JP4824885B2

JP4824885B2 - Arrangement structure and operation method of air shower device and cleaning device

Info

Publication number: JP4824885B2
Application number: JP2001304683A
Authority: JP
Inventors: 富夫緒方
Original assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Current assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2011-11-30
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: JP2003106591A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，清浄装置などに入る際に，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置に関し，更に，エアシャワー装置を利用した清浄装置の配置構造と運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば集積回路などを生産する半導体製造分野やバイオテクノロジーなどの分野において，清浄な雰囲気や無菌状態を保つためにクリーンルームなどの清浄装置が利用されている。この場合，清浄装置の内部を清浄に保つだけでなく，清浄装置に隣接してエアシャワー装置を設置し，清浄装置に入室する人等に対して，予めエアシャワー装置の通過を義務付け，清浄装置への異物の侵入を防いでいる。エアシャワー装置では，フィルターでろ過した清浄な空気をノズルから人体や防塵衣等に向かって吐出し，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばして除去する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，一般にはエアシャワー装置の出入口には開閉扉が設けられているので，清浄装置へ入場しようとする者は，エアシャワー装置に入るときと出るときの両方に開閉扉を開け閉めしなければならず，煩雑である。特に，清浄装置へ工具等を持ち込む場合は，それらを携えてエアシャワー装置に入出しなければならず，相当に面倒である。
【０００４】
本発明の目的は，通過が容易なエアシャワー装置を提供し，更に，そのようなエアシャワー装置を利用した清浄装置の配置構造と運転方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決する手段】
この目的を達成するために，本発明にあっては，入口と出口の間に形成された通路の両側面に，清浄空気を内部に吐出するノズルを設け，入口から出口に向かって通路を通過する人等にノズルから清浄空気を吹き付けることにより，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置であって，エアシャワー装置内部の両側面には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズルが複数箇所に配置され，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルを互いに位置をずらして配置することにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，もしくは，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルが対向する位置関係となるように配置するが，各ノズルの吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，出入口が開放され，各ノズルから吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果によりエアシャワー装置内部の両側面に沿いながら入口と出口に向かって流れる空気流をガイドし，出入口の少なくとも一方に対して面状に空気を供給するガイドベーンを設けることにより，出入口の少なくとも一方には，内部雰囲気の漏出を防ぐためのエアーカーテンを形成したことを特徴とする，エアシャワー装置が提供される。
また，本発明によれば，入口と出口の間に形成された通路の両側面に，清浄空気を内部に吐出するノズルを設け，入口から出口に向かって通路を通過する人等にノズルから清浄空気を吹き付けることにより，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置であって，エアシャワー装置内部の両側面には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズルが複数箇所に配置され，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルを互いに位置をずらして配置することにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，もしくは，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルが対向する位置関係となるように配置するが，各ノズルの吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，出入口が開放され，エアシャワー装置内部の両側面に沿って流れる空気流をガイドし，出入口の少なくとも一方に対して面状に空気を供給するガイドベーンを設け，入口の内方両側もしくは出口の内方両側には，湾曲した形状のガイドベーンが複数枚ずつ起立して配置され，前記複数枚のガイドベーンはそれぞれ並列に配置されており，前述のノズルから吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果によりエアシャワー装置内部の両側面に沿いながら入口もしくは出口に向かって流れる気流は，各ガイドベーンの間を通ることにより，面状の気流に方向変換させられることを特徴とする，エアシャワー装置が提供される。
【０００６】
高度清浄空間に入室しようとする人等は，先ず，エアシャワー装置に入り，エアシャワー装置の入口と出口の間に形成された通路を通る。そして，このようにエアシャワー装置内の通路を通過する間に，通路の両側面に設けられたノズルから清浄空気が人等に向かって吐出され，人等に付着した異物が吹き飛ばされて除去される。
【０００７】
また，高度清浄装置へ工具等を持ち込もうとする場合は，人等はそれら工具等を携えてエアシャワー装置内の通路を通過することになる。この場合，エアシャワー装置内に備えられたエアーガンを用いて，工具等に圧縮空気を吹き付け，エアシャワー装置内において，工具等に付着した異物を除去することができる。
【０００８】
こうして，エアシャワー装置内を通過することにより異物を除去した後，人等は，次の清浄空間に入ることになる。この場合，エアシャワー装置の出口にエアーカーテンを形成しておくことにより，エアシャワー装置の内部雰囲気が清浄空間に漏出することを防ぐことができる。
【０００９】
そして，清浄空間では，清浄空気の平行流が形成されている。この場合，清浄空間で形成される清浄空気の平行流は，例えば下向きの垂直層流である。そして，エアシャワー装置において異物を除去された人等は，清浄な状態を保ったまま清浄空間を通過し，次の高度清浄空間に入ることができる。
【００１０】
ここで，以上のようにエアシャワー装置及び清浄空間を通過して，高度清浄空間に人等が入るに際しては，エアシャワー装置内を人等が通過する時間を測定し，その測定値に基づいて高度清浄空間への入場の可否が決定される。即ち，エアシャワー装置内を通過する時間が所定の時間を経過している場合は，エアシャワー装置内において人等に付着した異物が充分に除去されたものと判断し，高度清浄空間への入場が許可される。一方，エアシャワー装置内を通過する時間が所定の時間を経過していない場合は，エアシャワー装置内において人等に付着した異物が充分に除去されていないものと判断し，高度清浄空間への入場を否認する。これにより，高度清浄空間への異物の持込を有効に防止でき，高度清浄空間内を清浄度の高い雰囲気に保つことができるようになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態を図面を参照にして説明する。図１は，本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置１を備えた清浄装置２の斜視図である。この清浄装置２は，エアシャワー装置１，清浄空間３及び高度清浄空間４を隣接して配置した構成になっている。
【００１２】
高度清浄空間４の内部は，例えば半導体製造分野やバイオテクノロジーなどの分野に好適な，クラス１０００〜１００，０００程度の清浄な雰囲気に保たれている。この高度清浄空間４の正面に，高度清浄空間４に出入りする人等が通るための出入口１０が設けられている。出入口１０は，開閉扉１１によって開閉されるようになっている。そして，この出入口１０に隣接して清浄空間３が配置されている。高度清浄空間４に入室する人等は，予めエアシャワー装置１を，その入口１３から出口１４に向かって通過することにより塵埃を除去し，清浄な状態を保ちながら清浄空間３を通り，出入口１０を経て高度清浄空間４に入室するようになっている。
