JP4813435B2

JP4813435B2 - マスフローメータ

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Publication number: JP4813435B2
Application number: JP2007231130A
Authority: JP
Inventors: 茂八嶋
Original assignee: 茂八嶋
Priority date: 2007-09-06
Filing date: 2007-09-06
Publication date: 2011-11-09
Anticipated expiration: 2027-09-06
Also published as: JP2009063401A

Description

本発明は、緊急閉鎖可能な常時全開状態の十字型回転弁が配置された流体管路内を流れる流体流量（マスフロー）の累積蓄算量を算出するマスフローメータに関する。

従来、水道管等に流れる流体流量値の累積蓄算量を算出するマスフローメータとして、羽根車の回転数から演算されるものが知られていた（特許文献１参照）。図６はこのようなマスフローメータの概略部分断面図である。

図８に示すようにマスフローメータ１は、水道管２から保持管３が立ち上がり、その保持管３内に、全周がシールされた状態でメータケース４が組み付けられている。メータケース４は、磁力を通す材質で形成され、その下方の水道管２の領域には、水の流れに対応して回転数が増減する羽根車５が設けられている。支軸６によって回転自在に支持された羽根車５の上方には支軸６と一緒に回転する磁石７が配置されている。メータケース４の内部には、羽根車９の回転数を検知する検知センサ８と、この検知センサ８からの回転数を水の流量に換算する計量回路部９とを有している。

特開２００２−２７０９０８号公報（図１）

しかしながら、特許文献１におけるマスフローメータ１は、回転数を検知するために支軸６によって支持された羽根車５を用いているが、羽根車を回しながら消費側にながれるので回転部での損出水頭があり、トイレ、風呂場、洗面所等、水の使用箇所が多数ある一般住宅に水道水を供給する場合のトータルの損失水頭の大きさは、供給ヘッドの増大を招きエネルギーの有効利用という観点からして望ましいものではなかった。また同時に大量の消費をした場合に、多量の水が羽根車を通過し、羽根車５の回転が追いつかず正確なマスフロー値を算出できない虞もあった。しかも羽根車５を長期使用すると、支軸６の摩耗や羽根そのものの損傷等により流量の変化に対して回転の追従性が低下するため、羽根車５の定期的な点検、保守或いは交換を行うことを要した。またこのようなマスフローメータ１がある管路系においては、一般に、流体の異常流出や地震時に管路内の流れを遮断する必要から緊急遮断弁を併設させることが普通であるが、これにより設置コストの上昇は避けられなかった。

本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、同時に大量の流体を消費をした場合にも、マスフロー値を算出するための検知部での損出水頭が殆どなく、かつ流量の増減に対し長期に渡り常に正確なマスフロー値が算出でき、しかも緊急遮断が機能を備えているにもかかわらず設置コストの低減が図れるマスフローメータを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載のマスフローメータは、流体管路内に配置され外ケーシング内に回動自在に支持された十字型回転弁により流体管路内を流れる流体のマスフロー値を算出するフローメータにおいて、前記十字型回転弁は直交する２つの直管から成る十字管で構成されており、前記十字型回転弁が全開状態では、前記十字管のいずれか一方の直管が、前記外ケーシングに連結した流入管と吐出管に対し直線状に整列しており、前記十字型回転弁を回動することにより前記流入管と吐出管との連通が前記十字管により遮断され、全開時における前記十字管の他方の直管と対峙する外ケーシングに設けた歪みゲージからの流体抗力信号をコントローラに入力し、該コントローラの演算部により、十字管内を流れた流体の平均速度を連続的に演算してマスフロー値の累積蓄算量を算出することを特徴としている。
この特徴によれば、十字型回転弁の全開状態では、従来のバタフライ弁のごとき流体の流れに抗する弁体が何ら存在していないので、検知部での流体損失が殆どないマスフローメータを提供することが可能であり、また、十字型回転弁の回動で流体の流れを遮断するときは、従来のバタフライ弁のように９０度まで回転させてなくて良いので、遮断に要する時間の短縮化が図れる。更に全開時に使用している一方の直管の開口パッキンが損傷しても、十字管を９０度回転させて他方の直管を全開時の常用管として使用することも可能である。

