JP2005156307A - Pressure sensor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a sealing ring from being omitted or damaged at the its attachment it to a measurement member, regarding a pressure sensor which is constituted, such that the pressure sensing part housed in the case is introduced with the pressure from the pressure inlet part, and is to be attached to a measurement member via the sealing ring. <P>SOLUTION: The pressure sensor is constituted that on the attachment surface 12c, 13c of the pressure inlet part 12b, 13b for introducing pressure from the measuring member 200 to the sensing part. the ring shaped groove 140 for housing the seal ring 130 is provided, the pressure inlet parts 12b, 13b are attached via sealing ring 130 to the measuring member 200, and on the sidewall of the groove 140, protruding parts 141 are formed. The sealing ring 130 is held in the groove 140, because the parts of sealing ring are forcedly fitted to the groove 140 at the protruding parts 141. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ケース内に収納されたセンシング部に圧力導入部から圧力を導入するとともに、この圧力導入部にてシールリングを介して被測定部材へ取り付けられるようになっている圧力センサに関し、たとえばＥＧＲにおけるＥＧＲ管内の圧力を検出する圧力センサ等に適用することができる。   The present invention relates to a pressure sensor configured to introduce pressure from a pressure introducing unit to a sensing unit accommodated in a case, and to be attached to a member to be measured via a seal ring at the pressure introducing unit. The present invention can be applied to a pressure sensor or the like that detects the pressure in the EGR pipe in EGR.

近年、エミッション規制が強化され、特にディーゼルエンジンではＮＯｘやＰＭ（パティキュレートマター）を低減する必要が生じている。特にＮＯｘを低減するシステムとして、ＥＧＲ（Ｅｘｈａｕｓｔ Ｇａｓ Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ、排気ガス再循環装置）が注目を集めている。   In recent years, emission regulations have been strengthened, and in particular, diesel engines have to reduce NOx and PM (particulate matter). In particular, EGR (Exhaust Gas Recirculation) has attracted attention as a system for reducing NOx.

これは、排気ガスの一部を吸気側に戻して酸素濃度を低くすることでＮＯｘを減らすものである。このシステムでは、排気から吸気に戻す量をいかに制御するかが重要であり、流量を検出する方法として圧力センサが使用される。   This is to reduce NOx by returning a part of the exhaust gas to the intake side to lower the oxygen concentration. In this system, it is important how to control the amount returned from the exhaust to the intake air, and a pressure sensor is used as a method for detecting the flow rate.

このような圧力センサとしては、圧力検出用のセンシング部と、センシング部を収納するケースと、ケース外部からセンシング部へ圧力を導入するための圧力導入部とを備えるものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
特開２００２−２２１４６２号公報 As such a pressure sensor, a sensor including a sensing unit for pressure detection, a case housing the sensing unit, and a pressure introducing unit for introducing pressure from outside the case to the sensing unit has been proposed (for example, , See Patent Document 1).
JP 2002-221462 A

ところで、このような圧力センサを、被測定部材としてのＥＧＲ管に組み付ける場合、一般には、圧力センサは、その圧力導入部にてリング状のシールリングを介してＥＧＲ管に取り付けられる。   By the way, when such a pressure sensor is assembled to an EGR pipe as a member to be measured, the pressure sensor is generally attached to the EGR pipe via a ring-shaped seal ring at the pressure introduction portion.

図９は、この圧力センサ９００のＥＧＲ管２００への組み付けの一般的な例を示す概略断面図であり、図１０は、図９中の圧力センサ９００における圧力導入部１２ｂ、１３ｂの取付面（つまりシール面）１２ｃ、１３ｃおよびシールリング１３０の形状を示す図である。   FIG. 9 is a schematic sectional view showing a general example of the assembly of the pressure sensor 900 to the EGR pipe 200, and FIG. 10 is a mounting surface of the pressure introducing portions 12b and 13b in the pressure sensor 900 in FIG. That is, it is a diagram showing the shapes of seal surfaces) 12c, 13c and the seal ring 130.

ここで、図１０において、（ａ）は圧力導入部１２ｂ、１３ｂの断面図、（ｂ）は取付面１２ｃ、１３ｃの平面図、（ｃ）は取付面１２ｃ、１３ｃに形成された溝１４０とシールリング１３０との寸法関係を示すための図である。   Here, in FIG. 10, (a) is a sectional view of the pressure introducing portions 12b and 13b, (b) is a plan view of the mounting surfaces 12c and 13c, and (c) is a groove 140 formed on the mounting surfaces 12c and 13c. It is a figure for showing a dimensional relationship with seal ring.

図９に示されるように、圧力センサ９００は、圧力検出用のセンシング部（図示せず）がケース１０に収納されており、このケース１０には、開口部を有する圧力導入部１２ｂ、１３ｂが設けられている。そして、圧力センサ９００は、ブラケット１１０を介してネジ締めされるなどにより、ＥＧＲ管２００に固定されている。   As shown in FIG. 9, the pressure sensor 900 includes a pressure detection sensing portion (not shown) housed in a case 10, and the case 10 includes pressure introducing portions 12 b and 13 b having openings. Is provided. The pressure sensor 900 is fixed to the EGR pipe 200 by, for example, screwing through the bracket 110.

このとき、圧力導入部１２ｂ、１３ｂは、ゴム等の弾性材料からなるシールリング１３０を介してＥＧＲ管２００に取り付けられている。それにより、ＥＧＲ管２００内部からの圧力Ｐ１、Ｐ２が、圧力導入部１２ｂ、１３ｂの開口部を介してケース１０内部へ漏れなく導入され、上記センシング部へ導かれるようになっている。   At this time, the pressure introducing portions 12b and 13b are attached to the EGR pipe 200 via a seal ring 130 made of an elastic material such as rubber. Thereby, the pressures P1 and P2 from the inside of the EGR pipe 200 are introduced into the case 10 without leakage through the openings of the pressure introduction parts 12b and 13b, and are guided to the sensing part.

そして、図１０に示されるように、圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおけるＥＧＲ管２００への取付面１２ｃ、１３ｃには、シールリング１３０が収納されるリング状の溝１４０が設けられている。   As shown in FIG. 10, ring-shaped grooves 140 in which the seal ring 130 is accommodated are provided on the attachment surfaces 12 c and 13 c of the pressure introducing portions 12 b and 13 b to the EGR pipe 200.

ここで、ＥＧＲの流量を測定するためには、図９に示されるように、ＥＧＲ管２００内にオリフィス２１０を設け、このオリフィス２１０の前後の差圧を検出するのが一般的である。つまり、図９に示される圧力センサ９００は、差圧（相対圧）検出型の圧力センサ９００として構成されている。   Here, in order to measure the flow rate of EGR, as shown in FIG. 9, an orifice 210 is generally provided in the EGR pipe 200, and a differential pressure before and after the orifice 210 is detected. That is, the pressure sensor 900 shown in FIG. 9 is configured as a differential pressure (relative pressure) detection type pressure sensor 900.

ちなみに、図９に示されるように、圧力センサ９００との接続部分におけるＥＧＲ管２００の内部構成としては、オリフィス２１０の上流側圧力Ｐ１を導出する上流側圧力導出路２２０と、オリフィス２１０の下流側圧力Ｐ２を導出する下流側圧力導出路２３０とが設けられたものとなっている。   Incidentally, as shown in FIG. 9, the internal configuration of the EGR pipe 200 at the connection portion with the pressure sensor 900 includes an upstream pressure lead-out path 220 for leading the upstream pressure P <b> 1 of the orifice 210, and a downstream side of the orifice 210. A downstream pressure derivation path 230 for deriving the pressure P2 is provided.

そして、上流側圧力導出路２２０は、圧力センサ９００の一方の圧力導入部１２ｂとシールリング１３０を介して連通し、下流側圧力導出路２３０は、圧力センサ９００の他方の圧力導入部１３ｂとシールリング１３０を介して連通している。   The upstream pressure lead-out path 220 communicates with one pressure introduction part 12b of the pressure sensor 900 via the seal ring 130, and the downstream pressure lead-out path 230 seals with the other pressure introduction part 13b of the pressure sensor 900. It communicates via the ring 130.

検出圧力は排気量やターボの有無にもよるが、排気圧の脈動ピークが最大３００ｋＰａに達するものもあるため、圧力センサとＥＧＲ管との接続には通常のゴムホース配管は使えない。そのため、図９に示されるように、シールリング１３０を使った圧力センサ９００の組み付け構造、いわゆるダイレクトマウント構造を採用している。   Although the detected pressure depends on the displacement and the presence or absence of a turbo, since some exhaust pressure pulsation peaks reach a maximum of 300 kPa, ordinary rubber hose piping cannot be used for connection between the pressure sensor and the EGR pipe. Therefore, as shown in FIG. 9, an assembly structure of the pressure sensor 900 using the seal ring 130, that is, a so-called direct mount structure is adopted.

しかしながら、このダイレクトマウント構造では、圧力センサ９００をＥＧＲ管２００の搭載部にセットする際、シールリング１３０が下向きになる。そのため、図１０（ｃ）に示されるように、シールリング１３０の外径Ｄ１が溝１４０の外径Ｄ２以下であるような通常のＯリングシール構造では、シールリング１３０が溝１４０から脱落してしまうことになる。   However, in this direct mount structure, when the pressure sensor 900 is set on the mounting portion of the EGR pipe 200, the seal ring 130 faces downward. Therefore, as shown in FIG. 10 (c), in an ordinary O-ring seal structure in which the outer diameter D 1 of the seal ring 130 is equal to or smaller than the outer diameter D 2 of the groove 140, the seal ring 130 is dropped from the groove 140. It will end up.

この被測定部材への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落を防止するため、従来では、図１１に示されるように、断面角形のシールリング１３０を用いた構造が採用されている。   In order to prevent the seal ring 130 from falling off when assembled to the member to be measured, a structure using a seal ring 130 having a square cross section has been conventionally employed as shown in FIG.

