JP4865628B2 - プラズマディスプレイパネル用背面板及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネル用背面板及びその製造方法に関し、特に背面板が備える蛍光体層及びその形成方法に関するものである。

高品位テレビジョン画像を大画面で表示するためのディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）を用いたディスプレイ装置への期待が高まっている。
ＰＤＰは、前面板と背面板とを対向配置して周辺部を封着部材によって封着した構造を有している。前面板と背面板との間には放電空間が形成され、当該放電空間にはネオン（Ｎｅ）及びキセノン（Ｘｅ）などの放電ガスが封入されている。

前面板は、ガラス基板の一方の面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とで構成される複数の表示電極対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層及び保護層とを備えている。
背面板は、ガラス基板の一方の面に表示電極対と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画するようにストライプ状に形成された隔壁と、互い隣り合う隔壁の側面と下地誘電体層とで形成される溝部に順次塗布された赤色、緑色、及び青色の蛍光体層とを備えている。

表示電極対とアドレス電極とは互いに直交しており、その交差部が放電セルになる。これらの放電セルはマトリクス状に配列されており、表示電極対の延在方向に並ぶ赤色、緑色、及び青色の蛍光体層を有する３個の放電セルが、カラー表示のための画素になる。ＰＤＰは、順次、走査電極−アドレス電極間、及び走査電極−維持電極間に所定の電圧を印加してガス放電を発生させ、そのガス放電によって生じる紫外線で蛍光体層を励起して可視光を発光させることによりカラー画像を表示することができる。

近年、ＰＤＰの高精細化に伴って、放電セルの微細化が進んでいる。放電セルのサイズが小さくなると、輝度が低下すると共に、放電開始電圧が上昇するという課題がある。放電開始電圧が上昇すると、前面板の表示電極対間の容量の変動が大きく影響して、放電不良を起こす放電セル（以下、放電不良セルという）が増加する。特に背面板の蛍光体層の一部（以下、蛍光体という）が前面板の表示電極対間に付着した場合には、放電が阻害されて放電不良セルが増加することとなる。

前面板への蛍光体の付着は、前面板と背面板の封着時又は搬送時に背面板の隔壁に力が加わり、隔壁の頂部又は側面上に形成された蛍光体層が部分的に破壊して飛散することにより発生する。
この蛍光体の飛散を抑制する方法としては、例えば、特許文献１〜３に開示された方法がある。特許文献１には、表面に粘着性を備えた弾性粘着層を隔壁の頂部に押し付けることにより、隔壁の頂部付近の蛍光体を除去する方法が開示されている。また、特許文献２，３には、蛍光体の層厚を、表示品質を確保する観点から理想的な形状を形成する方法が開示されている。
特開２０００−１２３７３０号公報 特開平１１−９６９２２号公報 特開平２０００−２６０３３０号公報

しかしながら、近年のＰＤＰの高精細化に伴い、放電セルを構成する各要素の形状精度はさらに高精度が要求されている。例えば、隔壁の頂部付近の側面上に形成された蛍光体層の膜厚精度は、通常のＶＧＡレベルの表示を行うＰＤＰではそれほど要求されないが、ハイディフィニッションレベルの表示を行うＰＤＰでは、前面板の表示電極対間への蛍光体の付着が例え僅かであっても放電不良が発生して画像表示品質が低下することがあるため、高い膜厚精度が要求される。

これに対して、例えば特許文献１に開示された方法では、表面に粘着性を備えた弾性粘着層を隔壁の頂部に押し付けることにより、隔壁の頂部の蛍光体を除去する際、弾性粘着層が弾性変形するために、隔壁の頂部の蛍光体だけでなく、隔壁の頂部付近の側面上に形成された蛍光体をも除去してしまうことがあり得る。この際、弾性粘着層の弾性変形量は、隔壁の形状及び弾性粘着層に付加する圧力に依存するため、隔壁の頂部付近の側面上に形成された蛍光体層の膜厚に大きなばらつきが生じてしまう。したがって、特許文献１の方法では、蛍光体層の膜厚精度を高くすることが困難であるため、当該膜厚のばらつきにより蛍光体の飛散を抑えることができず、放電不良を防止できない。すなわち、特許文献１の方法では、ＰＤＰが高精細化して放電セルが微細化することに対応することは困難である。