本発明の請求項２に記載のマスフローメータは、請求項１に記載のマスフローメータであって、前記十字管はコントローラからの緊急閉鎖出力信号により回転して前記流入管と吐出管との連通が遮断されることを特徴としている。
この特徴によれば、地震時や流体漏水時、あるいは料金未納等、適宜回転型閉止弁をコントローラにより作動させることができるので、マスフローメータの幅広い利用法が可能である。

本発明の請求項３に記載のマスフローメータは、請求項２に記載のマスフローメータであって、前記コントローラからの緊急閉鎖出力信号は流体路管内に生じる不規則な脈流の大きさによって発する手段を備えたことを特徴としている。
この特徴によれば、地震時に地震計を取り付けなくても、流体路管内に生じる不規則な脈流を測ることで地震を感知することができる。

本発明の請求項４に記載のマスフローメータは、請求項１ないし３のいずれかに記載のマスフローメータであって、前記十字型回転弁は他方の直管を垂直状態にして配置し該直管の上部に空気弁を設けたことを特徴としている。
この特徴によれば、空気弁により空気の流体管内の吸排気が可能であるので、空気の吸排気ができずに地上より高く配設できなかった従来の検針用流量計と異なり、検針員が見やすい位置まで地上より高くマスフローメータを設置することが可能である。

本発明の請求項５に記載のマスフローメータは、請求項１ないし４のいずれかに記載のマスフローメータであって、所定日数ごとにマスフロー値の累積蓄算量を算出して、ホストコンピュータに該算出情報を発信する手段を備えたことを特徴としている。
この特徴によれば、オーダーソフトをホストコンピュータに備える必要がなく、ホストコンピュータ側は各コントローラからの情報を区分けして蓄積する汎用のソフトだけですみ、自動検針システムのための投資金額を大幅に低減することができる。

本発明の実施例を以下に説明する。

図１は、本発明の十字型回転弁が全開状態のマスフローメータの概略正面図とその一部拡大断面図であり、図２は図１の側面図であり、図３（ａ）は半割状態の外ケーシング分解斜視図であり、（ｂ）は半割の外ケーシング間に挿入されるパッキングの斜視図であり、図４は十字型回転弁の斜視図とその一部拡大図であり、図５は十字型回転弁で管路を遮断した状態のマスフローメータの概略正面図であり、図６は流量を算出するためのマスフローメータの概略説明図であり、図７はマスフローメータに用いられているコントローラのフロー図である。なお、以下図１において紙面左方をマスフローメータの左方、紙面右方をマスフローメータの右方とし、同様に、紙面上方をマスフローメータの上部、紙面下方をマスフローメータの下部として説明する。

本発明のマスフローメータは、例えば、水道料金徴収のための月々の水道水の使用量を算出するための水道メータ計器として使用されるものであり、しかも不正使用や緊急時には水道水を遮断できるものである。図１、図２に示すように、元栓と蛇口内間の水道水路管に挿入されたマスフローメータ１０は、外ケーシング１２内に回動自在に支持された十字型回転弁１４と、十字型回転弁の駆動部１６と、水道水のマスフロー値を算出する演算部を内蔵したマイコン等のコントローラ１８と、マスフロー値等を表示する表示部２０から構成されており、駆動部１６はモータ（図示せず）によって十字型回転弁１４の駆動軸２２を開閉駆動することができる。しかし、モータの故障等、万一の場合に備えに、駆動軸２２と減速ギアＧがクラッチ２４を介して断続可能に連結されており、操作ハンドル２６によって手動で駆動軸２２を駆動操作もできるようになっている。

コントローラ１８や減速ギアＧあるいはクラッチ２４は開閉可能なケース２８（図２において２点鎖線で示す）内に収納され、ケース２８上面に各種操作ボタンと液晶表示画面を有する表示部２０が載置されている。図２に示されるように、コントローラ１８は歪みゲージ３０からの信号を受け取り、マスフロー値を算出して、その値を月ごとに累積積算して表示部２０に表示させると共に、地震等の異常時に十字型回転弁１４が駆動されて流体の流れが閉鎖されるように、駆動部１６にモータ駆動信号を送信するように構成されている。なお歪みゲージ３０は十字管１５の他方の直管１５−２と対峙する外ケーシング１２の内壁４２ｃに設けることができるので、全開時での流体の流れにおける損出水頭がない。