図１１は、従来の断面角形のシールリング１３０を用いた溝１４０への圧入構造を示す概略断面図であり、（ａ）はシールリング１３０と溝１４０との寸法関係を示す図、（ｂ）はシールリング１３０を溝１４０へ圧入した後の状態を示す図、（ｃ）は圧力センサ９００を被測定部材２００へ組み付けた後の状態を示す図である。   FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a press-fitting structure into a groove 140 using a conventional seal ring 130 having a square cross section, (a) is a diagram showing a dimensional relationship between the seal ring 130 and the groove 140, and (b). FIG. 6 is a view showing a state after the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140, and FIG. 5C is a view showing a state after the pressure sensor 900 is assembled to the member to be measured 200.

この図１１に示されるように、従来では、シールリング１３０の断面を角形にするとともに、溝１４０の外径よりもシールリング１３０全体の外径を大きくする構造を採用している。   As shown in FIG. 11, conventionally, a structure is adopted in which the cross section of the seal ring 130 is square and the outer diameter of the entire seal ring 130 is larger than the outer diameter of the groove 140.

それにより、シールリング１３０の全体が溝１４０に押しつけられるように接した状態、つまり、シールリング１３０全体が溝１４０に対して軽い圧入状態となるような構造となり、シールリング１３０が溝１４０に保持され、脱落が防止される。   As a result, the entire seal ring 130 is in contact with the groove 140 so that it is pressed, that is, the entire seal ring 130 is lightly pressed into the groove 140, and the seal ring 130 is held in the groove 140. Is prevented from falling off.

しかしながら、この構造では、図１１（ｂ）に示されるように、シールリング１３０を溝１４０へ圧入したときに、シールリング１３０の先端部が溝１４０から横にはみ出す可能性がある。   However, in this structure, as shown in FIG. 11B, when the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140, the tip of the seal ring 130 may protrude laterally from the groove 140.

すると、図１１（ｃ）に示されるように、組み付け時に、取付面１２ｃ、１３ｃと被測定部材２００における搭載部との間にシールリング１３０の先端部が挟まる。つまり、シールリング１３０の噛み込みが生じ、シールリング１３０を傷つけてしまうという問題が起こる。   Then, as shown in FIG. 11C, the tip of the seal ring 130 is sandwiched between the mounting surfaces 12 c and 13 c and the mounting portion of the member to be measured 200 during assembly. That is, the seal ring 130 is bitten and the seal ring 130 is damaged.

なお、上記した問題は、被測定部材としてのＥＧＲ管に組み付けられる圧力センサ以外にも、圧力導入部をリング状のシールリングを介して被測定部材に取り付けるようにしたダイレクトマウント組み付け構造を採用する圧力センサであれば、共通した問題であると考えられる。   In addition to the pressure sensor assembled to the EGR pipe as the member to be measured, the above-described problem employs a direct mount assembly structure in which the pressure introducing portion is attached to the member to be measured via a ring-shaped seal ring. If it is a pressure sensor, it is thought that it is a common problem.

本発明は上記問題に鑑み、ケース内に収納されたセンシング部に圧力導入部から圧力を導入するとともに、この圧力導入部をシールリングを介して被測定部材へ取り付けるようになっている圧力センサにおいて、被測定部材への組み付け時におけるシールリングの脱落および損傷を防止することを目的とする。   In view of the above problems, the present invention provides a pressure sensor that introduces pressure from a pressure introduction part to a sensing part accommodated in a case and attaches the pressure introduction part to a member to be measured via a seal ring. An object of the present invention is to prevent the seal ring from falling off and being damaged when assembled to the member to be measured.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧力検出用のセンシング部（２０）と、リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、被測定部材（２００）からセンシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）は溝（１４０）内に保持されるようになっていることを特徴としている。   In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a pressure sensing unit (20) and a ring-shaped seal ring (130) are attached to the member to be measured (200) to be measured. A pressure introduction part (12b, 13b) for introducing pressure from the member (200) to the sensing part (20), and a mounting surface (12c) to the member to be measured (200) in the pressure introduction part (12b, 13b) 13c), in the pressure sensor provided with the ring-shaped groove (140) for accommodating the seal ring (130), a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140). Thus, the seal ring (130) is held in the groove (140).

それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に圧入されることによって、シールリング（１３０）は溝（１４０）内に保持されるため、シールリング（１３０）を下向きにしても、シールリング（１３０）の溝（１４０）からの脱落が生じることはない。   According to this, since a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140), the seal ring (130) is held in the groove (140), so that the seal ring (130) faces downward. However, the seal ring (130) does not fall out of the groove (140).

また、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に圧入された状態とすればよいため、この圧入部以外では、溝（１４０）の外形寸法をシールリング（１３０）の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出しを、防止することができる。   Further, since a part of the seal ring (130) may be press-fitted into the groove (140), the outer dimension of the groove (140) is sufficiently larger than the outer shape of the seal ring (130) except for the press-fitted portion. It can be a dimension with a margin. Thereby, the protrusion of the seal ring from the conventional groove as described above can be prevented.

よって、本発明の圧力センサによれば、被測定部材（２００）への組み付け時におけるシールリング（１３０）の脱落および損傷を防止することができる。   Therefore, according to the pressure sensor of the present invention, it is possible to prevent the seal ring (130) from falling off and being damaged during the assembly to the member to be measured (200).

また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、当該突起部（１４１）においてシールリング（１３０）の一部が、溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴としている。   Further, in the invention according to claim 2, in the pressure sensor according to claim 1, a protrusion (141) protruding from the side surface is formed on a side surface of the groove (140), and the protrusion ( 141), a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140).

それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。   Accordingly, a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140), so that a configuration for holding the seal ring (130) in the groove (140) can be appropriately realized.

ここで、請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）の表面は、凸曲面形状となっていることを特徴としている。   Here, in the invention according to claim 3, in the pressure sensor according to claim 2, the surface of the protrusion (141) formed on the side surface of the groove (140) has a convex curved surface shape. It is a feature.

それによれば、突起部（１４１）に角部がなくなるので、当該突起部（１４１）に対して圧入されるシールリング（１３０）が傷つくのを防止するためには好ましい。   According to this, since there is no corner in the protrusion (141), it is preferable for preventing the seal ring (130) press-fitted into the protrusion (141) from being damaged.

さらに、請求項４に記載の発明では、請求項２または請求項３に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）における取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面は、当該突起部（１４１）の根元側から先端側に向かって取付面（１２ｃ、１３ｃ）から離れる方向に傾斜したテーパ面（１４１ａ）となっていることを特徴としている。   Furthermore, in the invention according to claim 4, in the pressure sensor according to claim 2 or claim 3, the protrusion (141) formed on the side surface of the groove (140) on the mounting surface (12c, 13c) side. The surface is characterized by a tapered surface (141a) that is inclined in a direction away from the mounting surface (12c, 13c) from the base side to the tip side of the protrusion (141).

それによれば、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）における取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面をこのようなテーパ面（１４１ａ）とすることにより、被測定部材（２００）への組み付け時に、シールリング（１３０）のうち当該突起部（１４１）に接して圧入されている部分が、取付面（１２ｃ、１３ｃ）と被測定部材（２００）との間にはみだして挟まること、すなわち、当該突起部（１４１）におけるシールリング（１３０）の噛み込みを防止することができる。   According to this, by measuring such a tapered surface (141a) as the surface on the mounting surface (12c, 13c) side of the protrusion (141) formed on the side surface of the groove (140), the member to be measured (200) The portion of the seal ring (130) that is press-fitted in contact with the protrusion (141) protrudes between the mounting surface (12c, 13c) and the member to be measured (200) when assembled to the device. That is, it is possible to prevent the seal ring (130) from being caught in the protrusion (141).

また、当該突起部（１４１）における取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面を上記テーパ面（１４１ａ）とすることにより、溝（１４０）へのシールリング（１３０）の挿入がスムーズなものとなるため、シールリング（１３０）の組み付け性を向上させることができるという利点もある。   Further, the surface on the mounting surface (12c, 13c) side of the protrusion (141) is the tapered surface (141a), so that the seal ring (130) can be smoothly inserted into the groove (140). Therefore, there is also an advantage that the assembling property of the seal ring (130) can be improved.

ここで、請求項５に記載の発明のように、請求項２〜請求項４に記載の圧力センサにおいては、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）は、２個以上であることが好ましい。   Here, as in the invention according to claim 5, in the pressure sensor according to claims 2 to 4, the number of protrusions (141) formed on the side surface of the groove (140) is two or more. Preferably there is.

また、請求項６に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、シールリング（１３０）は、当該突起部（１３１）において溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴としている。   Further, in the invention according to claim 6, in the pressure sensor according to claim 1, the surface of the seal ring (130) is formed with a protruding portion (131) protruding from the surface. 130) is characterized by being press-fitted into the groove (140) in the protrusion (131).

それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。   Accordingly, a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140), so that a configuration for holding the seal ring (130) in the groove (140) can be appropriately realized.

ここで、請求項７に記載の発明のように、請求項６に記載の圧力センサにおいては、シールリング（１３０）の表面に形成された突起部（１３１）は、２個以上であることが好ましい。   Here, as in the invention according to claim 7, in the pressure sensor according to claim 6, the number of protrusions (131) formed on the surface of the seal ring (130) may be two or more. preferable.

また、請求項８に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、溝（１４０）の側面に形成された突起部（１４１）およびシールリング（１３０）の表面に形成された突起部（１３１）において、シールリング（１３０）が、溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴としている。   According to an eighth aspect of the present invention, in the pressure sensor according to the first aspect, a protrusion (141) protruding from the side surface is formed on the side surface of the groove (140), and the seal ring (130) is formed. ) Is formed with a protrusion (131) protruding from the surface, the protrusion (141) formed on the side surface of the groove (140) and the protrusion formed on the surface of the seal ring (130). In the part (131), the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140).

それによれば、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。   Accordingly, a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140), so that a configuration for holding the seal ring (130) in the groove (140) can be appropriately realized.

また、請求項９に記載の発明では、請求項１〜請求項８に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）のリング形状が真円形状であり、溝（１４０）のリング形状が楕円形状であることを特徴としている。   In the invention according to claim 9, in the pressure sensor according to claims 1 to 8, the ring shape of the seal ring (130) is a perfect circle shape, and the ring shape of the groove (140) is an elliptical shape. It is characterized by being.

