JP4813164B2 - 薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置 - Google Patents
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Description
例えば、電界が印加された状態で液晶層の液晶分子がその配列を変化させて、液晶層を通る光の偏光を変化させる。偏光板は、偏光された光を適切に遮断または透過させて明領域及び暗領域を生成し、所望の映像を表示する。
これを解消するために、透過領域と反射領域の液晶層の厚さ、つまりセルギャップ(cell gap)が異なるようにする。さらに、透過領域を主に用いる透過モードである時と、反射領域を主に用いる反射モードである時とで互いに異なる電圧で駆動する方法もある。
さらに、C AUX /(C LC2 +C AUX )=0.82、及びA2/(A1+A2)=0.6を満たす構成とすることができる。
前記基板上に形成され、前記透明電極がドレイン電極に接続されているスイッチング素子をさらに有する構成とすることができる。
重畳している前記第1導体と前記第2導体との間に形成されている第1絶縁膜をさらに有する構成とすることができる。
前記基板上に形成され、ドレイン電極が前記第1導体に接続されているスイッチング素子をさらに有し、前記第1反射電極が前記第1導体に接続される構成とすることができる。
前記基板上に形成され、出力端子電極が前記第1導体に接続されているスイッチング素子をさらに有し、前記第1反射電極が前記第1導体に接続される構成とすることができる。
さらに、C AUX /(C LC2 +C AUX )=0.82、及びA2/(A1+A2)=0.6を満たす構成とすることができる。
前記第2反射型液晶キャパシタに接続されている補助キャパシタをさらに有する構成とすることができる。
前記透過型液晶キャパシタ、前記第1反射型液晶キャパシタ及び前記補助キャパシタに接続されているストレージキャパシタをさらに有する構成とすることができる。
前記透過型液晶キャパシタ及び前記第1反射型液晶キャパシタは、前記スイッチング素子からデータ電圧の印加を受け、前記第2反射型液晶キャパシタは、前記補助キャパシタから前記データ電圧より小さい電圧の印加を受ける構成とすることができる。
前記透過型液晶キャパシタと前記第1及び第2反射型液晶キャパシタは、共通電圧の印加を受ける共通電極をさらに有する構成とすることができる。
を満たす。
さらに、C AUX /(C LC2 +C AUX )=0.82、及びA2/(A1+A2)=0.6を満たす構成とすることができる。
前記第1及び第2絶縁膜は、前記第2導体を露出させる第1コンタクトホールを有し、前記第2反射電極は、前記第1コンタクトホールを介して前記第2導体と接続される構成とすることができる。
前記ドレイン電極は開口部を有し、前記第1コンタクトホールは前記開口部を介して形成される構成とすることができる。
前記第1導体は開口部を有し、前記第1コンタクトホールは前記開口部を介して形成される構成とすることができる。
前記第2絶縁膜は、保護膜及び前記保護膜上に形成されている有機絶縁膜を有する構成とすることができる。
前記第1反射電極は、前記透明電極上に形成される構成とすることができる。
前記第2反射電極は、透明導電体及び前記透明導電体上に形成されている反射導電体を有する構成とすることができる。
前記ドレイン電極と重畳する維持電極をさらに有する構成とすることができる。
図面は、各種層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示している。明細書全体を通じて類似した部分については同一の参照符号を付けている。層、膜、領域、板などの部分が、他の部分の“上に”あるとする時、これは他の部分の“すぐ上に”ある場合に限らず、その中間に更に他の部分がある場合も含む。逆に、ある部分が他の部分の“すぐ上に”あるとする時、これは中間に他の部分がない場合を意味する。
図1は、本発明の一実施形態に係る液晶表示装置の1つの画素に対する等価回路図であり、図2は、本発明の一実施形態に係る液晶表示装置の1つの画素に対する概略図である。
第2反射型液晶キャパシタCLC2は、下部表示板100の第2反射電極196と上部表示板200の共通電極270を2つの端子とし、2つの電極196、270間の液晶層3が誘電体として機能する。第2反射電極196は、補助キャパシタCAUXに接続されているが透明電極192及び第1反射電極194とは分離されている。