外ケーシング１２は、図３（ａ）に示すように、十字型回転弁１４を組み付けやすくするために、断面半円形状の分割されたケーシング１２−１、１２−２から成り、一方のケーシング１２−１には上流側の元栓に連結する流入管３４が、他方のケーシング１２−２には下流側の蛇口に連結する十字型回転弁１４からの吐出管となる流出管３６がそれぞれ接続されている。

十字型回転弁１４を両ケーシング１２−１，１２−２内に収納した後は、図３（ｂ）に示したパッキング３８ａ、３８ｂを両分割ケーシングの分割合わせ面１２ａ、１２ｂ間に挿入し、各ケーシングの上下１対の取付フランジ１２ｃを整合させてボルト４０で緊締する。なお、両分割ケーシング１２−１，１２−２内に十字型回転弁１４を収納する際は、図４に示した十字型回転弁１４の支持軸１４ａを両分割ケーシングのボス部１２ｄが合体することで形設される嵌合穴１２ｅ内に軸受（図示せず）を介して挿入され、また十字型回転弁１４の駆動軸２２は、両分割ケーシングのボス部１２ｄと対向位置に設けたボス部１２ｆが合体することで形設される嵌合孔１２ｇに挿間され、外ケーシング１２から延在した先端部は駆動部１６に接続されている（図２参照）。

次に十字型回転弁１４の構造を図２，４に基づいて説明する。十字型回転弁１４は直交する２つの直管１５−１、１５−２から成る十字管１５で構成され、その内部は流体が導通できるように中空パイプ状に成っている。十字管１５の外方は外周面側が開放の断面コ字状の環状帯４２が取り巻いており、図４の拡大図に示すように、環状帯４２はリング状の内壁４２ｃと、この内壁４１の上下端から半径方向が外方に延在するリング状上片４２ａとリング状下片４２ｂされ、直管１５−１、１５−２の外端部は４箇所で環状帯４２の内壁４２ｃに溶着されている。

直管１５−１、１５−２が溶着された内壁４２ｃ近傍において、環状帯４２のリング状上片４２ａとリング状下片４２ｂを密封状態で連結する２枚の仕切板４２ｄ、４２ｄが設けられていて、これら２枚の仕切板４２ｄ、４２ｄと上下のリング状上片および下片４２ａ、４２ｂとの４面で囲われたキャビン４４が形成される。

４つのキャビン４４の開口部側周縁には開口シール部４６ａが囲繞しており、図２に示すように、一方の直管１５−１が、外ケーシングに連結した流入管３４と流出管３６と直線状に整列して全開状態においては、開口シール部４６ａが、外ケーシングの内壁１２ｈ（図３ａ参照）と密封状に接しているため、流入管３４から導入した流体は、キャビン４４を通り直管１５−１を介して流出管３６に向かって流れることができる。直管１５−１の流出管３６側のキャビン４４も開口シール部４６ａによって外ケーシングの内壁１２ｈと密封状に接しているため、十字型回転弁１４に流入したすべての流体は漏れることなく流出管３６に送出できる。

また環状帯４２のリング状上片４２ａとリング状下片４２ｂの外周面にそれぞれリング状シール部４６ｂ、４６ｂが設けられていると共に、開口シール部４６ａとリング状シール部４６ｂとを連結した連結シール部４６ｃが設けられている。

このように十字型回転弁１４の全開状態では、従来のバタフライ弁のごとき流体の流れに抗する弁体が何ら存在していないので、流体損失の殆どない流体流れを創出することが可能となる。また十字型回転弁１４の全開状態においては、他方の直管１５−２にも流体が流入するが、キャビン４４の開口シール部４６ａによりキャビン４４から外部に漏出することはない。

他方の直管１５−２の上方のキャビン４４は外ケーシング１２の上部に形成されているボス部１２ｉと連結した空気弁４８と連通している。この空気弁４８は十字型回転弁１４に導入された水位に応じて上下動するフロート弁が内在して、十字管１５内に存在する空気を外部に放出するとともに、水位が下がったときに外部から空気を取り込むようにした公知の空気弁である。このように空気弁４８により空気の吸排気が可能であるので、空気の吸排気ができずに地上より高く配設できなかった従来の検針用流量計と異なり、検針員が見やすい位置まで本発明のマスフローメータを設置することも可能である。

