JP4805466B2 - シースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法に係り、特に真空容器(真空チャンバー)内で加熱して使用されるシースヒーターを配設した半導体もしくは液晶ディスプレー製造装置用ヒータープレートまたは基板ホルダーの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
アルミニウム部材を積層し、その内部にシースヒーターを設けたヒータープレートは知られており、図8に示すように、アルミニウム部材(52)とアルミニウム部材(53)の間にシースヒーター(4)を組み付け、外周部(54)をTIG溶接、MIG溶接あるいはEBW溶接(電子ビーム溶接)を行って接合しているものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の図8に示したように、TIG溶接、MIG溶接によりアルミニウム部材を接合したヒータープレートは、溶接時にピンホールの発生、ガスの巻き込み等で気密性の問題があり、また溶接接合部は外周部の接合端面からの深いものではなく、その溶接接合部の信頼性に問題があった。
また、アルミニウム部材を接合したヒータープレートは、内部にシースヒーターをタイトに組み付けて、アルミニウム部材の外周部を溶接したものであり、アルミニウム部材と内部のシース材(ステンレス鋼)はタイトに組み付けられているので、ヒータープレートを成膜時に使用温度域(350〜450℃)に加熱すると、アルミニウム部材と内部にタイトに組み付けたヒーターのシース材(ステンレス鋼)との線膨脹の差により、アルミニウム部材とステンレス鋼のシース材にの間に引張応力や圧縮応力が作用して、ヒータープレートの変形、内部に配設されているシース材の変形又は破損するという問題、さらに熱サイクルを受けて変形や破損が加速される問題があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、複数のアルミニウムまたはアルミニウム合金である金属部材を積層し、その内部にシースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法において、シースヒーターの配設部を囲むように積層する金属部材の接合面の対向位置に環状凹部と環状凸部を設け、前記金属部材の接合面にシースヒーターを組み付け、かつ前記金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせ、積層する金属部材の外周部または外周部と所定の位置を拘束して、ヒータープレートが使用される加熱領域である250℃〜500℃の温度近傍で鍛圧を行い、接合面の環状凹部と環状凸部で締結部を形成するとともに接合面の平面接触部では金属接合され、シースヒーターの変形や破損、ヒータープレートの変形がないことを特徴とする加熱領域で使用されるシースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法である。
【0006】
【作用】
本発明においては、金属部材の接合面にシースヒーターを組み付け、かつ金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせて鍛圧を行い締結部を形成しすることにより、シースヒーターが配設されている内部と高度な密閉度が確保されるものである。
また、本発明においては、金属部材の接合面にシースヒーターを組み付け、かつ金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせ、積層する金属部材の外周部または外周部と所定の位置を拘束して鍛圧を行い、締結部を形成しするとともに接合面の平面接触部では金属接合されることことにより、シースヒーターが配設されている内部と高度な密閉度が確保されるとともに、接合面の平面接触部では金属接合され、またヒータープレート最外周の鍛接接合面に液体やガスが浸入することがない。
【0007】
