JP4797051B2 - コレットチャック - Google Patents
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Description
基材と、
前記基材から形成され、対象物を把持する把持部と、
前記基材から形成され、前記対象物を利用する装置の支持体に支持される被支持部と、を備え、
前記基材の表面にはチタン化合物の被膜が形成されており、
前記被膜は、放電により前記基材上に形成されたものであり、
前記把持部の内周面に形成された前記被膜は、表面に所定の面粗度の凹凸形状を有することにより、前記対象物の把持を所定の把持力にする、
ことを特徴とする。
基材と、
前記基材から形成され、対象物を把持する把持部と、
前記基材から形成され、前記対象物を利用する装置の支持体に支持される被支持部と、を備え、
前記基材の表面にはコバルト合金の被膜が形成されており、
前記被膜は、放電により前記基材上に形成されたものであり、
前記把持部の内周面に形成された前記被膜は、表面に所定の面粗度の凹凸形状を有することにより、前記対象物の把持を所定の把持力にする、
ことを特徴とする。
図1(a)は本実施形態のコレットチャック10を示す図であり、図1(b)のI−I線で切断した断面図である。図1(b)はコレットチャック10の正面図である。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。第1の実施形態ではチタン浸透被膜22の材料としてチタン化合物のひとつであるTiCを使用した。これに対して、本実施形態では被膜材料として耐磨耗性に優れたコバルト合金を使用する。
11 ヘッド部
12 胴部
13 円筒部
15 テーパ部
16 嵌合部
17 把持孔
18 把持面
19 中空部
20 すり割り部
21 切片
22 チタン浸透被膜
30 加工機
31 油槽
32 絶縁油
33 定盤
34 基準面
35 精密バイス
36 基材
37,38 専用治具
39,41 フローティングホルダー
40,42 電極
45 制御部
51 下層
52 上層
170 孔
Claims (8)
- 基材と、
前記基材から形成され、対象物を把持する把持部と、
前記基材から形成され、前記対象物を利用する装置の支持体に支持される被支持部と、を備え、
前記基材の表面にはチタン化合物の被膜が形成されており、
前記被膜は、放電により前記基材上に形成されたものであり、
前記把持部の内周面に形成された前記被膜は、表面に所定の面粗度の凹凸形状を有することにより、前記対象物の把持を所定の把持力にする、
ことを特徴とするコレットチャック。 - 前記被膜が、前記対象物に当接する前記把持部の内周面に形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のコレットチャック。 - 前記被膜が、前記支持体に当接する前記被支持部の外周面に形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のコレットチャック。 - 前記被膜が、前記対象物に当接する前記把持部の内周面と前記支持体に当接する前記被支持部の外周面とに形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のコレットチャック。 - 基材と、
前記基材から形成され、対象物を把持する把持部と、
前記基材から形成され、前記対象物を利用する装置の支持体に支持される被支持部と、を備え、
前記基材の表面にはコバルト合金の被膜が形成されており、
前記被膜は、放電により前記基材上に形成されたものであり、
前記把持部の内周面に形成された前記被膜は、表面に所定の面粗度の凹凸形状を有することにより、前記対象物の把持を所定の把持力にする、
ことを特徴とするコレットチャック。 - 前記被膜が、前記対象物に当接する前記把持部の内周面に形成されている、
ことを特徴とする請求項5に記載のコレットチャック。 - 前記被膜が、前記支持体に当接する前記被支持部の外周面に形成されている、
ことを特徴とする請求項5に記載のコレットチャック。 - 前記被膜が、前記対象物に当接する前記把持部の内周面と前記支持体に当接する前記被支持部の外周面とに形成されている、
ことを特徴とする請求項5に記載のコレットチャック。
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