JP4842285B2 - デバイス製造方法、コンピュータプログラムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するよう構成されたイルミネータと、
基板上にパターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを含むリソグラフィ装置を使用し、
パターンおよび照明装置に関する情報を受け取るステップと、
パターンおよび照明装置に関する情報に基づいて関心領域を決定するステップであって、関心領域が、像の形成に寄与する変調されたビームの実質的に全ての放射が通過する瞳面の非円形領域であるステップと、
関心領域にわたり直交する1組の基底関数を獲得するステップと、
関心領域にわたり直交する基底関数および1組の係数によって瞳面内の波面を表すステップと、
係数の値を最小にするために少なくとも1つの制御設定の値を決定するステップとを含むデバイス製造方法が提供される。
照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するよう構成されたイルミネータと、
基板上にパターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して投影システムの収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを含むリソグラフィ装置を使用し、
パターンおよび照明装置に関する情報を受け取るステップと、
パターンおよび照明装置に関する情報に基づいて関心領域を決定するステップであって、関心領域が、像の形成に寄与する変調されたビームの実質的に全ての放射が通過する瞳面の非円形領域であるステップと、
瞳面に対する重み関数を決定するステップであって、重み関数が、関心領域内にない瞳面の部分より高く関心領域を重み付けするステップと、
重み付けした瞳面にわたり直交する1組の基底関数を獲得するステップと、
重み付けした瞳面にわたり直交する基底関数および1組の係数によって瞳面内の波面を表すステップと、
係数の値を最小にするために少なくとも1つの制御設定の値を決定するステップとを含むデバイス製造方法が提供される。
照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するよう構成されたイルミネータと、
基板上にパターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して投影システムの収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを含むリソグラフィ装置を使用し、
パターンおよび照明装置に関する情報を受け取るステップと、
パターンおよび照明装置に関する情報に基づいて関心領域を決定するステップであって、関心領域が、像の形成に寄与する変調されたビームの実質的に全ての放射が通過する瞳面の非円形領域であるステップと、
関心領域にわたり直交する1組の基底関数を獲得するステップと、
関心領域にわたり直交する基底関数および1組の係数によって瞳面内の波面を表すステップと、
係数の値を最小にするために少なくとも1つの制御設定の値を決定するステップとを含む方法を実行するようコンピュータシステムに命令するためにコンピュータ読取可能な媒体に記録された命令を含み、デバイス製造方法のために少なくとも1つの制御設定のための値を決定するように構成されたコンピュータプログラムが提供される。
照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するよう構成されたイルミネータと、
基板上にパターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して投影システムの収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを備え、
パターンおよび照明装置に関する情報を受け取るように構成された入力手段と、
パターンおよび照明装置に関する情報に基づいて関心領域を決定するように構成された第1計算デバイスであって、関心領域が、像の形成に寄与する変調されたビームの実質的に全ての放射が通過する瞳面の非円形領域であるステップと、
関心領域にわたり直交する1組の基底関数を獲得するように構成された第2計算デバイスと、
関心領域にわたり直交する基底関数および1組の係数によって瞳面内の波面を表すように構成された第3計算デバイスと、
係数の値を最小にするために少なくとも1つの制御設定の値を決定するように構成された第4計算デバイスとを含む制御システムとを備えるリソグラフィ装置が提供される。
放射ビームB(例えば、UV放射またはDUV放射)を調整するように構成されたイルミネータ(照明システム)ILと、
パターニングデバイス(例えば、マスク)MAを支持するために構成され、一定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1位置決め装置PMに接続されている支持構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するために構成され、一定のパラメータに従って正確に基板を位置決めするように構成された第2位置決め装置PWに接続されている基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ、または複数のダイを含む)の上に、パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを投影するように構成された投影システム(例えば、屈折式投影レンズシステム)PSとを含む。
1.ステップモードでは、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは本質的に静止状態に維持され、一方、放射ビームに与えられた全パターンが一挙にターゲット部分C上に投影(すなわち、単一静止露光)される。次いで、基板テーブルWTが、別のターゲット部分Cが露光可能となるようにXおよび/またはY方向に位置を変えられる。ステップモードでは、露光フィールドの最大寸法が、単一静止露光で像を形成されるターゲット部分Cの寸法を制限する。
2.スキャンモードでは、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは、同期してスキャンされ、一方、放射ビームに与えられたパターンがターゲット部分C上に投影される(すなわち、単一動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの拡大(縮小)率およびイメージ反転特性によって決定されてよい。スキャンモードでは、露光フィールドの最大寸法が、単一動的露光内のターゲット部分の幅(非スキャン方向の)を制限し、一方、スキャン動作の長さが、ターゲット部分の高さ(スキャン方向の)を決定する。
3.別のモードでは、マスクテーブルMTが、プログラマブルパターニングデバイスを本質的に静止状態に保持し続け、基板テーブルWTが移動され、またはスキャンされ、一方、放射ビームに与えられたパターンがターゲット部分Cの上に投影される。このモードでは、一般にパルス放射源が使用され、基板テーブルWTの各移動後、あるいはスキャンの間の連続する放射パルスの合間に、必要に応じてプログラマブルパターニングデバイスが更新される。この動作モードは、上で参照したような型のプログラマブルミラーアレイなど、プログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用可能である。