また、本発明においては、金属部材の接合面にシースヒーターを組み付け、金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせて行う鍛圧を、ヒータープレートが使用される加熱領域の温度近傍で鍛圧を行うことにより、ヒータープレートの使用温度域で、金属部材例えばアルミニウム部材と、内部ヒーターのシース材例えばステンレス鋼やニッケル合金との線膨脹の差による応力を軽減することができ、シース材の変形や破損、ヒータープレートの変形が少ないものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の内部にシースヒーターを配設したヒータープレートは、積層する金属部材の接合面にシースヒーターを密着させたもので、シースヒーターの発熱がヒータープレートの金属部材に伝えられる。またシースヒーターはヒータープレートを均一な温度に加熱するようにヒータープレートの内部に配設されているものである。例えばシースヒーターを蛇行、渦巻き状等に配設してヒータープレートが均一な温度に加熱されるようにしている。またシースヒーターは、ステンレス鋼例えばSUS304、ニッケル合金例えばインコロイ、チタンのシース材(パイプ)の中に電熱線が絶縁材が封入されているものである。
【0009】
本発明により製造された内部にシースヒーターを配設したヒータープレートは、半導体、液晶の製造装置の真空容器(真空チャンバー)内でヒータープレートとして用いられるものである。
図7で内部にシースヒーターを配設したヒータープレートの使用例を示す。図7は化学的気相成長(CVD)処理装置であり、真空チャンバー(30)内にシースヒーター(4)を配設したヒータープレート(1)が支持部材(26)により設けられている。ヒータープレート(1)には基板(6)が載置される。また真空チャンバー(30)内には、CVD処理のためのガス供給部(27)が設けられており、供給口(28)よりガスAとガスBを供給して化学的気相成長により基板(6)に成膜するものである。
【0010】
ヒータープレート(1)は、ヒーター端子(4´)から通電されシースヒーター(4)により成膜時の温度領域(250〜500℃)に加熱されるものであるが、この加熱により、従来例の図8に示した内部にシースヒーターを室温でタイトに組み付けて外周部を溶接したものでは、成膜時の温度領域に昇温すると、アルミニウム部材とステンレス鋼のシース材の線膨脹の差により引張応力や圧縮応力が働き、鎖線(1a)や鎖線(1b)のようにヒータープレートが変形する。
これに対して、本発明の金属部材の接合面にシースヒーターを組み付け、金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせてヒータープレートが成膜時に使用される加熱領域の温度近傍で鍛圧したものでは、成膜時の温度領域(250〜500℃)に加熱されても、アルミニウム部材とシース材の線膨脹の差による引張応力や圧縮応力が鍛圧接合した温度領域に近ずく程、両者(アルミニウム部材とシース材)の間に発生する応力は減少することになり、ヒータープレート(1)が変形することがなく、またシース材(4)が変形したり破損することもない。
【0011】
また、ヒータープレートは使用される加熱領域の温度近傍で鍛圧することにより、鍛圧後自然冷却されて常温になるとアルミニウム部材とシース材の線膨脹の差による引張応力や圧縮応力は生じるが、常温でのアルミニウム部材及びシース材の強度は高温の状態より高く、それらの変形抵抗が高いのでヒータープレートの変形、シース材の変形や破損は生じない。
【0012】
また、本発明の内部にシースヒーターを配設したヒータープレートの製造において、金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部は、内部に配設されるシースヒーターを囲むように全周に、そして対向する接合面の対向位置に設ける。すなわち一方の金属部材の接合面には環状凹部を設け、もう一方の金属部材の接合面には環状凸部を設けるもので、環状凹部と環状凸部は、例えば機械加工により成形する。また環状凹部と環状凸部の断面形状は、矩形に限るものではなく、鍛圧圧縮により凹部に凸部が充満して締結部を形成するものであればよい。また接合する金属部材の接合面の対向位置に設けられている環状凹部と環状凸部を2重または3重のように多重に設け、環状凹部と環状凸部による締結部のよりより高度な密閉度にすることができる。
また、積層する金属部材の外周部を拘束して鍛圧を行うことにより最外周の鍛接接合面はで金属接合されてヒータープレート最外周の鍛接接合面に液体やガスが浸入することがなく、必要に応じて積層する金属部材の外周部と所定の位置を拘束して鍛圧を行うものである。
【0013】
