JP4804968B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
図4は、伝熱ガス供給系を介して異物除去ガスを噴出する例を説明する図である。なお、図において図1に示される部分と同一部分については同一符号を付してその説明を省略する。図4に示すように、異物除去ガスを蓄積したガスボンベ33、マスフローコントローラ30、ガスバルブ32および異物ガス導入路を備えた異物除去ガス導入系は、伝熱ガス供給路28aを介して伝熱ガス噴出口に接続する。異物除去ガスの供給に際しては、伝熱ガス供給源28と伝熱ガス供給路を28aを接続するバルブ35を閉じた状態で、バルブ32を開いて、異物除去ガスを蓄積したガスボンベ33からのArガスをマスフローコントローラ30を介して500sccmないし3000sccmの流量で伝熱ガス噴出口36に供給し、この伝熱ガス噴出口36からArガスを噴出する。噴出されたガスはシャワープレート9とステージ2間の隙間をステージ中心部から外周部に向かって異物を吹き飛ばしながら流れる。この方法によれば、シャワープレートに対して複数の箇所から均等に異物除去ガスを供給することが可能となる。
図8は、伝熱ガス供給系を介して異物除去ガスを噴出する例を説明する図である。なお、図において図5に示される部分と同一部分については同一符号を付してその説明を省略する。図8に示すように、異物除去ガスを蓄積したガスボンベ33、マスフローコントローラ30、ガスバルブ32および異物ガス導入路を備えた異物除去ガス導入系は、伝熱ガス供給路28aを介して伝熱ガス噴出口に接続する。異物除去ガスの供給に際しては、伝熱ガス供給源28と伝熱ガス供給路を28aを接続するバルブ35を閉じた状態で、バルブ32を開いて、異物除去ガスを蓄積したガスボンベ33からのArガスをマスフローコントローラ30を介して500sccmないし3000sccmの流量で伝熱ガス噴出口36に供給し、この伝熱ガス噴出口36からArガスを噴出する。噴出されたガスはシャワープレート9とステージ2間の隙間をステージ中心部から外周部に向かって異物を吹き飛ばしながら流れる。この方法によれば、シャワープレートに対して複数の箇所から均等に異物除去ガスを供給することが可能となる。
以上では、プラズマ処理装置として有磁場平行平板タイプのプラズマ源を用いる例について説明した。しかし、本発明は、異物除去ガスを処理室下方から上方に吹き付けることにより、処理室上方に配置した部品、例えば、シャワープレートなどに付着しているウエットクリーニング後の異物を吹き飛ばして、異物を減少させるものである。従って、プラズマ源の種類に何ら制限を受けるものではない。このため無磁場平行平板プラズマ源、誘導結合プラズマ源、マイクロ波ECRプラズマ源等を用いるプラズマ処理装置対しても同様に適用することができる。
2 ステージ(固定)
3 可動ステージ
4 フォーカスリング
5 ヨーク
6 コイル
7 アンテナ
8 ガス分散板
9 シャワープレート
10 処理ガス供給系
11 第1高周波電源
12 第1整合器
13 第2高周波電源
14 第2整合器
15 フィルタ回路
16 第3高周波電源
17 第3整合器
18 温調ユニット
19 位相調整ユニット
20 アンテナ外周リング
21 異物除去ガス噴出口
22 シリコン板支持リング
23 アンテナ蓋部
24 ベローズ
25 ステージ上カバー
26 ステージ下カバー
27 ステージ駆動部
28 伝熱ガス供給源
28a 伝熱ガス供給路
29 異物除去ガス供給路
30 マスフローコントローラ
31 アンテナ温調ユニット
32,35 ガスバルブ
33 ガスボンベ
34 貯気槽
36 伝熱ガス噴出口
Claims (3)
- 真空処理室と、
該真空処理室上部に設けられ、該真空処理室に処理ガスを分散して導入するシャワープ
レートと、
前記真空処理室内に配置され被処理体である試料を載置して保持するステージと、
該ステージを前記真空処理室内で上昇および下降させるステージ駆動手段と、
前記真空処理室上部に設けられ該真空処理室内に高周波電力を供給してプラズマを生成するプラズマ生成手段を備え、生成したプラズマにより前記試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記ステージは、載置された前記試料との間に形成される伝熱空間に伝熱用のガスを噴出する伝熱ガス噴出口、および前記ステージ上部に設けられた前記シャワープレートに異物除去用のガスを吹き付けて付着した異物を除去する異物除去ガス噴出口とを備え、
前記ステージは、前記ステージ駆動手段により前記ステージが上昇された状態で、前記異物除去ガス噴出口から異物除去用のガスを間欠的に噴出することにより、交換後の前記シャワープレートに付着している異物を除去することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空処理室と、
該真空処理室上部に設けられ、該真空処理室に処理ガスを分散して導入するシャワープレートと、
前記真空処理室内に配置され被処理体である試料を載置して保持するステージと、
該ステージを前記真空処理室内で上昇および下降させるステージ駆動手段と、
前記真空処理室上部に設けられ該真空処理室内に高周波電力を供給してプラズマを生成するアンテナを備え、生成したプラズマにより前記試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記ステージは、載置された前記試料との間に形成される伝熱空間に伝熱用のガスを噴出する伝熱ガス噴出口、および前記ステージ上部に設けられた前記シャワープレートに異物除去用のガスを吹き付けて付着した異物を除去する異物除去ガス噴出口とを備え、
前記アンテナ及び前記シャワープレートは、アンテナ温調ユニットにより加熱され、
前記ステージは、前記ステージ駆動手段により前記ステージが上昇された状態で、前記異物除去ガス噴出口から異物除去用のガスを間欠的に噴出することにより、交換後であって加熱された前記シャワープレートに付着している異物を除去することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または請求項2記載のプラズマ処理装置において、
前記異物除去ガス噴出口にガスを供給するガス供給路には貯気槽を備え、該貯気槽を介して間欠的に異物除去ガスを供給することを特徴とするプラズマ処理装置。
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JP2006072763A JP4804968B2 (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | プラズマ処理装置 |
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JP2006072763A JP4804968B2 (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | プラズマ処理装置 |
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