JP4854283B2 - プラズマ成膜方法及びプラズマ成膜装置 - Google Patents
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Description
2 基板ホルダー
3 基板
4 プラズマ
5 プラズマ源
6 蒸着材料
7 材料ガス
8 基材
9 ホルダー
10 高周波絶縁スルー
11 バイアス電源
12 プラズマ
13 ガス導入管
14 導波管
15 マイクロ波電源
16 電磁コイル
18 真空容器
19 基板ホルダー
20 永久磁石
21 基板
22 ターゲット
23 シャッター
24 高周波電極
25 マッチングボックス
26 高周波電源
27 油拡散ポンプ
28 油回転ポンプ
29 ガスボンベ
30 ヒーター
31 メインバルブ
32 粗引きバルブ
33 油拡散ポンプ用吸引バルブ
34 ガス導入用可変バルブ
Claims (2)
- 成膜チャンバーの両端にプラズマ収束コイルを設置し、前記プラズマ収束コイルの一端側にプラズマ源を設置し、前記両プラズマ収束コイルによりプラズマを保持及び収束する磁場を発生させると共に、成膜される平板でない3次元形状の基板の裏側に、該基板に沿わせた形状を有しかつ材質が強磁性体である基板ホルダーを設置することにより、プラズマを該基板に沿うように近づけることを特徴とするプラズマ成膜方法。
- 成膜チャンバーの両端にプラズマ収束コイルを設置し、前記プラズマ収束コイルの一端側にプラズマ源を設置し、前記両プラズマ収束コイルによりプラズマを保持及び収束する磁場を発生させると共に、成膜される平板でない3次元形状の基板の裏側に、該基板に沿わせた形状を有しかつ材質が強磁性体である基板ホルダーを設置することにより、プラズマを該基板に沿うように近づけるように配置することを特徴とするプラズマ成膜装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005349050A JP4854283B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | プラズマ成膜方法及びプラズマ成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005349050A JP4854283B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | プラズマ成膜方法及びプラズマ成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007154239A JP2007154239A (ja) | 2007-06-21 |
JP4854283B2 true JP4854283B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
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Family Applications (1)
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Families Citing this family (1)
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Family Cites Families (3)
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---|---|---|---|---|
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JPH0273977A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Sony Corp | プラズマ装置 |
JPH097169A (ja) * | 1995-06-16 | 1997-01-10 | Kao Corp | 薄膜形成装置 |
-
2005
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Publication number | Publication date |
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JP2007154239A (ja) | 2007-06-21 |
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