また、本発明の内部にシースヒーターを配設したヒータープレートの製造において接合する金属部材の鍛圧を行う際、その前処理として表面を洗浄することが望ましい。例えばアルミニウム又はアルミニウム合金部材の場合は、▲1▼硝酸で表面の油とり、▲2▼水洗、▲3▼苛性処理(アルカリ溶液によるエッチング)、▲4▼水洗、▲5▼硝酸での洗浄、▲6▼水洗、▲7▼湯洗等の適宜の工程を組み合わせて表面を洗浄するものである。
【0014】
金属部材としては、例えばアルミニウムまたはアルミニウム合金が用いられる。積層する金属部材は、同一材料であると、鍛圧圧縮時の変形により環状凹部と環状凸部は締結部を形成し、また接合面の平面接触部は金属接合し易い。異種の材料であっても鍛圧圧縮時の変形により環状凹部と環状凸部は締結部を形成する。また2種の部材同志が圧着し平面接触部は物理的に金属接合するものである。
【0015】
本発明に係るヒータープレートの製造方法について、図1〜図4を参照してさらに具体的に説明する。
図1は鍛圧して積層する金属部材とシースヒーターを示す斜視図、図2(a)(b)は鍛圧を説明する図、図3及び図4はアルミニウム部材とシースヒーターの線膨張を示す図である。
図1には、積層するアルミニウム部材(2)とアルミニウム部材(3)、シースヒーター(4)が示されている。アルミニウム部材(2)の接合面(21)には環状に凸部(22)とシースヒーター(4)を組み付ける溝(23)が形成されている。溝(23)の端部はアルミニウム部材(2)を貫通している。
アルミニウム部材(3)の接合面(31)には環状に凹部(32)とシースヒーター(4)を組み付ける溝(図示省略)が形成されている。環状凸部(22)と環状凹部(32)は対向位置に設けられている。
シースヒーター(4)を組み付ける溝(23)(33)は、シースヒーター(4)が密着するように形成される。
シースヒーター(4)は蛇行状に曲げ加工され、その端部はアルミニウム部材(2)の下部から引き出されている。
【0016】
図2(a)に示すように、アルミニウム部材(2)の溝(23)と、アルミニウム部材(3)の溝(33)にシースヒーター(4)を取り付ける。またアルミニウム部材(2)の環状凸部(22)とアルミニウム部材(3)の環状凹部(32)を組み合わせ、これをヒータープレートとして使用される加熱領域の温度近傍で鍛圧を行うことにより、図2(b)に示すように、アルミニウム部材(2)の環状凸部(22)とアルミニウム部材(3)の環状凹凸部(32)は締結部(5)を形成する。またシースヒーター(4)は、アルミニウム部材(2)の溝(23)及びアルミニウム部材(3)の溝(33)に密着する。
シースヒーター(4)は、図2(a)(b)に拡大して示したように、中央部の発熱線(41)とその周りに充填剤を有しているものであり、ここではシースヒーターの発熱線(41)と充填剤を封入しているパイプがアルミニウム部材の溝の密着されている。
【0017】
ヒータープレートとして使用される加熱領域の温度近傍で鍛圧を行うことについて、図3、図4を参照して説明する。
ヒータープレートの使用される加熱領域が350〜450℃である場合、その温度近傍として400℃で、アルミニウム合金部材(2)(3)にステンレス鋼パイプのシースヒーター(4)を図1及び図2で示したように取り付けて鍛圧を行う場合について示す。
図3、図4は、ヒータープレートを構成するアルミニウム合金部材としてJIS6061、シースヒーターのステンレス鋼としてSUS304について、温度と線膨脹の関係及び温度と耐力の関係を示した図である。
図3において、線(10)はアルミニウム合金の線膨脹を示したもので、400℃近辺の線膨脹率は24×10−6/℃である。線(12)はシース材のステンレス鋼の線膨脹を示したもので、400℃近辺の線膨脹率は17.5×10−6/℃である。
また、線(13)はアルミニウム合金の耐力(変形抵抗)と温度との関係の概略を示したもので、25℃の耐力は6kg/mm2、400℃近辺の耐力は1kg/mm2である。
【0018】
従来例の図8に示したアルミニウム部材(52)と(53)の間にステンレス鋼のシースヒーター(4)を室温で密着させて組み付けて外周部(54)を溶接した基板ホルダーでは、アルミニウム部材(52)と(53)は図3の線(10)の矢印Aのように線膨脹し、またステンレス鋼のシースヒーター(4)は図3の線(12)の矢印Dのように線膨脹する。400℃近辺でアルミニウム部材(52)(53)とシースヒーター(4)との線膨脹の差はL1になる。アルミニウム部材(52)(53)とシースヒーター(4)は密着しているので、膨脹係数の高いアルミニウム部材(52)(53)がシースヒーター(4)を引張るような応力が生じ、またシースヒーター(4)は膨脹係数の高いアルミニウム部材(52)(53)を伸ばさないようにする応力が生じる。アルミニウム合金部材(52)(53)の耐力は温度が高くなると低下し変形抵抗が小さくなり、ヒータープレートに変形が生ずることになる。
