JP4826472B2 - 偏光性回折型フィルタおよび積層偏光性回折型フィルタ - Google Patents
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Description
sinθ=λ/P
の関係で定まる回折角度θで分離される。
従って、この回折分離角度を十分に大きく確保しようとすると、格子周期を小さくする必要があるが、格子周期を小さくした場合には、透過する波長の光に対する透過率が低下するという問題点もあわせて有していた。
1.一対の偏光性回折型フィルタを、回折格子が対向するように積層してなる積層偏光性回折型フィルタであって、前記偏光性回折型フィルタは、異なる2つ以上のピーク波長の光が入射するとともに前記2つ以上の光のうち少なくとも一つのピーク波長の光を回折により遮光し、その他のピーク波長の光を透過する偏光性回折型フィルタであって、前記偏光性回折型フィルタは、透明基板上に回折格子を構成する周期的な凹凸部が形成されているとともに、凹部には光学部材が充填され、かつ、液晶性材料を含むとともに、前記対向する回折格子の間に充填されており、前記対向する回折格子の長手方向は互いに直交するように配置されてなる積層偏光性回折型フィルタを提供する。
上記構成によれば、2つの回折格子を回折方向が直交するように配置することで、第1に入射する回折格子で発生した回折光が、第2に入射する回折格子によりさらに回折して生ずる回折光が、透過光と異なる方向に進行する。これにより、2枚の偏光性回折型フィルタを用いることにより、遮光する波長の透過率を抑制し透過する波長との消光比を大きくすることが可能となる。
上記構成によれば、液晶性材料の異常光屈折率を示す配向軸を格子長手方向と平行にすることで、格子壁面による液晶性材料に対する配向規制力を、液晶分子の配向に利用することが可能になる。
上記構成によれば、回折格子の凹凸部は透明基板上に形成された薄膜により形成されているため、透明基板とは異なる任意の屈折率を有する材料で形成でき、光学部材の選択の幅を広げることが可能となる。
上記構成によれば、回折格子の間にある液晶が旋光子として機能することから直交する2つの回折格子の偏光特性は略等しくなり、複層化によって消光比が向上するとともに回折迷光の影響も抑制することが可能となる。
6.前記回折格子の少なくとも凹部に成膜された透明導電膜を備え、前記透明導電膜は、前記透明基板に対して垂直、もしくは前記回折格子の長手方向と直交している方向に電圧を印加して、前記液晶性材料を駆動することができるように形成されている上記1から5に記載の積層偏光性回折型フィルタ。
上記構成によれば、内蔵された電極に印加された電圧により液晶を駆動することで、偏光を変化させる機能を有する素子を内蔵した、透過する波長を変化させる回折フィルタとすることが可能になる。特に、前記回折格子の格子長手方向と直交する方向に、換言すれば回折格子の回折方向と平行な方向に電圧を印加する場合には、液晶性材料の異常光屈折率を示す配向軸が面内で変化することで、電圧無印加持に透過する波長を選択することが可能となる。
7.第1の偏光性回折型フィルタおよび第2の偏光性回折型フィルタを積層してなる積層偏光性回折型フィルタであって、第1の偏光性回折型フィルタおよび第2の偏光性回折型フィルタの各々は、異なる2つ以上のピーク波長の光が入射するとともに前記2つ以上の光のうち少なくとも一つのピーク波長の光を回折により遮光し、その他のピーク波長の光を透過する偏光性回折型フィルタであって、前記第1および第2の偏光性回折型フィルタは、透明基板上に回折格子を構成する周期的な凹凸部が形成されているとともに、凹部には光学部材が充填され、かつ、前記凹凸部を構成する部材もしくはこの前記凹部を充填する光学部材のうち少なくとも一方は、液晶性材料を含み、互いに直交する偏光方向を有する第1の直線偏光および第2の直線偏光に対して、第1の偏光性回折型フィルタは、第1の直線偏光をほぼ全て透過するとともに第2の直線偏光を回折するものであって、第2の偏光性回折型フィルタは、第1の直線偏光を回折するとともに第2の直線偏光をほぼ全て透過するものである、積層偏光性回折型フィルタ。
上記構成によれば、直交する直線偏光の一方にのみ作用する回折フィルタを組み合わせて設けることで、入射する全ての偏光を利用することが可能になり、利用効率を高めることができる。
上記構成によれば、透過する光の強度に対する波長依存性において、半値全幅を小さくすることができる。
また、上記してきたような回折型フィルタを用いることで、これらいずれのフィルタであってもこれを構成部品として用いることで、安価で設計自由度の大きい光ヘッド装置や画像処理装置とすることが可能となる。
