JP4795609B2 - 縦方向に移動するアクチュエータの位置を検出するための強化された方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 51
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 54
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 25
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 20
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 4
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
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Description
関連出願
本出願は、1998年4月14日出願の、「位置検出装置および補償非線形センサ領域の方法(Position Detection Apparatus and Method of Compensation Nonlinear Sensor Regions)」という名称の米国第_号と共に他の出願に関連するものである。
【0002】
技術分野
本発明は、一般にアクチュエータの位置検出に関し、より詳細には、アクチュエータの位置を示す磁界角度の検出に関する。
【0003】
背景
アクチュエータは、他の装置を移動させ、あるいは制御するための機械装置である。アクチュエータを使用してバルブを制御し、1つまたは複数の通路を開閉し、あるいは一部を遮ることによって、流体、気体、あるいはルーズ材の大量の流れを開始させ、停止させ、あるいは調整することができる。バルブの状態(開、閉、あるいは部分遮断)は、アクチュエータの位置から推定することができる。
【0004】
アクチュエータの位置を決定するための技法の1つには、電磁源が使用されている。この電磁源は、アクチュエータの側部に結合されており、バルブを制御するためにアクチュエータが縦方向に移動すると、電磁源によって電磁界が放射される。1組のセンサが電磁源に対して対向する位置に置くことができ、センサのサブセットが電磁界を検出している。1組のセンサの位置は予め決まっているため、電磁界を検出するセンサのサブセットの位置からアクチュエータの位置を計算することができる。
【0005】
1組のセンサを製造するプロセスは必ずしも理想的ではなく、そのため、これらのセンサが位置合せ不良になり、この位置合せ不良によって電磁界の検出に望ましくない影響が生じている。この望ましくない影響によってアクチュエータの位置の計算が影響され、そのために計算された位置が不正確になり、このアクチュエータの計算位置の不正確さにより、延いてはバルブの推定状態が不正確になっている。原子核発生器の冷却あるいは食物処理のような特定の状況においては、このような不正確性が壊滅的な結果を招くことになる。
【0006】
したがって、アクチュエータの位置の検出を強化するためのシステムおよび方法が必要である。
概要
アクチュエータの位置を検出するためのシステムおよび方法を考察する。例示する態様は、アクチュエータの位置を検出するためのシステムを備えている。アクチュエータの位置を検出するためのシステムは、アクチュエータに結合された、磁界を放射する磁気源と、磁界の角度に基づいた応答を生成する少なくとも2つのセンサと、その応答を受け取り、少なくとも2つのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が存在する中で、磁気源の強化された位置を生成するためのアナライザとを備えている。
【0007】
例示する他の態様には、アクチュエータの位置を検出するための方法が含まれている。アクチュエータの位置を検出するための方法には、アクチュエータに結合された磁気源の位置を表す量を形成するために、少なくとも2つのセンサの応答を補間するステップが含まれている。アクチュエータの位置を検出するための方法には、さらに、2つの補償技法のうちの1つを選択することによって磁気源の位置を表す量を調整するステップが含まれている。2つの補償技法には、それぞれ少なくとも1つの調整を形成するステップが含まれている。少なくとも1つの調整を形成するステップには、振幅成分を形成するステップが含まれている。選択するステップには、複数の最大応答勾配を、磁気源と少なくとも2つのセンサの間の複数の振幅成分に相関させることに基づく補償技法を選択するステップが含まれている。また、選択するステップには、複数の最小応答分離を、磁気源と少なくとも2つのセンサの間の複数の振幅成分に相関させることに基づく補償技法を選択するステップが含まれている。最小分離は、複数の分離の最小になるように画定される。各分離は、応答に対する立方適合の最大と最小の間が特定の距離になるように画定される。