次に十字型回転弁１４を緊急時に遮断する方法を図５に基づき説明する。図１に示された十字型回転弁１４の全開状態から、緊急時に駆動部１６を駆動するモータにモータ駆動信号が送信されると、十字型回転弁１４の駆動軸２２は右回転し、駆動軸２２と一体に連結されている直管１５−１も略45度右回転し、流入管３４と連通状態にあった直管１５−１のキャビン４４が遮断状態となる。

即ち、キャビン４４を形成している仕切板４２ｄが直管１５−１の右回転によって流入管３４の開口を通過すると、流入管３４から十字型回転弁１４に流入した流体は、直管１５−１と直管１５−２の両キャビン４４の開口シール部４６ａと、リング状上片４２ａとリング状下片４２ｂの外周面にそれぞれ設けられたリング状シール部４６ｂ、４６ｂと、連結シール部４６ｃとにより、流入管３４から導入された流体は、直管１５−１と直管１５−２間の断面コ字状の環状帯４２を越えて流出することはできず、断面コ字状の環状帯４２内に閉じ込められ流出管３６に向かって流れることはない。

次に、十字型回転弁１４内を流れる流量を積算する方法について図６に基づき説明する。十字型回転弁１４が全開状態にあるとき、他方の直管１５−２の下方のキャビン４４も密閉されており、このキャビン４４と対峙する外ケーシング１２の内壁１２ｈには歪みゲージ３０が埋設されており、この歪みゲージ３０が受ける抗力を電気信号に変換してコントローラ１８に入力して、十字管１５路内を流れる流体の圧力を算出し、その変化を監視することにより、例えば所定時間ごとに十字型回転弁１４内を流れる流量を積算することができる。

図６の概略説明図において、十字管１５の中心である点Ｏにおける流速をＶ_１、静圧Ｐ_１、歪みゲージ３０から算出される他方の直管１５−２下方部の圧力をＰ_２、流入管３４に吐出するための全送出圧をＰとすると点Ｏにおける全圧（トータルヘッド）Ｔは、Ｔ＝Ｐ−Ｌで表される。ここでＬはポンプ送出点から点Ｏまでの管路抵抗値であり、管の材質や、管径等により予め実験値としてすでに知られている数値である。

歪みゲージ３０は点Ｏより下方に距離ｈだけ離れているので、Ｐ_２＝Ｐ_１＋ｇｈの関係式が成り立つ。従って、水の密度をρとすると、Ｔ＝Ｐ−Ｌ＝（Ｖ_１ ^２ρ／２）＋Ｐ_１＝（Ｖ_１ ^２ρ／２）＋Ｐ_２−ρｇｈとなり、Ｖ_１ ^２＝２（Ｐ−Ｌ−Ｐ_２＋ｇｈ）／ρより流速Ｖ_１の大きさを求めることができる。流速Ｖ_１が解れば、一般的な手法により路管内の平均流速Ｖをコントローラにて算出される。

管路内の平均流速Ｖの大きさは、水道水の使用状況により刻々と変化するので、使用されたマスフロー値（ここでマスフロー値とは、流体の使用により路管内を移動した流体量とする）は、平均流速Ｖと直管１５−１の流路断面積の積を使用時間で積分した値として求められる。このようにして水道水が使用される毎にマスフロー値を使用毎に累積蓄算すれば、トータルの総使用量を、１日毎或いは月毎に算出してマスフローメータとして利用できる。

次に、コントローラの作用について図７に基づき説明する。コントローラ１８は入力部１８−１、出力部１８−２及び演算部１８−３及び記憶部１８−４で構成され、入力部１８−１で受信する信号としては、歪ゲージ３０が受ける抗力Ｆを電気信号として変換された信号Ｆ１、コントローラ１８が収納されているケース２８内あるいは十字型回転弁１４の外ケーシング１２に直接取り付けた振動感知器からの振動（或いは地震感知器からの震度）信号Ｆ２、プリペードカード等の料金カードからの情報信号Ｆ３、表示部２０に設けられている各種操作ボタンからの指令信号Ｆ４、アンテナにより基地局５０と送受信可能な送受信部５２からの指令信号Ｆ５等が含まれる。