また、請求項１０に記載の発明では、請求項１〜請求項８に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）のリング形状が楕円形状であり、溝（１４０）のリング形状が真円形状であることを特徴としている。   In the invention according to claim 10, in the pressure sensor according to claims 1 to 8, the ring shape of the seal ring (130) is an elliptical shape, and the ring shape of the groove (140) is a perfect circle shape. It is characterized by being.

これら請求項９および請求項１０に記載の発明によっても、シールリング（１３０）の一部が溝（１４０）に対して圧入されることにより、シールリング（１３０）を溝（１４０）内に保持する構成を適切に実現することができる。   Also in the inventions according to the ninth and tenth aspects, a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140), so that the seal ring (130) is held in the groove (140). The structure to perform can be realized appropriately.

請求項１１に記載の発明では、圧力検出用のセンシング部（２０）と、リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、被測定部材（２００）からセンシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、シールリング（１３０）は、溝（１４０）に接着された状態で溝（１４０）内に保持されていることを特徴としている。   According to the eleventh aspect of the present invention, the sensing unit (20) for pressure detection and the member to be measured (200) are attached via the ring-shaped seal ring (130), and the sensing unit from the member to be measured (200). Pressure introduction portions (12b, 13b) for introducing pressure into (20), and seals are provided on the mounting surfaces (12c, 13c) of the pressure introduction portions (12b, 13b) to the member to be measured (200). In the pressure sensor provided with the ring-shaped groove (140) for accommodating the ring (130), the seal ring (130) is held in the groove (140) in a state of being bonded to the groove (140). It is characterized by that.

それによれば、シールリング（１３０）が溝（１４０）に接着されることによって、シールリング（１３０）は溝（１４０）内に保持されるため、シールリング（１３０）を下向きにしても、シールリング（１３０）の溝（１４０）からの脱落が生じることはない。   According to this, since the seal ring (130) is held in the groove (140) by adhering the seal ring (130) to the groove (140), the seal ring (130) is faced down even if the seal ring (130) faces downward. The ring (130) does not fall out of the groove (140).

また、シールリング（１３０）を溝（１４０）に接着すればよいため、溝（１４０）の外形寸法をシールリング（１３０）の外形よりも十分余裕のある寸法としてもかまわない。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出しを、極力防止することができる。   Further, since the seal ring (130) may be bonded to the groove (140), the outer dimension of the groove (140) may be sufficiently larger than the outer dimension of the seal ring (130). Thereby, the protrusion of the seal ring from the conventional groove as described above can be prevented as much as possible.

よって、本発明の圧力センサによれば、被測定部材（２００）への組み付け時におけるシールリング（１３０）の脱落および損傷を防止することができる。   Therefore, according to the pressure sensor of the present invention, it is possible to prevent the seal ring (130) from falling off and being damaged during the assembly to the member to be measured (200).

また、請求項１２に記載の発明では、請求項１〜請求項１０に記載の圧力センサにおいて、シールリング（１３０）は、溝（１４０）に接着されていることを特徴としている。   In the invention described in claim 12, in the pressure sensor described in claims 1-10, the seal ring (130) is adhered to the groove (140).

それによれば、請求項１〜請求項１０に記載の圧力センサにおいて、請求項１１に記載の発明の効果も期待することができる。   According to this, in the pressure sensor according to claims 1 to 10, the effect of the invention according to claim 11 can also be expected.

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ１の概略断面構成を示す図であり、図２は、同圧力センサＳ１を被測定部材２００に組み付けた状態において図１中の矢印Ａ方向から見て９０度回転させた構成を示す一部切り欠き断面図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of a differential pressure detection type pressure sensor S1 according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing the pressure sensor S1 assembled to a member 200 to be measured. 1 is a partially cutaway cross-sectional view showing a configuration rotated 90 degrees when viewed from the direction of arrow A in FIG.

限定するものではないが、本実施形態は、たとえば上記図９に示されるものと同様に、自動車のディーゼルエンジンのＥＧＲシステムにおける被測定部材としてのＥＧＲ管２００に取り付けられ、ＥＧＲ２００管内に設けられたオリフィスの前後の差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして適用することができる。   Although not limited thereto, the present embodiment is attached to an EGR pipe 200 as a member to be measured in an EGR system of an automobile diesel engine, for example, as shown in FIG. 9 above, and provided in the EGR 200 pipe. The present invention can be applied as a differential pressure (relative pressure) detection type pressure sensor that detects a differential pressure before and after the orifice.

［全体構成等］
図１において、ケース１０は圧力センサＳ１の本体を区画するもので、例えばＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料等よりなる。 [Overall structure, etc.]
In FIG. 1, a case 10 defines the main body of the pressure sensor S1, and is made of a resin material such as PBT (polybutylene terephthalate) or PPS (polyphenylene sulfide).

このケース１０は、ターミナル１０ａがインサート成形されたコネクタケース部（センサ素子設置部）１１と、このコネクタケース部１１に組み付けられた第１のポート部１２および第２のポート部１３とよりなる。ケース１０におけるこれら各部１１〜１３は、樹脂成形等にて作られる。   The case 10 includes a connector case part (sensor element installation part) 11 in which a terminal 10 a is insert-molded, and a first port part 12 and a second port part 13 assembled to the connector case part 11. These parts 11 to 13 in the case 10 are made by resin molding or the like.

ケース１０のうちコネクタケース部１１においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部１１ａが形成され、当該一面と反対の面側（図１中の下面側）に第１の凹部１１ａと連通する第２の凹部１１ｂが形成されている。第１の凹部１１ａ内には、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとの連通部を遮断するように圧力検出用のセンサ素子２０が設けられている。   In the connector case portion 11 of the case 10, a first recess 11a is formed on one surface side (upper surface side in FIG. 1), and a first surface is formed on the surface side opposite to the one surface (lower surface side in FIG. 1). A second recess 11b communicating with the recess 11a is formed. A sensor element 20 for pressure detection is provided in the first recess 11a so as to block the communication portion between the first recess 11a and the second recess 11b.

センサ素子２０は、センシング部として構成されたものであり、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。本例のセンサ素子２０は、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム（図示せず）を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップである。   The sensor element 20 is configured as a sensing unit, and generates an electric signal having a level corresponding to an applied pressure value. The sensor element 20 of this example is a semiconductor diaphragm type sensor chip having a diaphragm (not shown) as a thin portion on a semiconductor substrate such as a silicon substrate.

そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されセンサ素子２０と一体化されている。そして、センサ素子２０は、この台座３０を介して、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａの底面に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着され、第１の凹部１１ａ内に収納固定されている。   A pedestal 30 made of glass or the like is joined to the sensor element 20 and integrated with the sensor element 20. The sensor element 20 is bonded to the bottom surface of the first recess 11a of the connector case portion 11 via the pedestal 30 with an adhesive such as a silicone-based adhesive (not shown) and stored in the first recess 11a. It is fixed.

ここで、台座３０には、第２の凹部１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。つまり、第２の凹部１１ｂは台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されており、このセンサ素子２０を境として、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとは遮断されている。   Here, the pedestal 30 is formed with a through hole 31 communicating with the second recess 11b. That is, the second recess 11b communicates with the through hole 31 of the pedestal 30, but the tip is blocked by the sensor element 20, and the first recess 11a and the second recess are separated from the sensor element 20 as a boundary. 11b is cut off.

また、コネクタケース部１１にインサート成形されたターミナル１０ａは、センサ素子２０からの信号を取り出すためのものであり、銅等の導電性金属よりなる。ターミナル１０ａの一端側はセンサ素子２０の近傍において第１の凹部１１ａに露出しており、センサ素子２０とアルミや金等のワイヤ４０により結線され電気的に接続されている。   Moreover, the terminal 10a insert-molded in the connector case part 11 is for taking out the signal from the sensor element 20, and consists of conductive metals, such as copper. One end of the terminal 10a is exposed to the first recess 11a in the vicinity of the sensor element 20, and is connected to and electrically connected to the sensor element 20 by a wire 40 such as aluminum or gold.

ここで、第１の凹部１１ａ内に露出しているターミナル１０ａの一端部の周囲には、ターミナル１０ａとコネクタケース部１１との隙間をシールするためのシール材５０が設けられている。このシール材５０は、樹脂等からなるものである。   Here, a sealing material 50 for sealing a gap between the terminal 10a and the connector case portion 11 is provided around one end portion of the terminal 10a exposed in the first recess 11a. The sealing material 50 is made of resin or the like.

そして、ターミナル１０ａは、センサ素子２０からケース１０におけるセンサ素子２０の搭載面すなわちコネクタケース部１１の第１の凹部１１ａの底面と平行な方向に延びるように配置されており、ワイヤ４０との接続部とは反対側の端部が、ケース１０（コネクタケース部１１）の外部に露出している。   The terminal 10 a is arranged to extend from the sensor element 20 in a direction parallel to the mounting surface of the sensor element 20 in the case 10, that is, the bottom surface of the first recess 11 a of the connector case portion 11, and is connected to the wire 40. The end opposite to the portion is exposed to the outside of the case 10 (connector case portion 11).

そして、このターミナル１０ａの露出端部は、コネクタケース部１１とともに、図示しない外部配線部材に接続可能となっており、それによって、センサ素子２０は、ワイヤ４０、ターミナルピン１０ａを介して外部回路（車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。   The exposed end portion of the terminal 10a can be connected to an external wiring member (not shown) together with the connector case portion 11, so that the sensor element 20 can be connected to an external circuit (via the wire 40 and the terminal pin 10a). Signals can be exchanged with a vehicle ECU or the like.

このようにケース１０のうちコネクタケース部１１は、センサ素子２０が設置されたセンサ素子設置部として構成されている。また、第１のポート部１２、第２のポート部１３はそれぞれ、図１中において、２点鎖線にて示す圧力導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。   Thus, the connector case part 11 of the case 10 is configured as a sensor element installation part in which the sensor element 20 is installed. Further, the first port portion 12 and the second port portion 13 are respectively provided with pressure introduction ports 12a and 13a indicated by two-dot chain lines in FIG.

ここで、コネクタケース部１１とポート部１２、１３とは、ネジ部材としてのネジ６０およびナット６１、６２を用いて接合されている。   Here, the connector case part 11 and the port parts 12 and 13 are joined together using screws 60 and nuts 61 and 62 as screw members.