【００１３】
図示の例では，エアシャワー装置１は，高度清浄空間４の外壁面から離れた位置に配置されており，エアシャワー装置１と高度清浄空間４の出入口１０との間に，清浄空間３が形成されている。
【００１４】
図２は，エアシャワー装置１の斜視図である。図３は，エアシャワー装置１の横断面図であり，エアシャワー装置１の内部を上から見た状態を示している。エアシャワー装置１の両側には入口１３と出口１４が開放された状態で形成されており，入口１３からエアシャワー装置１内に入った人等は，出口１４に向かって一方通行的にエアシャワー装置１内の通路１６を通るようになっている。入口１３と出口１４には，扉，カーテン等が取り付けられず，エアシャワー装置１の内部が外部に対して開放された状態になっている。エアシャワー装置１内部の両側面１７には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズル１８が複数箇所に配置されている。そして，入口１３から出口１４に向かってエアシャワー装置１内の通路１５を通る人等に，これらノズル１５から清浄な空気を吐出することにより，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばして除去するようになっている。
【００１５】
エアシャワー装置１内部の両側面１７に設けられるノズル１８は，例えばパンカールーバなどで構成される。エアシャワー装置１内部の両側面１７にこれらノズル１８を設けるに際しては，例えば一方の側面１７と他方の側面１７において，互いのノズル１８が千鳥の位置関係となるように，互いに位置をずらして配置することにより，両側面１７の各ノズル１８からの吐出気流がぶつかり合わないようにしても良いし，一方の側面１７と他方の側面１７において，互いのノズル１８が対向する位置関係となるように配置するが，各ノズル１８の吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面１７の各ノズル１８からの吐出気流がぶつかり合わないようにしても良い。いずれにしても，両側面１７の各ノズル１８からの吐出気流が互いに干渉し合うことなく，各ノズル１８からの吐出気流が，対向する側面（内壁面）１７まで高速を維持したまま円滑に到達できるように構成すると良い。そうすれば，各ノズル１８からの吐出気流が周囲の空気（エアシャワー装置１内部の空気）を誘引して，対向する側面１７まで勢いよくぶつかるようになる。
【００１６】
エアシャワー装置１内部の両側面１７の背部は，いずれも清浄空気のチャンバ１９に構成されている。図４に示すように，このチャンバ１９の内部を上下に仕切るようにして斜めに蓋板２０が設けてある。チャンバ１９の内部を仕切る手段として，この蓋板２０のほか，蓋板２０の一部にＨＥＰＡフィルタ２１が適当な箇所にはめ込んである。即ち，チャンバ１９の内部を仕切るように入口１３と出口１４の近傍に対称となるようにＨＥＰＡフィルタ２１をそれぞれ配置し，それらＨＥＰＡフィルタ２１の周りを蓋板２０で塞ぐことにより，仕切り面を構成し，チャンバ１９の内部を空気が下から上に通過する全部の空気が，ＨＥＰＡフィルタ２１を通って濾過されるようになっている。ＨＥＰＡフィルタ２１の吐出面と蓋板２０は面一に配置されている。また，このように蓋板２０とＨＥＰＡフィルタ２１によって仕切られたチャンバ１９の下部にファン２２が配置してある。
【００１７】
前述のようにエアシャワー装置１内部の両側面１７に配置された複数のノズル１８は，このように蓋板２０とＨＥＰＡフィルタ２１によって仕切られたチャンバ１９の上方において，通路１５に向けて開口している。一方，エアシャワー装置１内部の両側面１７の下方には，吸い込み口２３が開口している。吸い込み口２３は，前述した蓋板２０とＨＥＰＡフィルタ２１による仕切り面よりも下方に位置している。そして，チャンバ１９の下部に配置されたファン２２の稼動により，エアシャワー装置１内部の空気を，吸い込み口２３を経てチャンバ１９の下部に吸い込み，その空気をチャンバ１９内において上方に吹き出すことにより，ＨＥＰＡフィルタ２１を強制的に通過させて濾過し，清浄な空気にして，ノズル１８からエアシャワー装置１内の通路１５に向かって吐出する構成になっている。こうして，エアシャワー装置１内の通路１５を通る人等に付着した異物を吹き飛ばして除去し，その後，エアシャワー装置１内部の空気は，吸い込み口２３を経て再びチャンバ１９の下部に吸い込まれるようになっている。これにより，エアシャワー装置１内において人等から吹き飛ばされた異物は，ＨＥＰＡフィルタ２１で除去されるようになっている。
【００１８】
図５に示すように，エアシャワー装置１内の四隅（入口１３の内方両側と出口１４の内方両側）には，ほぼ９０°に湾曲した形状のガイドベーン（翼板）２５が複数枚ずつ起立して配置されている。エアシャワー装置１内の各四隅において，複数枚のガイドベーン２５はそれぞれ並列に配置されており，前述のノズル１８から吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果により図３に示すようにエアシャワー装置１内部の両側面１７に沿いながら入口１３と出口１４に向かって流れる気流２６は，各ガイドベーン２５の間を通ることにより，面状の気流２７に方向変換させられている。このように入口１３と出口１４に向かって流れ出ようとする気流２６を，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４の内方において面状の気流２７に方向変換することにより，入口１３と出口１４の内方両側から面状の気流２７を供給する，いわゆるエアーカーテンが入口１３と出口１４にそれぞれ形成されている。こうして，エアシャワー装置１の内部から外部へ雰囲気が漏出することを防いでいる。
【００１９】
エアシャワー装置１の内部において通路１５の上方には，図６に示すごときエアーガン３０が装置されている。エアシャワー装置１の入口１３と出口１４との間に延びるレール３１が，エアシャワー装置１の天井から吊り下げられて設置されている。このレール３１は，出口１４側よりも入口１３側が低くなるように傾斜している。レール３１の上には，複数の滑車３２が装着してあり，これら滑車３２は，レール３１上を円滑に転動できるようになっている。また，各滑車３２にはフック３３がそれぞれ取り付けてあり，これら各フック３３に，圧縮空気の供給ホース３４が十分な余裕を持った状態で，ほぼ一定間隔に吊り下げられている。また，供給ホース３４の先端には，エアーガン本体３５が取り付けてある。このように構成されたエアーガン３０は，エアーガン本体３５を掴んで操作することにより，エアシャワー装置１の内部において，所望の箇所に圧縮空気を吹き付けることができる。また，作業者等がエアーガン本体３５を手から離せば，レール３１上を各滑車３２が走行して入口１３側に集まり，供給ホース３４とエアーガン本体３５は，エアシャワー装置１の内部において入口１３側に垂れ下がった状態となる。
【００２０】
図１に示すように，エアシャワー装置１の出口１４と高度清浄空間４の出入口１０の間に形成された清浄空間３の上方には，ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）４０が複数台設置してある。各ＦＦＵ４０は，内蔵されたファン（図示せず）の稼動により，フィルタ（図示せず）で濾過した清浄空気の平行流を下向きの垂直層流の状態で供給するようになっている。これにより，清浄空間３は常に清浄な状態に保たれている。
【００２１】
図示の形態では，清浄空間３は，エアシャワー装置１の出口１４と高度清浄空間４の出入口１０を結ぶ動線と交差する方向には開放された構成になっており，高度清浄空間４の外壁面に沿って移動する人等は，エアシャワー装置１の出口１４と高度清浄空間４の出入口１０の間において清浄空間３を自由に通過できるようになっている。
【００２２】
高度清浄空間４の出入口１０の外部両側には，エアーカーテンの供給ノズル４５がそれぞれ設けてある。これら供給ノズル４５の内方には，出入口１０の両側から対向して面状の気流４６を供給する吐出口４７がそれぞれ設けてある。供給ノズル４５には，ファン４８で吸引され，ＨＥＰＡフィルタ４９で濾過された清浄な空気が供給されるようになっており，これにより，面状の清浄な空気流を，各吐出口４７から出入口１０の外側に沿って供給できるようになっている。前述の開閉扉１１が開かれる場合には，予めファン４８が稼動し，高度清浄空間４の外部において，これら供給ノズル４５によって出入口１０の両側から面状の気流４６が供給されて，いわゆるエアーカーテンが形成され，高度清浄空間４の内部に外部雰囲気が入り込むのを防ぐ状態となる。
【００２３】
図示の例では，供給ノズル４５の各吐出口４７から面状に吐出される空気流が，角度θだけ高度清浄空間４の出入口１０から離れる方向に向くように設定されている。これにより，高度清浄空間４の外部（清浄空間３）から高度清浄空間４の内部に流れ込もうとする気流を，高度清浄空間４の外部に向かって押し戻すようになっている。なお，供給ノズル４５の最下部に設けられた吐出口４７から面状に吐出される空気流の角度θ’は，他の吐出口４７から面状に吐出される空気流の角度θよりもやや大きく（θ’＞θに）設定されている。これにより，清浄空間３において床上に沿って流れながら高度清浄空間４内に入り込もうとする外部の気流を防いでいる。なお，各吐出口４７から吐出される空気流の方向（角度θおよびθ’）の調整は，例えば絹糸等を用いて気流方向を確認することにより行われる。