一方、出力部１８−２から発信する信号としては、十字型回転弁１４を開閉するためのバルブ駆動部１６への指令信号Ｏ１、表示部２０の液晶表示画面に文字等を表示するための表示指令信号Ｏ２、管理センター５６に必要な情報を伝えるために送受信部５２に出力する情報信号Ｏ３が含まれる。なお、送受信部５２で受けた情報信号は、アンテナで基地局５０に伝送され、この基地局からインターネット等の公衆回線５４を介して管理センター５６に送ることができる。当然のことではあるが、管理センター５６からの指令信号は、逆に公衆回線５４を介して送受信部５２に送られ、送受信部５２から信号Ｆ５としてコントローラ１８に入力させることができる。

本発明のマスフローメータ１０は前記したコントローラ１８を具備しているため、単に信号Ｆ１により水道水の使用量を算出し、その値を表示部２０に表示するだけでなく、各種の機能を付加することができる。即ちＦ２信号で振幅や震度の大きさで、十字型回転弁１４の閉鎖する指令信号Ｏ１（緊急閉鎖出力信号）をバルブの駆動部１６に出力して、流入管３４から導入される流体を遮断したり、プリペードカードが投入されるとＦ３信号で十字型回転弁１４を開放する指令信号Ｏ１をバルブ駆動部１６に出力して水道水の使用が可能となったり、残金がなくなれば十字型回転弁１４を閉鎖させるようにすることもできる。

なお、Ｆ２信号として、水道水路管に直接振動感知器或いは地震感知器等の測定器を取り付けて振幅や震度の大きさを測るっているが、それ以外に、地震により水道水路管１０内に生じる不規則な脈流を歪みゲージ３０にて抗力Ｆの変動としてとらえ、コントローラ１８の記憶部１８−４に記憶されている地震時の抗力変動パターンと比較して、地震であるかどうかを判定する手段もコントローラ１８に内在している。この場合、たとえば加速度が１６０ガル以上で振動した場合、大きな地震であると判定して、緊急閉鎖出力信号として、十字型回転弁１４を閉鎖する指令信号Ｏ１が出力されるように設計するとともに、あわせて管理センター５６にも同時に通報するシステムとなっている。これにより管理センター５６側では各コントローラからの情報を集計分析することで、地震の大きさの分布状況を広範囲にわたってつかむことができる。

一方、表示部２０には各種の操作ボタンが装備されており、月ごとのマスフロー値をスクロールさせたり、使用水量に基づき使用金額を表示させたり、緊急時（例えば、漏水時、液晶画面の故障など）に管理センター５６に通報するボタン等があり、これらは信号Ｆ４として入力され、演算部１８−３で処理された後、記憶部１８−４で記憶した情報を出力部１８−２から表示指令信号Ｏ２となって表示部２０に送信、あるいは情報信号Ｏ３となって送受信部５２に送信される。またＦ５信号を利用して、管理センター５６からバルブの駆動部１６に十字型回転弁１４の開閉指令を出したり、予めコントローラ１８の記憶部１８−４に記憶されたメッセージを表示部２０に表示させることもできる。

また、本発明のマスフローメータはコントローラ１８を使用して自動検針システムも構築することが可能である。具体的には、コントローラ１８内に、所定日数，例えば１５日とか３０日ごとにこのコントローラ１８から管理センター５６にあるホストコンピュータに水道使用量の累計を自ら発信するシステムであり、所定日になると記憶部１８−４で記憶した水道使用量の累計を取り出すとともに、ホストコンピュータのアドレスを読み出し、情報信号Ｏ３より送受信部５２、公衆回線５４（ＰＬＣといわれている電力線通信回線を含む）を介して管理センター５６にあるホストコンピュータに向けて情報を発信するようになっている。

このような自動検針システムを構築することで、ホストコンピュータ側から個々のコントローラ１８に向けて水道使用量の累計情報を取りに行くオーダーソフトをホストコンピュータに備える必要がなく、ホストコンピュータ側は各コントローラ１８からの情報を区分けして蓄積する汎用のソフトだけですみ、自動検針システムのための投資金額を大幅に低減することができる。この自動検針装置は本発明のマスフローメータに使用されるコントローラ１８を利用するものであるから、コントローラを備えたところから順次選択的に自動検針システムを実施することができる。