ナット６１はコネクタケース部１１にインサート成形されたもので、コネクタケース部１１と第１および第２のポート部１２、１３とをネジ６０およびナット６１によりネジ結合した後、ナット６２を用いて締結している。なお、ネジ部材６０〜６２に代えてリベットを用いても良い。   The nut 61 is insert-molded in the connector case portion 11, and the connector case portion 11 and the first and second port portions 12 and 13 are screwed together with the screw 60 and the nut 61, and then tightened with the nut 62. doing. Instead of the screw members 60 to 62, rivets may be used.

また、ケース１０のうちコネクタケース部１１における第１の凹部１１ａおよび第２の凹部１１ｂには、フッ素系オイルやシリコーン系オイル等からなるオイル７０が充填されている。   Further, in the case 10, the first recess 11 a and the second recess 11 b in the connector case portion 11 are filled with oil 70 made of fluorine-based oil, silicone-based oil, or the like.

そして、ケース１０において、コネクタケース部１１と第１のポート部１２との間には第１のダイアフラム８１が固定され、コネクタケース部１１と第２のポート部１３との間には第２のダイアフラム８２が固定されている。   In the case 10, the first diaphragm 81 is fixed between the connector case portion 11 and the first port portion 12, and the second diaphragm portion is interposed between the connector case portion 11 and the second port portion 13. A diaphragm 82 is fixed.

本実施形態では、第１および第２のダイアフラム８１、８２は、ＣｒやＮｉ等の耐食性や耐熱性にすぐれた金属からなるメタルダイアフラムであり、たとえば（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり且つＮｉを３０重量％以上含む材料からなるものにできる。   In the present embodiment, the first and second diaphragms 81 and 82 are metal diaphragms made of a metal having excellent corrosion resistance and heat resistance, such as Cr and Ni, for example, a pitting corrosion index represented by (Cr + 3.3Mo + 20N). Can be made of a material having Ni of 50% or more and Ni of 30% by weight or more.

図１に示されるように、第１のダイアフラム８１は、第１の凹部１１ａを覆うように配置され、第１の凹部１１ａ内のオイル７０を封止している。一方、第２のダイアフラム８２は、第２の凹部１１ｂを覆うように配置され、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０を封止している。   As shown in FIG. 1, the first diaphragm 81 is disposed so as to cover the first recess 11a, and seals the oil 70 in the first recess 11a. On the other hand, the 2nd diaphragm 82 is arrange | positioned so that the 2nd recessed part 11b may be covered, and the oil 70 in the 2nd recessed part 11b is sealed.

図１では示さないが、第１のダイアフラム８１、第２のダイアフラム８２はそれぞれ、第１のポート部１２、第２のポート部１３に対して、フロロシリコーン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等の樹脂からなる接着剤を介して接着されている。なお、この接着剤は後述する図４において、符号１００を付して示してある。   Although not shown in FIG. 1, the first diaphragm 81 and the second diaphragm 82 are made of a resin such as a fluorosilicone resin or a fluorine resin with respect to the first port portion 12 and the second port portion 13, respectively. It is bonded via an adhesive. This adhesive is indicated by reference numeral 100 in FIG. 4 described later.

また、コネクタケース部１１において、第１および第２のダイアフラム８１、８２が押しつけられる部位には、Ｏリング９０が設けられており、第１および第２のダイアフラム８１、８２によるオイル７０の封止をより確実なものとしている。   Further, in the connector case portion 11, an O-ring 90 is provided at a portion where the first and second diaphragms 81 and 82 are pressed, and the oil 70 is sealed by the first and second diaphragms 81 and 82. Is more certain.

また、図１に示す圧力センサＳ１では、センサ素子２０を境にして、第１のダイアフラム８１側に配置されるオイル７０の量と第２のダイアフラム８２側に配置されるオイル７０の量とが等しいものにすることが好ましい。これは、第１の凹部１１ａの容積や第２の凹部１１ｂの容積、センサ素子２０や台座３０の体積等を考慮して設計することで実現可能である。   Further, in the pressure sensor S1 shown in FIG. 1, the amount of oil 70 disposed on the first diaphragm 81 side and the amount of oil 70 disposed on the second diaphragm 82 side with the sensor element 20 as a boundary. It is preferable to make them equal. This can be realized by designing in consideration of the volume of the first recess 11a, the volume of the second recess 11b, the volume of the sensor element 20 and the pedestal 30, and the like.

また、図２に示されるように、ケース１０のうち第１のポート部１２、第２のポート部１３には、それぞれ、圧力を導入するための開口部を有する圧力導入部１２ｂ、圧力導入部１３ｂが形成されている。   Further, as shown in FIG. 2, the first port portion 12 and the second port portion 13 of the case 10 have a pressure introducing portion 12 b and a pressure introducing portion having openings for introducing pressure, respectively. 13b is formed.

そして、図１に示される第１のポート部１２の圧力導入ポート１２ａ、第２のポート部１３の圧力導入ポート１３ａは、それぞれ、図２に示される第１のポート部１２の圧力導入部１２ｂ、第２のポート部１３の圧力導入部１３ｂに連通している。   The pressure introduction port 12a of the first port portion 12 shown in FIG. 1 and the pressure introduction port 13a of the second port portion 13 are respectively the pressure introduction portion 12b of the first port portion 12 shown in FIG. The second port portion 13 communicates with the pressure introducing portion 13b.

そして、図２に示されるように、たとえば、第１のポート部１２の圧力導入部１２ｂがＥＧＲ管２００における上流側圧力導出管２２０に対して接続され、第２の圧力ポート部１３の圧力導入部１３ｂがＥＧＲ管２００における下流側圧力導出管２３０に対して接続されている。   As shown in FIG. 2, for example, the pressure introducing portion 12 b of the first port portion 12 is connected to the upstream pressure derivation tube 220 in the EGR pipe 200, and the pressure introduction of the second pressure port portion 13 is performed. The part 13 b is connected to the downstream pressure outlet pipe 230 in the EGR pipe 200.

ここで、図１、図２に示されるように、本圧力センサＳ１においては、ケース１０の周囲に、取付部材としてのブラケット１１０がネジ部材１２０を介して組み付けられている。ここで、ブラケット１１０は樹脂や金属等からなる。このネジ部材１２０は、ナット６１にネジ締めされることにより、ブラケット１１０をケース１０に固定している。   Here, as shown in FIGS. 1 and 2, in the pressure sensor S <b> 1, a bracket 110 as an attachment member is assembled around the case 10 via a screw member 120. Here, the bracket 110 is made of resin, metal, or the like. The screw member 120 fixes the bracket 110 to the case 10 by being screwed to the nut 61.

そして、図２に示されるように、圧力センサＳ１は、このブラケット１１０を被測定部材であるＥＧＲ管２００にネジ締めするなどにより、当該ＥＧＲ管２００に取り付けられる。   As shown in FIG. 2, the pressure sensor S <b> 1 is attached to the EGR pipe 200 by screwing the bracket 110 to the EGR pipe 200 that is a member to be measured.

なお、このブラケット１１０を介した圧力センサＳ１のＥＧＲ管２００への取付状態は、上記図９に示される状態と同様のものである。つまり、圧力センサＳ１との接続部分におけるＥＧＲ管２００の内部構成についても、図２では一部省略してあるが、上記図９と同様に、上流側圧力導出管２２０と下流側圧力導出管２３０との間に上記オリフィスが設けられている。   Note that the attachment state of the pressure sensor S1 to the EGR pipe 200 via the bracket 110 is the same as the state shown in FIG. That is, the internal configuration of the EGR pipe 200 at the connection portion with the pressure sensor S1 is also partially omitted in FIG. 2, but as in FIG. 9, the upstream pressure derivation pipe 220 and the downstream pressure derivation pipe 230. The orifice is provided between the two.

この圧力センサＳ１をＥＧＲ管２００に取付固定するとき、圧力センサＳ１における圧力導入部１２ｂ、１３ｂが、リング状のシールリング１３０を介してＥＧＲ管（被測定部材）２００に取り付けられる。   When the pressure sensor S1 is attached and fixed to the EGR pipe 200, the pressure introducing portions 12b and 13b in the pressure sensor S1 are attached to the EGR pipe (member to be measured) 200 via the ring-shaped seal ring 130.

このシールリング１３０は、ゴムや樹脂等の弾性材料からなるものである。本例では、シールリング１３０は、断面四角の角リングであるが、それ以外にも断面円形のリング、断面がＣ字形やＸ字形のリングであってもよい。なお、このことは以下の各実施形態においても同様である。   The seal ring 130 is made of an elastic material such as rubber or resin. In this example, the seal ring 130 is a square ring having a square cross section, but it may also be a ring having a circular cross section or a ring having a C-shaped or X-shaped cross section. This also applies to the following embodiments.

ここで、圧力センサＳ１の各圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおけるＥＧＲ管２００への取付面１２ｃ、１３ｃには、リング状の溝１４０が設けられており、シールリング１３０は、この溝１４０内に収納され保持されている。   Here, ring-shaped grooves 140 are provided on the attachment surfaces 12c and 13c of the pressure introducing portions 12b and 13b of the pressure sensor S1 to the EGR pipe 200, and the seal ring 130 is accommodated in the grooves 140. Is retained.

そして、シールリング１３０とＥＧＲ管２００とが密着することにより、圧力導入部１２ｂ、１３ｂとＥＧＲ管２００との接続部が気密にシールされている。それにより、ＥＧＲ管２００内の圧力Ｐ１、Ｐ２が、漏れることなく圧力導入部１２ｂ、１３ｂからケース１０内へ導入されるようになっている。   Then, when the seal ring 130 and the EGR pipe 200 are in close contact with each other, the connection part between the pressure introducing parts 12b and 13b and the EGR pipe 200 is hermetically sealed. Thereby, the pressures P1 and P2 in the EGR pipe 200 are introduced into the case 10 from the pressure introducing portions 12b and 13b without leaking.

