JP4808682B2 - 焼結体、透明導電膜の製造方法及び透明導電膜 - Google Patents
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ITOが透明導電体の主役となっている理由は、ITOの抵抗率が低く、可視光領域での透過率が高いという透明導電体に要求される諸特性が、他の材料系の透明導電体と比較して優れているためである。
この開発方針の結果、3価(特許文献1参照)や4価(特許文献2参照)の原子価を有する候補ドーパントの探索が行われたが、抵抗率はITOに遠く及ばないのが実情である。
その内容は、一定濃度以上のn型ドーパントをp型ドーパントより多く含むというだけの規定であり、これまでに、この規定を満足しただけで、この特許出願中に記載されているような低抵抗率を有する酸化亜鉛系透明導電体の作製に実際に成功したとの報告は、他には未だ無い。
また、当該特許出願には、酸化亜鉛系透明導電体の作製方法として、有機金属化学気相成長法(MOCVD法)の実施例と分子線エピタキシー法(MBE法)への言及があるが、何れも大面積透明導電膜を作製するには不適当な方法である。
そして、その偏析の程度は、膜を大面積に生産することでスケールメリットや生産性の向上を図らなければならない産業応用時にはより顕著となる。
従って、窒素をガス成分から供給する方法は、供給される窒素が、随時、膜へ取り込まれて消費されるために、膜へ取り込まれる窒素を考慮しつつ、窒素濃度を一定に保ちながらガス流量を調整、制御し続けて成膜しなければならないという大きな欠点がある。
本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、ITOに匹敵する低抵抗率を有し、大面積化可能な酸化亜鉛系透明導電膜を提供することを目的とする。
1)酸化亜鉛、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなるガリウム、アルミニウム、インジウム、ホウ素の中から選ばれた、少なくとも1種類以上の元素及び窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化ガリウムの中から選ばれた、少なくとも1種類以上の金属窒素物からなる焼結体であって、酸化亜鉛中の亜鉛の原子数をZ、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなる元素の原子数をA、金属窒素化合物中の金属元素の原子数をB、窒素の原子数をCとしたときに、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることを特徴とする焼結体、を提供する。
2)酸化亜鉛、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなるガリウム、アルミニウム、インジウム、ホウ素の中から選ばれた、少なくとも1種類以上の元素及び窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化ガリウムの中から選ばれた、少なくとも1種類以上の金属窒素物からなる焼結体であって、酸化亜鉛中の亜鉛の原子数をZ、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなる元素の原子数をA、金属窒素化合物中の金属元素の原子数をB、窒素の原子数をCとしたときに、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下である焼結体をスパッタリングすることによって、前記焼結体と同組成の膜を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法、を提供する。
3)酸化亜鉛、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなるガリウム、アルミニウム、インジウム、ホウ素の中から選ばれた、少なくとも1種類以上の元素及び窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化ガリウムの中から選ばれた、少なくとも1種類以上の金属窒素物からなる透明導電膜であって、酸化亜鉛中の亜鉛の原子数をZ、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなる元素の原子数をA、金属窒素化合物中の金属元素の原子数をB、窒素の原子数をCとしたときに、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることを特徴とする透明導電膜、を提供する。
一方、本発明ではn型不純物に着目した点に一つの特徴がある。つまり、不純物準位が浅くなることはn型ドーパントでも同じであり、その効果を酸化亜鉛系透明導電体に適用したのである。
原料である酸化亜鉛粉末、酸化ガリウム粉末、および窒化チタン粉末とを、亜鉛、ガリウム、チタン、窒素の各元素の原子数をそれぞれZn、Ga、Ti、Nとするときに、(Ga+Ti)/(Zn+Ga+Ti)=0.02, N/(Ga+Ti)=0.5となるように秤量し、大気雰囲気中でスーパーミキサーにより、毎分3000回転、3分の混合を行った。
実施例2−実施例11については、(Ga+Ti)/(Zn+Ga+Ti)、N/(Ga+Ti)の値をそれぞれ表1に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表1に示す。なお、この実施例2−実施例11で得られた膜は、ターゲットと同一組成であった。
比較例1−比較例4についても、(Ga+Ti)/(Zn+Ga+Ti)、N/(Ga+Ti)の値をそれぞれ表1に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表1に示す。
表1の実施例1−7の結果から、N/(Ga+Ti)=0.5であって、(Ga+Ti)/(Zn+Ga+Ti)の値が0.02以上0.08以下である場合は、膜抵抗率は0.5mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。また、表1の実施例8〜11の結果から、(Ga+Ti)/(Zn+Ga+Ti)=0.05であって、N/(Ga+Ti)の値が0.3以上0.7以下である場合も、膜抵抗率は0.5mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。
