KR100417917B1 - 반사투과형 액정표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 기판 상에 위치하며, 제 1 금속물질로 이루어진 게이트 전극 및 제 1 캐패시터 전극과;상기 게이트 전극 및 제 1 캐패시터 전극 상부에 형성된 게이트 절연막과;상기 게이트 절연막 상의 게이트 전극을 덮는 위치에 형성된 반도체층과;반사특성을 가지는 중간층 금속물질을 포함하는 다중층 구조의 제 2 금속물질로 이루어지며, 상기 반도체층 상에 위치하는 소스 및 드레인 전극 그리고, 상기 제 1 캐패시터 전극과 대향되게 위치하는 제 2 캐패시터 전극과;상기 소스 및 드레인 전극과 제 2 캐패시터 전극을 덮으며, 상기 드레인 전극 및 제 2 캐패시터 전극을 일부 노출시키는 제 1 영역에 형성된 드레인 콘택홀 및 캐패시터 콘택홀을 가지는 보호층과;상기 보호층 상에 위치하고, 상기 드레인 콘택홀 및 캐패시터 콘택홀을 통해, 상기 드레인 전극 및 제 2 캐패시터 전극과 연결되며, 투명 도전성 물질로 이루어진 화소 전극을 포함하며, 상기 제 1 영역과 대응되는 위치에서, 상기 드레인 전극 및 제 2 캐패시터 전극의 중간층 금속물질 영역으로 이루어지는 반사 영역과, 상기 반사 영역과 함께 화소 영역을 구성하며, 빛을 투과시키는 영역인 투과 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 반사투과형 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 반사특성을 가지는 중간층 금속물질은 순수 알루미늄(Al), 알루미늄계 합금(Al based alloy), 알루미늄/은(Al/Ag) 합금 중 어느 한 금속물질에서 선택되는 반사투과형 액정표시장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 다중층 구조의 제 2 금속물질은 삼중층 금속물질이며, 상기 중간층 금속물질의 상부 및 하부층 금속물질은 몰리브덴(Mo), 티탄(Ti), 탄탈(Ta), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 텅스텐(W) 중 어느 한 금속물질에서 각각 선택되는 반사투과형 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 투명 도전성 물질은 ITO(indium tin oxide), ITZO(indium tin zinc oxide), IZO(indium zinc oxide) 중 어느 하나에서 선택되는 반사투과형 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 절연막이 개재된 상태에서 서로 대향되게 위치하는 제 1, 2 캐패시터 전극은 스토리지 캐패시터(storage capacitor)를 이루는 반사투과형 액정표시장치.
- 기판 상에, 제 1 금속물질을 이용하여 게이트 전극 및 제 1 캐패시터 전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 전극 및 제 1 캐패시터 전극을 덮는 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;상기 게이트 절연막 상의 게이트 전극을 덮는 위치에 반도체층을 형성하는 단계와;반사특성을 가지는 중간층 금속물질을 포함하는 다중층 구조의 제 2 금속물질을 이용하여, 상기 반도체층 상에 소스 및 드레인 전극 그리고, 상기 제 1 캐패시터 전극과 대향되게 위치에 제 2 캐패시터 전극을 형성하는 단계와;상기 소스 및 드레인 전극과 제 2 캐패시터 전극을 덮으며, 상기 드레인 전극 및 제 2 캐패시터 전극의 일부를 노출시키는 제 1 영역에 드레인 콘택홀 및 캐패시터 콘택홀을 가지는 보호층을 형성하는 단계와;상기 보호층 상에 위치하고, 상기 드레인 콘택홀 및 캐패시터 콘택홀을 통해, 상기 드레인 전극 및 제 2 캐패시터 전극과 연결되며, 투명 도전성 물질로 이루어진 화소 전극을 형성하는 단계을 포함하며, 상기 제 1 영역과 대응되는 위치에서, 상기 드레인 전극 및 제 2 캐패시터 전극의 중간층 금속물질 영역으로 이루어지는 반사 영역과, 상기 반사 영역과 함께 화소 영역을 구성하며, 빛을 투과시키는 영역인 투과 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 반사투과형 액정표시장치의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 드레인 콘택홀 및 캐패시터 콘택홀 그리고, 상기 드레인 콘택홀 및 캐패시터 콘택홀과 대응되는 위치의 드레인 전극의 상부층 금속물질과 제 2 캐패시터 콘택홀의 상부층 금속물질은 건식식각(dry etching)법에 의해 식각되는 반사투과형 액정표시장치의 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 반사특성을 가지는 중간층 금속물질은 순수 알루미늄(Al), 알루미늄계 합금(Al based alloy), 알루미늄/은(Al/Ag) 합금 중 어느 한 금속물질에서 선택되는 반사투과형 액정표시장치의 제조방법.
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