【００２４】
エアシャワー装置１の入口１３の側方には，センサ５０が設置してある。このセンサ５０により，入口１３からエアシャワー装置１の内部に入る人等が検出されるようになっている。このセンサ５０は，エアシャワー装置１の入口１３を門型に囲むように配置されるゲートセンサで構成してもよい。
【００２５】
同様に，エアシャワー装置１の出口１４の側方には，センサ５１が設置してある。このセンサ５１により，入口１４を通ってエアシャワー装置１内から清浄空間３に入る人等が検出されるようになっている。このセンサ５１も同様に，エアシャワー装置１の出口１４を門型に囲むように配置されるゲートセンサで構成してもよい。
【００２６】
また，高度清浄空間４の出入口１０の外部側方には，前述のエアーカーテンを構成する供給ノズル４５の手前（出入口１０の外側）の位置に，センサ５２が設置してある。このセンサ５２により，高度清浄空間４の出入口１０の前に人等が来たことが検出されるようになっている。このセンサ５２も同様に，高度清浄空間４の出入口１０を門型に囲むように配置されるゲートセンサで構成してもよい。
【００２７】
さて，以上のように構成された本発明の実施の形態にかかる清浄装置２において，高度清浄空間４に入室しようとする人等は，先ず，エアシャワー装置１に入口１３から入り，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４の間に形成された通路１５を通る。なお，このように入口１３からエアシャワー装置１の中に人等が入ったことは，センサ５０によって検出される。そして，エアシャワー装置１内の通路１５を通過する間に，通路１５の両側面１７に設けられたノズル１８から清浄空気が人等に向かって吐出され，人等に付着した異物が吹き飛ばされて除去される。そして，吹き飛ばされた異物は，エアシャワー装置１内部の両側面１７下部に開口している吸い込み口２３を経てチャンバ１９に吸い込まれ，ＨＥＰＡフィルタ２１で除去される。
【００２８】
また，高度清浄空間４へ工具等を持ち込もうとする場合は，人等はそれら工具等を携えてエアシャワー装置１内の通路１５を通過することになる。この場合，図７に示すように，エアシャワー装置１内に備えられたエアーガン３０のエアーガン本体３５を掴んで操作することにより，人等ａは工具等ｂに圧縮空気を吹き付け，エアシャワー装置１内において，工具等ｂに付着した異物も除去することができる。この場合，エアーガン３０に供給する圧縮空気は，一般の工場施設などに敷設されている生産用の圧縮空気管から分岐させて得ることができる。また，エアーガン３０を使用することによってエアシャワー装置１内に供給される圧縮空気の余剰分は，例えばエアカーテンが形成されるエアシャワー装置１の入口１３と出口１４の上部に排気口を設け，適宜排気ダクトなどで適所に逃がせば良い。そして，このようにエアーガン３０を使用して工具等ｂに付着した異物を除去した後，人等ａがエアーガン本体３５を離せば，供給ホース３４とエアーガン本体３５は，図６に示すように，エアシャワー装置１の内部において入口１３側にまとまって垂れ下がった状態となる。
【００２９】
こうして，エアシャワー装置１内を通過することにより異物を除去した後，人等は，出口１４を通ってエアシャワー装置１内から退出し，次の清浄空間３に入ることになる。なお，このように出口１４を通ってエアシャワー装置１内から人等が退出したことは，センサ５１によって検出される。
【００３０】
そして，先に図３等で説明したように，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４の内方には，ガイドベーン２５によって方向変換させられた面状の気流２７が供給されることにより，いわゆるエアーカーテンが形成されている。このため，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４には特別な遮蔽手段（例えば扉，カーテンなど）を設けなくても，エアシャワー装置１の内部雰囲気が外部や清浄空間３に漏出することを防ぐことができる。このように，扉やカーテンなどといった遮蔽手段を省略して入口１３と出口１４を開放すれば，人等ａはエアシャワー装置１内を容易に通過できるので，工具などの物資の運搬等がしやすい。なお，このようにエアシャワー装置１の入口１３と出口１４の内方に形成されたエアーカーテンの空気の流れは，入口１３と出口１４のほぼ中央で衝突し，エアシャワー装置１内部の両側面１７下部に開口している吸い込み口２３を経てチャンバ１９に吸い込まれ，再循環に供せられることになる。
【００３１】
また，清浄空間３では，清浄空気の下向きの垂直層流が形成されているので，エアシャワー装置１において異物を除去された人等は，清浄な状態を保ったまま清浄空間３を通過し，出入口１０を通って次の高度清浄空間４に入ることができる。なお，このように出入口１０を通って高度清浄空間４に人等が入ろうとする場合には，センサ５２によって，高度清浄空間４の出入口１０の前に人等が来たことが予め検出される。
【００３２】
こうして人等が高度清浄空間４内に入る場合は，開閉扉１１が開く以前に，高度清浄空間４の出入口１０の外部両側から，供給ノズル４５によって面状の気流３１が供給され，いわゆるエアーカーテンが形成される。これにより，高度清浄空間４の内部に外部雰囲気が入り込むのを防ぐことができる。
【００３３】
ここで，以上のようにエアシャワー装置１及び清浄空間３を通過して，高度清浄空間４に人等が入るに際しては，エアシャワー装置１内を通過する時間に基づいて高度清浄空間４への入場の可否が決定される。即ち，先ず図８に示すように，人等が入口１３からエアシャワー装置１内に入場すると（Ｓ１），センサ５０に入場が検出され，ファン２２の稼動が開始して，ノズル１８の清浄空気の吐出が開始される（Ｓ２）。
【００３４】
次に，エアシャワー装置１内においてエアーガン３０が使用されるか否かが判断される（Ｓ３）。この判断は，例えばエアーガン３０のスイッチの操作の有無によってなされる。そして，エアーガン３０が使用されない場合は，清浄空気の吐出をファン２２の稼動開始から所定時間行った後，ファン２２の稼動が停止し（Ｓ４），エアシャワー装置１内における清浄空気の吐出が終了する。一方，エアシャワー装置１内においてエアーガン３０が使用された場合は，エアーガン３０の使用終了から更に清浄空気の吐出を所定時間行った後，ファン２２の稼動が停止し（Ｓ５），エアシャワー装置１内における清浄空気の吐出が終了する。
【００３５】
そして，エアシャワー装置１内を通過した人等が，出口１４を通ってエアシャワー装置１内から退出する（Ｓ６）。この場合，エアシャワー装置１内から人等が退出したことは，センサ５１によって検出される。
【００３６】
次に，こうしてエアシャワー装置１にて異物を除去した人等が，清浄空間３を通過し，次の高度清浄空間４に入ろうとして出入口１０の前に来ると，センサ５２によって，それが検出される。すると先ず，図９に示すように，高度清浄空間４に入ろうとしている人等が，エアシャワー装置１内を所定の時間かけて通過したか否かが判断される。即ち，この実施の形態では，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期が，エアシャワー装置１内にて清浄空気が吐出される所定時間の終了前（所定時間の清浄空気吐出の終了前）である場合は，エアシャワー装置１内において人等に付着した異物が充分に除去されていないものと判断し，高度清浄空間４への入場を否認する。この場合は，警報等を発して人等に入場拒否の旨を知らしめ（Ｓ１１），高度清浄空間４の開閉扉１１は開かない。
【００３７】
一方，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期が，エアシャワー装置１内にて清浄空気が吐出される所定時間の終了後（所定時間の清浄空気吐出の終了後）である場合は，エアシャワー装置１内において人等に付着した異物が充分に除去されたと判断する。この場合は，次に，エアシャワー装置１内を退出してから高度清浄空間４に入ろうとするまでの時間が，所定の時間経過していないかどうかが判断される（Ｓ１２）。
【００３８】
即ち，この実施の形態では，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期から，センサ５２によって検出された高度清浄空間４の出入口１０の前に来た時期までの時間が，所定の時間を経過した後である場合は，異常と判断し，高度清浄空間４への入場を否認する。この場合は，警報等を発して人等に入場拒否の旨を知らしめ（Ｓ１３），高度清浄空間４の開閉扉１１は開かない。
【００３９】
一方，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期から，センサ５２によって検出された高度清浄空間４の出入口１０の前に来た時期までの時間が，所定の時間を経過していない場合は，正常と判断し，初めて人等は高度清浄空間４への入場が許可されることになる。
【００４０】