以上から、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることが、低抵抗の膜を形成する上で重要なことが分る。
実施例12−実施例22については、成分組成を変えただけで、実施例1と同様の条件で粉末を得、これを実施例1と同様にして焼結し、表2に示す組成と同組成の各種スパッタリングターゲットを得た。次に、このターゲットを用いて、アルゴンガス圧を0.5Pa、ターゲットと基板間隔を80mm、無アルカリガラスを基板として、基板無加熱の状態で、スパッタパワーを150W、成膜時間6分で直流マグネトロンスパッタリングし、膜厚約1,500Åの、表2に示す各種組成の膜を得た。上記の通り、この実施例12−実施例22で得られた膜は、ターゲットと同一組成であった。
そして、各種成膜の抵抗率を測定した。膜の低効率はホール測定により、行った。このようにして得た、(Al+Zr)/(Zn+Al+Zr)、N/(Al+Zr)の組成の各種の膜と抵抗値を、同様に表2に示す。
比較例5−比較例8についても、(Al+Zr)/(Zn+Al+Zr)、N/(Al+Zr) の値をそれぞれ表2に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表2に示す。
表2の実施例12−18の結果から、N/(Al+Zr)=0.5であって、(Al+Zr)/(Zn+Al+Zr)の値が0.02以上0.08以下である場合は、膜抵抗率は0.49mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。また、表2の実施例19−22の結果から明らかなように、(Al+Zr)/(Zn+Al+Zr)=0.05であって、N/(Al+Zr)の値が0.3以上0.7以下である場合も、膜抵抗率は0.5mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。
以上から、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることが、低抵抗の膜を形成する上で重要なことが分る。
実施例23−実施例33については、成分組成を変えただけで、実施例1と同様の条件で粉末を得、これを実施例1と同様にして焼結し、表3に示す組成と同組成の各種スパッタリングターゲットを得た。次に、このターゲットを用いて、アルゴンガス圧を0.5Pa、ターゲットと基板間隔を80mm、無アルカリガラスを基板として、基板無加熱の状態で、スパッタパワーを150W、成膜時間6分で直流マグネトロンスパッタリングし、膜厚約1,500Åの、表3に示す各種組成の膜を得た。上記の通り、この実施例23−実施例33で得られた膜は、ターゲットと同一組成であった。
そして、各種成膜の抵抗率を測定した。膜の低効率はホール測定により、行った。このようにして得た、(In+Al)/(Zn+In+Al)、N/(In+Al)の組成の各種の膜と抵抗値を、同様に表3に示す。
比較例9−比較例12ついても、(In+Al)/(Zn+ In+Al)、N/( In+Al) の値をそれぞれ表3に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表3に示す。
表3の実施例23〜29の結果から、N/( In+Al)=0.5であって、(In+Al)/(Zn+ In+Al)の値が0.02以上0.08以下である場合は、膜抵抗率は0.58mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。また、表3の実施例30〜33の結果から、(In+Al)/(Zn+ In+Al)=0.05であって、N/( In+Al)の値が0.3以上0.7以下である場合も、膜抵抗率は0.60mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。
以上から、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることが、低抵抗の膜を形成する上で重要なことが分る。
実施例34−実施例44については、成分組成を変えただけで、実施例1と同様の条件で粉末を得、これを実施例1と同様にして焼結し、表4に示す組成と同組成の各種スパッタリングターゲットを得た。次に、このターゲットを用いて、アルゴンガス圧を0.5Pa、ターゲットと基板間隔を80mm、無アルカリガラスを基板として、基板無加熱の状態で、スパッタパワーを150W、成膜時間6分で直流マグネトロンスパッタリングし、膜厚約1,500Åの、表4に示す各種組成の膜を得た。上記の通り、この実施例34−実施例44で得られた膜は、ターゲットと同一組成であった。
そして、各種成膜の抵抗率を測定した。膜の低効率はホール測定により、行った。このようにして得た、(B+Cr)/(Zn+ B+Cr)、N/(B+Cr)の組成の各種の膜と抵抗値を、同様に表4に示す。
比較例13−比較例16ついても、(B+Cr)/(Zn+B+Cr)、N/(B+Cr) の値をそれぞれ表4に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表4に示す。
表4の実施例34−40の結果から、N/(B+Cr)=0.5であって、(B+Cr)/(Zn+B+Cr)の値が0.02以上0.08以下である場合は、膜抵抗率は0.69mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。また、表4の実施例41−44の結果から、(B+Cr)/(Zn+B+Cr )=0.05であって、N/(B+Cr)の値が0.3以上0.7以下である場合も、膜抵抗率は0.70mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。
以上から、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることが、低抵抗の膜を形成する上で重要なことが分る。
実施例45−実施例55については、成分組成を変えただけで、実施例1と同様の条件で粉末を得、これを実施例1と同様にして焼結し、表5に示す組成と同組成の各種スパッタリングターゲットを得た。次に、このターゲットを用いて、アルゴンガス圧を0.5Pa、ターゲットと基板間隔を80mm、無アルカリガラスを基板として、基板無加熱の状態で、スパッタパワーを150W、成膜時間6分で直流マグネトロンスパッタリングし、膜厚約1,500Åの、表5に示す各種組成の膜を得た。上記の通り、この実施例45−実施例55で得られた膜は、ターゲットと同一組成であった。
