂは、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面に対して圧力を導入する第２の圧力導入通路１１ｂである。   Here, the pressure introduction passage 11 b in which the pressure fluctuation relaxation means 200 is provided is the second pressure introduction passage 11 b that introduces pressure to the surface of the diaphragm 21 of the sensor element 20 on the concave portion 22 side.

本実施形態では、圧力変動緩和手段２００は、第２の圧力導入通路１１ｂの内部に充填されたゲルからなるゲル部材２００である。ここでは、ゲル部材２００は、センサ素子２０を支持する台座３０の貫通孔３１の内部まで充填されている。このゲル部材２００としては、たとえば、フッ素系ゲル、フロロシリコーン系ゲルなどのゲル材料を採用することができる。   In the present embodiment, the pressure fluctuation relaxation means 200 is a gel member 200 made of gel filled in the second pressure introduction passage 11b. Here, the gel member 200 is filled up to the inside of the through hole 31 of the pedestal 30 that supports the sensor element 20. As the gel member 200, for example, a gel material such as a fluorine gel or a fluorosilicone gel can be employed.

これらのゲル材料は、第２の圧力導入通路１１ｂに注入して硬化させることにより、配設できるものであり、オイル７０からの静的な圧力はセンサ素子２０に十分に伝達できるが、圧力変動は吸収できるような柔軟性を有するものである。   These gel materials can be disposed by being injected into the second pressure introduction passage 11b and cured, and the static pressure from the oil 70 can be sufficiently transmitted to the sensor element 20, but the pressure fluctuation Is flexible enough to absorb.

また、ここで、図１に示される圧力センサＳ１では、センサ素子２０を境にして、第１のメタルダイアフラム８１側に配置されるオイル７０の量と第２のメタルダイアフラム８２側に配置されるオイル７０の量とが等しいものにすることが好ましい。これは、第１の凹部１１ａの容積や第２の凹部１１ｂの容積、センサ素子２０や台座３０の体積等を考慮して設計することで実現可能である。   Here, in the pressure sensor S1 shown in FIG. 1, the amount of oil 70 arranged on the first metal diaphragm 81 side and the second metal diaphragm 82 side are arranged with the sensor element 20 as a boundary. It is preferable that the amount of oil 70 is equal. This can be realized by designing in consideration of the volume of the first recess 11a, the volume of the second recess 11b, the volume of the sensor element 20 and the pedestal 30, and the like.

［作動等］
次に、本実施形態の圧力センサＳ１の圧力検出動作について述べる。 [Operation etc.]
Next, the pressure detection operation of the pressure sensor S1 of the present embodiment will be described.

図示しないが、たとえば、第１の圧力ポート１２の導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側に対してゴムホースなどにより接続され、第２の圧力ポート１３の導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側に対してゴムホースなどにより接続されるようになっている。   Although not shown, for example, the introduction port 12a of the first pressure port 12 is connected to the upstream side of the DPF in the exhaust pipe by a rubber hose or the like, and the introduction port 13a of the second pressure port 13 is connected to the DPF in the exhaust pipe. It is connected to the downstream side by a rubber hose or the like.

それにより、第１の圧力ポート１２へＤＰＦの上流側圧力（前圧）が導入され、第２の圧力ポート１３へＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入される。そして、各圧力ポート１２、１３に導入された上記圧力は、メタルダイアフラム８１、８２を介してオイル７０を伝わり、センサ素子２０に伝達される。   Thereby, the upstream pressure (pre-pressure) of the DPF is introduced to the first pressure port 12, and the downstream pressure (rear pressure) of the DPF is introduced to the second pressure port 13. The pressure introduced into the pressure ports 12 and 13 is transmitted to the sensor element 20 through the oil 70 via the metal diaphragms 81 and 82.

具体的には、第１の圧力ポート１２へ導入されたＤＰＦの上流側圧力（前圧）が第１のメタルダイアフラム８１に対して印加され、第２の圧力ポート１３へ導入されたＤＰＦの下流側圧力（後圧）が第２のメタルダイアフラム８２に対して印加される。   Specifically, the upstream pressure (pre-pressure) of the DPF introduced into the first pressure port 12 is applied to the first metal diaphragm 81 and downstream of the DPF introduced into the second pressure port 13. A side pressure (rear pressure) is applied to the second metal diaphragm 82.

そして、第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２に印加された圧力がそれぞれオイル７０を介して、センサ素子２０の一面、他面に受圧される。そして、第１のメタルダイアフラム８１側から受圧された圧力と第２のメタルダイアフラム８２側から受圧された圧力との差圧をセンサ素子２０により検出する。   The pressure applied to the first and second metal diaphragms 81 and 82 is received by one surface and the other surface of the sensor element 20 through the oil 70, respectively. The sensor element 20 detects a differential pressure between the pressure received from the first metal diaphragm 81 side and the pressure received from the second metal diaphragm 82 side.

本例においては、上述したように、センサ素子２０は、半導体ダイアフラム式のものである。そして、このセンサ素子２０におけるダイアフラム２１の一面には、第１の圧力導入通路１１ａ内のオイル７０から圧力が伝達されるようになっている。   In this example, as described above, the sensor element 20 is a semiconductor diaphragm type. The pressure is transmitted from the oil 70 in the first pressure introduction passage 11 a to one surface of the diaphragm 21 in the sensor element 20.

また、上述したように、第２の圧力導入通路１１ｂと連通する台座３０の貫通孔３１にも、第２の圧力導入通路１１ｂ内のオイル７０が入り込むことで充填されており、センサ素子２０におけるダイアフラム２１の他面には、第２の圧力導入通路１１ｂ内のオイル７０から圧力が伝達されるようになっている。   Further, as described above, the oil 70 in the second pressure introduction passage 11b is also filled in the through hole 31 of the base 30 communicating with the second pressure introduction passage 11b. Pressure is transmitted to the other surface of the diaphragm 21 from the oil 70 in the second pressure introduction passage 11b.

つまり、センサ素子２０のダイアフラム２１の一面に対して、第１のメタルダイアフラム８１側からオイル７０を介してＤＰＦの上流側圧力が受圧され、当該ダイアフラム２１の他面に対して、第２のメタルダイアフラム８２側からオイル７０を介してＤＰＦの下流側圧力が受圧される。   That is, the upstream side pressure of the DPF is received from one side of the diaphragm 21 of the sensor element 20 through the oil 70 from the first metal diaphragm 81 side, and the second metal is applied to the other side of the diaphragm 21. The downstream pressure of the DPF is received from the diaphragm 82 side through the oil 70.