11、13、21、23、31、33、41,43 透明基板
12、22、24、32、34、42,44 回折格子
14、25、35、45 透明導電膜
15、26、36、46 液晶
また以下の説明では、偏光性回折型フィルタを回折格子が対向するように積層してなる積層偏光性回折型フィルタを対象とする。
(第1の実施態様)
図1は、本発明の第1の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ10を示す斜視図であり、この積層偏光性回折型フィルタ10は、屈折率がnsであるガラス等の透明基板11上に周期的な凹凸からなる深さがdの回折格子12が形成されている。回折格子12上には、ITO等の薄膜が成膜され透明導電膜14を形成している。同様にITOを透明導電膜14として表面に成膜して、対向する透明基板13とした。透明基板11および13の片面に図示しない配向膜を形成し回折格子12の格子長手方向と平行な方向、換言すれば回折格子の回折方向と直交する方向に配向処理を施してある。また後述するように、透明導電膜14が対向する透明基板11,13間の空間には液晶性材料(液晶)15が充填されており、液晶セルを構成している。
次に、本実施例の積層偏光性回折型フィルタ10の製造方法について説明する。
(1)初めに、屈折率がnsであるガラス等の透明基板11を用意する。そしてその片面に、フォトリソグラフィーにより周期的な凹凸からなる深さがdの回折格子12を形成する。
なお、高屈折率材料としては、TiO2、Ta2O5、Nb2O5などを使用することが可能であり、低屈折率材料としては、SiO2、MgF2などに加えて、波長に対して十分に小さな空孔を有することで実効的に低屈折率とした材料などを用いることが可能である。
使用する透明基板11との屈折率差による界面反射(フレネル反射)損失に起因する透過率低下を抑制するためには、低屈折率材料の方が好ましい。
この場合、液晶の駆動により変化させる位相の範囲を設定する自由度が増加し好ましい。また、誘電体多層膜を格子材料として用いることも可能であり、透過率、実効屈折率などの波長依存性を積層構成の適正化で設計することも可能である。
また、格子材料として、複屈折性を有する液晶性高分子を加工して用いることも可能である。この場合、格子凹部は光学的な部材として、空気を含む低屈折率材料から高屈折率材料までの種々の等方性材料で充填することが可能である。また、格子凹部に複屈折性を有する液晶を充填することで、凸部および凹部のいずれにも複屈折性材料を用いた構成とすることも可能である。
また、透明基板上11上に成膜した材料で格子を形成する場合には、透明電極となる透明導電膜14を、上記において凹凸部分の下部と表現されているように、格子を形成する薄膜の下に一様に配置することも可能であり、透明基板に挟まれる均一液晶層の厚さが充分に大きく、均一液晶層に対する格子部による電圧降下の影響が少ない場合には、印加する電圧の均一性が高く、プロセスも簡便になり好ましい。
次に、本発明の第2の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ20について、図2を参照しながら説明する。
この積層偏光性回折型フィルタ20は、本発明の第1の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ10と同様な回折格子22、24を、透明基板21、23の対向する面にそれぞれ形成してあり、格子の長手方向が互いに直交するように対向して積層してある点が異なる。
ここで、液晶の配向とは液晶分子の配向を意味する。以下においても同様である。
次に、本発明の第3の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ30について、図4を参照しながら説明する。
本実施態様の積層偏光性回折型フィルタ30は、第2の実施態様と異なり、透明基板31、33上に形成された周期的な凹凸を有する回折格子32、34の形成材料の屈折率が、一方の回折格子32(または34)では、異常光屈折率に等しく、他方の回折格子34(または32)では、常光屈折率に等しい。また、本実施態様では、液晶36の配向方向が、一方の回折格子32(または34)では、格子の長手方向と平行であり、他方の回折格子34(または32)では、格子の長手方向と垂直であることも、第2の実施態様と異なる。