図3は、図2に示した液晶表示装置の断面構造の一例を示すものであり、図4及び図5は、図2に示した液晶表示装置の断面構造の他の例を示すものである。
本発明の液晶表示装置の断面構造の一例として、図3に示すように、下部表示板100には維持電極133が絶縁基板110上に形成されており、その上にゲート絶縁膜140が形成されており、スイッチング素子Qの出力端子電極170がゲート絶縁膜140上に形成されている。ストレージキャパシタCSTは、維持電極133と出力端子電極170が重畳してなる。第1絶縁膜801が出力端子電極170上に形成されており、第1絶縁膜801にはコンタクトホール183が形成されており、第1絶縁膜801上には透明電極192が形成されている。透明電極192は、コンタクトホール183を介して出力端子電極170と物理的・電気的に接続されている。凹凸パターンを有する第2絶縁膜802が第1及び第2反射領域RA1、RA2で透明電極192上に形成されており、その上に、第1及び第2反射電極194、196が形成されている。第1反射電極194は、透明電極192と接続され、第2反射電極196と分離されている。補助キャパシタCAUXは、透明電極192と第2反射電極196が第2絶縁膜182を介在して重畳してなる。
透過型液晶キャパシタCLC0と第1及び第2反射型液晶キャパシタCLC1、CLC2は、各々透明電極192、第1及び第2反射電極194、196と共通電極270を2つの端子としてなる。透過領域TAと第1及び第2反射領域RA1、RA2は、第2絶縁膜802の厚さほど段差を有する。
透過型液晶キャパシタCLC0と第1及び第2反射型液晶キャパシタCLC1、CLC2は、各々透明電極192、第1及び第2反射電極194、196と共通電極270を2つの端子としてなる。前述した実施形態と異なって、透過領域TAと第1及び第2反射領域RA1、RA2でセルギャップが実質的に同一である。
透過型液晶キャパシタCLC0と第1及び第2反射型液晶キャパシタCLC1、CLC2は、各々透明電極192、第1及び第2反射電極194、196と共通電極270を2つの端子としてなる。透過領域TAと第1及び第2反射領域RA1、RA2でセルギャップが実質的に同一である。
図6A〜図6Fは、図2に示した液晶表示装置の第1及び第2反射電極の面積比及び電圧比による反射率曲線を透過率曲線と共に示した図である。
スイッチング素子Qを介して映像信号に相応するデータ電圧が印加されると、データ電圧と共通電圧Vcomの差電圧(以下、画素電圧Vという)が透過型液晶キャパシタCLC0及び第1反射型液晶キャパシタCLC1の両端にかかる。しかし、第2反射型液晶キャパシタCLC2の両端にかかる電圧V2は、補助キャパシタCAUXのため画素電圧Vより小さく、次の数1で表される。
図6A〜図6Fで、透過率曲線VTは、画素電圧Vによる透過領域TAでの輝度を示し、第1反射率曲線VR1は、画素電圧Vによる反射領域RAでの輝度を示す。透過率曲線VT及び第1反射率曲線VR1は、テスト表示板から測定したデータを使用して示した。この時、テスト表示板で反射領域は、第2反射領域RA2を除去し、その代わり第1反射領域RA1を拡張したものである。第2反射率曲線VR2は、第1反射率曲線VR1を数式1の電圧によって示したものであり、第3反射率曲線VR3は、第1反射率曲線VR1と第2反射率曲線VR2を合成したもので、本発明の実施形態に係る液晶表示装置の第1反射領域RA1と第2反射領域RA2の面積比によって決定される。
まず、面積比(AR)を或る1つの値に固定した後、電圧比(k)を変化させて、第3反射率曲線VR3と透過率曲線VTが一致しているかを確認し、再び面積比(AR)を他の値に変えて同じ作業を繰り返した。面積比(AR)は、0.4、0.5、0.6、0.7に対して行った。
図6B、図6C及び図6Dは、各々面積比(AR)が0.4、0.5及び0.7である場合に対する第3反射率曲線VR3を示す。各場合に対して電圧比(k)を適切に調節して、第3反射率曲線VR3が透過率曲線VTに最も近接するようにした。この時、面積比(AR)が0.4、0.5及び0.7である場合に対する最適の電圧比(k)は、それぞれ0.78、0.80及び0.84であった。面積比(AR)が0.6である場合に比べて第3反射率曲線VR3と透過率曲線VTの不一致が多少存在するものの、依然としてほぼ一致していることが分かる。
結局、シミュレーション結果によれば、面積比(AR)を0.4〜0.7とし、電圧比(k)を0.78〜0.86とすることによって、透過率曲線VTに近似する第3反射率曲線VR3を導出することができる。