そして、センサ素子２０のダイアフラム２１は、その両面からの圧力の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０からワイヤ４０を介してターミナル１０ａから外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。   The diaphragm 21 of the sensor element 20 is distorted by the pressure difference between the two surfaces, and a signal based on this distortion is output from the sensor element 20 to the outside via the wire 40 from the terminal 10a. In this way, pressure detection is performed.

［製造方法等］
次に、本圧力センサＳ１の製造方法の一例について、図３も参照して述べる。図３は、図１に示される圧力センサＳ１において各部品が分解された状態を断面的に示す分解図である。 [Manufacturing method]
Next, an example of a manufacturing method of the pressure sensor S1 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is an exploded view showing a cross-sectional view of a state where each component is disassembled in the pressure sensor S1 shown in FIG.

ターミナル１０ａ、ナット６１がインサート成形などにより保持されてなるケース１０を用意し、このケース１０において、第１の凹部すなわち第１の圧力導入通路１１ａ内に露出したターミナル１０ａの一端部をシール材５０によってシールする。   A case 10 is prepared in which a terminal 10a and a nut 61 are held by insert molding or the like. In this case 10, the first recess, that is, one end portion of the terminal 10a exposed in the first pressure introduction passage 11a is sealed 50. Seal by.

次に、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、ケース１０に接着することにより固定し、センサ素子２０とターミナル１０ａとの間でワイヤボンディングを行いワイヤ４０による結線を行う。   Next, the sensor element 20 integrated with the pedestal 30 is fixed by being bonded to the case 10, and wire bonding is performed between the sensor element 20 and the terminal 10 a to perform connection by the wire 40.

また、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、ケース１０に接着固定した段階で、圧力変動緩和手段としてのゲル部材２００を、ケース１０における第２の凹部１１ｂおよび台座３０の貫通孔３１に注入し硬化させることにより配設する。   Further, when the sensor element 20 integrated with the pedestal 30 is bonded and fixed to the case 10, the gel member 200 as the pressure fluctuation reducing means is attached to the second recess 11 b in the case 10 and the through hole 31 of the pedestal 30. It is arranged by pouring and curing.

次に、第１の圧力ポート１２に対して第１のメタルダイアフラム８１を上記接着剤１００を用いて接着するとともに、ケース１０の第１の圧力導入通路１１ａにオイル７０を注入し、ケース１０に対してＯリング９０をセットする。   Next, the first metal diaphragm 81 is bonded to the first pressure port 12 using the adhesive 100, and the oil 70 is injected into the first pressure introduction passage 11 a of the case 10. On the other hand, the O-ring 90 is set.

そして、真空中にて、ケース１０と第１の圧力ポート１２とを、ネジ６０とナット６１とをネジ結合させながら一体化することにより、オイル７０の封止を行う。ここで、オイル７０中に気泡が入らないようにネジ６０によりネジ締めを行っていく。   Then, the oil 70 is sealed by integrating the case 10 and the first pressure port 12 in a vacuum while screwing the screw 60 and the nut 61 together. Here, the screw 60 is tightened so that air bubbles do not enter the oil 70.

その後、第１の圧力ポート１２と同様に、第２の圧力ポート１３についても、第２のメタルダイアフラム８２、オイル７０、Ｏリング９０を介在させながら、真空中にてケース１０に対してナット６２を用いてネジ結合する。その後、特性調整や検査を行い、こうして、図１に示す圧力センサＳ１が完成する。   Thereafter, similarly to the first pressure port 12, the second pressure port 13 also has a nut 62 with respect to the case 10 in vacuum with the second metal diaphragm 82, the oil 70, and the O-ring 90 interposed therebetween. Connect with screws. Thereafter, characteristic adjustment and inspection are performed, and thus the pressure sensor S1 shown in FIG. 1 is completed.

［効果等］
ところで、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ圧力を導入する圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える圧力センサにおいて、圧力導入通路１１ｂには、センサ素子２０に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段２００が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ１が提供される。 [Effects]
By the way, according to the present embodiment, the case 10, the sensor element 20 that outputs a signal based on the applied pressure provided in the case 10, and the pressure introduction passage that is provided in the case 10 and introduces pressure to the sensor element 20. In the pressure sensor having the pressure sensors 11a and 11b, the pressure introduction passage 11b is provided with pressure fluctuation mitigation means 200 for mitigating fluctuations in pressure applied to the sensor element 20. Is provided.

それによれば、センサ素子２０へ通じる第２の圧力導入通路１１ｂに、圧力変動緩和手段２００を設けているため、外部から急激な圧力衝撃や圧力の脈動などが生じても、この圧力変動緩和手段２００によってセンサ素子２０へ伝わる圧力変動を緩和することができる。   According to this, since the pressure fluctuation mitigating means 200 is provided in the second pressure introduction passage 11b leading to the sensor element 20, even if a sudden pressure shock or pressure pulsation occurs from the outside, the pressure fluctuation mitigating means. 200 can reduce the pressure fluctuation transmitted to the sensor element 20.

ここで、本実施形態の圧力センサＳ１においては、圧力変動緩和手段２００は、第２の圧力導入通路１１ｂの内部に充填されたゲルからなるゲル部材２００であることも特徴のひとつである。   Here, in the pressure sensor S1 of the present embodiment, the pressure fluctuation mitigating means 200 is also characterized by being a gel member 200 made of gel filled in the second pressure introduction passage 11b.

それによれば、ゲル部材２００によって、センサ素子２０への圧力変動が吸収されるとともに、ゲル部材２００を介して、静的な圧力を確実にセンサ素子２０へ印加することができる。   Accordingly, the gel member 200 absorbs pressure fluctuations applied to the sensor element 20, and a static pressure can be reliably applied to the sensor element 20 via the gel member 200.

そのため、外部の圧力変動によってセンサ素子２０からノイズが出力されたり、センサ素子２０がダメージを受けたりすることを極力抑制することができ、センサの耐ノイズ性や耐衝撃性を向上させることができる。   Therefore, it is possible to suppress as much as possible that noise is output from the sensor element 20 due to external pressure fluctuation or the sensor element 20 is damaged, and the noise resistance and impact resistance of the sensor can be improved. .

