JP4854713B2

JP4854713B2 - 電圧設定回路を備えた半導体集積回路の製造方法

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Publication number: JP4854713B2
Application number: JP2008188306A
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Inventors: 宏治吉井
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Publication date: 2012-01-18
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Description

本発明は、２個以上の抵抗による分圧によって出力端子から電圧出力を得、トリミングヒューズの切断によって電圧出力を調節できる電圧設定回路に関するものである。

半導体集積回路上に抵抗を形成する場合、通常、製造工程のバラツキ等のため、形成された抵抗の抵抗値にバラツキが発生する。また、電圧検出回路や定電圧発生回路などに備えられている基準電圧発生回路の出力電圧（基準電圧）のバラツキを抵抗の抵抗値で補正する必要がある。このため、正確な抵抗値が必要な場合や基準電圧のバラツキを補償する場合など、抵抗の抵抗値を調整する必要がしばしば発生する。このような場合、２個以上の抵抗による分圧によって出力端子から電圧出力を得、トリミングヒューズの切断によって電圧出力を調節できる電圧設定回路が用いられている。

図９は、電圧設定回路を備えた定電圧発生回路の一例を示す回路図である。
直流電源５からの電源を負荷７に安定して供給すべく、定電圧発生回路９が設けられている。定電圧発生回路９は、直流電源５が接続される入力端子（Ｖｂａｔ）１１、基準電圧発生回路（Ｖｒｅｆ）１３、演算増幅器１５、出力ドライバを構成するＰチャネル型ＭＯＳトランジスタ（以下、ＰＭＯＳと略記する）１７、電圧設定回路２０を構成する分圧抵抗Ｒａ，Ｒｂ、及び出力端子（Ｖｏｕｔ）１９を備えている。

定電圧発生回路９では、演算増幅器１５により、出力端子がＰＭＯＳ１７のゲート電極に接続され、反転入力端子に基準電圧発生回路１３から基準電圧Ｖｒｅｆが印加され、非反転入力端子に出力電圧Ｖｏｕｔを分圧抵抗ＲａとＲｂで分圧した電圧が印加され、分圧抵抗Ｒａ，Ｒｂの分圧電圧が基準電圧Ｖｒｅｆに等しくなるように制御される。

図１０は、電圧設定回路を備えた電圧検出回路の一例を示す回路図である。
１５は演算増幅器で、その反転入力端子に基準電圧発生回路１３が接続され、基準電圧Ｖｒｅｆが印加される。入力端子（Ｖｓｅｎｓ）２３から入力される測定すべき端子の電圧が分圧抵抗ｒ１とｒ２によって分圧されて演算増幅器１５の非反転入力端子に入力される。演算増幅器１５の出力は出力端子２５を介して外部に出力される。分圧抵抗Ｒａ，Ｒｂは電圧設定回路２０を構成する。

電圧検出回路２１において、測定すべき端子の電圧が高く、分圧抵抗ＲａとＲｂにより分圧された電圧が基準電圧Ｖｒｅｆよりも高いときは演算増幅器１５の出力がＨレベルを維持し、測定すべき端子の電圧が降下してきて分圧抵抗ＲａとＲｂにより分圧された電圧が基準電圧Ｖｒｅｆ以下になってくると演算増幅器１５の出力がＬレベルになる。

図９に示した定電圧発生回路や図１０に示した電圧検出回路では、上述したように製造プロセスのバラツキに起因して基準電圧発生回路からの基準電圧Ｖｒｅｆが変動するので、その変動に対応すべく、トリミングヒューズの切断により抵抗値を調整可能な電圧設定回路を用いて分圧電圧を調整している。

図１１は従来の電圧設定回路を示す回路図である。
例えば電源電位に接続される端子１と接地電位に接続される端子２の間に分圧抵抗ＲＡ、調整用抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４、及び分圧抵抗ＲＢが直列に接続されている。調整用抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４には、各抵抗に対応してトリミングヒューズｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４が並列に接続されている。トリミングヒューズｔ２とｔ３の間の接点を介して抵抗ｒ２とｒ３の間の接点ｎに出力端子３が接続されている。このような電圧設定回路は例えば特許文献１に開示されている。

出力端子３の電圧が目標電圧より高い場合は、トリミングヒューズｔ１，ｔ２のどちらか一方又は両方を切断することにより、出力端子３の電圧を下げることができる。抵抗ｒ１とｒ２の抵抗値を変えておくことにより３通りの設定が可能になる。

出力端子３の電圧が目標電圧より低い場合は、トリミングヒューズｔ３又はｔ４のどちらか一方又は両方を切断することにより、出力端子３の電圧を上げることができる。電圧を下げる場合と同様に、抵抗ｒ３とｒ４の抵抗値を変えておくことにより３通りの設定が可能になる。
したがって、この回路構成では、上下３通りづつ６通りの電圧の設定が可能である。

図１２は従来の他の電圧設定回路を示す回路図である。この従来例は図１１に示した電圧設定回路を改良したものである。
この電圧設定回路では、出力端子３，４を抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４の直列回路のどちらか一端に接続するようにしている。抵抗ＲＡとＲＢの抵抗値の比をあらかじめ目標値より少しずらして製造しておくことで、出力電圧を目標電圧に比べてあらかじめ高い電圧か低い電圧に設定することができる。