そして，このように高度清浄空間４への入場が許可された場合は，先ずファン４８が稼動を開始し，高度清浄空間４の出入口１０の外部両側から，供給ノズル４５によって面状の気流３１が供給され，いわゆるエアーカーテンが形成される（Ｓ１４）。
【００４１】
その後，開閉扉１１が開かれる（Ｓ１５）。そして，人等が高度清浄空間４に入場すると（Ｓ１６），再び開閉扉１１が閉じられる（Ｓ１７）。その後，ファン４８が稼動が停止し（Ｓ１８），高度清浄空間４の出入口１０の外部に形成されていたエアーカーテンが解除される。
【００４２】
しかして，この清浄装置２にあっては，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４が開放された状態で形成されているので，工具，図面，材料などといった物品を携えて高度清浄空間４に入場するような場合でも，容易にエアシャワー装置１を通過することができる。また，エアシャワー装置１と高度清浄空間４の出入口１０との間に形成された清浄空間３は，高度清浄空間４の外側に沿って移動する人等がそのまま通過することも可能である。
【００４３】
また，高度清浄空間４内から退出する人等は，出入口１０から清浄空間３を通って，そのまま外に出ればよく，退出の際には，エアシャワー装置１を通る必要がない。なお，このように人等が高度清浄空間４内から退出する場合も，開閉扉１１が開く以前に，高度清浄空間４の出入口１０の外側にエアーカーテンを形成すれば，高度清浄空間４の内部に外部雰囲気が入り込むことを防ぐことができる。
【００４４】
また，この清浄装置２によれば，エアシャワー装置１を通過する際に，人等を清浄な状態にすることに加え，高度清浄空間４に入場する人等に対して，自ら発塵させる行動を慎ませる効果がある。即ち，高度清浄空間４に入場する人等に対しては，自らの発塵や動作に伴う発塵を極力なくすことが求められ，そのための規則・作業標準が各工場等で制定されている。エアシャワー装置１は，高度清浄空間４への入室の準備空間，事前確認空間でもある。この清浄装置２によれば，先に図８，９で説明したように，エアシャワー装置１内を所定の時間かけて通過することを高度清浄空間４に入場する人等に課することになるから，そのような規則・作業標準を遵守させることにもなる。また，エアシャワー装置１は扉がないため入室し直すことも面倒でなく，視界もよいため後続する人等にも内部の様子がわかり易い。このため，外部から清掃の規則の遵守状況も確認できる。
【００４５】
以上，本発明の好ましい実施の形態を例示したが，本発明は，ここに説明した形態に限定されない。例えば図１０に示すように，高度清浄空間４の外側に沿ってエアシャワー装置１と清浄空間３を配置してもよい。また，高度清浄空間４は，電子部品製造などに利用されるいわゆる工業用クリーンルームのほか，動物飼育室，食品工場，手術室など菌を防除する施設でも良い。
【００４６】
また，例えば図１１に示すように，更衣室５，エアシャワー装置１，清浄空間３の順に通過する清浄装置２も提案できる。この場合，清浄空間３自体が生産・試験・実験などをする最終的な局所清浄空間であってもよい。このように無塵衣への更衣室５とエアシャワー装置１，清浄空間３を隣接させると，生産等のためのスペースを集約できる。
【００４７】
その他，図６で説明したエアーガン３０において，図１２に示すように，レール３１上を転動する各滑車３２にワイヤー６０をそれぞれ取り付け，これら各ワイヤー６０を，カウンターウェイト６１によって回転トルクが加えられた多段プーリー６２に巻き付けることにより，エアーガン本体３５を小さい力で移動できるように構成することも可能である。即ち，図１２に示す例では，入口１３側よりも出口１４側が低くなるように，レール３１を水平から傾斜させている。そして，入口１３側から遠い滑車３２ほど多段プーリー６２において回転半径の大きい位置に巻き付けている。この図１２に示す構成によれば，各滑車３２に対して，レール３１上を傾斜にしたがって出口１４側に移動させようとする力と，ワイヤー６０による引っ張り力が加わるので，両方の力を相殺させることによって，各滑車３２を，レール３１上の任意の位置に停止させることができるようになる。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば，通過が容易なエアシャワー装置を提供することができ，特に工具等の物品を携えているような場合でも，清浄空間や高度清浄空間に容易に入場できる。また，本発明の清浄装置は，エアシャワー装置を通過する際に，人等を清浄な状態にすることに加え，人等に対して，自ら発塵させる行動を慎ませる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置を備えた清浄装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置の斜視図である。
【図３】エアシャワー装置の横断面図であり，エアシャワー装置の内部を上から見た状態を示している。
【図４】チャンバの縦断面図である。
【図５】ガイドベーンの斜視図である。
【図６】エアーガンの斜視図である。
【図７】エアーガンを使用して工具等に付着した異物を除去している状態の説明図である。
【図８】エアシャワー装置内を通過する際の制御工程を示すフローチャートである。
【図９】高度清浄空間への入場の可否を決定する際の制御工程を示すフローチャートである。
【図１０】高度清浄空間の外側に沿ってエアシャワー装置と清浄空間を配置した清浄装置の平面図である。
【図１１】更衣室，エアシャワー装置，清浄空間の順に通過する構成の清浄装置の平面図である。
【図１２】図６と異なる形態のエアーガンの斜視図である。
【符号の説明】
ａ人等
１エアシャワー装置
２清浄装置
３清浄空間
４高度清浄空間
１３入口
１４出口
１５通路
１７両側面
１８ノズル
２５ガイドベーン
３０エアーガン
４０ＦＦＵ
５０，５１，５２センサ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention removes foreign matter adhering to a person or the like when entering a cleaning device or the like.Regarding air shower equipment,The present invention relates to an arrangement structure and an operation method of a cleaning device using an air shower device.
[0002]
[Prior art]
For example, in the fields of semiconductor manufacturing and biotechnology for producing integrated circuits and the like, a cleaning device such as a clean room is used to maintain a clean atmosphere and aseptic conditions. In this case, in addition to keeping the inside of the cleaning device clean, an air shower device is installed adjacent to the cleaning device, and people who enter the cleaning device are obliged to pass the air shower device in advance. To prevent foreign objects from entering. In an air shower device, clean air filtered by a filter is discharged from a nozzle toward a human body or dust proof clothing, and foreign matter adhering to the human body or dust proof clothing is blown off and removed.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the door of the air shower device is generally provided with an opening / closing door, a person entering the cleaning device must open and close the door both when entering and leaving the air shower device. It is complicated. In particular, when tools or the like are brought into the cleaning device, they must be carried in and out of the air shower device, which is considerably troublesome.
