JP4799338B2 - 測定装置およびその測定方法 - Google Patents
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Description
<実施例1>
外部環境の温度(外気温);30°C、相対湿度;100%の場合、1m3の空気中に30.3gの水分が含まれる。これを空間、例えば直径20mm、高さ5mmの空間に置き換えると0.46μgの水分が含まれる。ガラス基板を10°Cに冷却すると、30°Cの蒸気圧31.8mmHgと10°Cの蒸気圧9.2mmHgの差の分で約70%が結露するとして結露の量は0.3μgである。なお、この結露の量は、目視では確認できない程度の微量であり、実測することもできないので、上記の結露量は理論値を示す。この程度の結露量が光学的な測定に影響を及ぼすことはないことが確認された。
2、202、302 光学装置
54、254、354 空間
12、220、320 封止部材
100、130 マイクロチップ
111、141 測定部分
150 冷却装置(冷却ブロック)
222、322 コイルばね
330 減圧装置
Claims (6)
- マイクロチップのマイクロ流路内の試料を前記マイクロチップの測定部分で光学的に測定する光学装置を備えた測定装置において、
前記マイクロチップを冷却する冷却装置を備え、
前記光学装置は、鏡胴部を有するとともに、測定位置と退避位置との間で移動可能であり、前記鏡胴部の下端には前記測定位置で前記マイクロチップ上に弾性的に当接して前記鏡胴部と前記マイクロチップとの間に前記測定部分を囲む封止された空間を形成する封止部材が設けられてなることを特徴とする測定装置。 - 前記封止された空間の容積は、前記冷却装置によって環境温度から露点以下の測定温度に冷却されたときに、前記測定部分に生じる結露が光学測定に影響を与えないほど微量となる程度に微小であることを特徴とする請求項1記載の測定装置。
- 前記封止部材は、前記マイクロチップ上に弾性的に当接して、前記マイクロチップ上を互いに水平方向に相対移動可能であることを特徴とする請求項1または2記載の測定装置。
- 前記封止部材が、前記マイクロチップの測定部分を囲む弾性部材であることを特徴とする請求項1から3いずれか1項記載の測定装置。
- 前記封止部材が、前記マイクロチップの測定部分を囲むばね付勢された剛性部材であることを特徴とする請求項1から3いずれか1項記載の測定装置。
- マイクロチップのマイクロ流路内の試料を前記マイクロチップの測定部分で光学的に測定する光学装置を用いた測定装置の測定方法において、
前記マイクロチップを冷却装置により冷却し、
前記光学装置を前記マイクロチップに向けて移動させるとともに封止部材を前記マイクロチップ上に弾性的に当接させて、前記封止部材により前記光学装置と前記マイクロチップとの間に前記測定部分を囲む封止された空間を形成し、
測定後、前記冷却装置の冷却を停止し、前記測定部分を露点温度以上に昇温させた後、前記封止部材による前記空間の封止を解除することを特徴とする測定装置の測定方法。
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