したがって、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ圧力を導入する圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える圧力センサＳ１において、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   Therefore, according to the present embodiment, the case 10, the sensor element 20 that outputs a signal based on the applied pressure provided in the case 10, and the pressure introduction passage that is provided in the case 10 and introduces pressure to the sensor element 20. In pressure sensor S1 provided with 11a and 11b, the pressure | voltage resistance with respect to the pressure fluctuation from the outside can be improved.

また、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０に設けられた上記圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備え、圧力導入通路１１ａ、１１ｂには圧力媒体としてのオイル７０が充填され、オイル７０はメタルダイアフラム８１、８２によって封止されており、メタルダイアフラム８１、８２が受けた圧力を、オイル７０を介してセンサ素子２０へ印加するようにした圧力センサにおいて、圧力導入通路１１ａ、１１ｂには、センサ素子２０に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段２００が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ１を提供することができる。   Moreover, according to this embodiment, the case 10, the sensor element 20 provided in the case 10, and the pressure introduction passages 11 a and 11 b provided in the case 10 are provided, and the pressure introduction passages 11 a and 11 b include Oil 70 as a pressure medium is filled, and the oil 70 is sealed by metal diaphragms 81 and 82, and the pressure received by the metal diaphragms 81 and 82 is applied to the sensor element 20 through the oil 70. In the pressure sensor, the pressure introduction passages 11a and 11b are provided with a pressure fluctuation mitigating means 200 for mitigating fluctuations in pressure applied to the sensor element 20, and a pressure sensor S1 is provided. Can do.

上述したように、本実施形態の圧力センサＳ１は、圧力媒体としてのオイル７０をメタルダイアフラム８１、８２で封止し、当該メタルダイアフラム８１、８２からオイル７０を介してセンサ素子２０へ圧力を印加するダイアフラム封止型の圧力センサとして構成されている。   As described above, the pressure sensor S1 of the present embodiment seals the oil 70 as the pressure medium with the metal diaphragms 81 and 82, and applies pressure to the sensor element 20 from the metal diaphragms 81 and 82 via the oil 70. It is configured as a diaphragm sealed pressure sensor.

つまり、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ圧力を導入する圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備えるダイアフラム封止型の圧力センサＳ１において、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   That is, according to the present embodiment, the case 10, the sensor element 20 that outputs a signal based on the applied pressure provided in the case 10, and the pressure introduction passage that is provided in the case 10 and introduces pressure to the sensor element 20. In the diaphragm-sealed pressure sensor S1 including 11a and 11b, the pressure resistance against pressure fluctuations from the outside can be improved.

また、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０に設けられた圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備え、圧力導入通路１１ａ、１１ｂは、センサ素子２０の一面側へ圧力を導入する第１の圧力導入通路１１ａと、センサ素子２０の他面側へ圧力を導入する第２の圧力導入通路１１ｂとから構成されており、第１の圧力導入通路１１ａからの圧力、第２の圧力導入通路１１ｂからの圧力が、それぞれ、センサ素子２０の一面、他面に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、第１の圧力導入通路１１ａおよび第２の圧力導入通路１１ｂのうちの第２の圧力導入通路１１ｂには、センサ素子２０に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段２００が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ１が提供される。   Moreover, according to this embodiment, it is provided with the case 10, the said sensor element 20 provided in the case 10, and the pressure introduction passages 11a and 11b provided in the case 10, and the pressure introduction passages 11a and 11b are sensors. The first pressure introduction passage 11a that introduces pressure to the one surface side of the element 20 and the second pressure introduction passage 11b that introduces pressure to the other surface side of the sensor element 20 are configured. In the pressure sensor in which the pressure from the passage 11a and the pressure from the second pressure introduction passage 11b are applied to one surface and the other surface of the sensor element 20, respectively, and pressure detection is performed based on the difference between these two pressures. Of the first pressure introduction passage 11a and the second pressure introduction passage 11b, the second pressure introduction passage 11b has a pressure change for relaxing fluctuations in pressure applied to the sensor element 20. The pressure sensor S1, wherein the relieving means 200 is provided is provided.

上述したように、本実施形態の圧力センサＳ１は、センサ素子２０の一面および他面の両面に圧力を印加し、両圧力の差に基づいて圧力を検出する差圧検出型の圧力センサとして構成されている。   As described above, the pressure sensor S1 of the present embodiment is configured as a differential pressure detection type pressure sensor that applies pressure to one side and the other side of the sensor element 20 and detects the pressure based on the difference between the two pressures. Has been.

つまり、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ圧力を導入する圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える差圧検出型の圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   That is, according to the present embodiment, the case 10, the sensor element 20 that outputs a signal based on the applied pressure provided in the case 10, and the pressure introduction passage that is provided in the case 10 and introduces pressure to the sensor element 20. In the differential pressure detection type pressure sensor including 11a and 11b, pressure resistance against pressure fluctuations from the outside can be improved.

さらに、本実施形態によれば、上記差圧検出型の圧力センサにおいて、第１の圧力導入通路１１ａには、圧力媒体としてのオイル７０が充填され、オイル７０は第１のメタルダイアフラム８１によって封止されており、第２の圧力導入通路１１ｂには、圧力媒体としてのオイル７０が充填され、オイル７０は第２のメタルダイアフラム８２によって封止されており、第１のメタルダイアフラム８１が受けた圧力、第２のメタルダイアフラム８２が受けた圧力は、それぞれオイル７０を介して、センサ素子２０の一面、他面へ印加されるようになっていることも特徴のひとつである。   Furthermore, according to the present embodiment, in the differential pressure detection type pressure sensor, the first pressure introduction passage 11 a is filled with the oil 70 as the pressure medium, and the oil 70 is sealed by the first metal diaphragm 81. The second pressure introduction passage 11b is filled with oil 70 as a pressure medium, and the oil 70 is sealed by a second metal diaphragm 82, which is received by the first metal diaphragm 81. One of the characteristics is that the pressure and the pressure received by the second metal diaphragm 82 are applied to one surface and the other surface of the sensor element 20 through the oil 70, respectively.

つまり、本実施形態の圧力センサＳ１は、ダイアフラム封止型であって且つ差圧検出型である圧力センサＳ１であり、このような圧力センサＳ１において、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   That is, the pressure sensor S1 of the present embodiment is a pressure sensor S1 that is a diaphragm-sealed type and a differential pressure detection type. In such a pressure sensor S1, the pressure resistance against external pressure fluctuations is improved. be able to.

