JP4133958B2 - ワークを加熱または冷却するための装置と、その製造方法 - Google Patents
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Description
また、半導体ウエハ加熱装置において、導線が挿通される円筒状体をセラミックスヒータに固定する手段として、該円筒状体を、円盤状セラミックス基体の所定位置に、チタン蒸着金ろう、チタン蒸着銀ろう、ガラス接合等によって接合することも提案されている。(下記特許文献2参照)
前記シャフト部材と前記プレート部材は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる。
図1は、例えば半導体製造プロセスに用いる処理装置10を示している。この処理装置10は、密閉可能な筐体を構成するプロセスチャンバ11と、プロセスチャンバ11の内部に収容されるヒータ装置12などを備えている。このヒータ装置12は、ワークを加熱するための装置の一例である。
図2に示すように、第1のプレート要素51と第2のプレート要素52との間にろう材60を配置する。また、第2のプレート要素52と第3のプレート要素53との間にもろう材61を配置する。さらに、フランジ部31と第1のプレート要素51との間にろう材85を配置する。
20…シャフト部材
21…プレート部材
30…シャフト本体
31…フランジ部
31a…周面
31b…裏面
51,52,53…プレート要素
51a…裏面(プレート部材の裏面)
55,56…ろう付部
70…端面
71…小突起(位置決め部)
73…ろう付部
80…凹部
80a…内周面
G…ギャップ
Claims (4)
- アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるシャフト部材と、
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、前記シャフト部材の端部に固定されるプレート部材と、
を備え、
前記シャフト部材は、シャフト本体と、該シャフト本体の端部に該シャフト本体と一体に成形されかつ該シャフト本体よりも大きい径を有するフランジ部とを有し、
前記プレート部材は、前記フランジ部を収容する凹部を有し、さらに、
前記プレート部材に対する前記フランジ部の径方向の位置決めをなす位置決め部と、
前記フランジ部の周面と前記凹部の内周面との間に形成されるギャップと、
前記凹部内において前記フランジ部の端面と前記プレート部材を互いに接合するろう付部と、
を具備したことを特徴とするワークを加熱または冷却するための装置。 - 前記プレート部材は、
複数のプレート要素を互いに厚み方向に重ねてろう付することによって構成され、
これらプレート要素間のろう付部が、前記フランジ部の端面と平行であることを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記フランジ部の裏面と前記プレート部材の裏面が、互いに略同一の平面上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるシャフト部材と、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、該シャフト部材の端部に固定されかつ厚み方向に重なる複数のプレート要素によって構成されるプレート部材と、を有するワークを加熱または冷却するための装置の製造方法であって、
前記シャフト部材の端部に、シャフト本体よりも径が大きいフランジ部を形成し、
前記複数のプレート要素のうち前記フランジ部がろう付されるプレート要素に、前記フランジ部を挿入可能な凹部を形成し、
前記フランジ部の厚さを前記凹部の深さよりも大とし、かつ、
前記フランジ部の径は該フランジ部を前記凹部に挿入した状態において前記凹部の内周面と該フランジ部の周面との間にギャップが生じる寸法とし、
前記複数のプレート要素間にろう材を配置し、
これらプレート要素を互いに厚み方向に重ね、
前記フランジ部の端面と前記プレート要素との間にろう材を配置し、
前記フランジ部を前記凹部に挿入し、
前記フランジ部の裏面を加圧用治具によって前記シャフト部材の軸線方向に加圧し、
前記加圧によって前記フランジ部の厚みが減少するとともに、該フランジ部の周面が拡がることを前記ギャップによって許容し、
前記加圧によって該フランジ部の裏面と前記プレート要素の裏面が面一となったのちは、前記加圧用治具を該フランジ部の裏面と前記プレート要素の裏面に接触させた状態で該フランジ部と前記プレート要素の双方を前記軸線方向に加圧し、
前記各ろう材が溶融する温度に加熱することにより、
前記フランジ部とプレート要素とをろう付すると同時に、前記プレート要素どうしをろう付することを特徴とするワークを加熱または冷却するための装置の製造方法。
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