【0008】
詳細な説明
以下、本明細書の一部をなす、説明用として本発明を実践することができる特定の例示的実施形態を示した添付の図面を参照して、本発明の例示的実施形態について詳細に説明する。図面の中の同一番号は、全図面を通して実質的に同様のコンポーネントを表している。これらの実施形態は、当分野の技術者が本発明を実践することができるよう、十分詳細に説明されている。本発明の精神あるいは範囲を逸脱することなく他の実施形態を利用することができ、また、構造的、論理的、電気的およびその他の変更を加えることができる。したがって以下の詳細説明を、本発明を制限するものとして捕らえてはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の各請求項によってのみ定義されるものとする。
【0009】
図1は、本発明の一態様によるシステム線図とグラフを重ね合わせたものである。分かり易くするために、システム100とグラフ102が重ねられている。システム100はアクチュエータ104を備えている。アクチュエータ104は、矢印1010および1011で示す方向を縦方向に移動し、バルブなどの他の装置を制御することができる。システム100は磁気源106を備えている。磁気源106はアクチュエータ104に結合されている。磁気源106は、複数の磁力線1080、1081、1082、1083、1084、1085、1086、1087、1089、10810、10811、および10812で示す磁界を放射している。1組のセンサ110によって複数の磁力線が検出される。1組のセンサ110は、磁気源106に対して対向する位置に配置されている。1組のセンサ110は、8つのセンサ1120、1121、1122、1123、1124、1125、1126、および1127を備えている。一実施形態では、少なくとも2つのセンサが使用されている。他の実施形態では、少なくとも3つのセンサが使用されている。さらに他の実施形態では、少なくとも4つのセンサが使用されている。
【0010】
1組のセンサ110は、複数の磁力線の入射磁力線角度を検出するように動作している。1組のセンサ110の位置は予め決まっている。アクチュエータ104が新しい位置に移動すると、磁気源106もアクチュエータ104と共に移動する。磁気源106は、新しい位置で磁界を放射し、1組のセンサ110のサブセットが、新しい位置で検出した放射磁力線から応答を生成する。
【0011】
グラフ102は、1組のセンサ110のサブセットの応答を示したものである。グラフ102には、グラフ102を目に見える形でシステム100に結合するために、複数の線1140、1141、1142、1143、1145、1146、および1147が含まれている。この複数の線は、データ・ポイント1160、1161、1162、1163、1164、1165、1166、および1167が1組のセンサ110のサブセットによって生成されたことを目に見える形で示唆する役割を果たしている。これらのデータ・ポイントは、1組のセンサ110の応答117を形成している。この応答が、位置を表す縦座標軸118および電圧などの応答値を表す横座標軸120にグラフ化されている。
【0012】
磁気源106の位置を近似する技法の1つには、磁気源106の位置を形成するために、2つのデータ・ポイントを補間するステップが含まれている。正弦波項を使用して位置を調整し、特定の誤差を補償することができる。本発明の実施形態は、より正確な位置を得るために、追加調整を使用して位置を調整することによってこのような技法をさらに強化している。
【0013】
特定の状況においては、1組のセンサ110のいずれか1つに、製造に起因するセンサ位置合せ不良が生じており、このような位置合せ不良によって、応答117の補償に誤差をもたらす望ましくない影響が生じている。本発明の実施形態は、応答117を受け取り、1組のセンサ110の少なくとも1つのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が存在するにもかかわらず磁気源106の強化された位置を生成するアナライザ(図示せず)を提供している。一実施形態では、強化された位置は、1つの量と3つの調整の合計になっている。3つの調整の各々は、正弦波調整である。
【0014】
以上、本発明の様々な実施形態によってもたらされる調整により、磁気源107の計算位置の精度が向上するばかりでなく、センサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が補償されることについて考察した。このような調整については、以下でさらに考察する。
【0015】
図2A、2B、2Cおよび2Dは、それぞれ本発明の一態様によるシステムの正面図、近接図、他の正面図、および側面図を示したものである。これらの図には、上で考察したエレメントと類似のエレメントが含まれている。以上の考察は、これらの図にすべて組み込まれている。分かり易くするために、特定の参照番号については、後に続く図から削除され、対象部分に焦点が絞られている。