従って、本発明の目的は、このような従来の課題を解決することにあって、蛍光体の飛散による放電不良を抑制でき、且つＰＤＰの高精細化に対応することができるＰＤＰ用背面板及びその製造方法を提供することにある。

本発明の第１態様によれば、基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
前記溝部の全体に蛍光体予備層を配置したのち、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に配置された前記蛍光体予備層の一部を除去することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
前記除去される蛍光体予備層の一部の除去幅Ｐｘと前記バス電極の幅Ｂｘとが、０．５＜Ｐｘ／Ｂｘ＜２．０の関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法を提供する。

本発明の第２態様によれば、基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
前記溝部の全体に蛍光体予備層を配置したのち、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に配置された前記蛍光体予備層の一部を除去することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
前記除去される蛍光体予備層の一部の除去高さＰｙと前記バス電極の厚さＢｙとが、３＜Ｐｙ／Ｂｙの関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板を提供する。

本発明の第３態様によれば、基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に撥水層を配置したのち、前記溝部に前記蛍光体層を配置することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
前記撥水層の形成幅Ｒｘと前記バス電極の幅Ｂｘとが、０．５＜Ｒｘ／Ｂｘ＜２．０の関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法を提供する。

本発明の第４態様によれば、基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に撥水層を配置したのち、前記溝部に前記蛍光体層を配置することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
前記撥水層の形成高さＲｙと前記バス電極の厚さＢｙとが、３．０＜Ｒｙ／Ｂｙの関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法を提供する。

本発明の第５態様によれば、基板上に電極が形成され、前記電極上に誘電体層が形成され、前記誘電体層上に複数の隔壁が形成され、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層が順次形成されたプラズマディスプレイパネル用背面板であって、
前記蛍光体層は、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域を除いて形成され、
前記近傍領域の幅Ｅｘと前記バス電極の幅Ｂｘとが、０．５＜Ｅｘ／Ｂｘ＜２．０の関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板を提供する。

本発明の第６態様によれば、基板上に電極が形成され、前記電極上に誘電体層が形成され、前記誘電体層上に複数の隔壁が形成され、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層が順次形成されたプラズマディスプレイパネル用背面板であって、
前記蛍光体層は、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域を除いて形成され、
前記近傍領域の高さＥｙと前記バス電極の厚さＢｙとが、３．０＜Ｅｙ／Ｂｙの関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板を提供する。

本発明にかかるプラズマディスプレイ用背面板の製造方法によれば、溝部に蛍光体層を形成するとき、蛍光体層が隔壁のバス電極対向部分の近傍領域を除いて形成されるようにしている。すなわち、蛍光体層が部分的に破壊し飛散しやすい前記近傍領域には、蛍光体層を形成しないようにしている。これにより、蛍光体層の一部の飛散による放電不良を抑制することができ、且つＰＤＰの高精細化に対応することができるＰＤＰ用背面板を高歩留まりで製造することができる。

また、本発明にかかるプラズマディスプレイパネル用背面板によれば、隔壁のバス電極対向部分の近傍領域を除いて蛍光体層が形成されているので、蛍光体層の一部の飛散による放電不良を抑制することができ、且つＰＤＰの高精細化に対応することができる。

本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
以下、本発明の最良の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

《第１実施形態》
図１を用いて、本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板（以下、背面板２という）を備えるＰＤＰ１００の構成について説明する。図１は、本発明の第１実施形態にかかる背面板２を備えたＰＤＰ１００の一部を示す斜視図である。

図１において、ＰＤＰ１００は、ＰＤＰ用前面板１と、前面板１に対向配置された背面板２とを備えている。前面板１と背面板２との間の外周部には、ガラスフリットなどの封着部材（図示せず）が配置されている。当該封着部材によって、ＰＤＰ１００が機密封着され、ＰＤＰ１００の内部に放電空間３０が形成されている。放電空間３０には、例えばネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）などの放電ガスが封入されている。