また、本実施形態の圧力センサＳ１においては、図２に示されるように、センサ素子２０は、圧力を印加するための薄肉部としてのダイアフラム２１を有するものであることも特徴のひとつである。   In addition, in the pressure sensor S1 of the present embodiment, as shown in FIG. 2, the sensor element 20 is also characterized by having a diaphragm 21 as a thin portion for applying pressure.

また、本実施形態の圧力センサＳ１においては、センサ素子２０は、半導体基板の一面側に凹部２２を形成し、この凹部２２の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム２１を有するものであり、圧力変動緩和手段２００が設けられている第２の圧力導入通路１１ｂは、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面に対して圧力を導入するものであることも特徴のひとつである。   Further, in the pressure sensor S1 of the present embodiment, the sensor element 20 has a concave portion 22 formed on one surface side of the semiconductor substrate, and has a diaphragm 21 configured as a thin portion with the formation of the concave portion 22. One of the features is that the second pressure introduction passage 11b provided with the pressure fluctuation relaxation means 200 introduces pressure to the surface of the diaphragm 21 of the sensor element 20 on the concave portion 22 side.

センサ素子２０を、半導体基板の一面側に凹部２２を形成し、この凹部２２の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム２１を有するものとした場合（図２参照）、このセンサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面の方が、凹部２２による角部などが存在するため、強度が弱い。   When the sensor element 20 has a recess 22 formed on one surface side of the semiconductor substrate and has a diaphragm 21 configured as a thin portion in accordance with the formation of the recess 22 (see FIG. 2), the diaphragm of the sensor element 20 The surface on the side of the concave portion 22 in 21 has a lower strength because there are corners or the like due to the concave portion 22.

つまり、この場合、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面に対して圧力が印加される方が、当該ダイアフラム２１における凹部２２とは反対側の面に圧力が印加される場合よりも、当該ダイアフラム２１が破壊しやすい。   That is, in this case, the direction in which pressure is applied to the surface of the diaphragm 21 of the sensor element 20 on the recess 22 side is more than the case in which pressure is applied to the surface of the diaphragm 21 opposite to the recess 22. The diaphragm 21 is easily broken.

そのため、本実施形態のようにセンサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面に対して圧力を導入する第２の圧力導入通路１１ｂに、圧力変動緩和手段２００を設ければ、より効果的である。   Therefore, it is more effective if the pressure fluctuation reducing means 200 is provided in the second pressure introduction passage 11b for introducing pressure to the surface of the diaphragm 21 of the sensor element 20 on the side of the recess 22 as in this embodiment. is there.

（第２実施形態）
図４は、本発明の第２実施形態に係る差圧検出型・ダイアフラム封止型の圧力センサＳ２の要部構成を示す図であり、センサ素子２０およびその近傍部の拡大図である。 (Second Embodiment)
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a main part of a pressure sensor S2 of differential pressure detection type / diaphragm sealing type according to the second embodiment of the present invention, and is an enlarged view of the sensor element 20 and its vicinity.

本実施形態においても、上記実施形態と同様に、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０に設けられた上記圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える圧力センサにおいて、圧力導入通路１１ｂには、センサ素子２０に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段２１０が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ２が提供される。   Also in the present embodiment, in the same manner as in the above embodiment, in the pressure sensor including the case 10, the sensor element 20 provided in the case 10, and the pressure introduction passages 11 a and 11 b provided in the case 10, A pressure sensor S2 is provided in the introduction passage 11b. The pressure sensor S2 is provided with pressure fluctuation reducing means 210 for reducing fluctuations in pressure applied to the sensor element 20.

それによれば、センサ素子２０へ通じる第２の圧力導入通路１１ｂに、圧力変動緩和手段２１０を設けているため、外部から急激な圧力衝撃や圧力の脈動などが生じても、この圧力変動緩和手段２１０によってセンサ素子２０へ伝わる圧力変動を緩和することができる。   According to this, since the pressure fluctuation mitigating means 210 is provided in the second pressure introduction passage 11b leading to the sensor element 20, even if a sudden pressure shock or pressure pulsation occurs from the outside, this pressure fluctuation mitigating means. The pressure fluctuation transmitted to the sensor element 20 by 210 can be reduced.

ここで、本実施形態の圧力センサＳ２においては、圧力変動緩和手段２１０を、第２の圧力導入通路１１ｂを折れ曲がり形状とした曲がり通路２１０により構成したことが、独自の特徴点である。   Here, in the pressure sensor S2 of the present embodiment, the unique feature is that the pressure fluctuation relaxation means 210 is configured by the bent passage 210 in which the second pressure introduction passage 11b is bent.

このような折れ曲がり形状の曲がり通路２１０は、ケース１０の型成形などにより容易に作られる。   Such a bent passage 210 having a bent shape is easily made by molding the case 10 or the like.

それによれば、折れ曲がり形状の曲がり通路２１０を構成することによって、センサ素子２０への圧力変動が吸収されるとともに、静的な圧力は確実にセンサ素子２０へ印加することができる。   Accordingly, by forming the bent passage 210 having a bent shape, pressure fluctuations to the sensor element 20 are absorbed, and static pressure can be reliably applied to the sensor element 20.

そのため、本実施形態によっても、外部の圧力変動によってセンサ素子２０からノイズが出力されたり、センサ素子２０がダメージを受けたりすることを極力抑制することができ、センサの耐ノイズ性や耐衝撃性を向上させることができる。   For this reason, according to the present embodiment, it is possible to suppress as much as possible that noise is output from the sensor element 20 due to external pressure fluctuations or the sensor element 20 is damaged, and the noise resistance and impact resistance of the sensor are reduced. Can be improved.

したがって、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ圧力を導入する圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える圧力センサＳ２において、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   Therefore, according to the present embodiment, the case 10, the sensor element 20 that outputs a signal based on the applied pressure provided in the case 10, and the pressure introduction passage that is provided in the case 10 and introduces pressure to the sensor element 20. In pressure sensor S2 provided with 11a and 11b, the pressure | voltage resistance with respect to the pressure fluctuation from the outside can be improved.