[0004]
  The object of the present invention is easy to passProviding an air shower device, and moreAn object of the present invention is to provide an arrangement structure and operation method of a cleaning device using an air shower device.
[0005]
[Means for solving the problems]
  In order to achieve this object, in the present invention,A nozzle that discharges clean air inside is provided on both sides of the passage formed between the inlet and the outlet, and by blowing clean air from the nozzle to people passing through the passage from the inlet to the outlet, The air shower device removes foreign matter adhering to the air shower device, and nozzles for discharging clean air toward the inside are disposed at a plurality of locations on both side surfaces of the air shower device. , It is configured so that the discharge airflow from each nozzle on both sides does not collide with each other by arranging the nozzles shifted from each other, or the nozzles face each other on one side and the other side Although arranged so as to be in a positional relationship, it is configured so that the discharge airflow from each nozzle on both sides does not collide by tilting the discharge direction of each nozzle. After the inlet / outlet is opened and discharged from each nozzle and collides with the opposing inner wall surface, the Coanda effect guides the air flow flowing along the both sides of the air shower device toward the inlet and outlet, and Provided is an air shower device characterized in that an air curtain for preventing leakage of the internal atmosphere is formed in at least one of the entrances and exits by providing a guide vane for supplying air in a plane shape to at least one of them Is done.
Further, according to the present invention, nozzles for discharging clean air are provided on both side surfaces of the passage formed between the inlet and the outlet, so that a person who passes through the passage from the inlet to the outlet can clean the nozzle. An air shower device that removes foreign substances adhering to people by blowing air, and nozzles that discharge clean air toward the inside are arranged at multiple locations on both sides of the air shower device. By arranging the nozzles on one side and the other side so that the nozzles are displaced from each other, it is configured so that the airflows from the nozzles on both sides do not collide, or one side and the other side. The nozzles are arranged so that the nozzles face each other, but the discharge airflow from each nozzle on both sides collides by tilting the discharge direction of each nozzle. A guide vane is provided which is configured so as not to be in contact with each other, has an inlet / outlet opened, guides an air flow flowing along both side surfaces inside the air shower device, and supplies air to at least one of the inlet / outlet. A plurality of curved guide vanes are erected and arranged on both sides of the inner side or the inner side of the outlet, and the plurality of guide vanes are arranged in parallel and discharged from the nozzles described above. , After colliding with the opposing inner wall surface, the airflow flowing toward the inlet or outlet along the both sides inside the air shower device due to the Coanda effect is changed into a planar airflow by passing between each guide vane An air shower device is provided.
[0006]
A person who wants to enter the highly clean space first enters the air shower device and passes through a passage formed between the inlet and the outlet of the air shower device. And while passing through the passage in the air shower device in this way, clean air is discharged toward the person etc. from the nozzles provided on both sides of the passage, and the foreign matter adhering to the person etc. is blown off and removed. The
[0007]
In addition, when bringing a tool or the like into the advanced cleaning device, a person or the like carries the tool or the like through the passage in the air shower device. In this case, the air gun provided in the air shower device can be used to blow compressed air onto the tool or the like, and the foreign matter adhering to the tool or the like can be removed in the air shower device.
[0008]
Thus, after removing foreign matter by passing through the air shower device, people enter the next clean space. In this case, by forming an air curtain at the outlet of the air shower device, it is possible to prevent the internal atmosphere of the air shower device from leaking into the clean space.
[0009]
In the clean space, a parallel flow of clean air is formed. In this case, the parallel flow of clean air formed in the clean space is, for example, a downward vertical laminar flow. A person or the like from which foreign matter has been removed in the air shower device can pass through the clean space while maintaining a clean state and enter the next highly clean space.
[0010]
  Here, when people enter the highly clean space through the air shower device and the clean space as described above,PeopleMeasure the transit time and based on the measured valueHighly clean spaceThe admission of or not is decided. That is, when a predetermined time has passed through the air shower device, it is determined that the foreign matter adhering to a person etc. has been sufficiently removed in the air shower device,Highly clean spaceAdmission to is permitted. On the other hand, if the predetermined time has not passed through the air shower device, it is determined that the foreign matter adhering to a person etc. in the air shower device has not been sufficiently removed,Highly clean spaceDeny admission to As a result,Highly clean spaceCan effectively prevent foreign objects from being brought into theHighly clean spaceThe inside can be maintained in a clean atmosphere.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a cleaning device 2 including an air shower device 1 according to an embodiment of the present invention. This cleaning device 2 has a configuration in which an air shower device 1, a clean space 3, and an advanced clean space 4 are arranged adjacent to each other.
[0012]
The interior of the highly clean space 4 is maintained in a clean atmosphere of class 1000 to 100,000 suitable for fields such as semiconductor manufacturing and biotechnology. An entrance 10 is provided in front of the highly clean space 4 for a person or the like entering or leaving the highly clean space 4 to pass. The doorway 10 is opened and closed by an opening / closing door 11. A clean space 3 is disposed adjacent to the entrance 10. A person or the like who enters the highly clean space 4 removes dust by passing through the air shower device 1 from the inlet 13 toward the outlet 14 in advance, and passes through the clean space 3 while maintaining a clean state. After that, it enters the highly clean space 4.
[0013]
In the illustrated example, the air shower device 1 is disposed at a position away from the outer wall surface of the highly clean space 4, and the clean space 3 is formed between the air shower device 1 and the entrance 10 of the highly clean space 4. Has been.
[0014]
FIG. 2 is a perspective view of the air shower device 1. FIG. 3 is a cross-sectional view of the air shower device 1 and shows a state in which the inside of the air shower device 1 is viewed from above. An inlet 13 and an outlet 14 are formed on both sides of the air shower device 1 so that a person or the like who enters the air shower device 1 through the inlet 13 is one-way toward the outlet 14. It passes through the passage 16 in the device 1. Doors, curtains, and the like are not attached to the inlet 13 and the outlet 14, and the interior of the air shower device 1 is open to the outside. On both side surfaces 17 inside the air shower device 1, nozzles 18 that discharge clean air toward the inside are arranged at a plurality of locations. And, by discharging clean air from these nozzles 15 to people passing through the passage 15 in the air shower device 1 from the inlet 13 to the outlet 14, foreign substances adhering to the human body, dust-proof clothing, etc. are blown away and removed. It is supposed to be.
[0015]
The nozzles 18 provided on the both side surfaces 17 inside the air shower device 1 are configured by, for example, a pan-carver. When these nozzles 18 are provided on both side surfaces 17 inside the air shower device 1, for example, on one side surface 17 and the other side surface 17, the nozzles 18 are arranged so as to be in a staggered relationship with each other. By doing so, the discharge airflow from the nozzles 18 on both side surfaces 17 may not collide with each other, and the nozzles 18 face each other on the one side surface 17 and the other side surface 17. However, the discharge airflow from the nozzles 18 on both side surfaces 17 may be prevented from colliding with each other by inclining the discharge directions of the nozzles 18. In any case, the discharge airflow from each nozzle 18 on both side surfaces 17 does not interfere with each other, and the discharge airflow from each nozzle 18 reaches smoothly to the opposite side surface (inner wall surface) 17 while maintaining high speed. It should be configured to be able to. If it does so, the discharge airflow from each nozzle 18 will attract surrounding air (air inside the air shower apparatus 1), and will come to strike to the side surface 17 which opposes vigorously.
