JP4857949B2 - 硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 - Google Patents
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Description
(a)下部層が、Tiの炭化物(以下、TiCで示す)層、窒化物(以下、同じくTiNで示す)層、炭窒化物(以下、TiCNで示す)層、炭酸化物(以下、TiCOで示す)層、および炭窒酸化物(以下、TiCNOで示す)層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの全体平均層厚を有するTi化合物層、
(b)上部層が、1〜15μmの平均層厚および化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、さらに、
組成式:(Al1−XCrX)2O3、(ただし、原子比で、X:0.01〜0.1)、
を満足するAl系複合酸化物[以下、(Al,Cr)2O3で示す]層、
以上(a)および(b)で構成された硬質被覆層を化学蒸着形成してなる被覆サーメット工具が知られており、この被覆サーメット工具が、例えば各種の鋼や鋳鉄などの連続切削や断続切削に用いられることは良く知られている。
(a)従来被覆サーメット工具の硬質被覆層を構成する上部層としての(Al,Cr)2O3層(以下、「従来(Al,Cr)2O3層」という)は、例えば、通常の化学蒸着装置にて、
反応ガス組成:容量%で、AlCl3:2.3〜4%、CrCl3:0.04〜0.26%、CO2:6〜8%、HCl:1.5〜3%、H2S:0.05〜0.2%、H2:残り、
反応雰囲気温度:1020〜1050℃、
反応雰囲気圧力:6〜10kPa、
の条件(通常条件という)で蒸着形成されるが、これを、
反応ガス組成:容量%で、AlCl3:6〜10%、CrCl3:0.1〜0.65%、CO2:10〜15%、HCl:3〜5%、H2S:0.05〜0.2%、H2:残り、
反応雰囲気温度:1020〜1050℃、
反応雰囲気圧力:3〜5kPa、
の条件、すなわち上記の通常条件に比して、反応ガス組成では、AlCl3、CrCl3、CO2、およびHClの含有割合を相対的に高く、かつ雰囲気圧力を相対的に低くした条件(反応ガス成分高含有調整低圧条件)で蒸着形成すると、この結果の反応ガス成分高含有調整低圧条件で形成した(Al,Cr)2O3層(以下、「改質(Al,Cr)2O3層」という)は、同じく化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有すると共に、高温強度が一段と向上し、すぐれた耐機械的熱的衝撃性を具備するようになること。
電界放出型走査電子顕微鏡を用い、図2(a),(b)に概略説明図で例示される通り、表面研磨面の測定範囲内に存在する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である(0001)面および(10-10)面の法線がなす傾斜角[図2(a)には前記結晶面の傾斜角が0度の場合、同(b)には傾斜角が45度の場合を示しているが、これらの角度を含めて前記結晶粒個々のすべての傾斜角]を測定し、この場合前記結晶粒は、上記の通り格子点にAl、Cr、および酸素からなる構成原子がそれぞれ存在するコランダム型六方最密晶の結晶構造を有し、この結果得られた測定傾斜角に基づいて、相互に隣接する結晶粒の界面で、前記構成原子のそれぞれが前記結晶粒相互間で1つの構成原子を共有する格子点(構成原子共有格子点)の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がN個(ただし、Nはコランダム型六方最密晶の結晶構造上2以上の偶数となるが、分布頻度の点からNの上限を28とした場合、4、8、14、24、および26の偶数は存在せず)存在する構成原子共有格子点形態をΣN+1で現し、個々のΣN+1がΣN+1全体に占める分布割合を示す構成原子共有格子点分布グラフを作成した場合(この場合前記の結果から、Σ5、Σ9、Σ15、Σ25、およびΣ27の構成原子共有格子点形態は存在しないことになる)、上記従来(Al,Cr)2O3層は、図5に例示される通り、Σ3の分布割合が30%以下の相対的に低い構成原子共有格子点分布グラフを示すのに対して、前記改質(Al,Cr)2O3層は、図4に例示される通り、Σ3の分布割合が60%以上のきわめて高い構成原子共有格子点分布グラフを示し、この高いΣ3の分布割合は、反応ガスを構成するAlCl3、CrCl3、CO2、およびHClの含有割合、さらに雰囲気反応圧力によって変化すること。
なお、上記の改質(Al,Cr)2O3層および従来(Al,Cr)2O3層において、相互に隣接する結晶粒の界面における構成原子共有格子点形態のうちのΣ3、Σ7、およびΣ11の単位形態を模式図で例示すると図3(a)〜(c)に示される通りとなる。
反応ガス組成:容量%で、WF6:0.5〜5%、C6H6:0.5〜10%、H2:10〜35%、Ar:残り、
反応雰囲気温度:500〜900℃、
反応雰囲気圧力:5〜30kPa、
の条件で蒸着形成されるが、WC層を、同じく通常の化学蒸着装置にて、例えば、
反応ガス組成:容量%で、WF6:0.04〜0.4%、CH3CN:0.06〜0.6%、NH3:0.1〜1%、H2:40〜80%、Ar:残り、
反応雰囲気温度:980〜1100℃、
反応雰囲気圧力:5〜15kPa、