また、本実施形態においても、ダイアフラム封止型の圧力センサ、差圧検出型の圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上できることは、上記実施形態と同様である。   Also in the present embodiment, the pressure resistance against external pressure fluctuation can be improved in the diaphragm-sealed pressure sensor and the differential pressure detection type pressure sensor in the same manner as in the above embodiment.

また、本実施形態においても、センサ素子２０は、薄肉部としてのダイアフラム２１を有するものであることや、圧力変動緩和手段２１０が設けられている第２の圧力導入通路１１ｂは、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面に対して圧力を導入するものであることも、上記実施形態と同様に、特徴点とすることができ、その効果についても同様である。   Also in this embodiment, the sensor element 20 has the diaphragm 21 as a thin-walled portion, and the second pressure introduction passage 11 b in which the pressure fluctuation reducing means 210 is provided is provided in the sensor element 20. The introduction of pressure to the surface of the diaphragm 21 on the side of the recess 22 can also be a feature point as in the above embodiment, and the effect is also the same.

なお、曲がり通路２１０の折れ曲がり形状は、図４に限定されるものではなく、その折れ曲がりの回数や折れ曲がり箇所は、適宜設計変更が可能である。また、可能ならば、迷路形状となっていてもよく、曲がり通路２１０としては、そのような形状も含むものである。   Note that the bent shape of the bent passage 210 is not limited to that shown in FIG. 4, and the number of the bent portions and the bent portions can be appropriately changed in design. If possible, the shape may be a labyrinth, and the curved passage 210 includes such a shape.

（第３実施形態）
図５（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る差圧検出型・ダイアフラム封止型の圧力センサＳ３の要部構成を示す図であり、センサ素子２０およびその近傍部の拡大図である。また、図５（ｂ）は図５（ａ）中の矢印Ａ方向からみた図である。 (Third embodiment)
FIG. 5A is a diagram showing a configuration of a main part of a differential pressure detection type / diaphragm sealing type pressure sensor S3 according to a third embodiment of the present invention, and is an enlarged view of the sensor element 20 and its vicinity. is there. FIG. 5B is a view seen from the direction of arrow A in FIG.

本実施形態においても、上記実施形態と同様に、ケース１０と、ケース１０に設けられた上記センサ素子２０と、ケース１０に設けられた上記圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える圧力センサにおいて、圧力導入通路１１ｂには、センサ素子２０に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段２２０が設けられていることを特徴とする圧力センサＳ３が提供される。   Also in the present embodiment, in the same manner as in the above embodiment, in the pressure sensor including the case 10, the sensor element 20 provided in the case 10, and the pressure introduction passages 11 a and 11 b provided in the case 10, The introduction passage 11b is provided with a pressure sensor S3 that is provided with pressure fluctuation relaxation means 220 for relaxing fluctuations in pressure applied to the sensor element 20.

それによれば、センサ素子２０へ通じる第２の圧力導入通路１１ｂに、圧力変動緩和手段２１０を設けているため、外部から急激な圧力衝撃や圧力の脈動などが生じても、この圧力変動緩和手段２２０によってセンサ素子２０へ伝わる圧力変動を緩和することができる。   According to this, since the pressure fluctuation mitigating means 210 is provided in the second pressure introduction passage 11b leading to the sensor element 20, even if a sudden pressure shock or pressure pulsation occurs from the outside, this pressure fluctuation mitigating means. The pressure fluctuation transmitted to the sensor element 20 can be reduced by 220.

ここで、本実施形態の圧力センサＳ２においては、圧力変動緩和手段２２０を、第２の圧力導入通路１１ｂを絞り形状とした絞り部２２０により構成したことが、独自の特徴点である。   Here, in the pressure sensor S2 of the present embodiment, the pressure fluctuation mitigating means 220 is configured by the throttle portion 220 having the second pressure introduction passage 11b having a throttle shape, which is a unique feature point.

この絞り部２２０は、第２の圧力導入通路１１ｂの通路面積を絞った形状であれば、特に限定するものではないが、たとえば、図５（ｂ）に示されるように、複数個の細孔を有する穴形状とすることができる。このような絞り部２２０はオリフィスとして機能するものであり、ケース１０の型成形などにより容易に作られる。   The restricting portion 220 is not particularly limited as long as the passage area of the second pressure introduction passage 11b is restricted. For example, as shown in FIG. It can be set as the hole shape which has. Such a throttle portion 220 functions as an orifice, and is easily made by molding the case 10 or the like.

それによれば、圧力変動緩和手段２２０としての絞り部２２０によって、センサ素子２０への圧力変動が吸収されるとともに、静的な圧力は確実にセンサ素子２０へ印加することができる。   According to this, pressure variation to the sensor element 20 is absorbed by the throttle unit 220 as the pressure fluctuation relaxation means 220, and static pressure can be reliably applied to the sensor element 20.

そのため、本実施形態によっても、外部の圧力変動によってセンサ素子２０からノイズが出力されたり、センサ素子２０がダメージを受けたりすることを極力抑制することができ、センサの耐ノイズ性や耐衝撃性を向上させることができる。   For this reason, according to the present embodiment, it is possible to suppress as much as possible that noise is output from the sensor element 20 due to external pressure fluctuations or the sensor element 20 is damaged, and the noise resistance and impact resistance of the sensor are reduced. Can be improved.

したがって、本実施形態によれば、ケース１０と、ケース１０に設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ圧力を導入する圧力導入通路１１ａ、１１ｂとを備える圧力センサＳ３において、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上させることができる。   Therefore, according to the present embodiment, the case 10, the sensor element 20 that outputs a signal based on the applied pressure provided in the case 10, and the pressure introduction passage that is provided in the case 10 and introduces pressure to the sensor element 20. In pressure sensor S3 provided with 11a and 11b, the pressure | voltage resistance with respect to the pressure fluctuation from the outside can be improved.

また、本実施形態においても、ダイアフラム封止型の圧力センサ、差圧検出型の圧力センサにおいて、外部からの圧力変動に対する耐圧性を向上できることは、上記実施形態と同様である。   Also in the present embodiment, the pressure resistance against external pressure fluctuation can be improved in the diaphragm-sealed pressure sensor and the differential pressure detection type pressure sensor in the same manner as in the above embodiment.

