JP4862815B2 - 電力制御装置、これを用いた熱処理装置、電力制御方法及び記憶媒体 - Google Patents
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また例えば請求項3に記載したように、前記断線判断部は、断線を示す状態が所定の時間以上の長さだけ継続した時に前記断線判断信号を断線が発生した旨を示す状態に変化させる。
また例えば請求項4に記載したように、前記所定の時間は1〜5秒の範囲内である。
また例えば請求項5に記載したように、前記断線判断信号が、断線が発生した旨を示す状態になった時に動作する警報部を備える。
また例えば請求項7に記載したように、前記断線判断信号が、断線が発生した旨を示す状態になった時に前記電力使用系に対する電力供給を停止する電力供給遮断部を備える
また例えば請求項8に記載したように、前記断線判断信号は、上位の主制御部へ向けて出力される。
また例えば請求項10に記載したように、前記動作状態検出部は、前記加熱部の温度を検出する温度検出器である。
サイリスタ等よりなる電力制御部の点弧角がフルになる全点弧状態を検出する全点弧状態検出部と、電力使用系へ供給される電流が所定値以下であることを検出する低電流状態検出部と、全点弧状態検出部の検出結果と低電流状態検出部の検出結果とに基づいて電力使用系に断線が発生しているか否かを判断して断線判断信号を出力する断線判断部とを設けるようにしたので、電力使用系に対する供給電力が小さい場合でも断線の発生を確実に認識することができる。
図1は熱処理装置に設けられた本発明に係る電力制御装置を示すブロック構成図、図2は図1中の各ポイントにおける各信号の波形を示す信号波形図である。尚、先に説明した従来装置と同一構成部分については同一参照符号を付して説明する。
更には、電力使用系である加熱手段32として、ここでは加熱ヒータを用いた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、例えばペルチェ素子等を用いた場合にも本発明を適用することができる。更には、加熱対象物としては半導体ウエハに限定されず、どのようなものでも本発明を適用することができる。
また、ここでは被処理体として半導体ウエハを例にとって説明したが、これに限定されず、ガラス基板、LCD基板、セラミック基板等にも本発明を適用することができる。
4 給電線
6 熱処理部
10 処理容器
18 保持手段
20 ガス供給手段
24 排気系
32 加熱手段(電力使用系)
34 電源トランス
36 電力制御部
38 電力検出部
40 電流センサ
42 電圧センサ
48 電力算出器
50 偏差比較部
52 動作状態検出部
54 温度検出器
56 電力比較部
58 駆動信号生成部
60 同期検出用トランス
62 三角波生成器
66 熱処理装置
68 電力制御装置
70 主制御部
72 全点弧状態検出部
74 低電流状態検出部
76 断線判断部
86 記憶媒体
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (15)
- 電源から電力使用系へ供給する電力を点弧角の変化により制御する電力制御部と、
前記電力使用系へ供給される電力を検出する電力検出部と、
前記電力使用系の動作状態を検出する動作状態検出部と、
予め設定された指示値と前記動作状態検出部の出力とを比較して電力指示値を出力する偏差比較部と、
前記電力検出部の検出値と前記偏差比較部からの電力指示値とを比較して比較信号を出力する電力比較部と、
前記電力比較部から出力される比較信号に基づいて前記電力制御部を駆動する駆動信号を出力する駆動信号生成部と、
を有する電力制御装置において、
前記電力比較部から出力される前記比較信号と予め設定された全点弧判断閾値とに基づいて前記電力制御部の点弧角がフルになる全点弧状態を検出する全点弧状態検出部と、
前記電力検出部から出力される電流値と全点弧状態の時に前記電力使用系に流れる電流値よりも所定の割合だけ小さい値に予め設定された低電流閾値とに基づいて前記電力使用系へ供給される電流が所定値以下であることを検出する低電流状態検出部と、
前記全点弧状態検出部の検出結果と前記低電流状態検出部の検出結果とに基づいて前記電力使用系に断線が発生しているか否かを判断して断線判断信号を出力する断線判断部と、
を備えたことを特徴とする電力制御装置。 - 前記電流の所定値は5〜20アンペアの範囲内であることを特徴とする請求項1記載の電力制御装置。
