JP4852651B2 - 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー - Google Patents
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Description
図2(a)は、本発明の参考例1の全体構成を説明する図である。この参考例1では、実施例1と同様にガルバノミラー(横方向の走査装置の1例)による横方向の走査と、参照光路上を参照鏡が移動することにより、参照光の光路長の変更による位相シフトを同時に行う。
図4は、本発明の参考例2を説明する図である。この参考例2は、参考例1において、第1の参照アーム19による第1の参照光17を垂直偏光させて、第2の参照アームの第2の参照光22を水平偏光させて、2つの参照光が互いに干渉しないようにした構成のものである。
図5は、本発明の参考例3を説明する図である。この参考例3は、参考例1において、第1の参照アーム19による第1の参照光17を垂直偏光させて、第2の参照アームの第2の参照光22を水平偏光させて、2つの参照光が互いに干渉しないようにした構成のものである。
図6は、本発明の参考例4を説明する図である。図6(a)において、光源1からの光路2上にビームスプリッター3が配置されている。ビームスプリッター3は、光路の延長上に進む物体光4と光路から90°直交する方向に進む参照光5に分離する。ビームスプリッター3から物体光が進む光路上にガルバノミラー6が配置されている。
図7は、本発明の参考例5を説明する図である。この実施例は、図7(a)に示すように、参考例4における出光側に設ける第2の偏光選択器38をなくして、その代わりに、参考例2の図4で示したものと同様に、偏光ビームスプリッターを用いて異なる方向に偏光した参照光の参照アームを2つ設けて、2つの参照光による計測を同時に単一のスペクトロメータ(単一ディテクター)9で行う構成である。
2 光源からの光路
3 第1のビームスプリッター
4 物体光
5 参照光
6 ガルバノミラー
7、58、60 対物レンズ
8 被計測物
9 スペクトロメータ
10 第2のビームスプリッター
11、17 第1の参照光
12、18 第1の参照鏡
13、20 第2の参照光
14 反射鏡
15、21 第2の参照鏡
16 チョッパ
19 第1の参照アーム
22 第2の参照アーム
23、24、25 CCD画像
27 第1の偏光ビームスプリッター
27’ 偏光ビームスプリッター
28、29 1/4波長板
30 第2の偏光ビームスプリッター
31 第1のスペクトロメータ
32 第2のスペクトロメータ
32’ スペクトロメータ
33 1/4 波長板
34 反射鏡
35、61 参照鏡
36 参照アーム
37 第1の偏光選択器
38 第2の偏光選択器
39 ビームスプリッターから出光する光路
40 第1の偏光ビームスプリッター
41 第2の偏光ビームスプリッター
42 第1の反射鏡
43 第2の反射鏡
44 第1のチョッパ
45 第3の偏光ビームスプリッター
46 第4の偏光ビームスプリッター
47 第3の反射鏡
48 第4の反射鏡
49 第2のチョッパ
50 1/2波長板
51 偏光板
52 偏光選択器
53 1/4波長板
54 偏光ビームスプリッター
56 コリメートレンズ
57 ビームスプリッター
59 被計測試料
62 集光レンズ
63 光検出器
PZT1 ピエゾ素子
PZT2 ピエゾ素子
Claims (1)
- 光源からの光路上に配置され、物体光と参照光を分離する第1のビームスプリッターと、
前記物体光の光路上に配置され、被計測物に前記物体光を走査する走査装置と、
前記参照光の光路上に配置された第2のビームスプリッターと、
前記第2のビームスプリッターで分離された第1の参照光の光路上にある第1の参照鏡と、
前記第2のビームスプリッターで分離された第2の参照光の光路上にある第2の参照鏡と、
前記第1の参照光と第2の参照光を交互に通過させるチョッパとを備えていることを特徴とするスペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー。
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