JP4851359B2 - 感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
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Description
上記(1)で示す多官能ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂またはビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂と重合した重合体でもよい。
上記式(5)で表される化合物は、ビスフェノールA型エポキシまたはビスフェノールF型エポキシが重合したものであり、その平均分子量は2,000〜7,000が好ましく、より好ましくは3,000〜5,000である。平均分子量2,000未満では成膜性が改善されず、一方、平均分子量7,000超では(a)成分と相溶しない。(d)成分としては、具体的にはビスフェノールA型エポキシ樹脂(「エピコート1009」(平均分子量3750);ジャパンエポキシレジン社製)が特に好ましい。
下記表1に示す組成物の感光性樹脂組成物を調製した(配合量:質量部)。
[実施例1〜4、比較例1〜2]
表1の中の実施例1〜4、比較例1〜2に示す各感光性樹脂組成物をシリコンウェーハ上にスピンコーターで塗布後、乾燥し、30μmの膜厚を有する感光性樹脂組成物層を得た。この感光性樹脂組成物層をホットプレートにより60℃で5分間および90℃で5分間プリベークした。その後、PLA−501F(コンタクトアライナー;キャノン(株)製)を用いてパターン露光(ソフトコンタクト、GHI線)を行い、ホットプレートにより90℃で5分間、露光後加熱(PEB)を行い、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を用いて浸漬法により4分間現像処理を行った。次に、現像後の樹脂パターンを基板ごと、オーブンを用いて、200℃で1時間、ポストベークを行い、基板上に硬化した樹脂パターンを得た。
表1の中の実施例5〜6に示す各感光性樹脂組成物を膜厚38μmの離型剤付ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(支持膜。帝人(株)製)上に均一に塗布し、温風対流乾燥機により65℃で5分間および80℃で5分間乾燥した後、露出面上に膜厚25μmの離型剤付PET(保護膜)をラミネートして、30μmの膜厚の感光性樹脂組成物層をもつドライフィルムレジスト(積層体)を形成した。
(露光量)
上記実施例1〜4、比較例1〜2、実施例5〜6のパターン形成工程において、現像後に、必要露光量を測定することにより感度・解像性の評価を行った。結果を表1に示す。
(細線密着)
上記実施例1〜4、比較例1〜2、実施例5〜6のパターン形成後、形成された樹脂パターン中、密着している最も細いパターン幅のものを測定した。結果を表1に示す。
(b):ジフェニル[4−(フェニルチオ)フェニル]スルホニウムヘキサフルオロフォスフェートとチオジ−p−フェニレンビス(ジフェニルスルホニウム)ビス(ヘキサフルオロホスフェート)の混合物(「UVI−6992」;ダウケミカル社製)
(d):高分子2官能エポキシ樹脂(「エピコート1009」;ジャパンエポキシレジン社製)
(c−1):1,5−ジヒドロキシナフタレン
(c−2):2,3−ジヒドロキシナフタレン
(c−3):2,6−ジヒドロキシナフタレン
(c−4):1−ナフトール
(c−5):ベンゾフェノン
(e):γ−ブチロラクトン
(f):1,4−ビス{〔(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ〕メチル}ベンゼン
(y):「ペインダット M」(ダウコーニング社製)(レべリング剤)。
Claims (8)
- (a)多官能エポキシ樹脂と、(b)カチオン重合開始剤と、(c)増感剤とを含有し、
前記(c)成分が、1,2−ジヒドロキシナフタレン、1,3−ジヒドロキシナフタレン、1,4−ジヒドロキシナフタレン、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、1,7−ジヒドロキシナフタレン、1,8−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、および2,7−ジヒドロキシナフタレンの中から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 - 前記(a)成分が、多官能ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- さらに(d)高分子直鎖2官能エポキシ樹脂を含有する、請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
- さらに(e)有機溶剤として、γ−ブチロラクトンおよび炭酸プロピレンの中から選ばれる少なくとも1種を含有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物から形成される感光性樹脂組成物層の両面に保護膜を形成してなる感光性樹脂組成物積層体。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、乾燥して、感光性樹脂組成物層を形成した後、該感光性樹脂組成物層を選択的に露光し、露光後の感光性樹脂組成物層を現像して樹脂パターンを得、この得られた樹脂パターンを加熱処理して、所定形状の硬化樹脂パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項5に記載の感光性樹脂組成物積層体を、その一方の面(下面)の保護膜を除去して支持体上に貼り付け、次いで該積層体の他方の面(上面)の保護膜を除去した後、この支持体上の感光性樹脂組成物層を選択的に露光し、露光後の感光性樹脂組成物層を現像して樹脂パターンを得、この得られた樹脂パターンを加熱処理して、所定形状の硬化樹脂パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項5に記載の感光性樹脂組成物積層体を、その一方の面(下面)の保護膜を除去して支持体上に貼り付け、次いでこの支持体上の感光性樹脂組成物積層体を選択的に露光した後、該積層体の他方の面(上面)の保護膜を除去し、該露光後の感光性樹脂組成物を現像して樹脂パターンを得、この得られた樹脂パターンを加熱処理して、所定形状の硬化樹脂パターンを得ることを特徴とするパターン形成方法。
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