- 前記断線判断部は、断線を示す状態が所定の時間以上の長さだけ継続した時に前記断線判断信号を断線が発生した旨を示す状態に変化させることを特徴とする請求項1又は2記載の電力制御装置。
- 前記所定の時間は1〜5秒の範囲内であることを特徴とする請求項3記載の電力制御装置。
- 前記断線判断信号が、断線が発生した旨を示す状態になった時に動作する警報部を備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電力制御装置。
- 前記断線判断信号が、断線が発生した旨を示す状態になった時にその旨を表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電力制御装置。
- 前記断線判断信号が、断線が発生した旨を示す状態になった時に前記電力使用系に対する電力供給を停止する電力供給遮断部を備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電力制御装置。
- 前記断線判断信号は、上位の主制御部へ向けて出力されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の電力制御装置。
- 前記電力使用系は、半導体ウエハ等の被処理体に所定の熱処理を施すための熱処理装置に設けた加熱手段であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電力制御装置。
- 前記動作状態検出部は、前記加熱部の温度を検出する温度検出器であることを特徴とする請求項9記載の電力制御装置。
- 半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の熱処理を施すための熱処理装置において、
前記被処理体を収容する処理容器と、
前記被処理体を保持する保持手段と、
前記処理容器内へ必要なガスを供給するガス供給手段と、
前記処理容器内の雰囲気を排気する排気手段と、
前記被処理体を加熱するための電力使用系としての加熱手段と、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電力制御装置と、
を備えたことを特徴とする熱処理装置。 - 前記処理容器は、前記被処理体を1枚又は複数枚収容である大きさに設定されていることを特徴とする請求項11記載の熱処理装置。
- 電源から電力使用系へ供給する電力を点弧角の変化により制御する電力制御部と、
前記電力使用系へ供給される電力を検出する電力検出部と、
前記電力使用系の動作状態を検出する動作状態検出部と、
予め設定された指示値と前記動作状態検出部の出力とを比較して電力指示値を出力する偏差比較部と、
前記電力検出部の検出値と前記偏差比較部からの電力指示値とを比較して比較信号を出力する電力比較部と、
前記電力比較部から出力される比較信号に基づいて前記電力制御部を駆動する駆動信号を出力する駆動信号生成部と、
を有する電力制御装置を用いて行われる電力制御方法において、
前記電力比較部から出力される前記比較信号と予め設定された全点弧判断閾値とに基づいて前記電力制御部の点弧角がフルになる全点弧状態であるか否かを検出する全点弧状態検出工程と、
前記電力検出部から出力される電流値と全点弧状態の時に前記電力使用系に流れる電流値よりも所定の割合だけ小さい値に予め設定された低電流閾値とに基づいて前記電力使用系へ供給する電流が所定値以下であるか否かを検出する低電流検出工程と、
前記両工程の検出結果に基づいて前記電力使用系に断線が発生したか否かを判断する判断工程と、
を有することを特徴とする電力制御方法。 - 前記判断工程では、断線を示す状態が所定の時間以上の長さだけ継続した時に断線が発生したものと判断することを特徴とする請求項13記載の電力制御方法。
- 半導体ウエハ等の被処理体を収容する処理容器と、
前記被処理体を保持する保持手段と、
前記処理容器内へ必要なガスを供給するガス供給手段と、
前記処理容器内の雰囲気を排気する排気手段と、
前記被処理体を加熱するための電力使用系としての加熱手段と、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電力制御装置と、
を備えた熱処理装置を用いて前記被処理体に対して所定の熱処理を施すに際して、
請求項13又は14に記載の電力制御方法を実施するコンピュータに読み取り可能なプログラムを記憶する記憶媒体。
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