液晶層の厚さdLCが3μmであるとき、絶縁膜の厚さは0.66μmである。このような絶縁膜の厚さは工程時に無理が生じることもあるので、必要に応じて絶縁膜の厚さを減少させ、補助キャパシタCAUXの電極面積も減少させて、数式3の補助容量値を生成することができる。例えば、図4に示すように、出力端子電極170と補助電極120とが重畳する面積と、ゲート絶縁膜140の厚さを調節することによって、必要な補助容量CAUXを形成することができる。
図7は、図4に示す液晶表示装置の配置図の一例であり、図8は、図7に示す液晶表示装置をVIII-VIII'線に沿って切断した断面図である。
本実施形態に係る液晶表示装置は、薄膜トランジスタ表示板100と、これと対向している共通電極表示板200、並びにこれらの間に挿入されて、2つの表示板100、200の表面に対して垂直または水平に配向されている液晶分子を含む液晶層3からなる。
まず、薄膜トランジスタ表示板100には、図7及び図8に示すように、透明なガラスなどからなる絶縁基板110上に複数のゲート線121と複数の維持電極線131及び複数の補助電極126が形成されている。
維持電極線131は、主に横方向に延びており、維持電極133をなす複数の突出部を有する。維持電極線131には、共通電極表示板200の共通電極270に印加される共通電圧などの予め定められた電圧の印加を受ける。
ゲート線121と維持電極線131及び補助電極126は、アルミニウムとアルミニウム合金などのアルミニウム系金属、銀と銀合金などの銀系金属、銅と銅合金などの銅系金属、モリブデンとモリブデン合金などのモリブデン系金属、クロム、チタニウム、タンタルなどからなるのが好ましい。ゲート線121と維持電極線131及び補助電極126は、物理的性質が異なる2つの膜、つまり下部膜(図示せず)とその上の上部膜(図示せず)を有することができる。上部膜は、ゲート線121と維持電極線131の信号遅延や電圧降下を減少させることができるように低い比抵抗(resistivity)の金属、例えば、アルミニウム(Al)やアルミニウム合金などのアルミニウム系金属からなる。これとは異なって、下部膜は、他の物質、特にITO(indium tin oxide)及びIZO(indium zinc oxide)との接触特性に優れた物質、例えばモリブデン(Mo)、モリブデン合金、クロム(Cr)などからなる。下部膜と上部膜との組み合わせの例には、クロム/アルミニウム−ネオジム(Nd)合金が挙げられる。
また、ゲート線121と維持電極線131及び補助電極126の側面は、基板110表面に対して傾斜しており、その傾斜角は約20〜80°である。
ゲート線121と維持電極線131及び補助電極126上には、窒化ケイ素(SiNx)などからなるゲート絶縁膜140が形成されている。
オーミック接触部材161、165及びゲート絶縁膜140上には、複数のデータ線171と、ここから分離されている複数のドレイン電極175が形成されている。
データ線171は、主に縦方向に延びてゲート線121及び維持電極線131と交差し、データ電圧を伝達する。データ線171は、他の層または外部装置との接続のために面積が広い一端の拡張部179を有する。
各データ線171からドレイン電極175に対向するように延びた枝がソース電極173をなす。ゲート電極124、ソース電極173及びドレイン電極175は、半導体151の突出部154と共に薄膜トランジスタ(TFT)をなし、薄膜トランジスタのチャンネルは、ソース電極173とドレイン電極175の間の突出部154に形成される。
データ線171とドレイン電極175もゲート線121、維持電極線131及び補助電極126と同様に、その側面が約30〜80°の角度でそれぞれ傾斜している。
データ線171、ドレイン電極175及び露出した半導体151部分の上には、無機物質である窒化ケイ素や酸化ケイ素などからなる保護膜180が形成されており、保護膜180上部には、平坦化特性に優れて、かつ感光性を有する有機物質からなる有機絶縁膜187が形成されている。この時、有機絶縁膜187の表面は凹凸パターンを有し、有機絶縁膜187上に形成される第1及び第2反射電極194、196に凹凸パターンを誘導して、反射電極194、196の反射効率を極大化する。ゲート線121及びデータ線171の拡張部129、179が形成されているパッド部には、有機絶縁膜187が除去されており、保護膜180のみ残っている。