【0016】
図2Aは、本発明の一態様によるシステムの正面図である。システム200は、アクチュエータ(図示せず)に取り付けられた磁石206を備えている。磁石206は、矢印2010および2011で示す方向に沿って縦方向に移動する。磁石206が放射する磁界を1組のセンサ210が検出している。1組のセンサ210には、センサ2120、2121、2122、2123、2124、2125、2126、および2127が含まれている。1組のセンサ210の少なくとも1つは位置合せ不良である。本発明による少なくとも1つの実施形態なくしては、このような位置合せ不良によって、磁石206の位置の計算に誤差が生じる。システム200は、本発明による少なくとも1つの実施形態の恩恵を受けているため、磁石206の位置の計算が強化され、位置合せ不良に起因する誤差が補償されている。
【0017】
図2Bは、本発明の一態様による1組のセンサ210の近接図である。図2Bは、1組のセンサ210の製造中に生じ得る様々なタイプの調整不良を示している。1組のセンサ210は、センサ2120を備えている。センサ2120は、所望の正規の水平位置1240、および所望の正規の垂直位置122に位置しているため、位置合せ不良ではない。また、1組のセンサ210は、センサ2121を備えている。センサ2121は、所望の正規の水平位置1241、および所望の正規の垂直位置122の両方に対して位置合せ不良である。また、1組のセンサ210は、センサ2122を備えている。センサ2122は、回転方向に対して位置合せ不良である。本発明の実施形態により、図2Bに示すタイプの位置合せ不良に起因する誤差が補償される。
【0018】
図2Cは、本発明の一態様による正面図である。図2Cは、磁石206の計算に誤差をもたらすランナウト位置合せ不良を示している。磁石206は、線2010および2011で示す方向を、磁石206と1組のセンサ210の間の間隙が、位置から位置へ非等距離になるように移動する。本発明の実施形態により、図2Cに示すランナウトに起因する誤差が補償される。
【0019】
図2Dは、本発明の一態様によるシステムの側面図である。図2Dは、磁石206の計算に誤差をもたらすスキュー位置合せ不良を示している。磁石206は、線2250および2251で示す方向を移動する。所望の方向は、センサ212を含む1組のセンサ210(前のページおよびこのページ)に対して縦の方向である。本発明の実施形態により、図2Dに示すスキューに起因する誤差が補償される。
【0020】
図3A、3B、3C、3Dおよび3Eは、本発明の一態様によるグラフを示したものである。図3Aは、磁界の角度を検出するセンサの応答曲線310のグラフ300を示したものである。この応答曲線310は、センサによって生成された複数のデータ・ポイントから引き出されたものである。応答曲線310は、応答の値を表す縦座標軸312、およびセンサの位置を表す横座標軸314上にグラフ化されている。
【0021】
磁気源の位置を計算するために、応答曲線310の値316および値318など、少なくとも2つのセンサの値が補間される。計算された位置には、望ましくない影響による誤差が含まれており、したがって計算位置は、磁気源の実際の位置を正確に表していない。本発明の実施形態により、望ましくない影響が補償され、計算された位置は、実質的に磁気源の実際の位置を表している。
【0022】
図3Bは、センサの位置合せ不良、望ましくない間隙距離、ランナウト、およびスキューなど、様々な製造欠陥に起因する望ましくない影響を特性化した誤差曲線320のグラフ302を示したものである。この誤差曲線320は、誤差の大きさを表す縦座標軸322、および計算位置の端数値を表す横座標軸324上にグラフ化されている。したがって誤差曲線320が正弦波状の実施形態では、計算位置は、誤差曲線320の周期を画定している。
【0023】
本発明による実施形態は、誤差曲線320の周期と同じ周期を有する正弦曲線328を使用して誤差曲線320を近似している。正弦曲線328では、誤差曲線を所望する正確さで近似することができないため、本発明による実施形態は、誤差曲線320の周期の半分の周期を有する正弦曲線326を追加することによって、誤差曲線320をさらに近似している。また、本発明による実施形態は、誤差曲線320の周期の2倍の周期を有する正弦曲線330によって、誤差曲線320をさらに近似している。正弦曲線326、328および330の各正弦曲線は大きさを有している。以下、正弦曲線326、328および330の大きさの計算について考察する。
【0024】
3つの正弦曲線326、328および330を使用した誤差曲線320の近似は、数学的には、α=β+Asin((1/2)β・2π)+Bsin(β・2π)+Csin(2β・2π)で表すことができる。αは強化された位置を表し、βは、0と1の間の値を有する量を表している。このような量は、応答曲線310上の2つのデータ・ポイント間の正規化補間を表している。A、BおよびCは、3つの正弦波項の大きさを表している。