【0019】
図4は、使用される加熱温度領域で鍛圧した場合のアルミニウム合金部材(JIS6061)とシースヒーターのステンレス鋼(SUS304)の温度と線膨脹の関係を示したものである。
図2(a)に示すアルミニウム部材(2)の溝(23)とアルミニウム部材(3)の溝(33)にシースヒーター(4)を常温で密着されて取り付け、これを加熱することにより、アルミニウム部材(2)(3)は図4の線(10)の矢印Aのように線膨脹し、ステンレス鋼のシースヒーター(4)は図4の線(12)の矢印Dのように線膨脹し、400℃近辺でアルミニウム部材(2)(3)とシースヒーター(4)との線膨脹の差はL1になる。
【0020】
これを400℃近辺で鍛圧することにより、アルミニウム部材(2)の溝(23)と、アルミニウム部材(3)の溝(33)にシースヒーター(4)は400℃近辺の線膨脹された状態で密着することになる。
400℃近辺での鍛圧時により、シースヒーター(4)が矢印M方向に引っ張られた状態で、アルミニウム部材(2)(3)は矢印N方向にL2の圧縮がなされて鍛圧される。
アルミニウム部材(2)(3)の耐力は温度が高くなると低下し変形抵抗が低下するので、アルミニウム部材(2)(3)は変形してシースヒーター(4)に密着する。シースヒーター(4)のステンレス鋼は引っ張られた状態になるが、400℃近辺でも大きい耐力を有しているので変形しない。
【0021】
具体的には、アルミニウム合金部材(JIS6061)の25℃における耐力6kg/mm2、400℃における耐力1kg/mm2であり、シースヒーターのステンレス鋼(SUS304)の25℃における耐力28kg/mm2、400℃における耐力22kg/mm2であり、シースヒーター(4)のステンレス鋼は、膨脹したアルミニウム部材(2)(3)により引っ張られた状態になるが、アルミニウム部材(2)(3)が変形してシースヒーター(4)に密着する。
アルミニウム部材(2)(3)としてJIS1051、シースヒーター(4)としてインコロイを用いた場合においても、同様にアルミニウム部材(2)(3)が変形してシースヒーター(4)に密着する。
【0022】
鍛圧後自然冷却されて、400℃近辺から常温になると、アルミニウム部材(2)(3)は図4の線(10)の矢印Bのように収縮し、またステンレス鋼のシースヒーター(4)は図4の線(12)の矢印Eのように収縮し、常温でアルミニウム部材(2)(3)とシースヒーター(4)との差はL2になる。常温で差L2の応力が生じているが、常温ではアルミニウム部材(2)(3)の耐力は大きいのでヒータープレートは変形することがない。またシースヒーターのステンレス鋼の強度も高いので、シースヒーター(4)の変形や破損も起こらないものである。
このように400℃近辺で鍛圧されたヒータープレートは、使用される温度領域である400℃近辺に加熱されるということは、鍛圧された時の状態で使用されるもので、アルミニウム部材(2)(3)とステンレス鋼のシース材(4)との間の応力は少ないので、ヒータープレートの変形、シース材の変形や破損は生じない。
【0023】
また、アルミニウム部材(2)の環状凸部(22)とアルミニウム部材(3)の環状凹部(32)は、鍛圧されて締結部(5)を形成して高度に密閉されており、本発明によるヒータープレートは、真空チャンバー内で高真空の状態におかれても、内部のシースヒーター(4)の部分からの漏れが生じなかった。
【0024】
【実施例】
本発明の実施例について、図1、図5、図6を参照して説明する。
図5、図6は、積層する金属部材の外周部を拘束しての鍛圧を説明する図である。
前述したように、図1に示したアルミニウム部材(2)の接合面(21)には環状に凸部(22)とシースヒーター(4)を組み付ける溝(23)が形成され、溝(23)の端部はアルミニウム部材(2)を貫通している。またアルミニウム部材(3)の接合面(31)には環状に凹部(32)とシースヒーター(4)を組み付ける溝(図示省略)が形成されている。環状凸部(22)と環状凹部(32)は対向位置に設けられている。またシースヒーター(4)を組み付ける溝(23)(33)は、シースヒーター(4)が密着するように形成される。
【0025】