ＥＧＲ管２００内のオリフィスの上流側圧力Ｐ１は、第１のポート部１２において圧力導入部１２ｂから圧力導入ポート１２ａを介して第１のダイアフラム８１へ導入され、一方、ＥＧＲ管２００内のオリフィスの下流側圧力Ｐ２は、第２のポート部１３において圧力導入部１３ｂから圧力導入ポート１３ａを介して第２のダイアフラム８２へ導入されるようになっている。   The upstream pressure P1 of the orifice in the EGR pipe 200 is introduced from the pressure introduction part 12b to the first diaphragm 81 through the pressure introduction port 12a in the first port part 12, while the orifice in the EGR pipe 200 The downstream pressure P2 is introduced into the second diaphragm 82 from the pressure introduction part 13b through the pressure introduction port 13a in the second port part 13.

そして、第１および第２のダイアフラム８１、８２に印加された圧力Ｐ１、Ｐ２がそれぞれオイル７０を介して、センシング部としてのセンサ素子２０に受圧される。そして、第１のダイアフラム８１側から受圧された圧力Ｐ１と第２のダイアフラム８２側から受圧された圧力Ｐ２との差圧をセンサ素子２０により検出するようになっている。   Then, the pressures P1 and P2 applied to the first and second diaphragms 81 and 82 are received by the sensor element 20 as the sensing unit via the oil 70, respectively. The sensor element 20 detects a differential pressure between the pressure P1 received from the first diaphragm 81 side and the pressure P2 received from the second diaphragm 82 side.

上述した圧力導入形態を採用する本例においては、センサ素子２０に形成されている図示しないダイアフラムの表面に第１のダイアフラム８１側からオリフィスの上流側圧力Ｐ１が受圧され、裏面に第２のダイアフラム８２側からオリフィスの下流側圧力Ｐ２が受圧される。   In this example employing the above-described pressure introduction mode, the upstream pressure P1 of the orifice is received from the first diaphragm 81 side on the surface of the diaphragm (not shown) formed in the sensor element 20, and the second diaphragm is applied to the back surface. The downstream pressure P2 of the orifice is received from the 82 side.

センサ素子２０のダイアフラムは両圧力Ｐ１、Ｐ２の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０からワイヤ４０を介してターミナル１０ａから外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。   The diaphragm of the sensor element 20 is distorted by the differential pressure between the pressures P1 and P2, and a signal based on the distortion is output from the sensor element 20 to the outside through the wire 40 from the terminal 10a. In this way, pressure detection is performed.

［圧力導入部の特徴的構成］
ここにおいて、本実施形態では、このような圧力センサＳ１において、シールリング１３０および溝１４０の構成について、次のような独自の特徴点を持たせている。図３（ａ）〜（ｄ）は、本圧力センサＳ１における圧力導入部１２ｂ、１３ｂの近傍部の詳細構成を示す拡大図である。 [Characteristic configuration of pressure inlet]
Here, in the present embodiment, in such a pressure sensor S1, the following unique features are given to the configuration of the seal ring 130 and the groove 140. 3A to 3D are enlarged views showing a detailed configuration of the vicinity of the pressure introducing portions 12b and 13b in the pressure sensor S1.

図３において、（ａ）は圧力導入部１２ｂ、１３ｂ、シールリング１３０およびＥＧＲ管２００の概略断面図、（ｂ）は圧力導入部１２ｂ、１３ｂの取付面１２ｃ、１３ｃに形成されている溝１４０の平面図、（ｃ）は（ｂ）中のＢ−Ｂ線に沿った概略断面図、（ｄ）は溝１４０の斜視図である。   3A is a schematic cross-sectional view of the pressure introducing portions 12b and 13b, the seal ring 130, and the EGR pipe 200, and FIG. 3B is a groove 140 formed in the mounting surfaces 12c and 13c of the pressure introducing portions 12b and 13b. (C) is a schematic sectional drawing in alignment with the BB line in (b), (d) is a perspective view of the groove | channel 140. FIG.

図３に示されるように、溝１４０の外周側の側面には、当該側面から突出する突起部１４１が形成されている。ここで、突起部１４１は２個以上あることが好ましく、本例では、４個設けられている。   As shown in FIG. 3, a protrusion 141 protruding from the side surface is formed on the outer peripheral side surface of the groove 140. Here, it is preferable that there are two or more protrusions 141, and four protrusions 141 are provided in this example.

そして、シールリング１３０が溝１４０に収納された状態において、シールリング１３０のうちこれら突起部１４１に接する部位が、溝１４０に対して圧入され保持された状態となっている。   In a state where the seal ring 130 is housed in the groove 140, portions of the seal ring 130 that are in contact with the protrusions 141 are pressed into and held in the groove 140.

具体的には、溝１４０の外周側の側面から突出する突起部１４１の先端部が、シールリング１３０の外径にて規定される仮想円内に入り込むように、当該突起部１４１の突出長さを決めればよい。それにより、この突起部１４１においてシールリング１３０の圧入状態が実現される。   Specifically, the protrusion length of the protrusion 141 is such that the tip of the protrusion 141 protruding from the outer peripheral side surface of the groove 140 enters the virtual circle defined by the outer diameter of the seal ring 130. You can decide. Thereby, the press-fitted state of the seal ring 130 is realized at the protrusion 141.

つまり、本実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっている独自の構成となっている。   That is, in this embodiment, a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 so that the seal ring 130 is held in the groove 140.

ここで、本実施形態の好ましい形態として、図３（ｂ）および（ｄ）に示されるように、各突起部１４１の表面は、凸曲面形状となっている。つまり、突起部１４１の表面は、角部が存在しない曲面形状となっている。   Here, as a preferred embodiment of the present embodiment, as shown in FIGS. 3B and 3D, the surface of each protrusion 141 has a convex curved surface shape. That is, the surface of the protrusion 141 has a curved surface shape with no corners.

また、本実施形態の好ましい形態として、図３（ｃ）に示されるように、各突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面は、突起部１４１の根元側から先端側に向かって取付面１２ｃ、１３ｃから離れる方向に傾斜したテーパ面１４１ａとなっている。   As a preferred form of the present embodiment, as shown in FIG. 3C, the surface on the mounting surface 12c, 13c side of each projection 141 is a mounting surface from the base side of the projection 141 toward the tip side. The tapered surface 141a is inclined in a direction away from 12c and 13c.

［製造方法等］
次に、本圧力センサＳ１の製造方法の一例について、図４も参照して述べる。図４は、図１に示す圧力センサＳ１において、ブラケット１１０およびこのブラケット１１０をセンサ本体に固定するためのネジ部材１２０を除いた各部の分解図である。 [Manufacturing method]
Next, an example of a manufacturing method of the pressure sensor S1 will be described with reference to FIG. 4 is an exploded view of each part of the pressure sensor S1 shown in FIG. 1 except for the bracket 110 and the screw member 120 for fixing the bracket 110 to the sensor body.

ターミナル１０ａおよびナット６１がインサート成形されたコネクタケース部１１において、第１の凹部１１ａ内に露出したターミナル１０ａの一端部をシール材５０にてシールする。   In the connector case portion 11 in which the terminal 10a and the nut 61 are insert-molded, one end portion of the terminal 10a exposed in the first recess 11a is sealed with a sealing material 50.

次に、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａに接着固定し、センサ素子２０とターミナル１０ａとをワイヤボンディングして結線する。   Next, the sensor element 20 integrated with the pedestal 30 is bonded and fixed to the first recess 11a of the connector case portion 11, and the sensor element 20 and the terminal 10a are connected by wire bonding.

次に、第１のポート部１２に第１のダイアフラム８１を上記接着剤１００を用いて接着するとともに、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａにオイル７０を注入し、コネクタケース部１１にＯリング９０をセットする。   Next, the first diaphragm 81 is bonded to the first port portion 12 using the adhesive 100, and the oil 70 is injected into the first recess 11 a of the connector case portion 11. Set the ring 90.

そして、真空中にて、コネクタケース部１１と第１のポート部１２とを、ネジ６０とナット６１とをネジ結合しながら一体化することにより、オイル７０の封止を行う。ここで、オイル７０中に気泡が入らないようにネジ６０によりネジ締めを行っていく。   Then, the oil case 70 is sealed by integrating the connector case portion 11 and the first port portion 12 while screwing the screw 60 and the nut 61 in a vacuum. Here, the screw 60 is tightened so that air bubbles do not enter the oil 70.

その後、第１のポート部１２と同様に、第２のポート部１３についても、第２のダイアフラム８２、オイル７０、Ｏリング９０を介在させながら、真空中にてコネクタケース部１１に対してナット６２を用いてネジ結合する。   Thereafter, as with the first port portion 12, the second port portion 13 is also nuts with respect to the connector case portion 11 in a vacuum while interposing the second diaphragm 82, the oil 70, and the O-ring 90. 62 is used for screw connection.

その後、特性調整や検査を行い、上記図１に示されるように、ケース１０に対してネジ部材１２０を介してブラケット１１０を取付固定する。そして、最後に、圧力導入部１２ｂ、１３ｂの溝１４０にシールリング１３０を圧入して保持させる。こうして、図１に示す圧力センサＳ１が完成する。   Thereafter, characteristic adjustment and inspection are performed, and the bracket 110 is attached and fixed to the case 10 via the screw member 120 as shown in FIG. Finally, the seal ring 130 is press-fitted and held in the grooves 140 of the pressure introducing portions 12b and 13b. Thus, the pressure sensor S1 shown in FIG. 1 is completed.

そして、できあがった圧力センサＳ１は、図２に示されるように、ＥＧＲ管２００を下側、圧力センサＳ１を上側とし、シールリング１３０を下向きにした状態で、ＥＧＲ管２００の搭載部にセットされる。   As shown in FIG. 2, the completed pressure sensor S1 is set on the mounting portion of the EGR pipe 200 with the EGR pipe 200 on the lower side, the pressure sensor S1 on the upper side, and the seal ring 130 facing downward. The

そして、ブラケット１１０を、図示しないネジ部材等によりＥＧＲ管２００に固定する。こうして、図２に示されるように、圧力センサＳ１のＥＧＲ管２００への組み付け構造が形成され、圧力センサＳ１による圧力検出が可能となる。   Then, the bracket 110 is fixed to the EGR pipe 200 with a screw member or the like (not shown). Thus, as shown in FIG. 2, an assembly structure of the pressure sensor S1 to the EGR pipe 200 is formed, and the pressure detection by the pressure sensor S1 becomes possible.