あらかじめ高い電圧に設定してある場合は、電圧設定回路の出力を出力端子３から取る。調整は抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４に並列に接続されたトリミングヒューズｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４のいずれかを切断することによって行なう。この場合、抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４の抵抗値を全て異なる値、例えば２の倍数系列にすることによって、１５通りの抵抗値が選択可能になる。

一方、あらかじめ低い電圧に設定してある場合は、電圧設定回路の出力を出力端子４から取る。このときの調整も上記の場合と同様に１５通りの抵抗値が選択可能である。このように、図４の場合に比べ、抵抗の数が同じでも大幅に調整範囲が拡大できる。

図１３は従来のさらに他の電圧設定回路を示す回路図である。この従来例は図１２に示した電圧設定回路を改良したものである。
この電圧設定回路では、出力端子３は抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４の直列回路の両端の各々に接続選択用ヒューズｔ５，ｔ６を介して接続されている。

図１２に示した電圧設定回路の場合は、抵抗ＲＡとＲＢの抵抗値の比をあらかじめ少しずらして製造するため、１５通りある調整範囲のほぼ中央を狙って製造する必要があったが、図１３に示した電圧設定回路では、図１２の出力端子３と端子４のどちらでも選択可能なように接続選択用ヒューズｔ５，ｔ６を追加し、接続選択用ヒューズｔ５，ｔ６の共通接続点である出力端子３から電圧設定回路の出力電圧を得るようにしているので、抵抗ＲＡ，ＲＢの抵抗値の比を目標値に設定できる。

出力端子３からの出力電圧が目標電圧より高い場合は、接続選択用ヒューズｔ５を切断し、さらにトリミングヒューズｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４のいずれかを切断する。
逆に低い場合は接続選択用ヒューズｔ６を切断し、さらにトリミングヒューズｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４のいずれかを切断する。これにより３０通りの調整が可能になり、調整範囲が大幅に拡大することができる。

特開２００１−０７７３１０号公報

しかし、調整範囲が広くなると、抵抗自体の精度が問題になってくる。例えば抵抗ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４の抵抗比を１：２：４：８とし、それぞれ同じ比で抵抗値誤差をもつとすると、抵抗ｒ４の抵抗値誤差の値は抵抗ｒ１の８倍になってしまう。仮に抵抗値誤差を１０％とすると、抵抗ｒ４の誤差は±０.８となり、抵抗ｒ１の値に近い値の誤差が生ずる可能性がある。この傾向は調整範囲を拡大すればするほど顕著になる。
さらに、電圧検出回路などでは、できるだけ広い電圧範囲に対応するため、調整範囲を拡大し、かつ電圧設定精度を補償範囲内に保つ必要があるため、上記の調整方法では対応しきれなくなってきた。

本発明は、調整範囲が広く、かつ電圧設定精度の高い電圧設定回路を提供することを目的とするものである。

本発明にかかる電圧設定回路は、２個以上の抵抗による分圧によって出力端子から電圧出力を得、トリミングヒューズの切断によって電圧出力を調節できるものであって、粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗をもつ粗調整回路と、微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗をもつ微調整回路と、上記出力端子が接続される接点を選択可能にするための複数の接続選択用ヒューズを備えたものである。

本発明の電圧設定回路では、粗調整用の粗調整回路と微調整用の微調整回路を別々に備えているので、粗調整回路を用いた粗調整を行なった後、その調整結果に基づいて出力端子を接続する端子の選択と微調整回路を用いた微調整を行なうことができる。これにより、少ない抵抗素子で、調整範囲を広く取れ、さらに高精度の電圧設定が実現できる。

参考例の電圧検出回路は、入力電圧を分圧して分圧電圧を供給するための電圧設定回路と、基準電圧を供給するための基準電圧発生回路と、上記電圧設定回路からの分圧電圧と上記基準電圧発生回路からの基準電圧を比較するための比較回路を備えたものであって、上記電圧設定回路として、本発明の電圧設定回路を備えているものである。
参考例の電圧設定回路によれば電圧設定回路の調整範囲を広くすることができ、かつ高い電圧設定精度を得ることができるので、電圧検出回路の出力の精度を向上させることができる。

参考例の定電圧発生回路は、入力電圧の出力を制御する出力ドライバと、出力電圧を分圧して分圧電圧を供給するための電圧設定回路と、基準電圧を供給するための基準電圧発生回路と、上記電圧設定回路からの分圧電圧と上記基準電圧発生回路からの基準電圧を比較し、比較結果に応じて上記出力ドライバの動作を制御するための比較回路を備えた定電圧発生回路ものであって、上記電圧設定回路として、本発明の電圧設定回路を備えているものである。
参考例の電圧設定回路によれば電圧設定回路の調整範囲を広くすることができ、かつ高い電圧設定精度を得ることができるので、定電圧発生回路の出力の精度を向上させることができる。

参考例の電圧設定回路の電圧設定方法は、２個以上の抵抗による分圧によって出力端子から電圧出力を得、トリミングヒューズの切断によって電圧出力を調節できる電圧設定回路の電圧設定方法であって、本発明の電圧設定回路を用い、少なくとも上記粗調整用トリミングヒューズを切断することによって粗調整を行なう粗調整工程と、上記粗調整工程による粗調整の結果に応じて、上記接続選択用ヒューズを切断して上記出力端子が接続される接点を選択し、さらに上記微調整用トリミングヒューズを切断することによって微調整を行なう微調整工程を含む。