透明電極192、193は、透明な導電物質であるITO、IZOまたは導電性ポリマーからなり、反射電極194、196は、不透明で反射度を有するアルミニウムまたはアルミニウム合金、銀または銀合金などからなる。透明電極192、193と反射電極194、196の間には、モリブデンまたはモリブデン合金、クロム、チタニウムまたはタンタルなどからなる接触補助層(図示せず)をさらに形成することができる。接触補助層は、透明電極192、193と反射電極194、196の接触特性を良くし、透明電極192、193が反射電極194、196を酸化されるのを防ぐ。
透明電極193及び第2反射電極196は、コンタクトホール186を介して補助電極126と物理的・電気的に接続され、補助電極126からデータ電圧より低い電圧の印加を受ける。このような電圧が印加された第2反射電極196は、共通電極270と共に電場を生成することによって、両者間の液晶層3の液晶分子を再配列する。第2反射電極196と共通電極270は、第2反射型液晶キャパシタCLC2をなし、第2反射型液晶キャパシタCLC2は補助キャパシタCAUXと直列に接続される。
パッド部の保護膜180上には、コンタクトホール181、182を通じて各々ゲート線121の拡張部129及びデータ線171の拡張部179と接続されている複数の接触補助部材81、82が形成されている。接触補助部材81、82は、ゲート線121及びデータ線171の拡張部129、179と外部装置との接着性を補完し、これらを保護する役割をするものであって必須ではなく、これらの適用は選択的である。また、これらは透明電極192、193または反射電極194、196と同一層で形成することもできる。
以下、他の例として本発明の実施例による液晶表示装置の構造について、図9及び図10を参照して詳細に説明する。
図9は、図4に示した液晶表示装置の配置図の他の例であり、図10は、図9に示した液晶表示装置をX-X'線に沿って切断した断面図である。
本実施形態に係る液晶表示装置も、薄膜トランジスタ表示板100、共通電極表示板200及びこれら2つの表示板100、200の間に挿入されている液晶層3を有する。
薄膜トランジスタ表示板100には、複数のゲート電極124を有する複数のゲート線121と、複数の維持電極133を有する複数の維持電極線131、及び複数の第1補助電極127が基板110上に形成されている。維持電極133は、ゲート線121に隣接して形成されており、第1補助電極127は、維持電極133と離れており、前段ゲート線121に隣接して形成されている。第1補助電極127は、ゲート線121及び維持電極線131と同一の金属からなり、単一膜または複数膜の構造を有することができる。
複数のソース電極173を有する複数のデータ線171と複数のドレイン電極175が、オーミック接触部材161、165及びゲート絶縁膜140上に形成されている。複数の第2補助電極176がゲート絶縁膜140上に形成されており、第2補助電極176には開口部174が形成されている。第2補助電極176は、データ線171及びドレイン電極175と分離されており、第1補助電極127とほぼ同一の形状を有し、これと重畳している。第2補助電極176は、データ線171及びドレイン電極175と同一の金属からなり、多層膜構造を有することができる。
本発明によれば、反射領域を2つに分けて、その1つには透過領域と同一のデータ電圧を印加し、もう1つにはデータ電圧より小さい電圧を印加することによって、セルギャップを実質的に同一にしながら、反射モードのガンマ曲線を透過モードのガンマ曲線に一致させることができる。
81、82 接触補助部材
100、200 表示板
110、210 絶縁基板
120、126、127 補助電極
121、129 ゲート線
124 ゲート電極
131 維持電極線
133 維持電極
140 ゲート絶縁膜
151、154、157 半導体
161、163、165 オーミック接触部材
170 出力端子電極
171、179 データ線
173 ソース電極
174、178 開口部
175、177 ドレイン電極
180 保護膜
176 補助電極
181、182、183、184、185、186、188、189 コンタクトホール(接触孔)
187 有機絶縁膜
801、802 絶縁膜
192、193 透明電極
194、196 反射電極
195 透過領域
220 遮光部材
230 カラーフィルタ
240 ライトホール
270 共通電極
Claims (30)
- 基板と、
前記基板上に形成されている透明電極と、
前記透明電極に接続されている第1反射電極と、
前記透明電極及び前記第1反射電極と分離されている第2反射電極
とを備え、
前記透明電極、前記第1反射電極及びこれらと接続された第1導体のうちの少なくとも一つが、前記第2反射電極またはこれと接続された第2導体と重畳して補助キャパシタC AUX を形成し、