以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれ、例えば上記実施例では、水道水路管のための水道メータ計器として使用した例で説明したが、水道水に限らず一般の液体、或いは気体の累積積算計器として利用可能であり、ガスメータ計器としても利用できることは言うまでもない。

また、上記実施例では、十字型回転弁１４を略４５度右回転させて流体の流れを遮断した例で説明したが、左回転させても良い。また、キャビン４４の仕切板４２ｄが流入管３４の開口を通過する回転角度で流体の流れを遮断できるので、４５度以下でも遮断することができる。したがって、従来のバタフライ弁のように９０度回転させてなくて良いので、遮断に要する時間の短縮化が図れる。

更に、上記実施例では、十字型回転弁１４を空気弁４８が上方になるように設置した例で説明したが、地上より高く配設しない場合や、流体としてガスを使用する場合には、横置きに設置することも可能である。

十字型回転弁１４の全開時に使用している一方の管１５―１の流入管３４および流出管３６と対面する開口シール部４６ａは、管内に生じるウオーターハンマーに基づく脈圧を直接けるので劣化が進行しやすいが、劣化が進行した時点で十字管を９０度回転させて、他方の直管１５−２を全開時の常用管として使用することも可能である。

本発明の十字型回転弁が全開状態のマスフローメータの概略正面図とその一部拡大断面図である。図６はり、図７はマスフローメータに用いられているコントローラのフロー図である。本発明の実施例１におけるバタフライ弁が閉弁状態のマスフローメータの概略正面図である。図１の側面図である。（ａ）は半割状態の外ケーシング分解斜視図であり、（ｂ）は半割の外ケーシング間に挿入されるパッキングの斜視図である。十字型回転弁の斜視図とその一部拡大図である。十字型回転弁で管路を遮断した状態のマスフローメータの概略正面図である。流量を算出するためのマスフローメータの概略説明図である。マスフローメータに用いられているコントローラのフロー図である。従来のマスフローメータの概略部分断面図である。

符号の説明

１０マスフローメータ
１２外ケーシング
１４十字型回転弁
１５十字管
１５−１一方の直管
１５−２他方の直管
１６バルブの駆動部
１８コントローラ
１８−１入力部
１８−２出力部
１８−３演算部
１８−４記憶部
２０表示部
２４クラッチ
２６操作ハンドル
２８ケース
３０歪みゲージ
３４流入管
３６流出管（吐出管）
３８ａ，ｂパッキング
４２環状帯
４４キャビン
４６ａ開口シール部
４６ｂリング状シール部
４６ｃ連結シール部
４８空気弁
５０基地局
５２送受信部
５４公衆回線
５６管理センター

Claims

流体管路内に配置され外ケーシング内に回動自在に支持された十字型回転弁により流体管路内を流れる流体のマスフロー値を算出するフローメータにおいて、前記十字型回転弁は直交する２つの直管から成る十字管で構成されており、前記十字型回転弁が全開状態では、前記十字管のいずれか一方の直管が、前記外ケーシングに連結した流入管と吐出管に対し直線状に整列しており、前記十字型回転弁を回動することにより前記流入管と吐出管との連通が前記十字管により遮断され、全開時における前記十字管の他方の直管と対峙する外ケーシングに設けた歪みゲージからの流体抗力信号をコントローラに入力し、該コントローラの演算部により、十字管内を流れた流体の平均速度を連続的に演算してマスフロー値の累積蓄算量を算出することを特徴とするマスフローメータ。
前記十字管はコントローラからの緊急閉鎖出力信号により回転して前記流入管と吐出管との連通が遮断されることを特徴とする請求項１に記載のマスフローメータ。
前記コントローラからの緊急閉鎖出力信号は流体路管内に生じる不規則な脈流の大きさによって発する手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載のマスフローメータ。
前記十字型回転弁は他方の直管を垂直状態にして配置し該直管の上部に空気弁を設けたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のマスフローメータ。
前記コントローラは、所定日数ごとにマスフロー値の累積蓄算量を算出して、ホストコンピュータに該算出情報を発信する手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のマスフローメータ。