参考例の電圧設定方法では、本発明の電圧設定回路を用い、粗調整工程で粗調整回路を用いた粗調整を行なった後、微調整工程で粗調整の結果に基づいて出力端子を接続する端子の選択と微調整回路を用いた微調整を行なう。これにより、調整範囲を広くすることができ、さらに、高精度の電圧設定を実現できる。

本発明の電圧設定回路の第１態様として、上記粗調整回路は上記粗調整用トリミングヒューズと上記粗調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、上記微調整回路は上記微調整用トリミングヒューズと上記微調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、上記粗調整回路と上記微調整回路は直列に接続されており、上記微調整回路の両端の各々と上記出力端子の間に上記接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられているものを挙げることができる。この態様によれば、接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して上記出力端子が接続される接点を選択できるので、調整範囲を広く取れる。さらに上記微調整用トリミングヒューズを切断することにより微調整を行なうことができるので、高精度の電圧設定が実現できる。

本発明の電圧設定回路の第２態様として、上記微調整回路を２組備え、上記粗調整回路の両端に上記微調整回路がそれぞれ直列に接続されており、２組の上記微調整回路の両端の各々と上記出力端子の間に上記接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられているものを挙げることができる。この態様によれば、接続選択用ヒューズの切断により、２組の微調整回路のうちいずれを使用するかを選択することができるので、さらに調整範囲を広く取れる。

本発明の電圧設定回路の第３態様として、上記粗調整回路は上記粗調整用トリミングヒューズと上記粗調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、上記微調整回路は上記微調整用トリミングヒューズと上記微調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、上記微調整回路の両端の各々と上記出力端子の間に上記接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられており、上記微調整回路を上記粗調整回路の両端のいずれか一方に直列に接続するための複数の第２接続選択用ヒューズをさらに備えているものを挙げることができる。この態様によれば、接続選択用ヒューズの切断により、微調整回路を粗調整回路の両端のいずれに接続するかを選択することができるので、調整範囲を広く取ることができ、さらに微調整回路は１個備えていればよいので粗調整回路の両端にそれぞれ微調整回路を設ける場合に比べて電圧設定回路が占める面積を小さくすることができる。

参考例の電圧設定方法の第１局面として、本発明の電圧設定回路の第１態様を用い、上記粗調整工程において、電圧設定回路の出力電圧と目標電圧を比較し、その結果に応じて、上記粗調整回路の上記粗調整用トリミングヒューズを切断し、上記微調整工程において、上記粗調整工程による粗調整の結果に応じて、上記接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して上記出力端子が接続される接点を選択し、さらに上記微調整用トリミングヒューズを切断することを挙げることができる。この局面によれば、微調整工程において接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して上記出力端子が接続される接点を選択することにより、調整範囲を広く取れる。さらに、粗調整を行なった後、微調整工程において上記微調整用トリミングヒューズを切断することにより微調整を行なうので、高精度の電圧設定が実現できる。

参考例の電圧設定方法の第２局面として、本発明の電圧設定回路の第２態様を用い、上記粗調整工程において、電圧設定回路の出力電圧と目標電圧を比較し、その結果に応じて、２組の上記微調整回路のうちのどちらを使用するのかを選択して、非選択の上記微調整回路につながる上記接続選択用ヒューズを切断し、さらに上記粗調整用トリミングヒューズを切断し、上記微調整工程において、上記粗調整工程による粗調整の結果に応じて、上記粗調整工程で選択された上記微調整回路の両端の各々と上記出力端子の間に接続された上記接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して上記出力端子が接続される接点を選択し、さらに上記微調整用トリミングヒューズを切断することを挙げることができる。この局面によれば、微調整工程において、接続選択用ヒューズの切断により、２組の微調整回路のうちいずれを使用するかを選択することができるので、さらに調整範囲を広く取れる。

参考例の電圧設定方法の第３局面として、本発明の電圧設定回路の第３態様を用い、上記粗調整工程において、電圧設定回路の出力電圧と目標電圧を比較し、その結果に応じて、上記微調整回路を上記粗調整回路の両端のどちら側に接続するかを選択し、上記第２接続選択用ヒューズを切断して上記微調整回路を上記粗調整回路の一端側に接続し、さらに上記粗調整用トリミングヒューズを切断し、上記微調整工程において、上記粗調整工程による粗調整の結果に応じて、上記接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して上記出力端子が接続される接点を選択し、さらに上記微調整用トリミングヒューズを切断することを挙げることができる。この局面によれば、微調整工程において、接続選択用ヒューズの切断により、微調整回路を粗調整回路の両端のいずれに接続するかを選択することができるので、調整範囲を広く取ることができる。

参考例の電圧設定方法の第４局面として、ウエハテスト工程を２段階に分け、最初のウエハテスト工程の結果に基づいて上記粗調整工程を行ない、２回目のウエハテスト工程の結果に基づいて、上記微調整工程を行なうことを挙げることができる。この局面によれば、粗調整工程及び微調整工程を個別のウエハテスト結果に基づいて行なうので、調整精度を向上させることができる。