[0016]
The back portions of the both side surfaces 17 inside the air shower device 1 are each formed in a clean air chamber 19. As shown in FIG. 4, a lid plate 20 is provided obliquely so as to partition the interior of the chamber 19 vertically. As a means for partitioning the inside of the chamber 19, in addition to the lid plate 20, a HEPA filter 21 is fitted into a part of the lid plate 20 at an appropriate location. In other words, the HEPA filters 21 are arranged symmetrically in the vicinity of the inlet 13 and the outlet 14 so as to partition the inside of the chamber 19, and the partition surface is configured by closing the periphery of the HEPA filter 21 with the cover plate 20. In addition, all the air that passes through the inside of the chamber 19 from the bottom to the top is filtered through the HEPA filter 21. The discharge surface of the HEPA filter 21 and the cover plate 20 are arranged flush with each other. In addition, a fan 22 is arranged below the chamber 19 partitioned by the lid plate 20 and the HEPA filter 21 in this way.
[0017]
As described above, the plurality of nozzles 18 arranged on the both side surfaces 17 inside the air shower device 1 open toward the passage 15 above the chamber 19 thus partitioned by the lid plate 20 and the HEPA filter 21. ing. On the other hand, a suction port 23 is opened below both side surfaces 17 inside the air shower device 1. The suction port 23 is located below the partition surface formed by the lid plate 20 and the HEPA filter 21 described above. Then, by operating the fan 22 disposed in the lower part of the chamber 19, the air inside the air shower device 1 is sucked into the lower part of the chamber 19 through the suction port 23, and the air is blown upward in the chamber 19. The HEPA filter 21 is forcibly passed and filtered to obtain clean air, which is discharged from the nozzle 18 toward the passage 15 in the air shower apparatus 1. In this way, the foreign matter adhering to a person or the like passing through the passage 15 in the air shower device 1 is blown away and then the air inside the air shower device 1 is again sucked into the lower portion of the chamber 19 through the suction port 23. It has become. As a result, foreign matter blown away from a person or the like in the air shower device 1 is removed by the HEPA filter 21.
[0018]
As shown in FIG. 5, a plurality of guide vanes (blade plates) 25 that are curved at approximately 90 ° are provided at the four corners in the air shower device 1 (both sides on the inner side of the inlet 13 and the inner sides of the outlet 14). They are placed upright one by one. A plurality of guide vanes 25 are arranged in parallel at each of the four corners in the air shower device 1 and are discharged from the nozzle 18 described above and collide with the opposing inner wall surface, as shown in FIG. In addition, the air flow 26 flowing toward the inlet 13 and the outlet 14 along the both side surfaces 17 inside the air shower device 1 is converted into a planar air flow 27 by passing between the guide vanes 25. The air flow 26 that is about to flow toward the inlet 13 and the outlet 14 in this way is redirected to a planar air flow 27 inside the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1, whereby the inlet 13 and the outlet 14. So-called air curtains for supplying a planar air flow 27 from both inner sides are formed at the inlet 13 and the outlet 14, respectively. Thus, the atmosphere is prevented from leaking from the inside of the air shower device 1 to the outside.
[0019]
An air gun 30 as shown in FIG. 6 is installed above the passage 15 in the air shower device 1. A rail 31 extending between the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1 is installed suspended from the ceiling of the air shower device 1. The rail 31 is inclined so that the inlet 13 side is lower than the outlet 14 side. A plurality of pulleys 32 are mounted on the rails 31, and these pulleys 32 can smoothly roll on the rails 31. A hook 33 is attached to each pulley 32, and a compressed air supply hose 34 is suspended from each of the hooks 33 at a substantially constant interval with a sufficient margin. An air gun body 35 is attached to the tip of the supply hose 34. The air gun 30 thus configured can spray compressed air to a desired location inside the air shower device 1 by grasping and operating the air gun body 35. When an operator or the like removes the air gun body 35 from his hand, each pulley 32 travels on the rail 31 and gathers on the inlet 13 side. The supply hose 34 and the air gun body 35 are connected to the inlet 13 inside the air shower device 1. It hangs down to the side.
[0020]
As shown in FIG. 1, a plurality of FFUs (fan filter units) 40 are installed above the clean space 3 formed between the outlet 14 of the air shower device 1 and the entrance 10 of the highly clean space 4. . Each FFU 40 supplies a parallel flow of clean air filtered by a filter (not shown) in a downward vertical laminar flow state by operation of a built-in fan (not shown). Thereby, the clean space 3 is always kept clean.
[0021]
In the illustrated form, the clean space 3 is configured to be open in the direction intersecting the flow line connecting the outlet 14 of the air shower device 1 and the entrance 10 of the highly clean space 4, and is outside the highly clean space 4. A person or the like moving along the wall surface can freely pass through the clean space 3 between the outlet 14 of the air shower device 1 and the entrance 10 of the highly clean space 4.
[0022]
Air curtain supply nozzles 45 are provided on both sides of the entrance / exit 10 of the highly clean space 4. Disposed inside these supply nozzles 45 are discharge ports 47 that supply a planar airflow 46 from both sides of the entrance 10. The supply nozzle 45 is supplied with clean air that is sucked by the fan 48 and filtered by the HEPA filter 49, whereby a planar clean air flow is supplied from the outlet 47 to the inlet / outlet. 10 can be supplied along the outside. When the opening / closing door 11 is opened, the fan 48 is operated in advance, and a planar air flow 46 is supplied from both sides of the entrance / exit 10 by these supply nozzles 45 outside the highly clean space 4, so-called air curtain. Is formed, and the external atmosphere is prevented from entering the interior of the highly clean space 4.
[0023]
In the illustrated example, the air flow discharged in a planar shape from each discharge port 47 of the supply nozzle 45 is set so as to be directed in a direction away from the entrance / exit 10 of the altitude clean space 4 by an angle θ. As a result, the airflow that is about to flow into the inside of the highly clean space 4 from the outside of the highly clean space 4 (clean space 3) is pushed back toward the outside of the highly clean space 4. Note that the angle θ ′ of the air flow discharged in a plane from the discharge port 47 provided at the lowermost portion of the supply nozzle 45 is slightly larger than the angle θ of the air flow discharged in a plane from the other discharge ports 47. It is set large (θ ′> θ). As a result, an external airflow that tries to enter the high clean space 4 while flowing along the floor in the clean space 3 is prevented. In addition, adjustment of the direction (angle (theta) and (theta) ') of the airflow discharged from each discharge port 47 is performed by confirming an airflow direction, for example using a silk thread.
[0024]
A sensor 50 is installed on the side of the inlet 13 of the air shower device 1. The sensor 50 detects a person or the like entering the air shower device 1 from the entrance 13. The sensor 50 may be a gate sensor arranged so as to surround the inlet 13 of the air shower device 1 in a gate shape.
[0025]
Similarly, a sensor 51 is installed on the side of the outlet 14 of the air shower device 1. By this sensor 51, a person or the like entering the clean space 3 from the air shower device 1 through the inlet 14 is detected. Similarly, the sensor 51 may be a gate sensor arranged so as to surround the outlet 14 of the air shower device 1 in a gate shape.
[0026]
Further, a sensor 52 is installed on the outside side of the entrance / exit 10 of the highly clean space 4 at a position in front of the supply nozzle 45 (outside the entrance / exit 10) constituting the air curtain. This sensor 52 detects that a person or the like has come before the entrance 10 of the highly clean space 4. Similarly, the sensor 52 may be configured by a gate sensor arranged so as to surround the entrance 10 of the highly clean space 4 in a gate shape.