前面板１は、ガラス等で構成された前面基板１０を備えている。前面基板１０の一面上には、帯状の表示電極対１１とブラックストライプ（遮光層）１４とが、互いに平行に複数配列されている。表示電子対１１は、帯状の走査電極１２と維持電極１３とで構成されている。走査電極１２と維持電極１３とは、それぞれ可視光を透過する透明電極（図示せず）と、当該透明電極上に配置され、各電極の抵抗を低くするためのバス電極（図１では図示せず、図３では１２ａ，１３ａと示す）とで構成されている。

また、前面基板１０の一面上には、それぞれの表示電極対１１及びブラックストライプ１４を覆うように誘電体層１５が形成されている。このように形成されることにより、誘電体層１５はコンデンサとしての働きをする。誘電体層１５上には、電極保護のため、誘電体層１５を覆うように保護層１６が設けられている。

背面板２は、ガラス等で構成された基板の一例である背面基板２０を備えている。背面基板２０の一面上には、電極の一例である複数の帯状のアドレス電極２１が、それぞれ表示電極対１６に直交するとともに、互いに平行に配置されている。

また、背面基板２０の一面上には、それぞれのアドレス電極２１を覆うように誘電体層の一例である下地誘電体層２２が配置されている。下地誘電体層２２上には、放電空間３０をアドレス電極２１毎に区画するように、アドレス電極２１の延在方向と平行に複数の隔壁２３が配列されている。互いに隣り合う隔壁２３，２３の側面と下地誘電体層２２とで形成される溝部２４には、紫外線により赤色、緑色、及び青色に発光する蛍光体層２５が順次、塗布されている。なお、本第１実施形態においては、前面板１の走査電極１２及び維持電極１２のバス電極（図３では１２ａ，１３ａと示す）に対向する隔壁２３のバス電極対向部分（図３では２３ａと示す）の近傍領域（図３では２３ｂと示す）には、後で詳しく説明するように、蛍光体層２５が存在しないようになっている。

上記構成により、表示電極対１２とアドレス電極２１とが互いに直交する交差部には、それぞれ放電セル３１が形成される。すなわち、放電セル３１はマトリクス状に配列されている。これらの放電セル３１がＰＤＰ１００の画像表示領域となり、表示電極対１１の延在方向に並ぶ赤色、緑色、及び青色の蛍光体層２５を有する３個の放電セル３１が、カラー表示のための画素となる。

例えば外部に設置された駆動回路から、走査電極１２−アドレス電極２１間、及び走査電極１２−維持電極１３間に各種駆動信号が順次印加されると、各放電セル３１内にガス放電が発生し、そのガス放電により紫外線が発生する。ＰＤＰ１００は、このようにして各放電セル３１内に発生した紫外線が、各放電セル３１に対応する蛍光体層２５を励起して可視光を発光させることにより、カラー映像を表示することができる。

次に、図２Ａ〜図２Ｆ、図３Ａ、及び図３Ｂを用いて、背面板２の製造方法について、各部材の材質及び厚さ、形成方法等を例示しながら詳細に説明する。図２Ａ〜図２Ｆはそれぞれ、背面板２の製造方法を模式的に示す図である。図３Ａは、背面板２と、前面板１のバス電極１２ａ，１３ａとの配置関係を模式的に示す拡大斜視図である。図３Ｂは、背面板２と、蛍光体層形成工程において用いるマスク３２との配置関係を示す拡大斜視図である。

まず、図２Ａに示すように、背面基板２０上にアドレス電極２１をストライプ状に形成する（電極形成工程）。

このとき、背面基板２０には、厚さ１．０ｍｍ〜３．０ｍｍ程度の、ソーダライムガラス、高歪み点ガラス、又は各種セラミックスなどで構成される絶縁基板を使用することができる。アドレス電極２１は、銀を主成分とした導電性ペーストをスクリーン印刷法により形成することができる。また、アドレス電極２１は、銀を主成分とした感光性ペーストをダイコート法、又は印刷法などによって背面基板２０に塗布した後、１００℃〜２００℃で乾燥し、露光及び現像するフォトリソグラフィー法によりパターンニングすることで形成することもできる。さらに、アドレス電極２１は、ディスペンス法、インクジェット法などの他の方法によって形成することもできる。
なお、アドレス電極２１は、塗布及び乾燥後に、さらに４００℃〜７００℃で焼成されることが好ましく、膜厚は１μｍ〜４μｍの範囲内で形成されることが好ましい。

