JP4863103B2 - はんだボール接合状態の検査方法 - Google Patents
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Description
2 ランド
3 はんだボール
4 断熱材を用いた検査台
5 加熱手段
6 赤外線または熱風
7 冷却手段
8 圧縮空気または低温空気
9 はんだボールまたは半導体基板が発する赤外線
10 赤外線検出手段
11 制御手段
12 良否判定手段
13 接合不良はんだボール搭載半導体製品
14 接合良好はんだボール搭載半導体製品
15 接合不良はんだボール
16 制御信号
17 熱分布画像信号
18 接合良好はんだボールから基板への大きな熱移動
19 加熱手段により与えられたハンダボールへの熱移動
20 接合不良ハンダボールから基板への小さな熱移動
21 ハンダボール内で欠陥部を通過できない熱移動
22 ハンダボールとランド間の接合不良部
23 加熱手段により与えられた基板への熱移動
24 接合良好はんだボールの基板からはんだボールへの大きな熱移動
25 冷却手段により奪われた接合良好はんだボールからの熱移動
26 基板から接合不良はんだボールへの小さな熱移動
27 冷却手段により奪われた基板からの熱移動
28 冷却終了時の接合良好はんだボールの無次元化温度
29 冷却終了時の接合不良はんだボールの無次元化温度
30 冷却終了時の無次元化温度を利用した場合の予め設定した基準値
31 冷却直前と冷却終了時の接合良好はんだボールの無次元化温度差
32 冷却直前と冷却終了時の接合不良はんだボールの無次元化温度差
33 冷却直前と冷却終了時の無次元化温度を利用した場合の予め設定した基準値
34 接合良好はんだボール
Claims (8)
- はんだボール搭載半導体製品のはんだボール搭載面のみを加熱する加熱工程と、
加熱されたはんだボール搭載半導体製品のはんだボール搭載面のみを冷却する冷却工程と、
冷却手段による冷却中の各はんだボールおよび各はんだボール近辺の基板上の赤外線を検出する赤外線検出工程と、
赤外線検出工程で得られるはんだボール上の温度を各はんだボールの周囲基板上の温度で除した値と予め設定した基準値とを比較することにより、はんだボール搭載半導体製品の良品、不良品判定を行なう良否判定工程と、を含むことを特徴とするはんだボール接合状態検査方法。 - 赤外線検出工程は、冷却と同時に各はんだボールおよびはんだボール近辺の基板上の温度分布測定を行うことを特徴とする請求項1記載のはんだボール接合状態検査方法。
- 加熱工程は、赤外線または熱風を用いることを特徴とする請求項1又は2記載のはんだボール接合状態検査方法。
- 冷却工程は、常温または低温気体を用いることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のはんだボール接合状態検査方法。
- 加熱工程並びに冷却工程では、はんだボール搭載面のみを所定時間加熱した後に所定時間冷却することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のはんだボール接合状態検査方法。
- はんだボール接合状態の良否判定工程では、所定時間冷却による冷却終了時の各はんだボール上温度を各はんだボール近辺の基板上の温度で除した値を利用し、予め設定された数値基準よりも高い場合ははんだボール接合状態良好とし、低い場合ははんだボール接合状態不良とすることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のはんだボール接合状態検査方法。
- 請求項6記載のはんだボール接合状態の良否判定で、冷却開始時と冷却終了時の各はんだボール上温度を各はんだボール近辺の基板上の温度で除した値を算出し、更に冷却開始時と冷却終了時の差の値を利用し、予め設定された数値基準よりも低い場合ははんだボール接合状態良好とし、高い場合ははんだボール接合状態不良とすることを特徴とするはんだボール接合状態検査方法。
- はんだボール搭載半導体製品が接触する部分は、断熱材で構成している検査台上面であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のはんだボール接合状態検査方法。
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