[0027]
Now, in the cleaning apparatus 2 according to the embodiment of the present invention configured as described above, a person or the like who intends to enter the highly clean space 4 first enters the air shower apparatus 1 from the entrance 13 and then enters the air shower apparatus. 1 through a passage 15 formed between an inlet 13 and an outlet 14. Note that the sensor 50 detects that a person or the like has entered the air shower device 1 from the entrance 13 in this way. Then, while passing through the passage 15 in the air shower device 1, clean air is discharged toward the person or the like from the nozzles 18 provided on both side surfaces 17 of the passage 15, and the foreign matter attached to the person or the like is blown away. Removed. The blown-off foreign matter is sucked into the chamber 19 through a suction port 23 opened at the lower part of both side surfaces 17 inside the air shower device 1 and removed by the HEPA filter 21.
[0028]
Further, when a tool or the like is to be brought into the highly clean space 4, a person or the like passes through the passage 15 in the air shower device 1 with the tool or the like. In this case, as shown in FIG. 7, by grasping and operating the air gun body 35 of the air gun 30 provided in the air shower device 1, a person or the like blows compressed air to the tool or the like b, and the air shower device 1. Inside, the foreign matter adhering to the tool or the like b can also be removed. In this case, the compressed air supplied to the air gun 30 can be obtained by diverging from a compressed air pipe for production installed in a general factory facility. Further, the surplus of compressed air supplied into the air shower device 1 by using the air gun 30 is provided with an exhaust port above the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1 where an air curtain is formed, for example. If necessary, escape to the right place with an exhaust duct. Then, after removing foreign matter adhering to the tool b using the air gun 30 in this way, if the person a releases the air gun main body 35, the supply hose 34 and the air gun main body 35, as shown in FIG. Inside the air shower device 1, the air shower device 1 is in a state of hanging together on the inlet 13 side.
[0029]
Thus, after removing foreign matters by passing through the air shower device 1, a person or the like leaves the air shower device 1 through the outlet 14 and enters the next clean space 3. The sensor 51 detects that a person has left the air shower device 1 through the outlet 14 in this way.
[0030]
As described above with reference to FIG. 3 and the like, a planar airflow 27 whose direction is changed by the guide vane 25 is supplied to the inside of the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1. A so-called air curtain is formed. For this reason, even if no special shielding means (for example, a door, a curtain, etc.) is provided at the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1, the internal atmosphere of the air shower device 1 leaks to the outside or the clean space 3. Can be prevented. As described above, if the entrance 13 and the exit 14 are opened by omitting shielding means such as doors and curtains, the person a can easily pass through the air shower device 1, so that materials such as tools can be transported. Cheap. In addition, the air flow of the air curtain formed inside the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1 in this way collides almost at the center between the inlet 13 and the outlet 14, and both side surfaces inside the air shower device 1. 17 is sucked into the chamber 19 through the suction port 23 opened in the lower part and is used for recirculation.
[0031]
Further, in the clean space 3, a downward vertical laminar flow of clean air is formed, so that a person who has removed foreign matter in the air shower device 1 passes through the clean space 3 while maintaining a clean state, The next highly clean space 4 can be entered through the doorway 10. When a person or the like tries to enter the highly clean space 4 through the entrance / exit 10 as described above, the sensor 52 detects in advance that the person or the like has come before the entrance / exit 10 of the highly clean space 4. .
[0032]
When a person or the like enters the highly clean space 4 in this way, a planar air flow 31 is supplied by the supply nozzle 45 from both sides of the entrance / exit 10 of the highly clean space 4 before the opening / closing door 11 is opened. Is formed. Thereby, it is possible to prevent the external atmosphere from entering the interior of the highly clean space 4.
[0033]
Here, when a person or the like passes through the air shower device 1 and the clean space 3 and enters the highly clean space 4 as described above, the access to the highly clean space 4 is based on the time it passes through the air shower device 1. Admission is decided. That is, as shown in FIG. 8, when a person or the like enters the air shower device 1 from the entrance 13 (S1), the entry is detected by the sensor 50, the operation of the fan 22 is started, and the clean air of the nozzle 18 is detected. Is started (S2).
[0034]
Next, it is determined whether or not the air gun 30 is used in the air shower device 1 (S3). This determination is made based on whether or not the air gun 30 is operated, for example. When the air gun 30 is not used, the clean air is discharged for a predetermined time from the start of the operation of the fan 22, and then the operation of the fan 22 is stopped (S4), and the discharge of the clean air in the air shower device 1 is completed. To do. On the other hand, when the air gun 30 is used in the air shower device 1, after the use of the air gun 30 is finished, the clean air is further discharged for a predetermined time, and then the operation of the fan 22 is stopped (S 5). The discharge of clean air in the inside is completed.
[0035]
Then, a person or the like who has passed through the air shower device 1 leaves the air shower device 1 through the outlet 14 (S6). In this case, the sensor 51 detects that a person or the like has left the air shower apparatus 1.
[0036]
Next, when a person or the like who has removed foreign matter in the air shower device 1 passes through the clean space 3 and comes to the next advanced clean space 4 in front of the entrance / exit 10, it is detected by the sensor 52. The Then, first, as shown in FIG. 9, it is determined whether or not a person or the like who is going to enter the highly clean space 4 has passed through the air shower device 1 over a predetermined time. That is, in this embodiment, the exit timing from the air shower device 1 detected by the sensor 51 is the time before the end of the predetermined time during which clean air is discharged in the air shower device 1 (clean air discharge for a predetermined time). In the air shower device 1, it is determined that the foreign matter adhering to a person or the like has not been sufficiently removed, and entry into the highly clean space 4 is denied. In this case, an alarm or the like is issued to inform the person of entry refusal (S11), and the open / close door 11 of the highly clean space 4 is not opened.
[0037]
On the other hand, the exit timing detected by the sensor 51 from the inside of the air shower device 1 is after the end of a predetermined time during which clean air is discharged in the air shower device 1 (after the end of discharge of clean air for a predetermined time). In this case, it is determined that the foreign matter adhering to a person or the like in the air shower device 1 has been sufficiently removed. In this case, it is next determined whether or not a predetermined time has elapsed from the time when the user exits the air shower apparatus 1 to enter the highly clean space 4 (S12).
[0038]
That is, in this embodiment, the time from the exit time from the air shower device 1 detected by the sensor 51 to the time before the entrance 10 of the highly clean space 4 detected by the sensor 52 is predetermined. If it is after the elapse of time, it is determined that there is an abnormality and entry into the highly clean space 4 is denied. In this case, an alarm or the like is issued to inform the person of entry rejection (S13), and the open / close door 11 of the highly clean space 4 is not opened.
[0039]
On the other hand, the time from the time of exit from the air shower device 1 detected by the sensor 51 to the time of arrival before the entrance 10 of the highly clean space 4 detected by the sensor 52 has passed a predetermined time. If it is not, it is judged normal and people are allowed to enter the highly clean space 4 for the first time.
[0040]
When entry to the highly clean space 4 is permitted in this way, the fan 48 starts to operate first, and the planar air flow 31 is generated by the supply nozzle 45 from both sides of the entrance 10 of the highly clean space 4. The so-called air curtain is supplied (S14).
[0041]
Thereafter, the open / close door 11 is opened (S15). When a person or the like enters the highly clean space 4 (S16), the door 11 is closed again (S17). Thereafter, the operation of the fan 48 stops (S18), and the air curtain formed outside the entrance 10 of the highly clean space 4 is released.