参考例の電圧設定方法の第５局面として、上記粗調整工程をインラインテスト工程とウエハテスト工程の間で行ない、上記微調整工程をウエハテスト工程の後でウエハテスト結果に基づいて行なうことを挙げることができる。この局面によれば、ウエハテスト工程が１回で済むので、作業効率を向上させることができる。

本発明の電圧設定回路では、粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗をもつ粗調整回路と、微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗をもつ微調整回路と、出力端子が接続される接点を選択可能にするための複数の接続選択用ヒューズを備えているようにしたので、少ない抵抗素子で、調整範囲を広く取れ、さらに高精度の電圧設定が実現できる。

図１は電圧設定回路の一実施例を示す回路図である。
例えば電源電位に接続される端子１と接地電位に接続される端子２の間に、分圧抵抗ＲＡ、粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４、微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２、及び分圧抵抗ＲＢが直列に接続されている。粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４には各抵抗に対応して粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が並列に接続されている。微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２には各抵抗に対応して微調整用トリミングヒューズＴ１１，Ｔ１２が並列に接続されている。

粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４及び粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は粗調整回路Ｃを構成し、微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２及び微調整用トリミングヒューズＴ１１，Ｔ１２は微調整回路Ｆを構成する。

粗調整用抵抗Ｒ４と微調整用抵抗Ｒ１１の間の接点Ｎ１に、粗調整用トリミングヒューズＴ４と微調整用トリミングヒューズＴ１１の間の接点及び接続選択用ヒューズＴ１３を介して、出力端子３が接続されている。出力端子３は、接続選択用ヒューズＴ１４を介して微調整用抵抗Ｒ１２と分圧抵抗ＲＢの間の接点Ｎ２にも接続されている。

この実施例では、分圧抵抗ＲＡとＲＢの抵抗値の比をあらかじめ少しずらして、無調整の状態で抵抗分圧の出力電圧を目標電圧に比べてあらかじめ少し高い電圧になるように設定されている。

図１を参照して電圧設定回路の電圧設定方法の一実施例を説明する。
粗調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較し、粗調整回路Ｃの粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４のどれとどれを切断すれば最も目標電圧に近づくかを計算し、該当する粗調整用トリミングヒューズを切断する。

ウエハテスト工程を行なった後、微調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較する。
出力端子３の電圧が目標電圧より高い場合、接続選択用ヒューズＴ１３を切断して出力端子３を端子Ｎ２に接続し、さらに出力端子３の電圧と目標電圧の差に基づいて計算した結果に基づいて、微調整用トリミングヒューズＴ１１とＴ１２のいずれか一方又は両方を切断して、出力端子３の電圧をさらに目標電圧に近づける。

逆に、出力端子３の電圧が目標電圧より低い場合、接続選択用ヒューズＴ１４を切断して出力端子３を端子Ｎ１に接続し、さらに出力端子３の電圧と目標電圧の差に基づいて計算した結果に基づいて、微調整用トリミングヒューズＴ１１とＴ１２のいずれか一方又は両方を切断して、出力端子３の電圧をさらに目標電圧に近づける。

このように、接続選択用ヒューズＴ１３，Ｔ１４のいずれか一方を切断して出力端子３が接続される接点Ｎ１又はＮ２を選択できるので、調整範囲を広く取れる。さらに微調整用トリミングヒューズＴ１１とＴ１２のいずれか一方又は両方を切断することにより微調整を行なうことができるので、高精度の電圧設定が実現できる。

この実施例では微調整回路Ｆを粗調整回路Ｃと分圧抵抗ＲＢの間に接続しているが、本発明の電圧設定回路はこれに限定されるものではなく、微調整回路Ｆを分圧抵抗ＲＡと粗調整回路Ｃの間に接続してもよい。この場合、分圧抵抗ＲＡとＲＢの抵抗値の比は、無調整の状態で抵抗分圧の出力電圧を目標電圧に比べてあらかじめ少し低い電圧に設定しておく。

図２は電圧設定回路の他の実施例を示す回路図である。
端子１と端子２の間に、分圧抵抗ＲＡ、微調整用抵抗Ｒ２１，Ｒ２２、粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４、微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２、及び分圧抵抗ＲＢが直列に接続されている。粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４には各抵抗に対応して粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が並列に接続されている。微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２には各抵抗に対応して微調整用トリミングヒューズＴ１１，Ｔ１２が並列に接続されている。微調整用抵抗Ｒ２１，Ｒ２２には各抵抗に対応して微調整用トリミングヒューズＴ２１，Ｔ２２が並列に接続されている。

粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４及び粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は粗調整回路Ｃを構成し、微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２及び微調整用トリミングヒューズＴ１１，Ｔ１２は微調整回路Ｆ１を構成し、微調整用抵抗Ｒ２１，Ｒ２２及び微調整用トリミングヒューズＴ２１，Ｔ２２は微調整回路Ｆ２を構成する。