次いで、図5に示すように、アルミニウム部材(2)の溝(23)と、アルミニウム部材(3)の溝(33)にシースヒーター(4)を取り付け、またアルミニウム部材(2)の環状凸部(22)とアルミニウム部材(3)の環状凹部(32)を組み合わせ、その外周部を型(7)で拘束し、台(8)と加圧手段(9)により、ヒータープレートとして使用される加熱領域の温度近傍で鍛圧を行う。
【0026】
この外周部を外周部を型(7)で拘束して行う鍛圧により、図6(a)に示すように、アルミニウム部材(2)とアルミニウム部材(3)は、鍛圧時の加圧手段(9)の加圧軸圧縮方向aに垂直で中心部から径方向(外周方向)b、cに金属が流れ出ようとするが、鍛圧時にアルミニウム部材(2)とアルミニウム部材(3)の外周部が型(7)で拘束されているため、図6(b)に示すように、一種の座屈のような変形が径方向(外周方向)に生ずる。このような径方向(外周方向)に座屈変形が生じている状態のものに、さらに加圧圧縮を加え、最終的に成形されたものは、図6(c)に示すように、座屈変形が伸び、結果的に接触部である積層するアルミニウム部材(2)とアルミニウム部材(3)の接合面にミクロ的なメタルフローdが生じて金属接合を生じさせる。
これにより積層するアルミニウム部材(2)とアルミニウム部材(3)の接合面の平面接触部でも金属接合され、最外周の鍛接接合面(図1の環状凸部(22)と環状凹部(32)の外側)の接合も完全なものになり、ヒータープレートを、例えば、表面処理液に浸漬するような処理を行うことがあっても、最外周の鍛接接合面の接合が完全になっているので処理液が浸入することがない。
【0027】
また、400℃付近で鍛圧されることにより、先に図4を参照して説明したように、アルミニウム部材(2)の溝(23)とアルミニウム部材(3)の溝(33)にシースヒーター(4)は400℃付近の線膨張された状態で密着され、ヒータープレートは変形することがなく、またシースヒーター(4)の変形も破損も起こらないものであった。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせて行う鍛圧をヒータープレートが使用される加熱領域の温度近傍で行うことにより、金属部材と内部ヒーターのシース材との線膨脹の差による応力が発生しないので、シース材の変形や破損、ヒータープレートの変形が生じないものであり、また金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせて鍛圧を行い締結部を形成しすることによりシースヒーターが配設されている内部と高度な密閉度が確保されるものである。さらに金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせ外周部を拘束して鍛圧を行い締結部を形成しするとともに接合面の平面接触部では金属接合されることことにより高度な密閉度が確保されるとともに、接合面の平面接触部では金属接合されるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ヒータープレートの製造方法を説明する図
【図2】 ヒータープレートの製造方法を説明する図
【図3】 ヒータープレートの製造方法を説明する図
【図4】 ヒータープレートの製造方法を説明する図
【図5】 本発明の実施例の製造方法を説明する図
【図6】 本発明の実施例の製造方法を説明する図
【図7】 本発明の実施の形態を示す図
【図8】 従来技術を説明する図
Claims (1)
- 複数のアルミニウムまたはアルミニウム合金である金属部材を積層し、その内部にシースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法において、シースヒーターの配設部を囲むように積層する金属部材の接合面の対向位置に環状凹部と環状凸部を設け、前記金属部材の接合面にシースヒーターを組み付け、かつ前記金属部材の接合面の環状凹部と環状凸部を組み合わせ、積層する金属部材の外周部または外周部と所定の位置を拘束して、ヒータープレートが使用される加熱領域である250℃〜500℃の温度近傍で鍛圧を行い、接合面の環状凹部と環状凸部で締結部を形成するとともに接合面の平面接触部では金属接合され、シースヒーターの変形や破損、ヒータープレートの変形がないことを特徴とする加熱領域で使用されるシースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法。
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