そして、各種成膜の抵抗率を測定した。膜の低効率はホール測定により、行った。このようにして得た、(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)、N/(Al+Ga)の組成の各種の膜と抵抗値を、同様に表5に示す。
比較例17−比較例20ついても、(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)、N/(Al+Ga) の値をそれぞれ表5に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表5に示す。
表5の実施例45−51の結果から、N/(Al+Ga)=0.5であって、(Al+Ga )/(Zn+Al+Ga)の値が0.02以上0.08以下である場合は、膜抵抗率は0.48mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。また、表5の実施例52−55の結果から明らかなように、(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)=0.05であって、N/(Al+Ga)の値が0.3以上0.7以下である場合も、膜抵抗率は0.50mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。
以上から、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることが、低抵抗の膜を形成する上で重要なことが分る。
実施例56−実施例66については、成分組成を変えただけで、実施例1と同様の条件で粉末を得、これを実施例1と同様にして焼結し、表6に示す組成と同組成の各種スパッタリングターゲットを得た。次に、このターゲットを用いて、アルゴンガス圧を0.5Pa、ターゲットと基板間隔を80mm、無アルカリガラスを基板として、基板無加熱の状態で、スパッタパワーを150W、成膜時間6分で直流マグネトロンスパッタリングし、膜厚約1,500Åの、表5に示す各種組成の膜を得た。上記の通り、この実施例56−実施例66で得られた膜は、ターゲットと同一組成であった。
そして、各種成膜の抵抗率を測定した。膜の低効率はホール測定により、行った。このようにして得た、(Ga+Al+Ti+Zr)/(Zn+Ga+Al+Ti+Zr)、N/(Ga+Al+Ti+Zr)の組成の各種の膜と抵抗値を、同様に表6に示す。
比較例21−比較例24ついても、(Ga+Al+Ti+Zr)/(Zn+Ga+Al+Ti+Zr)、N/(Ga+Al+Ti+Zr) の値をそれぞれ表6に記載の通りとした点のみが異なり、その他条件等は、実施例1と同様とした。得られた結果を、同様に表6に示す。
表6の実施例56−62の結果から、N/(Ga+Al+Ti+Zr)=0.5であって、(Ga+Al+Ti+Zr )/(Zn+Ga+Al+Ti+Zr)の値が0.02以上0.08以下である場合は、膜抵抗率は0.48mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。また、表6の実施例63−66の結果から明らかなように、(Ga+Al+Ti+Zr)/(Zn+Ga+Al+Ti+Zr)=0.05であって、N/(Ga+Al+Ti+Zr)の値が0.3以上0.7以下である場合も、膜抵抗率は0.50mΩcm以下となり、低抵抗率な膜が得られた。
以上から、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることが、低抵抗の膜を形成する上で重要なことが分る。
Claims (3)
- 酸化亜鉛、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなるガリウム、アルミニウム、インジウム、ホウ素の中から選ばれた、少なくとも1種類以上の元素及び窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化ガリウムの中から選ばれた、少なくとも1種類以上の金属窒素物からなる焼結体であって、酸化亜鉛中の亜鉛の原子数をZ、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなる元素の原子数をA、金属窒素化合物中の金属元素の原子数をB、窒素の原子数をCとしたときに、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることを特徴とする焼結体。
- 酸化亜鉛、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなるガリウム、アルミニウム、インジウム、ホウ素の中から選ばれた、少なくとも1種類以上の元素及び窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化ガリウムの中から選ばれた、少なくとも1種類以上の金属窒素物からなる焼結体であって、酸化亜鉛中の亜鉛の原子数をZ、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなる元素の原子数をA、金属窒素化合物中の金属元素の原子数をB、窒素の原子数をCとしたときに、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下である焼結体をスパッタリングすることによって、前記焼結体と同組成の膜を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。
- 酸化亜鉛、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなるガリウム、アルミニウム、インジウム、ホウ素の中から選ばれた、少なくとも1種類以上の元素及び窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化ガリウムの中から選ばれた、少なくとも1種類以上の金属窒素物からなる透明導電膜であって、酸化亜鉛中の亜鉛の原子数をZ、酸化亜鉛に対してn型ドーパントとなる元素の原子数をA、金属窒素化合物中の金属元素の原子数をB、窒素の原子数をCとしたときに、(A+B)/(Z+A+B)の値が0.02以上0.08以下であり、かつC/(A+B)の値が0.3以上0.7以下であることを特徴とする透明導電膜。
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