制御ユニットCUの所で像を形成すべきパターンのデータを受け取るステップS1と、
使用者によって入力されても、制御ユニットCUによって決定されてもよい、適切な照明設定を受け取るかまたは決定するステップS2と、
再び使用者によって入力されても、あるいはシミュレーションまたは事前に決められた規則により制御ユニットCUによって決定されてもよい、関心領域を決定するステップS3と、
制御ユニットCU内で関心領域に対する基底関数を計算するステップS4と、
制御ユニットCU内で関心領域にわたる波面を記述するために係数を計算するステップS5と
投影システムPSの少なくとも1つの調整可能なエレメントAEに対し設定を決定するステップS6と、
決定した設定を用いて露光を実施するステップS7とを含む。
Claims (15)
- 照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するイルミネータと、
基板上に前記パターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを含むリソグラフィ装置を使用するデバイス製造方法であって、
前記パターンおよび前記照明装置に関する情報を受け取るステップと、
前記パターンおよび前記照明装置に関する前記情報に基づいて関心領域を決定するステップであって、前記関心領域が、前記像の形成に寄与する前記変調されたビームの実質的に全ての前記放射が通過する前記瞳面の非円形領域であるステップと、
前記瞳面に対する重み関数を決定するステップであって、前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分より高く前記関心領域を重み付けするステップと、
前記重み付けした瞳面にわたり直交する1組の基底関数を獲得するステップと、
前記重み付けした瞳面にわたり直交する基底関数および1組の係数によって前記瞳面内の前記波面を表すステップと、
前記係数の値を最小にするために前記少なくとも1つの制御設定の値を決定するステップと、
を含むデバイス製造方法。 - 前記重み関数が、前記関心領域の少なくとも2つの部分に対しそれぞれ異なる重みを与える、
請求項1に記載の方法。 - 前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分に対しゼロの重みを与える、
請求項1に記載の方法。 - 前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分に対し非ゼロの重みを与える、
請求項1に記載の方法。 - 前記照明装置は、前記変調されたビームのエネルギーが前記瞳面内で強く局在している照明モードで使用される、請求項1〜4のいずれか1の請求項に記載の方法。
- 照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するよう構成されたイルミネータと、
基板上に前記パターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを含むリソグラフィ装置を使用しデバイス製造方法のために少なくとも1つの制御設定に対する値を決定するように構成されるコンピュータプログラムにおいて、
前記パターンおよび前記照明装置に関する情報を受け取るステップと、
前記パターンおよび前記照明装置に関する前記情報に基づいて関心領域を決定するステップであって、前記関心領域が、前記像の形成に寄与する前記変調されたビームの実質的に全ての前記放射が通過する前記瞳面の非円形領域であるステップと、
前記瞳面に対する重み関数を決定するステップであって、前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分より高く前記関心領域を重み付けするステップと、
前記重み付けした瞳面にわたり直交する1組の基底関数を獲得するステップと、
前記重み付けした瞳面にわたり直交する前記基底関数および1組の係数によって前記瞳面内の前記波面を表すステップと、
前記係数の値を最小にするために前記少なくとも1つの制御設定の値を決定するステップと、
を含む方法を実行するようコンピュータシステムに命令するためにコンピュータ読取可能な媒体上に記録される命令を含むプログラム。 - 前記重み関数が、前記関心領域の少なくとも2つの部分に対しそれぞれ異なる重みを与える、請求項6に記載のプログラム。
- 前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分に対しゼロの重みを与える、
請求項6に記載のプログラム。 - 前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分に対し非ゼロの重みを与える、
請求項6に記載のプログラム。 - 前記照明装置は、前記変調されたビームのエネルギーが前記瞳面内で強く局在している照明モードで使用される、請求項6〜9のいずれか1の請求項に記載のプログラム。
- 照明装置を有し、放射ビームでパターニングデバイスを照射するよう構成されたイルミネータと、
基板上に前記パターン像を形成するために変調されたビームで放射を投影するよう構成され、瞳面を有し、少なくとも1つの制御設定に応答して収差を調整するように構成された少なくとも1つの調整可能なエレメントを有する投影システムとを備え、
前記パターンおよび前記照明装置に関する情報を受け取るように構成された入力手段と、
前記パターンおよび前記照明装置に関する前記情報に基づいて関心領域を決定するように構成された第1計算デバイスであって、前記関心領域が、前記像の形成に寄与する前記変調されたビームの実質的に全ての前記放射が通過する前記瞳面の非円形領域であるデバイスと、
前記瞳面に対する重み関数を決定するように構成された重み付けデバイスであって、前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分より高く前記関心領域を重み付けするデバイスと、
前記重み付けした瞳面にわたり直交する1組の基底関数を獲得するように構成された第2計算デバイスと、
前記重み付けした瞳面にわたり直交する前記基底関数および1組の係数によって前記瞳面内の前記波面を表すように構成された第3計算デバイスと、
前記係数の値を最小にするために前記少なくとも1つの制御設定の値を決定するように構成された第4計算デバイスとを含む制御システムとを備えるリソグラフィ装置。 - 前記重み関数が、前記関心領域の少なくとも2つの部分に対しそれぞれ異なる重みを与える、請求項11に記載のリソグラフィ装置。
- 前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分に対しゼロの重みを与える、
請求項11に記載のリソグラフィ装置。 - 前記重み関数が、前記関心領域内にない前記瞳面の部分に対し非ゼロの重みを与える、
請求項11に記載のリソグラフィ装置。 - 前記照明装置は、前記変調されたビームのエネルギーが前記瞳面内で強く局在している照明モードで使用される、請求項11〜14のいずれか1の請求項に記載のリソグラフィ装置。
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