の高温条件で蒸着形成すると、この結果形成されたWC層(以下、改質WC層という)には、すぐれた密着性を有すると共に、上記硬質被覆層形成時の高温環境下においても隣接層の構成成分が拡散侵入できない性質があり、したがって、これを前記工具基体と硬質被覆層の下部層との間に下地介在層として存在させると、前記工具基体および下部層の両方と強固に密着接合すると共に、特に硬質被覆層形成時の高温環境下できわめて高い活性を発揮する成分、すなわち前記工具基体の結合相形成成分であるCoやNi、さらにCrやVなどの成分の硬質被覆層中への拡散侵入が阻止され、前記硬質被覆層は、これ本来の具備する特性、すなわちすぐれた高温硬さを保持することになり、この結果切削加工に際して、すぐれた耐摩耗性を満足に発揮するようになること。
以上(a)〜(d)に示される研究結果を得たのである。
(a)下部層が、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層、およびTiCNO層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの全体平均層厚を有するTi化合物層、
(b)上部層が、1〜15μmの平均層厚を有し、さらに、
組成式:(Al1−XCrX)2O3、(ただし、原子比で、X:0.01〜0.1)、
を満足する(Al,Cr)2O3層、
以上(a)および(b)で構成された硬質被覆層を化学蒸着形成してなる、被覆サーメット工具において、
(1)上記工具基体と下部層の間に下地介在層として、0.1〜2μmの平均層厚を有する改質WC層、
を化学蒸着形成すると共に、
(2)上記上部層としての(Al,Cr)2O3層を、同じく化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有すると共に、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である(0001)面および(10-10)面の法線がなす傾斜角を測定し、この場合前記結晶粒は、格子点にAl、Cr、および酸素からなる構成原子がそれぞれ存在するコランダム型六方最密晶の結晶構造を有し、この結果得られた測定傾斜角に基づいて、相互に隣接する結晶粒の界面で、前記構成原子のそれぞれが前記結晶粒相互間で1つの構成原子を共有する格子点(構成原子共有格子点)の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がN個(ただし、Nはコランダム型六方最密晶の結晶構造上2以上の偶数となるが、分布頻度の点からNの上限を28とした場合、4、8、14、24、および26の偶数は存在せず)存在する構成原子共有格子点形態をΣN+1で現した場合、個々のΣN+1がΣN+1全体に占める分布割合を示す構成原子共有格子点分布グラフにおいて、Σ3に最高ピークが存在し、かつ前記Σ3のΣN+1全体に占める分布割合が60%以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質(Al,Cr)2O3層、
で構成してなる、硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する被覆サーメット工具に特徴を有するものである。
(a)改質WC層(下地介在層)
改質WC層は、上記の通り、工具基体および下部層のTi化合物層と強固に密着接合して、前記工具基体に対する硬質被覆層の密着性向上に寄与するほか、特に前記工具基体における活性度の高い結合相構成成分の硬質被覆層への拡散侵入を阻止して、前記硬質被覆層が本来具備するすぐれた高温硬さを保持し、耐摩耗性の低下を抑制する作用を有するが、その平均層厚が0.1μm未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方前記作用は2μmまでの平均層厚で十分であることから、その平均層厚を0.1〜2μmと定めた。
Ti化合物層は、基本的には上部層である改質(Al,Cr)2O3層の下部層として存在し、自身の具備するすぐれた高温強度によって硬質被覆層の高温強度向上に寄与するほか、改質WC層および改質(Al,Cr)2O3層のいずれにも強固に密着し、よって硬質被覆層の工具基体に対する密着性向上にも寄与する作用を有するが、その合計平均層厚が3μm未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その合計平均層厚が20μmを越えると、特に高熱発生を伴なう難削材の高速切削では熱塑性変形を起し易くなり、これが偏摩耗の原因となることから、その合計平均層厚を3〜20μmと定めた。
上記の改質(Al,Cr)2O3層において、これの構成成分であるAlは層の高温硬さおよび耐熱性を向上させ、同Cr成分にはAl成分との共存において、さらに一段と耐熱性を向上させる作用を有するが、Crの含有割合を示すX値が原子比で0.01未満では前記作用に所望の向上効果を確保することができず、一方同X値が0.1を越えると高温強度に低下傾向が現れるようになることから、前記X値を0.01〜0.1と定めた。
また、上記の改質(Al,Cr)2O3層の構成原子共有格子点分布グラフにおけるΣ3の分布割合は、上記の通り反応ガスを構成するAlCl3、CO2、CrCl3、およびHClの含有割合、さらに雰囲気反応圧力を調整することによって60%以上とすることができるが、この場合Σ3の分布割合が60%未満では、高速断続切削加工で、硬質被覆層にチッピングが発生しない、すぐれた高温強度向上効果を確保することができないことから、Σ3の分布割合を60%以上と定めた。このように前記改質(Al,Cr)2O3層は、上記の通り(Al,Cr)2O3層自体のもつすぐれた高温硬さと耐熱性に加えて、さらに一段とすぐれた高温強度を有するようになるが、その平均層厚が1μm未満では前記改質(Al,Cr)2O3層の有する前記の特性を硬質被覆層に十分に具備せしめることができず、一方その平均層厚が15μmを越えると、偏摩耗の原因となる熱塑性変形が発生し易くなり、摩耗が加速するようになることから、その平均層厚を1〜15μmと定めた。