［特徴点等］
ところで、本実施形態によれば、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０と、リング状のシールリング１３０を介して被測定部材としてのＥＧＲ管２００に取り付けられ、ＥＧＲ管２００からセンサ素子２０へ圧力を導入するための圧力導入部１２ｂ、１３ｂとを備え、圧力導入部１２ｂ、１３ｂにおける取付面１２ｃ、１３ｃに、シールリング１３０を収納するリング状の溝１４０が設けられている圧力センサにおいて、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっていることを主たる特徴とする圧力センサＳ１が提供される。 [Feature points]
By the way, according to the present embodiment, the sensor element 20 as a pressure detecting sensing portion and the EGR pipe 200 as a member to be measured are attached via the ring-shaped seal ring 130, and the sensor element 20 is connected to the EGR pipe 200 from the EGR pipe 200. A pressure sensor including pressure introducing portions 12b and 13b for introducing pressure to the mounting surface 12c and 13c of the pressure introducing portions 12b and 13b. The pressure sensor S1 is mainly characterized in that a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 so that the seal ring 130 is held in the groove 140.

それによれば、シールリング１３０の一部が溝１４０に圧入されることによって、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるため、シールリング１３０を下向きにしても、シールリング１３０の溝１４０からの脱落が生じることはない。   According to this, since a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140, the seal ring 130 is held in the groove 140. Omission does not occur.

また、シールリング１３０の一部が溝１４０に圧入された状態とすればよいため、この圧入部以外では、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。   Further, since it is sufficient that a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140, the outer dimension of the groove 140 other than the press-fitted portion may be a dimension having a sufficient margin than the outer shape of the seal ring 130. it can.

具体的には、図３に示されるように、シールリング１３０のうち突起部１４１と接していない部位では、シールリング１３０の太さに対して溝１４０の幅を十分に広いものとすることができる。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出し（上記図１１参照）を、防止することができる。   Specifically, as shown in FIG. 3, the width of the groove 140 may be sufficiently wider than the thickness of the seal ring 130 in a portion of the seal ring 130 that is not in contact with the protrusion 141. it can. Thereby, the protrusion of the seal ring from the groove as described above (see FIG. 11) can be prevented.

よって、本実施形態の圧力センサＳ１によれば、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。   Therefore, according to the pressure sensor S <b> 1 of the present embodiment, it is possible to prevent the seal ring 130 from falling off and being damaged during the assembly to the EGR pipe 200 that is the member to be measured.

そして、本実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入される状態を、溝１４０の側面に突起部１４１を形成し、この突起部１４１においてシールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されるようにすることで適切に実現している。   In this embodiment, a state in which a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 is formed with a protrusion 141 on the side surface of the groove 140, and a part of the seal ring 130 is formed in the groove 141. Appropriately realized by press-fitting 140.

また、上述したが、好ましい形態によれば、突起部１４１の表面を凸曲面形状としている（上記図３参照）。このようにすることによって、突起部１４１に角部がなくなるので、当該突起部１４１に対して圧入されるシールリング１３０が傷つくのを防止することができ、好ましい。   Further, as described above, according to a preferred embodiment, the surface of the protrusion 141 is formed in a convex curved surface shape (see FIG. 3 above). By doing so, there is no corner in the protrusion 141, and thus it is possible to prevent the seal ring 130 press-fitted into the protrusion 141 from being damaged, which is preferable.

さらに、好ましい形態として、突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面を、突起部１４１の根元側から先端側に向かって取付面１２ｃ、１３ｃから離れる方向に傾斜したテーパ面１４１ａとしている（上記図３参照）。   Furthermore, as a preferable form, the surface on the mounting surface 12c, 13c side of the protrusion 141 is a tapered surface 141a inclined in a direction away from the mounting surfaces 12c, 13c from the base side to the tip side of the protrusion 141 (described above). (See FIG. 3).

それによれば、突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面をこのようなテーパ面１４１ａとすることにより、ＥＧＲ管２００への組み付け時に、シールリング１３０のうち突起部１４１に接して圧入されている部分が、取付面１２ｃ、１３ｃとＥＧＲ管２００との間にはみだして挟まることを防止できる。すなわち、突起部１４１におけるシールリング１３０の噛み込みを防止することができる。   According to this, the surface on the mounting surface 12c, 13c side of the projection 141 is such a tapered surface 141a, so that it is press-fitted in contact with the projection 141 of the seal ring 130 when assembled to the EGR pipe 200. It can prevent that the part which protrudes sticks out between the attachment surfaces 12c and 13c and the EGR pipe | tube 200. FIG. That is, it is possible to prevent the seal ring 130 from being caught in the protrusion 141.

また、突起部１４１における取付面１２ｃ、１３ｃ側の面を上記テーパ面１４１ａとすることにより、溝１４０へのシールリング１３０の挿入がスムーズなものとなるため、シールリング１３０の組み付け性を向上させることができるという利点もある。   In addition, since the mounting surface 12c, 13c side surface of the protrusion 141 is the tapered surface 141a, the seal ring 130 can be smoothly inserted into the groove 140, so that the assembly of the seal ring 130 is improved. There is also an advantage of being able to.

［変形例］
図５において（ａ）、（ｂ）は、ともに本実施形態の変形例を示す図であり、溝１４０の平面図である。 [Modification]
5A and 5B are diagrams showing a modification of the present embodiment, and are plan views of the groove 140. FIG.

上記図３では、溝１４０の外周側の側面に突起部１４１が形成されていたが、この突起部１４１は、図５（ａ）に示されるように、溝１４０の内周側の側面に形成してもよく、さらには、図５（ｂ）に示されるように、溝１４０の内周側および外周側の両方の側面に形成してもよい。   In FIG. 3, the protrusion 141 is formed on the outer peripheral side surface of the groove 140. However, the protrusion 141 is formed on the inner peripheral side surface of the groove 140 as shown in FIG. 5A. Further, as shown in FIG. 5B, the groove 140 may be formed on both the inner peripheral side and the outer peripheral side.

ここで、溝１４０の内周側の側面から突出する突起部１４１の場合、具体的には、当該突起部１４１の先端部が、シールリング１３０の内径にて規定される仮想円の外に飛び出すように、当該突起部１４１の突出長さを決めればよい。それにより、この突起部１４１においてシールリング１３０の圧入状態が実現される。   Here, in the case of the protrusion 141 protruding from the inner peripheral side surface of the groove 140, specifically, the tip of the protrusion 141 jumps out of the virtual circle defined by the inner diameter of the seal ring 130. Thus, the protrusion length of the protrusion 141 may be determined. Thereby, the press-fitted state of the seal ring 130 is realized at the protrusion 141.

また、本実施形態では、溝１４０の側面に形成された突起部１４１は、２個以上あることが好ましいが、溝１４０へのシールリング１３０の保持が十分になされるならば、突起部１４１は１つでもよい。   Further, in this embodiment, it is preferable that there are two or more protrusions 141 formed on the side surface of the groove 140. However, if the seal ring 130 is sufficiently held in the groove 140, the protrusion 141 is One may be sufficient.

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態の要部を示す図であり、本実施形態のシールリング１３０の特徴的構成を示す図である。なお、図６において、（ｂ）、（ｄ）は平面構成を示す図、（ａ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿った概略断面図、（ｃ）は（ｄ）のＤ−Ｄ線に沿った概略断面図である。 (Second Embodiment)
FIG. 6 is a diagram showing a main part of the second embodiment of the present invention, and is a diagram showing a characteristic configuration of the seal ring 130 of the present embodiment. 6, (b) and (d) are diagrams showing a planar configuration, (a) is a schematic sectional view taken along the line CC of (b), and (c) is a DD of (d). It is a schematic sectional drawing in alignment with the line.

上記実施形態では、突起部１４１が溝１４０の側面に形成されていたが、本実施形態では、溝１４０ではなく、シールリング１３０の表面に当該表面から突出する突起部１３１が形成されたものとしている。   In the above embodiment, the protrusion 141 is formed on the side surface of the groove 140. However, in this embodiment, the protrusion 131 protruding from the surface is formed on the surface of the seal ring 130 instead of the groove 140. Yes.

ここで、図６（ａ）、（ｂ）に示される例では、シールリング１３０の突起部１３１は、シールリング１３０の外周側面において円周方向に一回りする形で設けられている。また、図６（ｃ）、（ｄ）に示される例では、シールリング１３０の突起部１３１は、シールリング１３０の外周側面において複数個設けられている。   Here, in the example shown in FIGS. 6A and 6B, the protrusion 131 of the seal ring 130 is provided on the outer peripheral side surface of the seal ring 130 so as to make one turn in the circumferential direction. In the example shown in FIGS. 6C and 6D, a plurality of protrusions 131 of the seal ring 130 are provided on the outer peripheral side surface of the seal ring 130.

この図６（ｃ）、（ｄ）に示される例のように、突起部１３１を設ける場合には、突起部１３１は２個以上あることが好ましく、本例では、４個設けられている。また、図示しないが、シールリング１３０に突起部を設ける場合には、シールリング１３０の内周側面に設けてもよく、さらには、内周側面と外周側面との両方に設けてもよい。   As shown in the examples shown in FIGS. 6C and 6D, when the protrusions 131 are provided, it is preferable that there are two or more protrusions 131. In this example, four protrusions 131 are provided. Although not shown, when the protrusion is provided on the seal ring 130, it may be provided on the inner peripheral side surface of the seal ring 130, and may be provided on both the inner peripheral side surface and the outer peripheral side surface.

ここで、具体的に、シールリング１３０の外周側面から突出する突起部１３１の場合、その先端部が、溝１４０の外径にて規定される仮想円から飛び出すように、当該突起部１３１の突出長さを決めればよい。   Here, specifically, in the case of the protruding portion 131 protruding from the outer peripheral side surface of the seal ring 130, the protruding portion 131 protrudes so that the tip portion protrudes from a virtual circle defined by the outer diameter of the groove 140. Decide the length.