前記第2反射電極と共通電極から形成される第2反射型液晶キャパシタC LC2 及び前記補助キャパシタC AUX との間で、
0.78≦C AUX /(C LC2 +C AUX )≦0.86
を満たし、
前記第1反射電極の面積A1と前記第2反射電極の面積A2との間で、
0.4≦A2/(A1+A2)≦0.7
を満たす薄膜トランジスタ表示板。 - C AUX /(C LC2 +C AUX )=0.82、及び
A2/(A1+A2)=0.6
を満たす請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。 - 重畳している前記透明電極と前記第2反射電極との間に形成されている絶縁膜をさらに備える請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記基板上に形成されており、前記透明電極がドレイン電極に接続されているスイッチング素子をさらに備える請求項2に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 重畳している前記第1導体と前記第2導体との間に形成されている第1絶縁膜をさらに備える請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第1及び第2反射電極と前記第1導体との間に形成されている第2絶縁膜をさらに備える請求項5に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記基板上に形成されており、ドレイン電極が前記第1導体に接続されているスイッチング素子をさらに備え、
前記第1反射電極が前記第1導体に接続されている請求項6に記載の薄膜トランジスタ表示板。 - 前記第1及び第2絶縁膜に形成されて前記第2導体を露出させる第1コンタクトホールと、
前記第2絶縁膜に形成されて前記第1導体を露出させる第2コンタクトホールとをさらに備え、
前記第1コンタクトホールを介して前記第2反射電極が前記第2導体に接続されており、前記第2コンタクトホールを介して前記第1反射電極が前記第1導体に接続されている請求項7に記載の薄膜トランジスタ表示板。 - 重畳している前記第1導体と前記第2反射電極との間に形成されている絶縁膜をさらに備える請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記基板上に形成されており、出力端子電極が前記第1導体に接続されているスイッチング素子をさらに備え、
前記第1反射電極が前記第1導体に接続されている請求項8に記載の薄膜トランジスタ表示板。 - 複数の画素を有し、
前記各画素は、透過型液晶キャパシタと、前記透過型液晶キャパシタと接続されている第1反射型液晶キャパシタと、前記透過型液晶キャパシタ及び前記第1反射型液晶キャパシタと分離されている第2反射型液晶キャパシタC LC2 とを有し、
前記透過型液晶キャパシタを形成する透明電極、前記第1反射型液晶キャパシタを形成する第1反射電極及びこれらと接続された第1導体のうちの少なくとも一つが、前記第2反射型液晶キャパシタを形成し、前記透明電極及び前記第1反射電極と分離されている第2反射電極またはこれと接続された第2導体と重畳して補助キャパシタC AUX を形成し、
前記第2反射型液晶キャパシタC LC2 及び前記補助キャパシタC AUX との間で、
0.78≦C AUX /(C LC2 +C AUX )≦0.86
を満たし、
前記第1反射電極の面積A1と前記第2反射電極の面積A2との間で、
0.4≦A2/(A1+A2)≦0.7
を満たす液晶表示装置。 - C AUX /(C LC2 +C AUX )=0.82、及び
A2/(A1+A2)=0.6
を満たす請求項11に記載の液晶表示装置。 - 前記第2反射型液晶キャパシタの電圧が前記第1反射型液晶キャパシタの電圧より小さい請求項11に記載の液晶表示装置。
- 前記透過型液晶キャパシタ、前記第1反射型液晶キャパシタ及び前記補助キャパシタに接続されているストレージキャパシタをさらに備える請求項11に記載の液晶表示装置。
- 前記透過型液晶キャパシタ、前記第1反射型液晶キャパシタ及び前記補助キャパシタに接続されているスイッチング素子をさらに備える請求項11に記載の液晶表示装置。
- 前記透過型液晶キャパシタ及び前記第1反射型液晶キャパシタは、前記スイッチング素子からデータ電圧の印加を受け、