出力端子３は、接続選択用ヒューズＴ１３，Ｔ１４，Ｔ２３，Ｔ２４を介して、４つの接点、すなわち粗調整用抵抗Ｒ４と微調整用抵抗Ｒ１１の間の接点Ｎ１、微調整用抵抗Ｒ１２と分圧抵抗ＲＢの間の接点Ｎ２、分圧抵抗ＲＡと微調整用抵抗Ｒ２１の間の接点Ｎ３、及び微調整用抵抗Ｒ２２と粗調整用抵抗Ｒ１の間の接点Ｎ４にそれぞれ接続されている。

図２を参照して電圧設定回路の電圧設定方法の他の実施例を説明する。
粗調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較する。
出力端子３電圧が目標電圧より高い場合、接続選択用ヒューズＴ２３，Ｔ２４を切断して微調整回路Ｆ１の使用を選択し、粗調整回路Ｃの粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４のどれとどれを切断すれば最も目標電圧に近づくかを計算し、該当する粗調整用トリミングヒューズを切断する。

一方、粗調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較し、出力端子３電圧が目標電圧より低い場合、接続選択用ヒューズＴ１３，Ｔ１４を切断して微調整回路Ｆ２の使用を選択し、粗調整回路Ｃの粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４のどれとどれを切断すれば最も目標電圧に近づくかを計算し、該当する粗調整用トリミングヒューズを切断する。

ウエハテスト工程を行なった後、微調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較する。
出力端子３の電圧が目標電圧より高い場合、接続選択用ヒューズＴ２３を切断して出力端子３を端子Ｎ４に接続し、さらに出力端子３の電圧と目標電圧の差に基づいて計算した結果に基づいて、微調整用トリミングヒューズＴ２１とＴ２２のいずれか一方又は両方を切断して、出力端子３の電圧をさらに目標電圧に近づける。

逆に、出力端子３の電圧が目標電圧より低い場合、接続選択用ヒューズＴ２４を切断して出力端子３を端子Ｎ３に接続し、さらに出力端子３の電圧と目標電圧の差に基づいて計算した結果に基づいて、微調整用トリミングヒューズＴ２１とＴ２２のいずれか一方又は両方を切断して、出力端子３の電圧をさらに目標電圧に近づける。

このように、接続選択用ヒューズＴ１３，Ｔ１４又はＴ２３，Ｔ２４の切断により、粗調整回路Ｃの両端に直列に接続された２組の微調整回路Ｆ１，Ｆ２のうちいずれを使用するかを選択することができるので、さらに調整範囲を広く取れる。

図３は電圧設定回路のさらに他の実施例を示す回路図である。
この実施例は、図２に示した実施例と同様の構成をもつが、接続選択用ヒューズＴ１３，Ｔ１４が接続選択用ヒューズ３１を介して出力端子３に接続され、さらに接続選択用ヒューズＴ２３，Ｔ２４が接続選択用ヒューズ３２を介して出力端子３に接続されている点で、図２に示した実施例とは異なる。

この実施例では、微調整回路Ｆ１，Ｆ２のいずれを使用するかを選択する際、接続選択用ヒューズＴ３１，Ｔ３２のいずれか一方を切断することにより、使用する微調整回路Ｆ１又はＦ２を選択することができる。

この実施例でも、図２に示した実施例と同様に、粗調整回路Ｃの両端に直列に接続された２組の微調整回路Ｆ１，Ｆ２のうちいずれを使用するかを選択することができるので、調整範囲をさらに広く取ることができる。

図４は電圧設定回路のさらに他の実施例を示す回路図である。
端子１と端子２の間に、分圧抵抗ＲＡ、第２接続選択用ヒューズＴ４１、粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４、第２接続選択用ヒューズＴ５１、及び分圧抵抗ＲＢが直列に接続されている。粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４には各抵抗に対応して粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が並列に接続されている。粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４及び粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は粗調整回路Ｃを構成する。

接続選択用ヒューズＴ４１、粗調整回路Ｃ及び第２接続選択用ヒューズＴ５１の直列回路に微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２の直列回路が並列に接続されている。微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２には各抵抗に対応して微調整用トリミングヒューズＴ１１，Ｔ１２が並列に接続されている。微調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２及び微調整用トリミングヒューズＴ１１，Ｔ１２は微調整回路Ｆを構成する。

微調整用抵抗Ｒ１１の微調整用抵抗Ｒ１２とは反対側の接点Ｎ１と、分圧抵抗ＲＡと第２接続選択用ヒューズＴ４１の間の接点Ｎ５との間に第２接続選択用ヒューズＴ４２が設けられている。接点Ｎ１は第２接続選択用ヒューズＴ５２を介して粗調整用抵抗Ｒ４と第２接続選択用ヒューズＴ５１の間の接点Ｎ６にも接続されている。さらに、接点Ｎ１は接続選択用ヒューズ１３を介して出力端子３にも接続されている。

微調整用抵抗Ｒ１２の微調整用抵抗Ｒ１１とは反対側の接点Ｎ２と、第２接続選択用ヒューズＴ５１と分圧抵抗ＲＢの間の接点Ｎ７との間に第２接続選択用ヒューズＴ５３が設けられている。接点Ｎ２は第２接続選択用ヒューズＴ４３を介して第２接続選択用ヒューズＴ４１と粗調整用抵抗Ｒ１の間の接点Ｎ８にも接続されている。さらに、接点Ｎ２は接続選択用ヒューズ１４を介して出力端子３にも接続されている。