(1)初めに、使用する液晶性材料の常光屈折率noと略等しい屈折率を有する等方性材料を透明基板31上に成膜し、フォトリソグラフィーにより、使用する液晶性材料の常光屈折率noと略等しい屈折率を有する材料からなる周期的な凹凸からなる深さがdの第1の回折格子32を形成する。一方、これと対向する透明基板33上には、使用する液晶性材料の異常光屈折率neと略等しい屈折率を有する等方性材料を透明基板33上に成膜し、使用する液晶性材料の異常光屈折率neと略等しい屈折率を有する材料からなる周期的な凹凸からなる深さがdの第2の回折格子34を形成する。
他方、液晶への電圧の印加により、回折格子32と回折格子34の位相差は、略等しい変化を示すことから入射する光の全ての偏光状態に対して等しく、位相差すなわち透過率を変化させることが可能となる。
また、第1から第3の実施態様の回折フィルタは、例えば、波長405nm帯、660nm帯、790nm帯の光があわせて用いられる光ディスク装置の光学系内に配置して用いることが可能であり、有効領域の全面もしくは一部分に対して使用する波長の光を透過させ、使用しない波長の光を回折遮蔽する波長選択フィルタとして用いることが可能である。
また、可視域の光を用いる画像表示装置や画像読み込み装置に対しては、例えば波長が450nm帯、550nm帯、650nm帯の青、緑、赤に対して作用する可変フィルタとして用いることが可能である。
(第4の実施態様)
次に、本発明の第4の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ40について、図5を参照しながら説明する。
この積層偏光性回折型フィルタ40は、本発明の第2の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ20(図2参照)が略等しい特性を有する回折格子22、24を用いているのに対して、特性の異なる回折格子42、44を、透明基板41、43の対向する面にそれぞれ形成し、格子の長手方向が互いに直交するように対向して積層してある点が異なる。
即ち、本実施態様の積層偏光性回折型フィルタ40は、透明基板41に形成の回折格子42と構成が異なることで特性の異なる回折格子44を、対向する透明基板43にも配置する構成としている。この回折格子42、44は、第1の実施態様と同様に、格子と平行な方向に配向処理を施したことで、第2の実施態様である積層偏光性回折型フィルタ20と同様に、液晶の配向は、略90度ねじれ(回転し)ており、旋光子としての機能もあわせて有する。
2つの透明導電膜45の間に電圧を印加していないときには、波長がλで格子の長手方向と平行な直線偏光を入射光とした場合、透明基板41に設置された回折格子42では、第1の実施態様と同様に、透明基板41の屈折率nsと液晶性材料46の格子長手方向に平行な異常光屈折率neでの透過特性となる。透明基板41と対向する透明基板43との間における液晶の配向方向のねじれ(回転)により、入射直線偏光は略90度回転する。その結果、対向する透明基板43の回折格子44においても、透明基板41と同じく、透明基板43と液晶性材料46の格子長手方向に平行な異常光屈折率neでの透過特性となる。
液晶セルの周期的な凹凸の界面に入射する直線偏光に対する透過光の透過率を決定する位相差Φは第1の実施の態様と同様に、電圧の印加により式1から式2へと変化する。回折格子42、44の格子深さを適切に選定することで、例えば、V0、V1、V2の印加電圧に対する位相差を、第1の回折格子に対しては、2π・λ1/λ、2π・λ2/λ、2π・λ3/λとし、第2の回折格子に対しては、2×(2π・λ1/λ)、2×(2π・λ2/λ)、2×(2π・λ3/λ)とすることが可能となる。この場合、ある透過波長周辺における、第2の回折格子での透過スペクトルの波長に対する半値全幅は、第1の回折格子での透過スペクトルの波長の半値全幅よりも狭くなり、色純度が向上する。この効果は、第1の回折格子の位相差と第2の回折格子の位相差とは等しい必要はなく、いずれもが透過させる波長の整数倍になっていればよいが、透過率の低下の抑制ならびに、位相差が波長の整数倍で増加した際に、目的とする透過波長以外の波長で発生する透過ピークの数を抑えるためには位相は小さい方が好ましく、2つの回折格子の位相差が、透過させる波長の、1倍および2倍の組み合わせが、前述の理由で最も好ましい。