次に、図２Ｂに示すように、アドレス電極２１を形成した背面基板２０上に、アドレス電極２１を覆うように下地誘電体層２２を形成する（誘電体層形成工程）。
このとき、下地誘電体層２２は、ダイコート法又は印刷法などにより形成することができる。

次に、図２Ｃに示すように、下地誘電体層２２上に、複数の隔壁２３をストライプ状に形成する（隔壁形成工程）。

このとき、隔壁２３は、以下のようにして形成することができる。
まず、低融点ガラスと、フィラーなどを含む無機材料粉末と、バインダー樹脂などを含む有機性添加物と、有機溶剤とを含有するペーストを、ダイコート法又は印刷法などにより下地誘電体層２２に塗布して膜を形成する。その後、当該膜を１００℃〜２００℃で乾燥する。次いで、乾燥後の膜を、露光及び現像するフォトリソグラフィー法によりパターンニングし、４００℃〜７００℃で焼成する。これにより、隔壁２３を下地誘電体層２２上に形成することができる。
なお、隔壁２３は、サンドブラスト法、エッチング法、又は成型法によって形成することもできる。また、隔壁２３は、下地誘電体層２２上にストライプ状に形成することに限定されず、井桁状などの他の形状で形成してもよい。

次に、図２Ｄに示すように、互いに隣接する隔壁２３，２３と下地誘電体層２２とで形成される溝部２４にそれぞれ、蛍光体予備層２５ａを配置する（蛍光体予備層配置工程）。

このとき、蛍光体予備層２５ａは、以下のようにして配置することができる。
まず、蛍光体粉末と、バインダーなどを含む有機性添加物と、有機溶剤とを含有するペーストを、ダイコート法、印刷法、ディスペンス法、又はインクジェット法などにより溝部２４に塗布して膜を配置する。その後、当該膜を１００℃〜２００℃で乾燥する。これにより、蛍光体予備層２５ａを溝部２４に配置することができる。
蛍光体粉末としては、赤色、緑色、及び青色のそれぞれ公知の蛍光体粉末が使用できる。例えば、赤色の蛍光体粉末としては、Ｙ_２Ｏ_３：Ｅｕ、ＹＶＯ_４：Ｅｕ、Ｙ_２Ｏ_３Ｓ：Ｅｕなどが使用でき、緑色の蛍光体粉末としては、Ｚｎ_２ＧｅＯ_２：Ｍ、ＢａＡｌ_１２Ｏ_１９：Ｍｎ、ＬａＰＯ_４：Ｔｂなどが使用できる。青色の蛍光体粉末としては、Ｓｒ_５（ＰＯ_４）_３Ｃｌ：Ｅｕ、ＢａＭｇ_２Ａｌ_１４Ｏ_２４：Ｅｕなどが使用できる。

次に、図２Ｅ、図２Ｆ、図３Ａ、又は図３Ｂに示すように、バス電極１２ａ，１３ａに対向する位置に配置される、隔壁２３の頂部のバス電極対向部分２３ａの近傍領域２３ｂに配置された蛍光体予備層２５ａの一部を除去する（蛍光体予備層除去工程）。
なお、図２Ｆは、前面板１のバス電極１２ａ，１３ａを通るように切った背面板２の断面を示している。また、図３Ａ及び図３Ｂでは、図を見やすくするため、蛍光体予備層２５ａの一部を除去する近傍領域２３ｂを一箇所のみ示している。

蛍光体予備層２５ａの一部の除去は、図２Ｅ及び図３Ｂに示すように、感光性フィルム又は金属などで形成されたマスク３２を用いて、サンドブラスト法により行うことができる。