また、本実施形態においても、センサ素子２０は、薄肉部としてのダイアフラム２１を有するものであることや、圧力変動緩和手段２１０が設けられている第２の圧力導入通路１１ｂは、センサ素子２０のダイアフラム２１における凹部２２側の面に対して圧力を導入するものであることも、上記実施形態と同様に、特徴点とすることができ、その効果についても同様である。   Also in this embodiment, the sensor element 20 has the diaphragm 21 as a thin-walled portion, and the second pressure introduction passage 11 b in which the pressure fluctuation reducing means 210 is provided is provided in the sensor element 20. The introduction of pressure to the surface of the diaphragm 21 on the side of the recess 22 can also be a feature point as in the above embodiment, and the effect is also the same.

（他の実施形態）
なお、上記した各実施形態の構成は、可能な範囲において適宜、組み合わせて用いてもよい。 (Other embodiments)
Note that the configurations of the respective embodiments described above may be used in appropriate combinations within a possible range.

たとえば、第２の圧力導入通路１１ｂを曲がり形状の曲がり通路として構成しつつ、その曲がり通路内または、曲がり通路の入口または出口付近に、上記ゲル部材を充填したものとしてもよい。   For example, the second pressure introduction passage 11b may be configured as a bent-shaped bent passage, and the gel member may be filled in the bent passage or in the vicinity of the inlet or the outlet of the bent passage.

また、第２の圧力導入通路１１ｂを曲がり形状の曲がり通路として構成しつつ、その曲がり通路内または、曲がり通路の入口または出口付近に、さらに、上記絞り部を併設してもよい。   Further, the second pressure introduction passage 11b may be configured as a curved curved passage, and the throttle portion may be further provided in the curved passage or in the vicinity of the entrance or exit of the curved passage.

さらには、第２の圧力導入通路１１ｂ内に、上記ゲル部材と絞り部とを併設してもよいし、圧力導入通路として、曲がり通路、ゲル部材および絞り部の３つの構成をすべて採用してもよい。   Furthermore, the gel member and the throttle portion may be provided in the second pressure introduction passage 11b, and all three configurations of the bending passage, the gel member, and the throttle portion are adopted as the pressure introduction passage. Also good.

また、上記実施形態の圧力センサにおいては、センサ素子２０は、ケース１０に設けられた図示しない回路チップに対してボンディングワイヤなどを介して電気的に接続されていてもよい。   In the pressure sensor of the above embodiment, the sensor element 20 may be electrically connected to a circuit chip (not shown) provided in the case 10 via a bonding wire or the like.

それにより、センサ素子２０からの信号は、当該回路チップにより、増幅や調整などの処理が施され、このように処理された信号は、ターミナル１０ａから外部へ出力することができる。   Thereby, the signal from the sensor element 20 is subjected to processing such as amplification and adjustment by the circuit chip, and the signal thus processed can be output from the terminal 10a to the outside.

また、センサ素子２０を構成するセンサチップとしては、センサ信号を処理する回路部が半導体プロセスなどにより一体に形成されたもの、いわゆる集積化センサチップを採用してもよい。   Further, as the sensor chip constituting the sensor element 20, a so-called integrated sensor chip in which a circuit portion for processing sensor signals is integrally formed by a semiconductor process or the like may be employed.

また、センサ素子としては、上記した半導体ダイアフラム式のセンサチップに限定されるものではなく、印加された圧力に基づいて信号を出力するものであればよい。   The sensor element is not limited to the above-described semiconductor diaphragm type sensor chip, and any sensor element that outputs a signal based on an applied pressure may be used.

また、上記各図に示される圧力センサにおけるセンサ素子２０の電気的な取り出し構造やケース１０への取付構造は、本発明の圧力センサに適用できる一具体例を示したものであり、上記図示例に限定されるものではない。   In addition, the electrical extraction structure of the sensor element 20 and the mounting structure to the case 10 in the pressure sensor shown in each of the above drawings are specific examples applicable to the pressure sensor of the present invention. It is not limited to.

また、上記実施形態では、圧力導入通路に封入される圧力媒体としてシリコーンオイルなどのオイル７０を用いたが、圧力媒体としては、液体、気体などに関わらず、メタルダイアフラム８１、８２からの圧力をセンサ素子２０に適切に伝達できるものであれば、オイルに限定されるものではない。   In the above embodiment, the oil 70 such as silicone oil is used as the pressure medium sealed in the pressure introduction passage. However, the pressure medium can be the pressure from the metal diaphragms 81 and 82 regardless of liquid, gas, or the like. The oil is not limited to oil as long as it can be appropriately transmitted to the sensor element 20.

また、圧力導入通路としては、上記各図に示されるような通路形状に限定されるものではなく、センサ素子２０へ適切に圧力を導入しできるものであれば、適宜変更が可能である。   Further, the pressure introduction passage is not limited to the passage shape as shown in each of the above drawings, and can be appropriately changed as long as pressure can be appropriately introduced to the sensor element 20.

たとえば、上記の図示例では、第１の圧力導入通路１１ａは、かなり広い空間として構成されているが、ケース１０内において第１の圧力導入通路１１ａを第２の圧力導入通路１１ｂと同様に細い通路形状を有するものとしてもよい。   For example, in the illustrated example, the first pressure introduction passage 11a is configured as a considerably wide space. However, the first pressure introduction passage 11a is narrow in the case 10 like the second pressure introduction passage 11b. It may have a passage shape.

また、上記した差圧検出型の圧力センサにおいては、第１の圧力ポート１２から第１のダイアフラム８１に対して排気管におけるＤＰＦの上流側圧力が導入され、第２の圧力ポート１３から第２のダイアフラム８２に対して排気管におけるＤＰＦの下流側圧力が導入されるようになっていた。   In the differential pressure detection type pressure sensor, the upstream pressure of the DPF in the exhaust pipe is introduced from the first pressure port 12 to the first diaphragm 81, and the second pressure port 13 The downstream pressure of the DPF in the exhaust pipe is introduced to the diaphragm 82.

これとは反対に、上記実施形態の差圧検出型の圧力センサにおいては、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの下流側圧力が導入され、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの上流側圧力が導入されるようにしてもよい。   On the contrary, in the differential pressure detection type pressure sensor of the above embodiment, the downstream pressure of the DPF is introduced into the first diaphragm 81 and the upstream pressure of the DPF is introduced into the second diaphragm 82. You may do it.

また、外部から圧力を導入するための圧力ポート１１、１２の構成は、上記した図示例に限定されるものではない。   Further, the configuration of the pressure ports 11 and 12 for introducing pressure from the outside is not limited to the above-described illustrated example.