すなわち、上記構成原子共有格子点分布グラフは、上記の改質(Al,Cr)2O3層および従来(Al,Cr)2O3層の表面を研磨面とした状態で、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に70度の入射角度で15kVの加速電圧の電子線を1nAの照射電流で、前記表面研磨面の測定範囲内に存在する結晶粒個々に照射して、電子後方散乱回折像装置を用い、30×50μmの領域を0.1μm/stepの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である(0001)面および(10-10)面の法線がなす傾斜角を測定し、この結果得られた測定傾斜角に基づいて、相互に隣接する結晶粒の界面で、前記構成原子のそれぞれが前記結晶粒相互間で1つの構成原子を共有する格子点(構成原子共有格子点)の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がN個(ただし、Nはコランダム型六方最密晶の結晶構造上2以上の偶数となるが、分布頻度の点からNの上限を28とした場合、4、8、14、24、および26の偶数は存在せず)存在する構成原子共有格子点形態をΣN+1で現した場合、個々のΣN+1がΣN+1全体に占める分布割合を求めることにより作成した。
なお、図4は、本発明被覆サーメット工具9の改質(Al,Cr)2O3層の構成原子共有格子点分布グラフ、図5は、従来被覆サーメット工具8の従来(Al,Cr)2O3層の構成原子共有格子点分布グラフをそれぞれ示すものである。
被削材:JIS・S45Cの長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:380m/min、
切り込み:3mm、
送り:0.2mm/rev、
切削時間:10分、
の条件(切削条件Aという)での炭素鋼の乾式高速断続切削試験(通常の切削速度は180m/min)、
被削材:JIS・SCM440の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:320m/min、
切り込み:4mm、
送り:0.2mm/rev、
切削時間:10分、
の条件(切削条件Bという)での合金鋼の乾式高速断続切削試験(通常の切削速度は150m/min)、さらに、
被削材:JIS・FCD400の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度:350m/min、
切り込み:3mm、
送り:0.15mm/rev、
切削時間:10分、
の条件(切削条件Cという)でのダクタイル鋳鉄の乾式高速断続切削試験(通常の切削速度は160m/min)を行い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表6に示した。
Claims (1)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
(a)下部層が、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、かつ3〜20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層、
(b)上部層が、化学蒸着した状態でα型の結晶構造および1〜15μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:(Al1−XCrX)2O3、(ただし、原子比で、X:0.01〜0.1)、
を満足するAl系複合酸化物層、
以上(a)および(b)で構成された硬質被覆層を化学蒸着形成してなる、表面被覆サーメット製切削工具において、
(1)上記工具基体と下部層の間に下地介在層として、0.1〜2μmの平均層厚を有する改質炭化タングステン層、
を化学蒸着形成すると共に、
(2)上記上部層としてのAl系複合酸化物層を、同じく化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有すると共に、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である(0001)面および(10-10)面の法線がなす傾斜角を測定し、この場合前記結晶粒は、格子点にAl、Cr、および酸素からなる構成原子がそれぞれ存在するコランダム型六方最密晶の結晶構造を有し、この結果得られた測定傾斜角に基づいて、相互に隣接する結晶粒の界面で、前記構成原子のそれぞれが前記結晶粒相互間で1つの構成原子を共有する格子点(構成原子共有格子点)の分布を算出し、前記構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がN個(ただし、Nはコランダム型六方最密晶の結晶構造上2以上の偶数となるが、分布頻度の点からNの上限を28とした場合、4、8、14、24、および26の偶数は存在せず)存在する構成原子共有格子点形態をΣN+1で現した場合、個々のΣN+1がΣN+1全体に占める分布割合を示す構成原子共有格子点分布グラフにおいて、Σ3に最高ピークが存在し、かつ前記Σ3のΣN+1全体に占める分布割合が60%以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質Al系複合酸化物層、
で構成したことを特徴とする、硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具。
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