まず、近傍領域２３ｂに配置され乾燥された蛍光体予備層２５ａの一部の上方に、マスク３２に設けた複数の開口部３２ａが位置するように位置合わせする。なお、それぞれの開口部３２ａは、隔壁２３の延在方向と直交する方向の長さが隔壁２３上に配置された蛍光体予備層２５ａの厚みにほぼ一致し、隔壁２３の延在方向に平行な方向の長さが、後述する蛍光体予備層２５ａの除去幅Ｐｘとほぼ一致するように形成されている。
上記位置合わせ後、粒子径３μｍ〜２０μｍのステンレス鋼、セラミックス等の微粒子３３を、マスク３２の複数の開口部３２ａを通じて近傍領域２３ｂに配置され乾燥された蛍光体予備層２５ａの一部に、高圧エア３４で吹き付ける。これにより、当該蛍光体予備層２５ａの一部を除去することができる。
なお、高圧エア３４により蛍光体予備層２５ａの一部に吹き付けた微粒子３３は、蛍光体予備層２５ａ上に残留することがないように、当該高圧エア３４により吹き飛すようにしている。
なお、ここでは、蛍光体予備層２５の一部を除去したものを蛍光体層２５という。本第１実施形態においては、上記蛍光体予備層配置工程と蛍光体予備層除去工程とで、蛍光体層２５を溝部２４に形成する蛍光体層形成工程が行われる。

なお、上記サンドブラスト法においては、マスク３２に代えて、例えば内径０．５ｍｍ以下の微小ノズルを用いてもよい。この場合、微小ノズルを通じて微粒子３３を蛍光体予備層２５ａの一部に供給することで、当該蛍光体予備層２５ａの一部を除去することができる。

また、レーザー又は加圧エアなどを用いて当該蛍光体予備層２５ａの一部を除去することもできる。
すなわち、レーザーを用いる場合には、近傍領域２３ｂに形成され乾燥された蛍光体予備層２５ａの一部上に、エキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、又はＣＯ２レーザー等を走査する（供給する）ことで、当該蛍光体予備層２５ａの一部を除去することができる。
一方、加圧エアを用いる場合には、蛍光体予備層２５ａを４００℃〜５００℃で焼成した後、近傍領域２３ｂに形成され焼成された蛍光体予備層２５ａの一部に、例えばマスク３２を介して５０〜３００Ｌ／ｍｉｎのエアを吹き付ける（供給する）ことで、当該蛍光体予備層２５ａの一部を除去することができる。

次に、図３及び図４を用いて、蛍光体予備層２５ａの一部を除去する大きさとして、好ましい大きさについて説明する。
なお、図３において、Ｂｘは、バス電極１２ａ又は１３ａの幅方向（隔壁２３の延在方向と平行な方向）の長さを示し、Ｂｙは、バス電極１２ａ又は１３ａの厚さ方向（隔壁２３の高さ方向と平行な方向）の長さを示している。例えば、バス電極幅Ｂｘは２０μｍ〜８０μｍの範囲内で設定され、バス電極厚さＢｙは３μｍ〜１０μｍの範囲内で設定される。
また、図３において、Ｐｘは、除去する蛍光体予備層２５ａの一部の除去幅（隔壁２３の延在方向と平行な方向の長さ）を示し、Ｐｙは、除去する蛍光体予備層２５ａの一部の除去高さ（隔壁２３の高さ方向と平行な方向の長さ）を示している。

図４は、蛍光体予備層２５ａの一部を除去していない従来のＰＤＰにおいて、バス電極幅Ｂｘを３０μｍに設定して放電不良を起こした放電不良セルを観察し、当該放電不良セルの蛍光体予備層２５ａの一部の欠落幅（隔壁２３の延在方向と平行な方向の長さ）に対する度数分布を示したグラフである。

図４より、従来のＰＤＰにおいては、蛍光体予備層２５ａの一部の欠落幅が、０μｍ〜１５μｍである放電不良セルが０個発生し、１５μｍ〜３０μｍである放電不良セルが１５個発生し、３０μｍ〜４５μｍである放電不良セルが７０個発生していることが分かる。また、図４より、従来のＰＤＰにおいては、蛍光体予備層２５ａの一部の欠落幅が、４５μｍ〜６０μｍである放電不良セルが４２個発生し、６０μｍ〜７５μｍである放電不良セルが９個発生し、７５μｍ以上である放電不良セルが１０個発生していることが分かる。