一方、シールリング１３０の内周側面から突出する突起部の場合、その先端部が、溝１４０の内径にて規定される仮想円内に入り込むように、当該突起部の突出長さを決めればよい。それにより、この突起部１３１においてシールリング１３０の圧入状態が実現される。   On the other hand, in the case of the protruding portion that protrudes from the inner peripheral side surface of the seal ring 130, the protruding length of the protruding portion may be determined so that the tip portion enters the virtual circle defined by the inner diameter of the groove 140. . Thereby, the press-fitted state of the seal ring 130 is realized at the protrusion 131.

このような突起部１３１を有するシールリング１３０を採用した本実施形態によれば、シールリング１３０は、このシールリング１３０の突起部１３１において溝１４０に対して圧入され、溝１４０に対して保持された状態となる。   According to the present embodiment employing the seal ring 130 having such a protrusion 131, the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 at the protrusion 131 of the seal ring 130 and is held against the groove 140. It becomes the state.

つまり、本実施形態においても、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるようになっている。   That is, also in this embodiment, when a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140, the seal ring 130 is held in the groove 140.

この場合についても、シールリング１３０の突起部１３１が溝１４０に圧入された状態とすればよいため、この圧入部以外では、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。   Also in this case, since the protrusion 131 of the seal ring 130 may be press-fitted into the groove 140, the outer dimension of the groove 140 is a dimension having a sufficient margin than the outer shape of the seal ring 130 except for the press-fitted part. It can be.

具体的には、シールリング１３０の突起部１３１以外の部位では、シールリング１３０の太さに対して溝１４０の幅を十分に広いものとすることができる。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出し（上記図１１参照）を、極力防止することができる。   Specifically, the width of the groove 140 can be made sufficiently wider than the thickness of the seal ring 130 at a portion other than the protrusion 131 of the seal ring 130. Thereby, the protrusion of the seal ring from the groove as described above (see FIG. 11) can be prevented as much as possible.

したがって、本実施形態の圧力センサによっても、上記実施形態と同様に、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。   Therefore, the pressure sensor according to the present embodiment can also prevent the seal ring 130 from falling off and being damaged when assembled to the EGR pipe 200 that is a member to be measured, as in the above embodiment.

また、図６（ｃ）、（ｄ）に示される例では、シールリング１３０の側面に形成された突起部１３１は、２個以上あることが好ましいが、溝１４０へのシールリング１３０の保持が十分になされるならば、当該突起部１３１は１つでもよい。   In the example shown in FIGS. 6C and 6D, it is preferable that there are two or more protrusions 131 formed on the side surface of the seal ring 130, but the seal ring 130 is held in the groove 140. If sufficient, the number of the protrusion 131 may be one.

（第３実施形態）
図７（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施形態の要部を示す図であり、本実施形態のシールリング１３０および溝１４０の平面構成を示す図である。なお、図７では、識別化を図るために便宜上シールリング１３０の表面にハッチングを施してある。 (Third embodiment)
FIGS. 7A and 7B are views showing the main part of the third embodiment of the present invention, and showing the planar configuration of the seal ring 130 and the groove 140 of the present embodiment. In FIG. 7, the surface of the seal ring 130 is hatched for the sake of convenience for identification.

上記各実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０を溝１４０内に保持する構成として、溝１４０もしくはシールリング１３０に突起部を設けた構成を採用していた。   In each of the above embodiments, as a configuration in which a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 to hold the seal ring 130 in the groove 140, a configuration in which a protrusion is provided in the groove 140 or the seal ring 130 Was adopted.

本実施形態では、このようなシールリング１３０の一部圧入による溝１４０への保持構成として、図７（ａ）に示されるように、シールリング１３０のリング形状を真円形状とし、溝１４０のリング形状を楕円形状とするか、それとは反対に、図７（ｂ）に示されるように、シールリング１３０のリング形状を楕円形状とし、溝１４０のリング形状を真円形状としている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 7A, the seal ring 130 has a perfect circular shape as a holding structure in the groove 140 by partial press-fitting of the seal ring 130, and the groove 140 The ring shape is an elliptical shape, or conversely, as shown in FIG. 7B, the ring shape of the seal ring 130 is an elliptical shape, and the ring shape of the groove 140 is a perfect circular shape.

ここで、真円形状であることとは、完全な真円でなくてもよい。たとえば、図７（ａ）に示される例では、楕円形状である方の溝１４０に比べて、シールリング１３０のリング形状がより真円に近い形状であればよい。   Here, being a perfect circle may not be a perfect circle. For example, in the example shown in FIG. 7A, the ring shape of the seal ring 130 may be a shape closer to a perfect circle as compared to the groove 140 having an elliptical shape.

それによって、図７に示されるように、シールリング１３０の側面の一部と溝１４０の側面の一部とが接する部分が形成され、この部分にてシールリング１３０が溝１４０に圧入され保持された状態となる。   As a result, as shown in FIG. 7, a portion where a part of the side surface of the seal ring 130 and a part of the side surface of the groove 140 are in contact is formed, and the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 and held at this portion. It becomes the state.

この場合についても、上記実施形態と同様に、シールリング１３０と溝１４０との圧入部以外では、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法とすることができる。   Also in this case, as in the above-described embodiment, the outer dimensions of the groove 140 can be made sufficiently larger than the outer shape of the seal ring 130 except for the press-fit portion between the seal ring 130 and the groove 140.

そのため、本実施形態の圧力センサによっても、上記実施形態と同様に、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。   Therefore, also by the pressure sensor of the present embodiment, it is possible to prevent the seal ring 130 from falling off and being damaged when assembled to the EGR pipe 200 that is a member to be measured, as in the above embodiment.

（第４実施形態）
図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の第４実施形態の要部を示す図であり、本実施形態の圧力導入部１２ｂ、１３ｂおよびシールリング１３０の概略断面構成を示す図である。 (Fourth embodiment)
FIGS. 8A and 8B are views showing the main part of the fourth embodiment of the present invention, and showing the schematic cross-sectional configuration of the pressure introducing portions 12b and 13b and the seal ring 130 of the present embodiment. .

上記各実施形態では、シールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０を溝１４０内に保持する構成を採用していたが、本実施形態では、図８に示されるように、シールリング１３０が溝１４０に接着された状態で溝１４０内に保持されていることを特徴としている。   In each of the above embodiments, a configuration in which a part of the seal ring 130 is press-fitted into the groove 140 to hold the seal ring 130 in the groove 140 is adopted. However, in this embodiment, FIG. As shown, the seal ring 130 is held in the groove 140 while being adhered to the groove 140.

具体的には、図８（ａ）に示されるように、溝１４０に接着剤１５０を塗布してシールリング１３０を溝１４０内に接着して保持させたり、それとは反対に、図８（ｂ）に示されるように、シールリング１３０に接着剤１５０を塗布してシールリング１３０を溝１４０内に接着して保持させることができる。   Specifically, as shown in FIG. 8A, an adhesive 150 is applied to the groove 140 so that the seal ring 130 is adhered and held in the groove 140. On the contrary, as shown in FIG. ), An adhesive 150 may be applied to the seal ring 130 to adhere and hold the seal ring 130 in the groove 140.

ここで、本実施形態では、上記実施形態に示したように溝１４０やシールリング１３０に突起部１３１、１４１を設けたり、溝１４０およびシールシング１３０のうち一方を真円形状、他方を楕円形状とするようなことはしなくてもよく、溝１４０およびシールシング１３０の形状は従来のままでよい。   Here, in the present embodiment, as shown in the above embodiment, the protrusions 131 and 141 are provided in the groove 140 and the seal ring 130, or one of the groove 140 and the seal ring 130 is a perfect circle shape, and the other is an elliptical shape. The shape of the groove 140 and the seal sing 130 may be the same as before.

本実施形態によれば、シールリング１３０が溝１４０に接着されることによって、シールリング１３０は溝１４０内に保持されるため、シールリング１３０を下向きにしても、シールリング１３０の溝１４０からの脱落が生じることはない。   According to the present embodiment, since the seal ring 130 is bonded to the groove 140, the seal ring 130 is held in the groove 140. Therefore, even if the seal ring 130 is faced downward, the seal ring 130 is removed from the groove 140. Omission does not occur.

また、シールリング１３０を溝１４０に接着すればよいため、溝１４０の外形寸法をシールリング１３０の外形よりも十分余裕のある寸法としてもかまわない。それにより、上記した従来のような溝からのシールリングのはみ出し（上記図１１参照）を、極力防止することができる。   Further, since the seal ring 130 may be bonded to the groove 140, the outer dimension of the groove 140 may be a dimension having a sufficient margin than the outer shape of the seal ring 130. Thereby, the protrusion of the seal ring from the groove as described above (see FIG. 11) can be prevented as much as possible.

よって、本実施形態の圧力センサによれば、上記実施形態と同様に、被測定部材であるＥＧＲ管２００への組み付け時におけるシールリング１３０の脱落および損傷を防止することができる。   Therefore, according to the pressure sensor of the present embodiment, it is possible to prevent the seal ring 130 from falling off and being damaged when assembled to the EGR pipe 200 that is the member to be measured, as in the above embodiment.

なお、本実施形態は、上記各実施形態に示したようなシールリング１３０の一部が溝１４０に対して圧入されることにより、シールリング１３０を溝１４０内に保持する構成に対しても、組み合わせて採用できることは明らかである。   In the present embodiment, a part of the seal ring 130 as shown in each of the above embodiments is press-fitted into the groove 140 so that the seal ring 130 is held in the groove 140. It is clear that they can be used in combination.

（他の実施形態）
なお、上記第１および第２実施形態では、突起部１３１、１４１を、溝１４０およびシールリング１３０のどちらか一方に設けたものとしたが、溝１４０およびシールリング１３０の両方に突起部を設けた構成であってもかまわない。 (Other embodiments)
In the first and second embodiments, the protrusions 131 and 141 are provided in either the groove 140 or the seal ring 130. However, the protrusions are provided in both the groove 140 and the seal ring 130. It may be a different configuration.

また、上記した差圧検出型の圧力センサＳ１は、被測定部材としてのＥＧＲ管２００以外にも、エンジンの吸気管内の吸気圧や排気管内の排気圧を検出するものとしても適用することができる。   In addition to the EGR pipe 200 as a member to be measured, the above-described differential pressure detection type pressure sensor S1 can be applied to detect an intake pressure in an engine intake pipe or an exhaust pressure in an exhaust pipe. .

