JP5098806B2 - 電力使用系の断線予測装置及び熱処理装置 - Google Patents
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Description
また例えば請求項4に記載したように、前記各パルス波発生手段は、自己の前記給電ラインの前記オフ期間を示すオフ期間信号と自己以外の他の前記パルス波発生手段のパルス波のタイミングを示すタイミング信号とを入力して自己のタイミング信号を出力するタイミング制御部と、前記自己のタイミング信号に基づいて前記パルス波を発生するパルス波発生部と、を備える。
また例えば請求項6に記載したように、前記電力制御は、ゼロクロス制御又は位相制御である。
複数の電力使用系の断線を予測する断線予測装置において、パルス波発生手段にて互いに異なる周波数のパルス波を供給電力のオフ期間に対応させて発生し、このパルス波をパルス波混合手段にて混合させて、パルス波検出手段にて自己のパルス波を検出し、更にこの検出された前記パルス波に基づいて電力使用系の断線予測を判断するようにしたので、これにより電力使用系に対する電圧及び電流を正確に測定して精度の高い抵抗値を求めることができ、その結果、断線の予測を精度良く行うことができる。
図1は本発明に係る電力使用系の断線予測装置を用いた熱処理装置の一実施形態を示す概略構成図、図2は電力使用系の断線予測装置を示すブロック構成図、図3は判断手段を示すブロック構成図、図4は供給電力の電圧波形の一例を示す電圧波形図、図5は電力供給のオフ期間にパルス波を混合させて重畳した時の状態を示す電圧波形図である。
fA =1/TA [HZ ]
この場合、供給電力は、商用周波数なので、50HZ 或いは60HZ となり、上記パルス幅は、それに対応させて十分に小さくなるように設定する。例えばこのパルス幅は、商用周波数の60Hzの周期である16msecよりも小さくなるように設定する。
22 処理ユニット
24 電力供給回路系
26 断線予測装置
28 処理容器
32 ウエハボート(保持手段)
36 ガス供給手段
40 排気系
42 加熱手段
42A〜42E ゾーンヒータ(電力使用系)
44A〜44E 温度測定器
46A〜46E 給電ライン
48A〜48E 電力調整器
50 温度制御部
52A〜52E パルス波発生手段
54A〜54E パルス波混合手段
56A〜56E パルス波検出手段
58 判断手段
60A〜60E 電流・電圧モニタ部
62A〜62E パルス波選出部
64 タイミング制御部
66 パルス波発生部
74 抵抗値算出部
76 基準抵抗値記憶部
78 断線予測部
80 告知部
SA1 オフ期間信号
SA2 タイミング信号
SA3 パルス波
SA4 パルス波
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (7)
- 複数の電力使用系に対して個別に接続された各給電ラインを介して電力が供給されるオン期間と電力が供給されないオフ期間とを調整することにより供給電力を制御するようにした電力供給回路系に設けた断線予測装置において、
前記各給電ライン毎に設けられ、互いに異なる周波数のパルス波を前記オフ期間に対応させて発生するパルス波発生手段と、
前記各給電ライン毎に設けられて自己の前記パルス波発生手段にて発生した前記パルス波を混合させるパルス波混合手段と、
前記各給電ライン毎に設けられて伝送される自己のパルス波を検出するパルス波検出手段と、
前記パルス波検出手段にて検出された前記パルス波に基づいて前記電力使用系の断線予測を判断する判断手段と、
を備えたことを特徴とする電力使用系の断線予測装置。 - 前記判断手段は、
前記パルス波検出手段にて検出された前記パルス波に基づいて前記電力使用系の抵抗値を求める抵抗値算出部と、
予め求められた前記各電力使用系の基準抵抗値を記憶する基準抵抗値記憶部と、
前記抵抗値算出部で求めた前記抵抗値と前記基準抵抗値記憶部に記憶された前記基準抵抗値とを比較して断線の予測を判断する断線予測部と、
前記断線予測部の判断結果を告知させる告知部と、
を有することを特徴とする請求項1記載の電力使用系の断線予測装置。 - 前記各パルス波発生手段は、
前記オフ期間に少なくとも2つのパルスを生ずるように前記パルス波の周波数を設定することを特徴とする請求項1又は2記載の電力使用系の断線予測装置。 - 前記各パルス波発生手段は、
自己の前記給電ラインの前記オフ期間を示すオフ期間信号と自己以外の他の前記パルス波発生手段のパルス波のタイミングを示すタイミング信号とを入力して自己のタイミング信号を出力するタイミング制御部と、
前記自己のタイミング信号に基づいて前記パルス波を発生するパルス波発生部と、
を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電力使用系の断線予測装置。 - 前記各パルス波検出手段は、
前記給電ラインに流れる電流と電圧とを検出する電流・電圧モニタ部と、
前記電流・電圧モニタ部にて検出した検出値から自己の前記パルス波発生手段が発生したパルス波の成分のみを取り出すパルス波選出部と、
を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電力使用系の断線予測装置。 - 前記電力制御は、ゼロクロス制御又は位相制御であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電力使用系の断線予測装置。
- 被処理体に対して所定の熱処理を施すための熱処理装置において、
前記被処理体を収容して排気可能になされた処理容器と、
前記処理容器内で前記被処理体を保持する保持手段と、
前記処理容器内へ必要なガスを供給するガス供給手段と、
前記処理容器内の前記被処理体を加熱する複数の電力使用系を含む加熱手段と、
前記加熱手段に電力を供給する電力供給回路系と、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電力使用系の断線予測装置と、
を備えたことを特徴とする熱処理装置。
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