【0025】
真の間隙は容易に観察が可能であるため、製造時に、工場での様々な較正手順から、磁気源とセンサの間の特定の間隙に対する正弦曲線326、328および330の大きさA、BおよびCを経験的に引き出すことができる。磁気源とセンサの間の間隙は、実際に現場で設置されると、工場での様々な較正手順における間隙とは異なった間隙になる可能性がある。このような相異があるため、工場で引き出される大きさA、BおよびCは、誤差曲線320を近似するには不十分である。現場では磁気源の真の間隙を知ることができないため、大きさA、BおよびCを引き出すための別の技法が使用されている。
【0026】
図3Cは、応答曲線310の勾配と、2つのセンサ間の磁気源の位置との間の関係を表すグラフ304を示したものである。これらの2つのセンサには、338に配置されたセンサおよび340に配置された別のセンサが含まれている。グラフ304には、磁気源の位置を表す横座標軸334が含まれている。縦座標軸332は、応答曲線310の勾配を表している。
【0027】
グラフ304には曲線334が含まれている。曲線334は、磁気源と2つのセンサの間の第1の所定間隙において、2つのセンサの間で測定した応答曲線310の勾配を表している。曲線334には最大344が含まれている。また、グラフ304には、磁気源と2つのセンサの間の第2の所定間隙において、2つのセンサの間で測定した応答曲線310の勾配を表す曲線336が含まれている。曲線336には最大346が含まれている。したがって曲線334および336から、間隙と応答曲線310の最大勾配の間には相関がある、という1つの観察を引き出すことができる。上で考察したように、現場では磁気源の真の間隙を知ることができないため、現場で容易に測定することができる応答曲線310の最大勾配を使用して、大きさA、BおよびCが引き出されている。
【0028】
グラフ304には曲線332が含まれている。曲線332は、第2の所定間隙において、2つのセンサの間で測定した応答曲線310の勾配を表している。応答曲線310は、望ましくない影響が存在する中で測定された曲線である。これらの望ましくない影響は、少なくとも1つのセンサの位置合せ不良、ランナウト、あるいはスキューに起因している。曲線332、334および336から、望ましくない影響と応答曲線310の最大勾配の間には相関がある、という1つの観察を引き出すことができる。したがって現場で容易に計算することができる応答曲線310の最大勾配を使用して大きさA、BおよびCを引き出し、望ましくない影響を補償することができる。
【0029】
以上、応答曲線310の最大勾配を使用して、いくつかの情報を特性化することができることを考察した。第1に、最大勾配を使用して、磁気源と1組のセンサの間の間隙の変動を特性化することができた。第2に、最大勾配を使用して、位置合せ不良、ランナウト、あるいはスキューに起因する望ましくない影響を特性化することができた。最大勾配は現場で容易に測定することができるため、最大勾配を使用して大きさA、BおよびCを決定することができた。磁気源の位置の初期推定値を調整するために、これらの3つの大きさが少なくとも3つの正弦波項に使用されていることを思い出されたい。
【0030】
図3Dは、応答曲線310の三次曲線適合と、2つのセンサ間の磁気源の位置との間の関係を表すグラフ306を示したものである。これら2つのセンサには、338に配置されたセンサ、および340に配置された別のセンサが含まれている。グラフ306には、磁気源の位置を表す横座標軸368が含まれている。縦座標軸370は、応答曲線310の三次曲線適合の最大および最小の距離を表している。
【0031】
グラフ306には、3つの曲線352、354および356が含まれている。これらの曲線は、応答曲線310の三次曲線適合を取るプロセス、三次曲線適合の最大を決定するプロセス、三次曲線適合の最小を決定するプロセス、および最大と最小の間の距離を決定するプロセスから引き出される曲線である。曲線352、354および356の各データ・ポイントは、最大と最小の間の距離から引き出されている。以下、この距離を「分離」として定義する。
【0032】
グラフ306には曲線354が含まれている。曲線354は、磁気源と1組のセンサの間の第1の所定間隙から引き出された曲線である。曲線354には、最小分離364が含まれている。また、グラフ304には、第2の所定間隙から引き出された曲線356が含まれている。曲線356には、最小分離366が含まれている。したがって曲線354および356から、間隙と応答曲線310の最小分離の間には相関がある、という1つの観察を引き出すことができる。上で考察したように、現場では磁気源の真の間隙を知ることができないため、現場で容易に測定することができる応答曲線310の最小分離を使用して、大きさA、BおよびCが引き出されている。
【0033】