前記第2反射型液晶キャパシタは、前記補助キャパシタから前記データ電圧より小さい電圧の印加を受ける請求項15に記載の液晶表示装置。 - 前記透明電極及び前記第1反射電極は、各々前記スイッチング素子に接続する請求項15に記載の液晶表示装置。
- 前記透過型液晶キャパシタと前記第1及び第2反射型液晶キャパシタは、共通電圧の印加を受ける共通電極をさらに備える請求項11に記載の液晶表示装置。
- 基板と、
前記基板上に形成されているゲート線と、
前記ゲート線上に形成されている第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に形成されている半導体層と、
少なくとも一部分が前記半導体層の上部に形成されているデータ線と、
少なくとも一部分が前記半導体層の上部に形成され、前記データ線と離れているドレイン電極と、
前記データ線及び前記ドレイン電極上に形成され、前記ドレイン電極を露出させる第2コンタクトホールを有する第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜上部に形成され、前記第2コンタクトホールを介して前記ドレイン電極と接続されている透明電極と、
前記透明電極に接続されている第1反射電極と、
前記透明電極及び前記第1反射電極に接続されている第1導体と、
前記透明電極、前記第1反射電極及び前記第1導体のうちの少なくとも一つと重畳する第2導体と、
前記透明電極及び前記第1反射電極と分離され、前記第2導体と接続されている第2反射電極とを備え、
前記透明電極、前記第1反射電極及び前記第1導体のうちの少なくとも一つが、前記第2反射電極または前記第2導体と重畳して補助キャパシタC AUX を形成し、
前記第2反射電極と共通電極から形成される第2反射型液晶キャパシタC LC2 を形成し、
前記第2反射型液晶キャパシタC LC2 及び前記補助キャパシタC AUX との間で、
0.78≦C AUX /(C LC2 +C AUX )≦0.86
を満たし、
前記第1反射電極の面積A1と前記第2反射電極の面積A2との間で、
0.4≦A2/(A1+A2)≦0.7
を満たす薄膜トランジスタ表示板。 - C AUX /(C LC2 +C AUX )=0.82、及び
A2/(A1+A2)=0.6
を満たす請求項19に記載の薄膜トランジスタ表示板。 - 前記第2導体は、前記第1絶縁膜下に形成されている請求項19に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第1及び第2絶縁膜は、前記第2導体を露出させる第1コンタクトホールを有し、前記第2反射電極は、前記第1コンタクトホールを介して前記第2導体と接続されている請求項21に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記ドレイン電極は開口部を有し、前記第1コンタクトホールは前記開口部を介して形成されている請求項22に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第1導体は、前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜との間に形成されている請求項22に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第1導体は開口部を有し、前記第1コンタクトホールは前記開口部を介して形成されている請求項24に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第2絶縁膜は、保護膜及び前記保護膜上に形成されている有機絶縁膜を備える請求項19に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記有機絶縁膜は、凹凸パターンを有する請求項26に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第1反射電極は、前記透明電極上に形成されている請求項19に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第2反射電極は、透明導電体及び前記透明導電体上に形成されている反射導電体を備える請求項19に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記ドレイン電極と重畳する維持電極をさらに備える請求項19に記載の薄膜トランジスタ表示板。
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