このことから、蛍光体予備層２５ａの一部を１５μｍ以上の長さ（幅）分だけ予め除去しておくことで、放電不良セルの発生を抑制できるものと考えられる。すなわち、除去幅Ｐｘを３０μｍに設定すれば、１５個の放電不良セルの発生を抑制でき、除去幅Ｐｘを４５μｍに設定すれば、８５（＝１５＋７０）個の放電不良セルの発生を抑制できる。また、除去幅Ｐｘを６０μｍに設定すれば、１２７（＝１５＋７０＋４２）個の放電不良セルの発生を抑制できる。言い換えれば、放電不良セルの総個数が１４８個（＝１５＋７０＋４２＋９＋１０）であるので、除去幅Ｐｘを６０μｍとすれば、放電不良セルの発生を約８６％（＝１２７／１４８）抑制することができることになる。

一方、除去幅Ｐｘを大きくすることは、ＰＤＰ１００の全体の輝度を低下させるとともに視野角にムラを生じさせることに繋がる。したがって、バス電極幅Ｂｘを３０μｍに設定したときには、除去幅Ｐｘは１５μｍ〜６０μｍの範囲内で設定されることが好ましい。すなわち、バス電極幅Ｂｘと除去幅Ｐｘとは、次式（１）の関係を満たすように設定されることが好ましい。
０．５＜Ｐｘ／Ｂｘ＜２．０・・・・・・（１）

なお、上記ではバス電極幅Ｂｘに応じて除去幅Ｐｘを設定するようにしたが、前面板１の走査電極１２及び維持電極１３とは、誘電体層１５及び保護層１６に覆われているため、前面板１と背面板２の隔壁２３との衝突は、走査電極１２又は維持電極１３の体積分だけ誘電体層１５及び保護層１６が盛り上がった部分で発生することになる。このため、好ましくは、上記盛り上がり部分の幅に応じて除去幅Ｐｘを設定するものとする。

一方、蛍光体予備層２５ａの一部の除去高さＰｙについても、除去高さＰｙが小さいと、蛍光体層２５が部分的に破壊して飛散する恐れがある。このため、バス電極厚さＢｙと除去高さＰｙとは、次式（２）の関係を満たすように設定されることが好ましい。
３．０＜Ｐｙ／Ｂｙ・・・・・・（２）

なお、蛍光体予備層２５ａの除去する部分は、表示電極１２又は維持電極１３の影になるため、除去高さＰｙを大きく設定しても、輝度への影響は少ない。したがって、上記（２）式では上限を設けなくてもよい。

以上、本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法によれば、蛍光体層２５が部分的に破壊して飛散する恐れのある部分を予め除去するようにしている。また、溝部２４の全体に蛍光体予備層２５ａを形成したのち、近傍領域２３ｂに位置する蛍光体予備層２５ａの一部を除去するようにしているので、蛍光体層２５の膜厚を、ばらつきなく、均一にすることができる。したがって、前面板１への蛍光体層２５の一部の付着による放電不良を抑制でき、且つＰＤＰの高精細化に対応できるＰＤＰを製造することができる。
また、本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板によれば、前面板１への蛍光体層２５の一部の付着による放電不良を抑制でき、且つＰＤＰの高精細化に対応できるＰＤＰを実現することができる。

《第２実施形態》
図５を用いて、本発明の第２実施形態にかかる背面板２の製造方法を説明する。図５は、本発明の第２実施形態にかかる背面板２の製造方法を模式的に示す図である。

上記第１実施形態においては、溝部２４に蛍光体予備層２５ａを配置したのち、近傍領域２３ｂに配置された蛍光体予備層２５ａの一部を除去して、蛍光体層２５を形成するようにした。本発明の第２実施形態にかかる背面板２の製造方法では、これに代えて、近傍領域２３ｂに予め撥水層２６を配置することにより、近傍領域２３ｂを除いた溝部２４に蛍光体層２５を形成するようにしている。それ以外の点は、第１実施形態と同様であるので重複する説明は省略し、相違する製造方法について、主に説明する。