図４を参照して電圧設定回路の電圧設定方法のさらに他の実施例を説明する。
粗調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較する。
出力端子３電圧が目標電圧より高い場合、第２接続選択用ヒューズＴ４２，Ｔ４３，Ｔ５１を切断して微調整回路Ｆを粗調整回路Ｃと分圧抵抗ＲＢの間に接続する（図５参照）。さらに、粗調整回路Ｃの粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４のどれとどれを切断すれば最も目標電圧に近づくかを計算し、該当する粗調整用トリミングヒューズを切断する。

一方、粗調整工程において、出力端子３の電圧と目標電圧を比較し、出力端子３電圧が目標電圧より低い場合、第２接続選択用ヒューズＴ４１，Ｔ５２，Ｔ５３を切断して微調整回路Ｆを分圧抵抗ＲＡと粗調整回路Ｃの間に接続する（図６参照）。さらに、粗調整回路Ｃの粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４のどれとどれを切断すれば最も目標電圧に近づくかを計算し、該当する粗調整用トリミングヒューズを切断する。

このように、接続選択用ヒューズ４１，５２，５３の組又は接続選択用ヒューズ４２，４３，５１の組を切断することにより、微調整回路Ｆを粗調整回路Ｃの両端のいずれに接続するかを選択することができるので、調整範囲を広く取ることができる。さらに微調整回路Ｆは１個備えていればよいので、粗調整回路Ｃの両端にそれぞれ微調整回路を設ける場合に比べて電圧設定回路が占める面積を小さくすることができる。

上記に示した電圧設定回路の実施例は、例えば図９に示した定電圧発生回路の電圧設定回路に適用することができる。その場合、端子１をＰＭＯＳ１７のドレインに接続し、端子２を接地し、出力端子３を演算増幅器１５の非反転入力端子に接続する。上記に示した電圧設定回路の実施例では、調整範囲を広くすることができ、かつ高い電圧設定精度を得ることができるので、定電圧発生回路の出力の精度を向上させることができる。

また、上記に示した電圧設定回路の実施例は、例えば図１０に示した電圧検出回路の電圧設定回路に適用することができる。その場合、端子１を入力端子２３に接続し、端子２を接地し、出力端子３を演算増幅器１５の非反転入力端子に接続する。上記に示した電圧設定回路の実施例では、調整範囲を広くすることができ、かつ高い電圧設定精度を得ることができるので、電圧検出回路の出力の精度を向上させることができる。

図７は、ウエハテスト工程を含む電圧設定回路の電圧調整方法の一実施例を示すフローチャートである。この実施例ではウエハテスト工程を２段階に分けている。
最初のウエハテスト工程を行ない（ステップＳ１）、粗調整工程により、最初のウエハテスト工程の結果に基づいて粗調整回路の粗調整用トリミングヒューズの切断を行なって粗調整を行なう（ステップＳ２）。図２、図３又は図４に示した電圧設定回路の実施例のように、粗調整を行なう際に接続選択用ヒューズの切断を必要とする場合は、粗調整工程において必要な接続選択用ヒューズの切断も行なう。

２回目のウエハテスト工程を行ない（ステップＳ３）、微調整工程により、２回目のウエハテスト工程の結果に基づいて微調整回路の微調整用トリミングヒューズ及び接続選択用ヒューズの切断を行なって微調整を行なう（ステップＳ４）。その後、アセンブリ工程へ移行する。

このように、ウエハテスト工程を２段階に分け、最初のウエハテスト工程の結果に基づいて粗調整を行ない、２回目のウエハテスト工程で微調整を行なうようにしたので、高精度な電圧調整が可能になる。

図８は、ウエハテスト工程を含む電圧設定回路の電圧調整方法の他の実施例を示すフローチャートである。
ウエハテスト工程の前段階であるインラインテスト工程を行ない（ステップＳ１）、インラインテスト工程で行なったモニターデバイスの特性測定の結果に基づいて粗調整回路の粗調整用トリミングヒューズの切断を行なって粗調整を行なう（ステップＳ２）。

ウエハテスト工程を行ない（ステップＳ３）、微調整工程により、ウエハテスト工程の結果に基づいて微調整回路の微調整用トリミングヒューズ及び接続選択用ヒューズの切断を行なって微調整を行なう（ステップＳ４）。その後、アセンブリ工程へ移行する。

この実施例によれば、ウエハテスト工程が１回で済むので、作業の効率化が図れるようになる。
しかし、ウエハテスト工程を１回にして工程を簡略化した分、調整精度はウエハテスト工程を２回行なう方式に比べやや劣る。ただし、ウエハテスト工程の結果に基づいて１回の調整工程のみで電圧設定回路の電圧調整を行なう従来の電圧設定方法に比べれば、各段に優れていることは言うまでもない。
図７又は図８に示した２つの実施例のどちらを選択するかは、回路に必要とされる設定精度により使い分けを行なえばよい。

以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内で種々の変更が可能である。

例えば、上記の電圧設定回路の実施例では、粗調整回路として、４組の粗調整用抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４及び粗調整用トリミングヒューズＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４を備えた粗調整回路Ｃを用いているが、本発明の電圧設定回路はこれに限定されるものではなく、粗調整回路において粗調整用抵抗と粗調整用トリミングヒューズの組の個数は何個であってもよい。