グラフ306には曲線352が含まれている。曲線352には、最小分離362が含まれている。応答曲線310は、望ましくない影響が存在する中で測定された曲線である。これらの望ましくない影響は、少なくとも1つのセンサの位置合せ不良、ランナウト、あるいはスキューに起因している。曲線352、354および356から、望ましくない影響と応答曲線310の最小分離の間には相関がある、という1つの観察を引き出すことができる。したがって現場で容易に測定することができる応答曲線310の最小分離を使用して大きさA、BおよびCを引き出し、望ましくない影響を補償することができる。
【0034】
以上、応答曲線310の最小分離が、最大勾配に関連して考察した情報特性化に使用することができる、もう1つの技法であることを考察した。このような考察は、すべて本発明に組み込まれている。
【0035】
図3Eは、応答曲線の最大勾配に対する大きさの値(A、BおよびC)の間の関係を表すグラフ308を示したものである。縦座標軸376は大きさの値を表している。横座標軸374は、応答曲線の最大勾配を表している。グラフ308には曲線372が含まれている。したがって最大勾配が分かっている場合、曲線372を使用して対応する大きさを計算することができる。
【0036】
一実施形態では、曲線372は、少なくとも2つのセンサの複数の間隙に対して、工場で予め決定されている。現場では最大勾配を測定し、測定した勾配をこの曲線に、例えば放物線適合技法などの適切な技法を用いて当てはめることができる。以上の考察は、最大勾配に関連したものであるが、このような考察は、適切に変更を加えることによって最小分離にも等しく適用することができる。
【0037】
図4は、本発明の一態様による方法のプロセス線図を示したものである。プロセス400は、アクチュエータの位置を検出するための方法である。プロセス400には、アクチュエータに結合された磁気源の位置を形成するためのステップ402が含まれている。磁気源の位置を形成するステップ402のステップには、磁気源の位置を表す量を形成するステップが含まれている。磁気源の位置を表す量は、磁気源から放射される磁界の角度に基づく、少なくとも2つのセンサの応答から形成される。量を形成するステップには、応答の2つのデータ・ポイントを補間するステップが含まれている。一実施形態では、磁気源の位置を表す量は、0と1の間の値を有する正規化された量である。
【0038】
プロセス400には、さらに、1組の調整を使用して磁気源の位置を調整するためのステップ404が含まれている。各調整には、振幅成分および正弦波成分が含まれている。一実施形態では、正弦波成分の周期は、磁気源の位置を表す量に関連している。他の実施形態では、正弦波成分の周期は、磁気源の位置を表す量の半分、磁気源の位置を表す量、およびその2倍からなるグループから選択される数に関連している。調整ステップ404のステップには、磁気源の位置を表す量に1組の調整の各調整を合計するステップが含まれている。
【0039】
一実施形態では、1組の調整には3つの調整が含まれている。調整ステップ404のステップには、3つの調整の各振幅成分を調整するステップが含まれている。各振幅成分を調整するステップには、最大勾配を所定の曲線に当てはめるステップが含まれている。所定の曲線には、振幅成分の大きさの範囲に対する最大勾配の範囲が画定されている。また、所定の曲線には、磁気源と少なくとも1つのセンサの間の複数の所定間隙が画定されている。
【0040】
他の実施形態では、磁石の計算位置を強化するための方法がプロセス400に含まれている。プロセス400には、計算位置を計算するステップ、計算位置の誤差関数を形成するステップ、および強化計算位置を生成するための計算位置を調整するステップが含まれている。このように強化された計算位置は、実質的に真の位置である。このような調整は、磁石を検出するためのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が存在する中で実行される。計算ステップには、センサの応答から補間を形成するステップが含まれている。形成するステップには、誤差関数を少なくとも3つの補償関数の合計に分解するステップが含まれている。分解するステップには、磁石とセンサの間の間隙の関数として、少なくとも3つの補償関数の各補償関数の大きさを決定するステップが含まれている。決定するステップには、応答の最大勾配に関連する間隙の関数を決定するステップが含まれている。各補償関数の大きさは、複数の所定の最大勾配に対する各補償関数の複数の所定の大きさに適合するようになされている。
【0041】
他の実施形態では、プロセス400に、アクチュエータに結合された磁気源の位置を表す量を形成するために、少なくとも2つのセンサの応答を補間するステップが含まれている。プロセス400には、さらに、2つの補償技法のうちのいずれか1つを選択することによって磁気源の位置を表す量を調整するステップが含まれている。各補償技法には、少なくとも1つの調整を形成するステップが含まれている。少なくとも1つの調整には振幅成分が含まれている。