上記隔壁形成工程終了後（図２Ｃ参照）、図５に示すように、バス電極対向部分２３ａの近傍領域２３ｂに撥水層２６を配置する（撥水層配置工程）。
ここで、撥水層２６の材料としては、蛍光体層２５をはじくことができる材料、例えばＯＤＳ、ＦＡＳ−３、ＦＡＳ−１３、ＦＡＳ−１７、ＯＭＳ、ＦＭＳ等のフッ素系材料、あるいはシリコーン系材料などを用いることができる。撥水層２６は、当該材料をディスペンス法、インクジェット法、又は印刷法などによって塗布したのち、乾燥させることで形成することができる。

次に、溝部２４に蛍光体層２５を配置する（蛍光体層配置工程）。
このとき、バス電極対向部分２３ａの近傍領域２３ｂには、撥水層２６が配置されているので、蛍光体層２５は配置されない。
上記撥水層配置工程及び蛍光体層配置工程により、上記第１実施形態と同様に、図２Ｆに示すように、バス電極対向部分２３ａの近傍領域２３ｂを除く溝部２４に蛍光体層２５が形成される。なお、本第２実施形態では、上記撥水層配置工程と蛍光体層配置工程とで、蛍光体層２５溝部２４に形成する蛍光体層形成工程が行われる。

なお、撥水層２６を配置した部分には、蛍光体層２５を配置しないようにすることができるので、撥水層２６の形成幅Ｒｘ（隔壁２３の延在方向と平行な方向の長さ）と前面板１のバス電極幅Ｂｘとは、次式（３）の関係を満たすように設定されることが好ましい。
０．５＜Ｒｘ／Ｂｘ＜２．０・・・・・・（３）

このように設定されることにより、上記第１実施形態と同様に、蛍光体層２５の一部が飛散することによる放電不良を大幅に抑制することができる。さらに、ＰＤＰ１００の全体の輝度の低下を抑えるとともに、視野角にムラが生じることを抑えることができる。
一方、撥水層２６の形成高さＲｙ（隔壁２３の高さ方向と平行な方向の長さ）と前面板１のバス電極厚さＢｙとは、次式（４）の関係を満たすように設定されることが好ましい。
３＜Ｒｙ／Ｂｙ・・・・・・（４）

このように設定されることにより、上記第１実施形態と同様に、蛍光体層２５の一部が飛散することによる放電不良を大幅に抑制することができる。

以上、本発明の第２実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法によれば、蛍光体層２５が部分的に破壊して飛散する恐れのある部分に、先に撥水層２６を配置して、当該部分には蛍光体層２５が配置されないようにしている。また、溝部２４の近傍領域２３ｂに撥水層２６を配置することにより、溝部２４の近傍領域２３ｂ以外の領域には、蛍光体層２５をばらつきなく均一に形成することができる。したがって、前面板１への蛍光体層２５の一部の付着による放電不良を抑制でき、且つＰＤＰの高精細化に対応することができるＰＤＰ用背面板を製造することができる。

なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、蛍光体層２５を溝部２４に形成するときに、撥水層２６を先に形成することなく、ディスペンス法、又はインクジェット法などにより、図３に示すように、バス電極対向部分２３ａの近傍領域２３ｂを除く溝部２４に蛍光体層２５を塗布するようにしてもよい。

なお、近傍部分２３ｂの幅及び高さは、上記第１実施形態における蛍光体予備層２５ａの一部の除去幅Ｐｘ、除去高さＰｙと同様に設定されるものである。すなわち、近傍部分２３ｂの幅をＥｘとしたとき、幅Ｅｘとバス電極幅Ｂｙとが、次式（５）の関係を満たすことが好ましい。
０．５＜Ｅｘ／Ｂｘ＜２．０・・・・・・（５）
また、近傍部分２３ｂの高さをＥｙとしたとき、高さＥｙとバス電極厚さＢｙとが、次式（６）の関係を満たすことが好ましい。
３．０＜Ｅｙ／Ｂｙ・・・・・・（６）