また上記の電圧設定回路の実施例では、微調整回路として、２組の粗調整用抵抗Ｒ１１，Ｒ１２及び微調整用トリミングヒューズＴ１２，Ｔ１２を備えた微調整回路Ｆ及びＦ１、並びに２組の粗調整用抵抗Ｒ２１，Ｒ２２及び微調整用トリミングヒューズＴ２２，Ｔ２２を備えた微調整回路Ｆ２を用いているが、本発明の電圧設定回路はこれに限定されるものではなく、微調整回路において微調整用抵抗と微調整用トリミングヒューズの組の個数は何個であってもよい。

また、上記の実施例では本発明の電圧設定回路を定電圧発生回路又は電圧検出回路に適用しているが、本発明の電圧設定回路が適用される回路はこれらの回路に限定されるものではなく、２個以上の抵抗による分圧によって出力端子から電圧出力を得、トリミングヒューズの切断によって電圧出力を調節できる電圧設定回路を備えた回路に適用することができる。

本発明の電圧設定回路において、粗調整回路は粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、微調整回路は微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、粗調整回路と微調整回路は直列に接続されており、微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられているようにすれば、接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して出力端子が接続される接点を選択することができ、調整範囲を広く取れる。さらに微調整用トリミングヒューズを切断することにより微調整を行なうことができるので、高精度の電圧設定が実現できる。

上記電圧設定回路において、微調整回路を２組備え、粗調整回路の両端に微調整回路がそれぞれ直列に接続されており、２組の微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられているようにすれば、接続選択用ヒューズの切断により、２組の微調整回路のうちいずれを使用するかを選択することができ、さらに調整範囲を広く取れる。

本発明の電圧設定回路において、粗調整回路は粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、微調整回路は微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられており、微調整回路を粗調整回路の両端のいずれか一方に直列に接続するための複数の第２接続選択用ヒューズをさらに備えているようにすれば、接続選択用ヒューズの切断により、微調整回路を粗調整回路の両端のいずれに接続するかを選択することがで、調整範囲を広く取ることができ、さらに微調整回路は１個備えていればよいので粗調整回路の両端にそれぞれ微調整回路を設ける場合に比べて電圧設定回路が占める面積を小さくすることができる。

入力電圧を分圧して分圧電圧を供給するための電圧設定回路と、基準電圧を供給するための基準電圧発生回路と、電圧設定回路からの分圧電圧と基準電圧発生回路からの基準電圧を比較するための比較回路を備えた電圧検出回路において、電圧設定回路として、本発明の電圧設定回路を備えているようにすれば、本発明の電圧設定回路によれば電圧設定回路の調整範囲を広くすることができ、かつ高い電圧設定精度を得ることができるので、電圧検出回路の出力の精度を向上させることができる。

入力電圧の出力を制御する出力ドライバと、出力電圧を分圧して分圧電圧を供給するための電圧設定回路と、基準電圧を供給するための基準電圧発生回路と、電圧設定回路からの分圧電圧と基準電圧発生回路からの基準電圧を比較し、比較結果に応じて出力ドライバの動作を制御するための比較回路を備えた定電圧発生回路において、電圧設定回路として、本発明の電圧設定回路を備えているようにすれば、本発明の電圧設定回路によれば電圧設定回路の調整範囲を広くすることができ、かつ高い電圧設定精度を得ることができるので、定電圧発生回路の出力の精度を向上させることができる。

電圧設定回路の電圧設定方法において、本発明の電圧設定回路を用い、少なくとも粗調整用トリミングヒューズを切断することによって粗調整を行なう粗調整工程と、粗調整工程による粗調整の結果に応じて、接続選択用ヒューズを切断して出力端子が接続される接点を選択し、さらに微調整用トリミングヒューズを切断することによって微調整を行なう微調整工程を含むようにすれば、調整範囲を広くすることができ、さらに、高精度の電圧設定を実現できる。

電圧設定回路の電圧設定方法において、粗調整回路は粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、微調整回路は微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、粗調整回路と微調整回路は直列に接続されており、微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられている本発明の電圧設定回路を用い、粗調整工程において、電圧設定回路の出力電圧と目標電圧を比較し、その結果に応じて、粗調整回路の粗調整用トリミングヒューズを切断し、微調整工程において、粗調整工程による粗調整の結果に応じて、接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して出力端子が接続される接点を選択し、さらに微調整用トリミングヒューズを切断するようにすれば、微調整工程において接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して出力端子が接続される接点を選択することにより、調整範囲を広く取れる。さらに、粗調整を行なった後、微調整工程において微調整用トリミングヒューズを切断することにより微調整を行なうので、高精度の電圧設定が実現できる。

電圧設定回路の電圧設定方法において、上記微調整回路を２組備え、上記粗調整回路の両端に上記微調整回路がそれぞれ直列に接続されており、２組の微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられている本発明の電圧設定回路を用い、粗調整工程において、電圧設定回路の出力電圧と目標電圧を比較し、その結果に応じて、２組の微調整回路のうちのどちらを使用するのかを選択して、非選択の微調整回路につながる接続選択用ヒューズを切断し、さらに粗調整用トリミングヒューズを切断し、微調整工程において、粗調整工程による粗調整の結果に応じて、粗調整工程で選択された微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続された接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して出力端子が接続される接点を選択し、さらに微調整用トリミングヒューズを切断するようにすれば、微調整工程において、接続選択用ヒューズの切断により、２組の微調整回路のうちいずれを使用するかを選択することができるので、さらに調整範囲を広く取れる。