また、上記実施形態においては、差圧検出型の圧力センサにおいて、第２の圧力導入通路１１ｂのみに圧力変動緩和手段２００〜２２０を設けたが、第１の圧力導入通路１１ａにおいても上記した圧力変動緩和手段２００〜２２０を設けてもよい。   In the above embodiment, in the differential pressure detection type pressure sensor, the pressure fluctuation reducing means 200 to 220 are provided only in the second pressure introduction passage 11b. However, the pressure described above is also provided in the first pressure introduction passage 11a. Fluctuation mitigating means 200 to 220 may be provided.

また、差圧検出型の圧力センサにおいては、２つの圧力導入通路１１ａ、１１ｂのうちの少なくとも一方に、上記圧力変動緩和手段２００〜２２０が設けられていればよい。たとえば、第１の圧力導入通路１１ａのみ、第２の圧力導入通路１１ｂのみ、または、両方の圧力導入通路１１ａ、１１ｂに対して、上記圧力変動緩和手段２００〜２２０を設けるようにしてもよい。   Further, in the pressure sensor of the differential pressure detection type, it is only necessary that the pressure fluctuation relaxation means 200 to 220 is provided in at least one of the two pressure introduction passages 11a and 11b. For example, the pressure fluctuation relaxation means 200 to 220 may be provided only for the first pressure introduction passage 11a, only the second pressure introduction passage 11b, or both the pressure introduction passages 11a and 11b.

また、圧力導入通路１１ａ、１１ｂは、圧力媒体７０がメタルダイアフラム８１、８２で封止されたものでなくてもよく、圧力導入通路としては、たとえば、圧力を測定すべき気体や液体、すなわち圧力流体が直接、導入されるものであってもよい。   Further, the pressure introduction passages 11a and 11b may not be one in which the pressure medium 70 is sealed with the metal diaphragms 81 and 82. As the pressure introduction passage, for example, a gas or liquid whose pressure is to be measured, that is, a pressure The fluid may be introduced directly.

また、本発明の圧力センサとしては、上記したような差圧検出型のものでなくてもよい。たとえば、圧力センサとしては、センサ素子の一方の面にのみ測定すべき圧力を導入し、センサ素子の他方の面側は真空や大気圧などの基準圧力とした絶対圧検出型の圧力センサであってもよい。   Further, the pressure sensor of the present invention may not be a differential pressure detection type as described above. For example, a pressure sensor is a pressure sensor of an absolute pressure detection type in which pressure to be measured is introduced only on one surface of the sensor element, and the other surface side of the sensor element is used as a reference pressure such as vacuum or atmospheric pressure. May be.

この場合、圧力導入通路は、センサ素子の一方の面にのみ測定すべき圧力を導入するための圧力導入通路が１つ設けられた構成となる。そして、この１つの圧力導入通路において、上記した圧力変動緩和手段２００〜２２０を設ければよい。   In this case, the pressure introduction passage has a configuration in which one pressure introduction passage for introducing a pressure to be measured only on one surface of the sensor element is provided. And in this one pressure introduction channel | path, the above-mentioned pressure fluctuation relaxation means 200-220 should just be provided.

また、本発明の圧力センサの用途は、上記したような自動車の排気ガス圧力測定用のセンサに限定されるものではないことは、もちろんである。   Of course, the application of the pressure sensor of the present invention is not limited to the sensor for measuring the exhaust gas pressure of the automobile as described above.

要するに、本発明は、ケースと、ケースに設けられ印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子と、ケースに設けられセンサ素子へ圧力を導入する圧力導入通路とを備える圧力センサにおいて、圧力導入通路に、センサ素子に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段を設けたことを要部とするものであり、その他の部分については、適宜設計変更が可能である。   In short, the present invention provides a pressure sensor including a case, a sensor element that outputs a signal based on an applied pressure provided in the case, and a pressure introduction passage that is provided in the case and introduces pressure to the sensor element. The main part is that pressure fluctuation mitigating means for mitigating fluctuations in pressure applied to the sensor element is provided in the introduction passage, and the other parts can be appropriately changed in design.

本発明の第１実施形態に係る差圧検出型・ダイアフラム封止型の圧力センサの概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a differential pressure detection type / diaphragm sealing type pressure sensor according to a first embodiment of the present invention. 図１中のセンサ素子およびその近傍部の拡大図である。It is an enlarged view of the sensor element in FIG. 1 and its vicinity. 図１に示される圧力センサにおける各部品の分解図である。It is an exploded view of each component in the pressure sensor shown in FIG. 本発明の第２実施形態に係る差圧検出型・ダイアフラム封止型の圧力センサの要部構成を示す図である。It is a figure which shows the principal part structure of the differential pressure detection type and diaphragm sealing type pressure sensor which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係る差圧検出型・ダイアフラム封止型の圧力センサの要部構成を示す図である。It is a figure which shows the principal part structure of the differential pressure detection type and diaphragm sealing type pressure sensor which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 従来の圧力センサの一般的な概略断面図である。It is a general schematic sectional drawing of the conventional pressure sensor.

符号の説明Explanation of symbols

１０…ケース、１１ａ…第１の圧力導入通路、１１ｂ…第２の圧力導入通路、
２０…センサ素子、２１…センサ素子のダイアフラム、２２…センサ素子の凹部、
７０…圧力媒体としてのオイル、
８１…第１のメタルダイアフラム、
８２…第２のメタルダイアフラム、
２００…圧力変動緩和手段としてのゲル部材、
２１０…圧力変動緩和手段としての曲がり通路、
２２０…圧力変動緩和手段としての絞り部。 10 ... Case, 11a ... First pressure introduction passage, 11b ... Second pressure introduction passage,
20 ... Sensor element, 21 ... Diaphragm of sensor element, 22 ... Concave part of sensor element,
70 ... oil as pressure medium,
81 ... the first metal diaphragm,
82 ... Second metal diaphragm,
200: Gel member as pressure fluctuation mitigating means,
210: a curved passage as a means for reducing pressure fluctuation,
220... A throttle part as pressure fluctuation mitigating means.