たとえば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために圧力センサを排気管に取り付け、該ＤＰＦの前後の排気管の差圧を検出する差圧検出型の圧力センサとしても適用することができる。   For example, a pressure sensor is attached to an exhaust pipe in order to detect a pressure loss of a DPF (diesel particulate filter) provided in an exhaust pipe of an automobile diesel engine, and a difference in which a differential pressure between exhaust pipes before and after the DPF is detected. It can also be applied as a pressure detection type pressure sensor.

また、本発明は、センシング部と圧力導入部とを備え、圧力導入部をシールリングを介して直接被測定部材に取り付けるようにしたダイレクトマウント構造を採用する圧力センサであれば、差圧（相対圧）検出型の圧力センサ以外にも、絶対圧を検出するタイプの圧力センサにも適用することができる。   Further, the present invention provides a differential pressure (relative) as long as the pressure sensor employs a direct mount structure including a sensing unit and a pressure introducing unit, and the pressure introducing unit is directly attached to a member to be measured via a seal ring. In addition to a pressure detection type pressure sensor, the present invention can also be applied to a pressure sensor that detects absolute pressure.

具体的に、上記差圧検出型の圧力センサでは、センシング部の両面に測定圧力を受圧させるものであったが、絶対圧を検出するタイプの圧力センサは、センシング部の一方の面側が基準圧（たとえば大気圧）となっており、他方面側に測定圧力を受圧させるタイプのものである。   Specifically, in the differential pressure detection type pressure sensor, the measurement pressure is received on both sides of the sensing unit. However, in the pressure sensor of the type that detects absolute pressure, one side of the sensing unit has a reference pressure. (For example, atmospheric pressure), and the other surface side receives the measurement pressure.

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面構成を示す図である。It is a figure which shows schematic sectional structure of the pressure sensor which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た構成を示す一部切り欠き断面図である。FIG. 2 is a partially cutaway cross-sectional view showing a configuration viewed from the direction of arrow A in FIG. 上記図１に示される圧力センサにおける圧力導入部の近傍部の詳細構成を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the detailed structure of the vicinity part of the pressure introducing | transducing part in the pressure sensor shown by the said FIG. 上記図１に示される圧力センサの分解図である。It is an exploded view of the pressure sensor shown by the said FIG. 上記第１実施形態の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the said 1st Embodiment. 本発明の第２実施形態に係るシールリングの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the seal ring which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るシールリングおよび溝の平面構成を示す図であるIt is a figure which shows the planar structure of the seal ring and groove | channel which concern on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る圧力導入部およびシールリングの概略断面構成を示す図である。It is a figure which shows schematic sectional structure of the pressure introduction part and seal ring which concern on 4th Embodiment of this invention. 従来の圧力センサのＥＧＲ管への組み付けの一般的な例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the general example of the assembly | attachment to the EGR pipe | tube of the conventional pressure sensor. 図９中の圧力センサにおける圧力導入部の取付面およびシールリングの形状を示す図であり、（ａ）は圧力導入部の断面図、（ｂ）は取付面の平面図、（ｃ）は取付面に形成された溝とシールリングとの寸法関係を示すための図であるIt is a figure which shows the attachment surface of the pressure introduction part in the pressure sensor in FIG. 9, and the shape of a seal ring, (a) is sectional drawing of a pressure introduction part, (b) is a top view of an attachment surface, (c) is attachment It is a figure for showing the dimensional relationship between the groove | channel formed in the surface, and the seal ring. 従来の断面角形のシールリングを用いた溝への圧入構造を示す概略断面図であり、（ａ）はシールリングと溝との寸法関係を示す図、（ｂ）は圧入後の状態を示す図、（ｃ）はセンサ組み付け後の状態を示す図である。It is a schematic sectional drawing which shows the press-fit structure to the groove | channel using the conventional square-shaped seal ring, (a) is a figure which shows the dimensional relationship of a seal ring and a groove | channel, (b) is a figure which shows the state after press-fitting (C) is a figure which shows the state after sensor assembly | attachment.

符号の説明Explanation of symbols

１２ｂ、１３ｂ…圧力導入部、
１２ｃ、１３ｃ…圧力導入部における被測定部材への取付面、
２０…センシング部としてのセンサ素子、１３０…シールリング、
１３１…シールリングの表面に形成された突起部、１４０…溝、
１４１…溝の側面に形成された突起部、１４１ａ…テーパ面、
２００…被測定部材としてのＥＧＲ管。 12b, 13b ... pressure introduction part,
12c, 13c ... attachment surface to the member to be measured in the pressure introduction part,
20 ... Sensor element as sensing part, 130 ... Seal ring,
131 ... Projections formed on the surface of the seal ring, 140 ... grooves,
141 ... Projection formed on the side surface of the groove, 141a ... Tapered surface,
200: EGR pipe as a member to be measured.

Claims (12)

圧力検出用のセンシング部（２０）と、
リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、前記被測定部材（２００）から前記センシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、
前記圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における前記被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、前記シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、
前記シールリング（１３０）の一部が前記溝（１４０）に対して圧入されることにより、前記シールリング（１３０）は前記溝（１４０）内に保持されるようになっていることを特徴とする圧力センサ。 A sensing unit (20) for pressure detection;
Pressure introducing portions (12b, 13b) which are attached to the member to be measured (200) via a ring-shaped seal ring (130) and introduce pressure from the member to be measured (200) to the sensing portion (20). And
A ring-shaped groove (140) for accommodating the seal ring (130) is provided on the attachment surface (12c, 13c) of the pressure introducing portion (12b, 13b) to the member to be measured (200). In the pressure sensor,
A part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140), so that the seal ring (130) is held in the groove (140). Pressure sensor. 前記溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、
当該突起部（１４１）において前記シールリング（１３０）の一部が、前記溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 A protrusion (141) protruding from the side surface is formed on the side surface of the groove (140).
The pressure sensor according to claim 1, wherein a part of the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140) in the protrusion (141). 前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）の表面は、凸曲面形状となっていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 2, wherein the surface of the protrusion (141) formed on the side surface of the groove (140) has a convex curved surface shape. 前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）における前記取付面（１２ｃ、１３ｃ）側の面は、当該突起部（１４１）の根元側から先端側に向かって前記取付面（１２ｃ、１３ｃ）から離れる方向に傾斜したテーパ面（１４１ａ）となっていることを特徴とする請求項２または３に記載の圧力センサ。 The surface on the attachment surface (12c, 13c) side of the projection (141) formed on the side surface of the groove (140) is the attachment surface (from the root side to the tip side of the projection (141)). 12. The pressure sensor according to claim 2, wherein the pressure sensor has a tapered surface (141 a) inclined in a direction away from 12 c, 13 c). 前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）は、２個以上であることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to any one of claims 2 to 4, wherein the number of the protrusions (141) formed on the side surface of the groove (140) is two or more. 前記シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、
前記シールリング（１３０）は、当該突起部（１３１）において前記溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 A protrusion (131) protruding from the surface is formed on the surface of the seal ring (130).
The pressure sensor according to claim 1, wherein the seal ring (130) is press-fitted into the groove (140) at the protrusion (131). 前記シールリング（１３０）の表面に形成された前記突起部（１３１）は、２個以上であることを特徴とする請求項６に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 6, wherein the number of the protrusions (131) formed on the surface of the seal ring (130) is two or more. 前記溝（１４０）の側面には、当該側面から突出する突起部（１４１）が形成されており、
前記シールリング（１３０）の表面には、当該表面から突出する突起部（１３１）が形成されており、
前記溝（１４０）の側面に形成された前記突起部（１４１）および前記シールリング（１３０）の表面に形成された前記突起部（１３１）において、前記シールリング（１３０）が、前記溝（１４０）に対して圧入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 A protrusion (141) protruding from the side surface is formed on the side surface of the groove (140).
A protrusion (131) protruding from the surface is formed on the surface of the seal ring (130).
In the protrusion (141) formed on the side surface of the groove (140) and the protrusion (131) formed on the surface of the seal ring (130), the seal ring (130) is formed in the groove (140). The pressure sensor according to claim 1, wherein the pressure sensor is press-fitted into the pressure sensor. 前記シールリング（１３０）のリング形状が真円形状であり、前記溝（１４０）のリング形状が楕円形状であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to any one of claims 1 to 8, wherein the ring shape of the seal ring (130) is a perfect circle shape, and the ring shape of the groove (140) is an elliptical shape. 前記シールリング（１３０）のリング形状が楕円形状であり、前記溝（１４０）のリング形状が真円形状であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to any one of claims 1 to 8, wherein a ring shape of the seal ring (130) is an elliptical shape, and a ring shape of the groove (140) is a perfect circle shape. 圧力検出用のセンシング部（２０）と、
リング状のシールリング（１３０）を介して被測定部材（２００）に取り付けられ、前記被測定部材（２００）から前記センシング部（２０）へ圧力を導入するための圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）とを備え、
前記圧力導入部（１２ｂ、１３ｂ）における前記被測定部材（２００）への取付面（１２ｃ、１３ｃ）には、前記シールリング（１３０）を収納するリング状の溝（１４０）が設けられている圧力センサにおいて、
前記シールリング（１３０）は、前記溝（１４０）に接着された状態で前記溝（１４０）内に保持されていることを特徴とする圧力センサ。 A sensing unit (20) for pressure detection;
Pressure introducing portions (12b, 13b) which are attached to the member to be measured (200) via a ring-shaped seal ring (130) and introduce pressure from the member to be measured (200) to the sensing portion (20). And
A ring-shaped groove (140) for accommodating the seal ring (130) is provided on the attachment surface (12c, 13c) of the pressure introducing portion (12b, 13b) to the member to be measured (200). In the pressure sensor,
The pressure sensor, wherein the seal ring (130) is held in the groove (140) in a state of being bonded to the groove (140). 前記シールリング（１３０）は、前記溝（１４０）に接着されていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の圧力センサ。
The pressure sensor according to any one of claims 1 to 10, wherein the seal ring (130) is bonded to the groove (140).
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