この様な組み合わせの位相差とした結果、例えば2つの透明導電膜45間に電圧V0を印加した場合、第1の回折格子42での透過率を、例えば、波長λ1,λ2、λ3に対して、おのおのT1 1、T1 2,T1 3とし、第2の回折格子44での透過率を、例えば、波長λ1,λ2、λ3に対して、おのおのT2 1、T2 2,T2 3とすると、第4の実施態様の場合には、素子透過後の特性は、おのおの、T1 1×T1 2、T1 2×T2 2、T1 3×T3 2となる。第1の回折格子と第2の回折格子の透過特性を適切に設定することで、第1の実施態様や第2の実施態様で得られる特性に比べて、消光比の向上や、波長λ1、λ2、λ3の間のコントラストの向上が可能となる。図6に、本実施の態様での、フィルタ特性の一例を示す。図6中の点線Aは第1の回折格子の透過率を、破線Bは第2の回折格子の透過率をそれぞれ示す。2枚の回折格子の格子長手方向を直交して積層することで図6中に実線Cで示した透過率を示し、透過ピーク波長周辺での半値全幅が狭窄化されることがわかる。
「例1」
本実施例では、図1を参照しながら第1の実施態様に係わる積層偏光性回折型フィルタ10の具体的な作成方法を説明する。
透明基板11として屈折率が、1.46の石英ガラス基板を用い、この石英ガラス基板表面に、格子周期が10μmで深さ2μmの回折格子12をフォトリソグラフィーにより形成する。次に厚さが20nmのITO膜をスパッタ法にて、透明導電膜14として、回折格子12上および対向する透明基板13に成膜する。その後、図示しない配向膜としてポリイミド樹脂を塗布した後に焼成し、配向方向が格子12の方向と平行になるようラビングによる配向処理を施す。その後、相対する配向方向が平行となるように、図示しない10μmのグラスファイバスペーサを含有するエポキシの周辺シールを透明基板13の周辺に印刷し、熱圧着より透明基板11と接着して液晶セルとする。このセルに、真空注入法にて、異常光屈折率が1.76であり,常光屈折率が1.51である液晶15を注入封止し、積層偏光性回折型フィルタ10とする。
一方、透明電極14の間に、周波数1kHzの交流矩形電圧を印加し変化させることで透過する波長のピークは徐々に短波長側にシフトし、約3Vの印加電圧で波長が450nmの光を85%以上透過し、波長が650nmの光の透過率は15%以下となる。ランダムな入射偏光に対しての利用率は、前側の位置に設置した偏光子にて光量が半減しているが、透過する波長に対して約40%が得られる。
本実施例では、図4を参照しながら、先に説明した第3の実施態様に係わる積層偏光性回折型フィルタ30の具体的な製造方法を説明する。
透明基板31として屈折率が1.51のガラス基板を用い、その表面に使用する液晶材料の常光屈折率1.51と略等しくなるように組成比を調整した厚さ2.6μmのSiON膜をプラズマCVD法にて成膜する。対向する透明基板33の表面には、使用する液晶材料の異常光屈折率1.76と略等しくなるように異なる組成比に調整した厚さ2.6μmのSiON膜を同様に成膜する。
「例3」
本実施例では、図5を参照しながら、先に説明した第4の実施態様に係わる積層偏光性回折型フィルタ40の具体的な製造方法を説明する。
透明基板41として屈折率が1.51のガラス基板を用い、その表面に透明導電膜45として、厚さ20nmのITO膜をスパッタ法にて一様に成膜する。透明導電膜45の上に屈折率が約2.2、厚さ1.2μmのTa2O5膜を真空蒸着法にて成膜する。対向する透明基板43の表面にも同様に透明導電膜45として厚さ20nmのITO膜と、屈折率が約2.2、厚さ2.4μmのTa2O5膜を同様に順次成膜する。
両方のTa2O5膜に対して、格子周期が2μmで深さ1.2μmの回折格子42および格子周期が2μmで深さ2.4μmの回折格子44をフォトリソグラフィー法により形成する。その後、図示しない配向膜として照射した紫外光の偏光方向に液晶を配向させるポリビニルシナメート樹脂を塗布、焼成し、配向方向が回折格子42に対しても回折格子44に対しても格子の長手方向と平行となるように偏光紫外光照射による配向処理を施す。
その後、相対する格子の長手方向および配向方向が直交するように、図示しない10μmのグラスファイバスペーサを含有するエポキシの周辺シールを透明基板43の周辺に印刷し、熱圧着より双方の透明基板41、43を接着し液晶セルとする。セルには、真空注入法にて、異常光屈折率が1.76、常光屈折率が1.51である液晶46を注入封止し、積層偏光性回折型フィルタ40とする。
この積層偏光性回折型フィルタ40によれば、積層偏光性回折型フィルタ40の前側位置に設置した図示外の偏光子を透過した、格子の長手方向に平行な偏光方向の直線偏光の入射光に対して、2つの透明導電膜45間に電圧を印加していない状態では、波長が450nmの光に対しては、80%以上の高い透過率を示すのに対して、波長が550nmおよび650nmの光に対しては、10%以下の低い透過率を示す。