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明にかかるＰＤＰ用背面板及びその製造方法は、蛍光体の飛散による放電不良を抑制でき、且つＰＤＰの高精細化に対応することができるので、特に高精細化が求められるＰＤＰを用いたディスプレイ装置に有用である。

本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板を備えたＰＤＰの一部を示す斜視図 本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示す説明図 本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示す他の図 本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示すさらに他の図 本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示すさらに他の図 本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示すさらに他の図 本発明の第１実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示すさらに他の図 前面板のバス電極と背面板との配置関係を示す拡大斜視図 サンドブラスト法で用いるマスクと背面板との配置関係を示す拡大斜視図 従来のＰＤＰ用背面パネルで発生した放電不良セルにおける蛍光体層の欠落幅と欠落個数との関係を示すグラフ 本発明の第２実施形態にかかるＰＤＰ用背面板の製造方法を模式的に示す図

符号の説明

１ 前面板
２ 背面板
１０ 前面基板
１１ 表示電極対
１２ 走査電極
１３ 維持電極
１４ ブラックストライプ
１５ 誘電体層
１６ 保護層
２０ 背面基板
２１ アドレス電極
２２ 下地誘電体層
２３ 隔壁
２４ 溝部
２５ 蛍光体層
２５ａ 蛍光体予備層
２６ 撥水層
３０ 放電空間
３１ 放電セル

Claims (6)

1. 基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
   前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
   前記溝部の全体に蛍光体予備層を配置したのち、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に配置された前記蛍光体予備層の一部を除去することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
   前記除去される蛍光体予備層の一部の除去幅Ｐｘと前記バス電極の幅Ｂｘとが、０．５＜Ｐｘ／Ｂｘ＜２．０の関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法。
2. 基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
   前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
   前記溝部の全体に蛍光体予備層を配置したのち、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に配置された前記蛍光体予備層の一部を除去することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
   前記除去される蛍光体予備層の一部の除去高さＰｙと前記バス電極の厚さＢｙとが、３＜Ｐｙ／Ｂｙの関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法。
3. 基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
   前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
   プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に撥水層を配置したのち、前記溝部に前記蛍光体層を配置することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
   前記撥水層の形成幅Ｒｘと前記バス電極の幅Ｂｘとが、０．５＜Ｒｘ／Ｂｘ＜２．０の関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法。
4. 基板上に電極を形成し、前記電極上に誘電体層を形成し、前記誘電体層上に複数の隔壁を形成し、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層を順次形成するプラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法であって、
   前記溝部に前記蛍光体層を形成するとき、
   プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域に撥水層を配置したのち、前記溝部に前記蛍光体層を配置することにより、前記近傍領域を除いて前記蛍光体層を形成し、
   前記撥水層の形成高さＲｙと前記バス電極の厚さＢｙとが、３．０＜Ｒｙ／Ｂｙの関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法。
5. 基板上に電極が形成され、前記電極上に誘電体層が形成され、前記誘電体層上に複数の隔壁が形成され、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層が順次形成されたプラズマディスプレイパネル用背面板であって、
   前記蛍光体層は、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域を除いて形成され、
   前記近傍領域の幅Ｅｘと前記バス電極の幅Ｂｘとが、０．５＜Ｅｘ／Ｂｘ＜２．０の関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板。
6. 基板上に電極が形成され、前記電極上に誘電体層が形成され、前記誘電体層上に複数の隔壁が形成され、互いに隣り合う前記隔壁と前記誘電体層とでそれぞれ形成される溝部に蛍光体層が順次形成されたプラズマディスプレイパネル用背面板であって、
   前記蛍光体層は、プラズマディスプレイパネル用前面板と前記背面板とが対向配置されたときに前記前面板が備えるバス電極と対向する前記隔壁のバス電極対向部分の近傍領域を除いて形成され、
   前記近傍領域の高さＥｙと前記バス電極の厚さＢｙとが、３．０＜Ｅｙ／Ｂｙの関係を満たす、プラズマディスプレイパネル用背面板。

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