【0042】
選択するステップには、複数の最大応答勾配を、磁気源と少なくとも2つのセンサの間の複数の所定の間隙に対する複数の振幅成分に相関させることに基づく補償技法を選択するステップが含まれている。また、選択するステップには、複数の最小応答分離を、磁気源と少なくとも2つのセンサの間の複数の所定の間隙に対する複数の振幅成分に相関させることに基づく補償技法を選択するステップが含まれている。最小分離は、複数の分離の最小になるように画定される。各分離は、応答に対する三次曲線適合の最大と最小の間の距離になるように画定される。
【0043】
結論
以上、アクチュエータの位置を検出するシステムおよび方法について考察した。本発明による様々な実施形態により、望ましくない間隙距離、センサの調整不良、ランナウトおよびスキューに起因する望ましくない影響が補償される。本発明による様々な実施形態は、センサ応答の最大勾配または最小分離など、現場で使用することができる技法を使用することによって望ましくない影響を除去している。本発明による様々な実施形態は、1つまたは2つ、あるいは3つの項を使用して誤差関数を近似しているが、項を追加してさらに正確な位置を得ることもできる。
【0044】
本明細書においては、特定の実施形態を示し、かつ、説明したが、同じ目的を達成するために計算されるあらゆる構造が、本明細書において示した特定の実施形態の代替であることについては、当分野の技術者には理解されよう。本出願は、本発明のあらゆる適応構造あるいは変形形態を包含することを意図している。以上の説明が単に本発明の説明を意図したものであり、本発明を制限するものではないことを理解すべきである。上に示した実施形態およびその他の実施形態の組合せについては、以上の説明から当分野の技術者には明らかであろう。本発明の範囲には、上に示した構造および製造方法が使用される他のあらゆるアプリケーションが包含されている。したがって本発明の範囲は、特許請求の権利が付与される等価物の全範囲と共に、特許請求の範囲の各請求項によって唯一決定されるべきものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一態様によるシステム線図とグラフを重ね合わせた図である。
【図2】 図2Aは、本発明の一態様によるシステムの正面図である。
図2Bは、本発明の一態様によるシステムの近接図である。
図2Cは、本発明の一態様によるシステムの他の正面図である。
図2Dは、本発明の一態様によるシステムの側面図である。
【図3】 図3Aは、本発明の一態様によるグラフである。
図3Bは、本発明の一態様による他のグラフである。
図3Cは、本発明の一態様による他のグラフである。
図3Dは、本発明の一態様による他のグラフである。
図3Eは、本発明の一態様による他のグラフである。
【図4】 本発明の一態様による方法のプロセス線図である。
Claims (4)
- アクチュエータに結合された、磁界を放射する磁気源と、
前記磁界の角度に基づく応答を生成する、少なくとも2つのセンサと、
前記応答を受け取り、前記少なくとも2つのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が存在する中で、前記磁気源の補償された位置を生成するアナライザと、を備え、
前記補償された位置は前記少なくとも2つのセンサの位置合せ不良を補償している、
アクチュエータの位置を検出するシステム。 - 少なくとも2つのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が存在する中で、アクチュエータに結合された磁気源の位置を形成するステップと、
前記少なくとも2つのセンサの位置合せ不良に対応する誤差関数に関係する3つの異なる周期を有する正弦曲線に対応する3つの調整を使用して前記磁気源の前記位置を調整するステップとを含み、前記3つの調整の各調整が、振幅成分および正弦波成分を含む、
アクチュエータの位置を検出するための方法。 - 磁石を検出するための少なくとも2つのセンサにより磁界の角度に基づいて発生される応答に基づき計算位置を計算するステップと、
前記計算位置の誤差関数を形成するステップと、前記誤差関数は前記少なくとも2つのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響を特徴付け、前記計算位置に対する誤差の大きさを表し、
前記磁石を検出するためのセンサの位置合せ不良に起因する望ましくない影響が存在する中で、実質的に真の位置である補償された計算位置を生成するために、前記計算位置を調整するステップと、
を含む磁石の計算位置を補償するための方法。 - アクチュエータに結合された磁気源を検出するための少なくとも2つのセンサの応答を補間して前記磁気源の位置を表す量を形成するステップと、