Claims (9)

ケース（１０）と、
前記ケース（１０）に設けられ、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記ケース（１０）に設けられ、前記センサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備える圧力センサにおいて、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）には、前記センサ素子（２０）に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 Case (10);
A sensor element (20) provided in the case (10) for outputting a signal based on an applied pressure;
In the pressure sensor provided in the case (10) and including a pressure introduction passage (11a, 11b) for introducing pressure to the sensor element (20),
The pressure introducing passages (11a, 11b) are provided with pressure fluctuation reducing means (200, 210, 220) for reducing fluctuations in pressure applied to the sensor element (20). Pressure sensor. ケース（１０）と、
前記ケース（１０）に設けられ、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記ケース（１０）に設けられ、前記センサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備え、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）には圧力媒体（７０）が充填され、前記圧力媒体（７０）はダイアフラム（８１、８２）によって封止されており、
前記ダイアフラム（８１、８２）が受けた圧力を、前記圧力媒体（７０）を介して前記センサ素子（２０）へ印加するようにした圧力センサにおいて、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）には、前記センサ素子（２０）に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 Case (10);
A sensor element (20) provided in the case (10) for outputting a signal based on an applied pressure;
A pressure introduction passage (11a, 11b) provided in the case (10) for introducing pressure to the sensor element (20);
The pressure introducing passages (11a, 11b) are filled with a pressure medium (70), and the pressure medium (70) is sealed by a diaphragm (81, 82),
In the pressure sensor configured to apply the pressure received by the diaphragm (81, 82) to the sensor element (20) via the pressure medium (70),
The pressure introducing passages (11a, 11b) are provided with pressure fluctuation reducing means (200, 210, 220) for reducing fluctuations in pressure applied to the sensor element (20). Pressure sensor. ケース（１０）と、
前記ケース（１０）に設けられ、印加された圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子（２０）と、
前記ケース（１０）に設けられ、前記センサ素子（２０）へ圧力を導入する圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）とを備え、
前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）は、前記センサ素子（２０）の一面側へ圧力を導入する第１の圧力導入通路（１１ａ）と、前記センサ素子（２０）の他面側へ圧力を導入する第２の圧力導入通路（１１ｂ）とから構成されており、
前記第１の圧力導入通路（１１ａ）からの圧力、前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）からの圧力が、それぞれ、前記センサ素子（２０）の一面、他面に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようにした圧力センサにおいて、
前記第１の圧力導入通路（１１ａ）および前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）の少なくとも一方には、前記センサ素子（２０）に印加される圧力の変動を緩和するための圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 Case (10);
A sensor element (20) provided in the case (10) for outputting a signal based on an applied pressure;
A pressure introduction passage (11a, 11b) provided in the case (10) for introducing pressure to the sensor element (20);
The pressure introduction passages (11a, 11b) introduce pressure into the first pressure introduction passage (11a) for introducing pressure to one surface side of the sensor element (20) and the other surface side of the sensor element (20). The second pressure introduction passage (11b)
The pressure from the first pressure introduction passage (11a) and the pressure from the second pressure introduction passage (11b) are applied to one surface and the other surface of the sensor element (20), respectively. In a pressure sensor that detects pressure based on the difference,
At least one of the first pressure introduction passage (11a) and the second pressure introduction passage (11b) has a pressure fluctuation mitigation means for mitigating fluctuations in pressure applied to the sensor element (20). 200, 210, 220) is provided. 前記第１の圧力導入通路（１１ａ）には、圧力媒体（７０）が充填され、前記圧力媒体（７０）は第１のダイアフラム（８１）によって封止されており、
前記第２の圧力導入通路（１１ｂ）には、圧力媒体（７０）が充填され、前記圧力媒体（７０）は第２のダイアフラム（８２）によって封止されており、
前記第１のダイアフラム（８１）が受けた圧力、前記第２のダイアフラム（８２）が受けた圧力は、それぞれ前記圧力媒体（７０）を介して、前記センサ素子（２０）の一面、他面へ印加されるようになっていることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。 The first pressure introduction passage (11a) is filled with a pressure medium (70), and the pressure medium (70) is sealed by a first diaphragm (81),
The second pressure introduction passage (11b) is filled with a pressure medium (70), and the pressure medium (70) is sealed by a second diaphragm (82),
The pressure received by the first diaphragm (81) and the pressure received by the second diaphragm (82) are respectively transferred to one side and the other side of the sensor element (20) via the pressure medium (70). The pressure sensor according to claim 3, wherein the pressure sensor is applied. 前記センサ素子（２０）は、圧力を印加するための薄肉部としてのダイアフラム（２１）を有するものであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to any one of claims 1 to 4, wherein the sensor element (20) has a diaphragm (21) as a thin portion for applying pressure. 前記センサ素子（２０）は、半導体基板の一面側に凹部（２２）を形成し、この凹部（２２）の形成に伴い薄肉部として構成されたダイアフラム（２１）を有するものであり、
前記圧力変動緩和手段（２００、２１０、２２０）が設けられている前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）は、前記センサ素子（２０）の前記ダイアフラム（２１）における前記凹部（２２）側の面に対して圧力を導入するものであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The sensor element (20) includes a diaphragm (21) formed as a thin portion in accordance with the formation of the recess (22) by forming a recess (22) on one surface side of the semiconductor substrate.
The pressure introduction passages (11a, 11b) in which the pressure fluctuation relaxation means (200, 210, 220) are provided are formed on the surface of the diaphragm (21) of the sensor element (20) on the concave portion (22) side. 5. The pressure sensor according to claim 1, wherein pressure is introduced to the pressure sensor. 前記圧力変動緩和手段は、前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）の内部に充填されたゲルからなるゲル部材（２００）であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The said pressure fluctuation relaxation means is a gel member (200) which consists of a gel with which the inside of the said pressure introduction channel | path (11a, 11b) was filled, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. Pressure sensor. 前記圧力変動緩和手段は、前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）を折れ曲がり形状とした曲がり通路（２１０）により構成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure according to any one of claims 1 to 6, wherein the pressure fluctuation relaxation means is constituted by a bent passage (210) in which the pressure introduction passage (11a, 11b) is bent. Sensor. 前記圧力変動緩和手段は、前記圧力導入通路（１１ａ、１１ｂ）を絞り形状とした絞り部（２２０）により構成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
The pressure according to any one of claims 1 to 6, wherein the pressure fluctuation reducing means is configured by a throttle portion (220) having the pressure introduction passage (11a, 11b) having a throttle shape. Sensor.
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