電圧設定回路の電圧設定方法において、粗調整回路は粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、微調整回路は微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗の並列回路を複数直列に接続した構成であり、微調整回路の両端の各々と出力端子の間に接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられており、微調整回路を粗調整回路の両端のいずれか一方に直列に接続するための複数の第２接続選択用ヒューズをさらに備えている本発明の電圧設定回路を用い、粗調整工程において、電圧設定回路の出力電圧と目標電圧を比較し、その結果に応じて、微調整回路を粗調整回路の両端のどちら側に接続するかを選択し、第２接続選択用ヒューズを切断して微調整回路を粗調整回路の一端側に接続し、さらに粗調整用トリミングヒューズを切断し、微調整工程において、粗調整工程による粗調整の結果に応じて、接続選択用ヒューズのいずれか一方を切断して出力端子が接続される接点を選択し、さらに微調整用トリミングヒューズを切断するようにすれば、微調整工程において、接続選択用ヒューズの切断により、微調整回路を粗調整回路の両端のいずれに接続するかを選択することができるので、調整範囲を広く取ることができる。

上記の電圧設定回路の電圧設定方法において、ウエハテスト工程を２段階に分け、最初のウエハテスト工程の結果に基づいて粗調整工程を行ない、２回目のウエハテスト工程の結果に基づいて、微調整工程を行なうようにすれば、粗調整工程及び微調整工程を個別のウエハテスト結果に基づいて行なうことにより、調整精度を向上させることができる。

上記の電圧設定回路の電圧設定方法において、粗調整工程をインラインテスト工程とウエハテスト工程の間で行ない、微調整工程をウエハテスト工程の後でウエハテスト結果に基づいて行なうようにすれば、ウエハテスト工程が１回で済み、作業効率を向上させることができる。

電圧設定回路の一実施例を示す回路図である。電圧設定回路の他の実施例を示す回路図である。電圧設定回路のさらに他の実施例を示す回路図である。電圧設定回路のさらに他の実施例を示す回路図である。図４に示した実施例において微調整回路を粗調整回路の一端側に接続したときの接続状態を示す回路図である。図４に示した実施例において微調整回路を粗調整回路の他端側に接続したときの接続状態を示す回路図である。ウエハテスト工程を含む電圧設定回路の電圧調整方法の一実施例を示すフローチャートである。ウエハテスト工程を含む電圧設定回路の電圧調整方法の他の実施例を示すフローチャートである。定電圧発生回路の一例を示す回路図である。電圧検出回路の一例を示す回路図である。従来の電圧設定回路を示す回路図である。他の従来の電圧設定回路を示す回路図である。さらに他の従来の電圧設定回路を示す回路図である。

符号の説明

１，２端子
３出力端子
５直流電源
７負荷
９定電圧発生回路
１１入力端子（Ｖｂａｔ）
１３基準電圧発生回路
１５演算増幅器
１７Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタ
１９出力端子（Ｖｏｕｔ）
２１電圧検出回路
２３入力端子（Ｖｓｅｎｓ）
２５出力端子（Ｖｏｕｔ）
Ｃ粗調整回路
Ｆ，Ｆ１，Ｆ２微調整回路
Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６，Ｎ７，Ｎ８接点
ＲＡ，ＲＢ分圧抵抗
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４粗調整用抵抗
Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ２１，Ｒ２２微調整用抵抗
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４粗調整用トリミングヒューズ
Ｔ１１，Ｔ１２，Ｔ２１，Ｔ２２微調整用トリミングヒューズ
Ｔ１３，Ｔ１４，Ｔ２３，Ｔ２４，Ｔ３１，Ｔ３２接続変更用ヒューズ
Ｔ４１，Ｔ４２，Ｔ４３第２接続変更用ヒューズ
Ｔ５１，Ｔ５２，Ｔ５３第２接続変更用ヒューズ

Claims

２個以上の抵抗による分圧によって出力端子から電圧出力を得、トリミングヒューズの切断によって電圧出力を調節できる電圧設定回路を備えた半導体集積回路の製造方法において、
前記電圧設定回路は、粗調整用トリミングヒューズと粗調整用抵抗をもつ粗調整回路と、微調整用トリミングヒューズと微調整用抵抗をもつ微調整回路と、前記出力端子が接続される接点を選択可能にするための複数の接続選択用ヒューズを備え、前記粗調整回路と前記微調整回路は直列に接続されるものであり、前記微調整回路の両端と前記出力端子との間に前記接続選択用ヒューズがそれぞれ設けられており、
少なくとも上記粗調整用トリミングヒューズを切断することによって粗調整を行なう粗調整工程と、
上記粗調整工程による粗調整の結果に応じて、上記接続選択用ヒューズを切断して上記出力端子が接続される接点を選択し、さらに上記微調整用トリミングヒューズを切断することによって微調整を行なう微調整工程を含む半導体集積回路の製造方法。