2つの補償技法のうちの1つを選択するステップによって前記量を調整するステップとを含み、前記2つの補償技法の各々が、少なくとも1つの調整を形成するステップを含み、前記少なくとも1つの調整を形成するステップが、振幅成分を形成するステップとを含み、
前記2つの補償技法は、前記応答の複数の最大勾配を前記磁気源と前記少なくとも2つのセンサ間の複数の所定の間隙に対する複数の振幅成分に相関させることに基づく補償技術と、前記応答の複数の最小分離を前記磁気源と前記少なくとも2つのセンサ間の複数の所定の間隙に対する複数の振幅成分に相関させることに基づく補償技術とを含む、
アクチュエータの位置を検出するための方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/561,671 US6509732B1 (en) | 2000-05-01 | 2000-05-01 | Enhanced methods for sensing positions of an actuator moving longitudinally |
US09/561,671 | 2000-05-01 | ||
PCT/US2001/013954 WO2001084075A1 (en) | 2000-05-01 | 2001-05-01 | Methods for sensing positions of an actuator moving longitudinally |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003532095A JP2003532095A (ja) | 2003-10-28 |
JP2003532095A5 JP2003532095A5 (ja) | 2010-10-28 |
JP4795609B2 true JP4795609B2 (ja) | 2011-10-19 |
Family
ID=24242933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001581053A Expired - Fee Related JP4795609B2 (ja) | 2000-05-01 | 2001-05-01 | 縦方向に移動するアクチュエータの位置を検出するための強化された方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6509732B1 (ja) |
EP (1) | EP1279000B1 (ja) |
JP (1) | JP4795609B2 (ja) |
AU (1) | AU2001259284A1 (ja) |
CA (1) | CA2408005A1 (ja) |
WO (1) | WO2001084075A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2000-05-01 US US09/561,671 patent/US6509732B1/en not_active Expired - Lifetime
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2001
- 2001-05-01 WO PCT/US2001/013954 patent/WO2001084075A1/en active Application Filing
- 2001-05-01 AU AU2001259284A patent/AU2001259284A1/en not_active Abandoned
- 2001-05-01 JP JP2001581053A patent/JP4795609B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-01 EP EP01932783.2A patent/EP1279000B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-01 CA CA002408005A patent/CA2408005A1/en not_active Abandoned
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---|---|
EP1279000A1 (en) | 2003-01-29 |
JP2003532095A (ja) | 2003-10-28 |
EP1279000B1 (en) | 2015-08-12 |
WO2001084075A1 (en) | 2001-11-08 |
AU2001259284A1 (en) | 2001-11-12 |
US6509732B1 (en) | 2003-01-21 |
CA2408005A1 (en) | 2001-11-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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