一方、2つの透明電極45の間に、周波数1kHzの交流矩形電圧を印加し変化させることで透過する波長のピークは徐々に長波長側にシフトし、約3Vの印加電圧で波長が550nmの光を80%以上透過し、波長が450nmおよび650nmの光の透過率は10%以下となる。さらに電圧を印加することで波長が650nmの光を80%以上透過し、波長が450nmおよび550nmの光の透過率は10%以下となる。
なお、2004年7月29日に出願された日本特許出願2004−221265号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (8)
- 一対の偏光性回折型フィルタを、回折格子が対向するように積層してなる積層偏光性回折型フィルタであって、前記偏光性回折型フィルタは、
異なる2つ以上のピーク波長の光が入射するとともに前記2つ以上の光のうち少なくとも一つのピーク波長の光を回折により遮光し、その他のピーク波長の光を透過する偏光性回折型フィルタであって、
前記偏光性回折型フィルタは、透明基板上に回折格子を構成する周期的な凹凸部が形成されているとともに、
凹部には光学部材が充填され、かつ、液晶性材料を含むとともに、前記対向する回折格子の間に充填されており、前記対向する回折格子の長手方向は互いに直交するように配置されてなる積層偏光性回折型フィルタ。 - 前記液晶性材料の異常光屈折率を示す液晶分子の配向軸方向は、前記回折格子の近傍で、前記回折格子の長手方向と平行とされている請求項1に記載の積層偏光性回折型フィルタ。
- 前記回折格子を構成する凹凸部は、透明基板上に形成された薄膜により形成されている請求項1または2の積層偏光性回折型フィルタ。
- 前記光学部材に含まれる液晶性材料の異常光屈折率を示す液晶分子の配向軸方向が前記透明基板面に垂直な方向の周りに90度回転しているように、前記光学部材が配置されている請求項1に記載の積層偏光性回折型フィルタ。
- 前記光学性部材に含まれる液晶性材料の異常光屈折率を示す液晶分子の配向軸方向は、対向する回折格子のそれぞれの近傍で、前記回折格子の長手方向と平行とされている請求項1から4のいずれか1項に記載の積層偏光性回折型フィルタ。
- 前記回折格子の少なくとも凹部に成膜された透明導電膜を備え、前記透明導電膜は、前記透明基板に対して垂直、もしくは前記回折格子の長手方向と直交している方向に電圧を印加して、前記液晶性材料を駆動することができるように形成されている請求項1から5のいずれか1項に記載の積層偏光性回折型フィルタ。
- 第1の偏光性回折型フィルタおよび第2の偏光性回折型フィルタを積層してなる積層偏光性回折型フィルタであって、第1の偏光性回折型フィルタおよび第2の偏光性回折型フィルタの各々は、
異なる2つ以上のピーク波長の光が入射するとともに前記2つ以上の光のうち少なくとも一つのピーク波長の光を回折により遮光し、その他のピーク波長の光を透過する偏光性回折型フィルタであって、
前記第1および第2の偏光性回折型フィルタは、透明基板上に回折格子を構成する周期的な凹凸部が形成されているとともに、
凹部には光学部材が充填され、かつ、前記凹凸部を構成する部材もしくはこの前記凹部を充填する光学部材のうち少なくとも一方は、液晶性材料を含み、
互いに直交する偏光方向を有する第1の直線偏光および第2の直線偏光に対して、第1の偏光性回折型フィルタは、第1の直線偏光をほぼ全て透過するとともに第2の直線偏光を回折するものであって、第2の偏光性回折型フィルタは、第1の直線偏光を回折するとともに第2の直線偏光をほぼ全て透過するものである、積層偏光性回折型フィルタ。 - 第1の偏光性回折型フィルタおよび第2の偏光性回折型フィルタを積層してなる積層偏光性回折型フィルタであって、第1の偏光性回折型フィルタおよび第2の偏光性回折型フィルタの各々は、
異なる2つ以上のピーク波長の光が入射するとともに前記2つ以上の光のうち少なくとも一つのピーク波長の光を回折により遮光し、その他のピーク波長の光を透過する偏光性回折型フィルタであって、
前記第1および第2の偏光性回折型フィルタは、透明基板上に回折格子を構成する周期的な凹凸部が形成されているとともに、
凹部には光学部材が充填され、かつ、前記凹凸部を構成する部材もしくはこの前記凹部を充填する光学部材のうち少なくとも一方は、液晶性材料を含み、
第1の偏光性回折型フィルタがピーク波長の光に対して発生する位相差が、第2の偏光性回折型フィルタがピーク波長の光に対して発生する位相差の略2倍である積層偏光性回折型フィルタ。
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