[0042]
Since the cleaning device 2 is formed with the inlet 13 and the outlet 14 of the air shower device 1 open, it can be brought into the highly clean space 4 with tools, drawings, materials, etc. Even when entering, the air shower device 1 can be easily passed. Further, the clean space 3 formed between the air shower device 1 and the entrance 10 of the highly clean space 4 can be passed by a person moving along the outside of the highly clean space 4 as it is.
[0043]
Moreover, the person etc. who leave from the inside of the highly clean space 4 should just go outside through the clean space 3 from the entrance / exit 10, and do not need to pass the air shower apparatus 1 in the case of exit. Even when a person or the like leaves the highly clean space 4 as described above, if an air curtain is formed outside the entrance 10 of the highly clean space 4 before the door 11 is opened, the interior of the highly clean space 4 It is possible to prevent the external atmosphere from entering.
[0044]
Moreover, according to this cleaning apparatus 2, in addition to making a person etc. in a clean state when passing through the air shower apparatus 1, an action for generating dust by himself / herself entering a highly clean space 4 Has the effect of moderating. That is, people entering the highly clean space 4 are required to minimize dust generation due to their own generation and operation, and rules and work standards for that purpose are established at each factory. The air shower device 1 is also a preparation space and a prior confirmation space for entering the highly clean space 4. According to the cleaning device 2, as described above with reference to FIGS. 8 and 9, passing through the air shower device 1 over a predetermined time is imposed on a person entering the highly clean space 4. Therefore, compliance with such rules and work standards will be ensured. Further, since the air shower device 1 does not have a door, it is not troublesome to re-enter the room, and the visibility is good, so that the inside of the air shower device 1 is easy to understand. For this reason, the status of compliance with cleaning rules can be confirmed from the outside.
[0045]
As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was illustrated, this invention is not limited to the form demonstrated here. For example, as shown in FIG. 10, the air shower device 1 and the clean space 3 may be arranged along the outside of the highly clean space 4. Further, the highly clean space 4 may be a so-called industrial clean room used for manufacturing electronic components, or a facility for controlling bacteria such as an animal breeding room, a food factory, and an operating room.
[0046]
For example, as shown in FIG. 11, a cleaning device 2 that passes through a changing room 5, an air shower device 1, and a clean space 3 in this order can be proposed. In this case, the clean space 3 itself may be a final local clean space in which production, testing, experiments, and the like are performed. Thus, if the changing room 5 for the dust-free garment, the air shower device 1 and the clean space 3 are adjacent to each other, a space for production or the like can be collected.
[0047]
In addition, in the air gun 30 described with reference to FIG. 6, as shown in FIG. 12, wires 60 are respectively attached to the pulleys 32 that roll on the rails 31, and rotational torque is applied to these wires 60 by the counterweight 61. It is also possible to configure the air gun body 35 so that it can be moved with a small force by winding it around the multi-stage pulley 62. That is, in the example shown in FIG. 12, the rail 31 is inclined from the horizontal so that the outlet 14 side is lower than the inlet 13 side. The pulley 32 that is farther from the inlet 13 side is wound around the multistage pulley 62 at a position where the rotational radius is large. According to the configuration shown in FIG. 12, a force for moving the pulley 31 on the rail 31 toward the outlet 14 side according to the inclination and a pulling force by the wire 60 are applied to each pulley 32, so that both forces are offset. By doing so, each pulley 32 can be stopped at an arbitrary position on the rail 31.
[0048]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to provide an air shower device that can be easily passed through, and it is possible to easily enter a clean space or a highly clean space even when carrying items such as tools. Further, the cleaning device of the present invention has an effect of moderating a person's own dust generation behavior in addition to making the person's etc. clean when passing through the air shower device.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a cleaning device including an air shower device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of an air shower device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the air shower device, showing the inside of the air shower device as viewed from above.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a chamber.
FIG. 5 is a perspective view of a guide vane.
FIG. 6 is a perspective view of an air gun.
FIG. 7 is an explanatory diagram of a state in which foreign matter attached to a tool or the like is removed using an air gun.
FIG. 8 is a flowchart showing a control process when passing through the air shower device.
FIG. 9 is a flowchart showing a control process when determining whether or not to enter the highly clean space.
FIG. 10 is a plan view of a cleaning device in which an air shower device and a cleaning space are arranged along the outside of the highly clean space.
FIG. 11 is a plan view of a cleaning device configured to pass through a changing room, an air shower device, and a cleaning space in that order.
12 is a perspective view of an air gun of a form different from FIG. 6. FIG.
[Explanation of symbols]
a people
1 Air shower device
2 Cleaner
3 clean space
4 Highly clean space
13 entrance
14 Exit
15 passage
17 Both sides
18 nozzles
25 guide vanes
30 Air Gun
40 FFU
50, 51, 52 sensors

Claims

  A nozzle that discharges clean air inside is provided on both sides of the passage formed between the inlet and the outlet, and by blowing clean air from the nozzle to people passing through the passage from the inlet to the outlet, An air shower device that removes foreign matter adhering to
  On both sides of the air shower device, nozzles that discharge clean air toward the inside are arranged at multiple locations.
  By arranging the nozzles on one side and the other side so that the nozzles are displaced from each other, it is configured so that the airflows from the nozzles on both sides do not collide, or one side and the other side. The nozzles are arranged so that the nozzles face each other, but by tilting the discharge direction of each nozzle, the discharge airflow from each nozzle on both sides is not collided.
  The doorway is opened,
  After discharging from each nozzle and colliding with the opposing inner wall surface, the Coanda effect guides the air flow that flows along the both side surfaces inside the air shower device toward the inlet and outlet, and is planar with respect to at least one of the inlets and outlets. An air shower device characterized in that an air curtain for preventing leakage of the internal atmosphere is formed in at least one of the entrances and exits by providing a guide vane for supplying air to the interior.

  A nozzle that discharges clean air inside is provided on both sides of the passage formed between the inlet and the outlet, and by blowing clean air from the nozzle to people passing through the passage from the inlet to the outlet, An air shower device that removes foreign matter adhering to
  On both sides of the air shower device, nozzles that discharge clean air toward the inside are arranged at multiple locations.
  By arranging the nozzles on one side and the other side so that the nozzles are displaced from each other, it is configured so that the airflows from the nozzles on both sides do not collide, or one side and the other side. The nozzles are arranged so that the nozzles face each other, but by tilting the discharge direction of each nozzle, the discharge airflow from each nozzle on both sides is not collided.
  The doorway is opened,
  A guide vane is provided that guides the airflow that flows along both side surfaces inside the air shower device and supplies air to at least one of the entrances and exits.
  A plurality of curved guide vanes are arranged upright on both the inner side of the inlet or the inner side of the outlet. The plurality of guide vanes are arranged in parallel, and are discharged from the nozzles described above. After colliding with the opposing inner wall surface, the airflow flowing toward the inlet or outlet along the both side surfaces inside the air shower device due to the Coanda effect is directed to a planar airflow by passing between the guide vanes. An air shower device characterized by being converted.

The air shower apparatus according to claim 1, further comprising an air gun inside the air shower apparatus.

4. An arrangement structure of a cleaning device, wherein the air shower device according to claim 1, and a clean space in which a parallel flow of clean air is formed are arranged adjacent to each other.

The arrangement structure of the cleaning apparatus according to claim 4, wherein an advanced clean space having a higher degree of cleanliness than the clean space is disposed adjacent to the clean space.

6. The operation method of the cleaning device according to claim 4 or 5, wherein a time for passing through the air shower device is measured, and whether or not to enter the clean space or the highly clean space is determined based on the measured value. A method for operating a cleaning device.