JP4765522B2 - カラーフィルタの検査方法 - Google Patents
カラーフィルタの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4765522B2 JP4765522B2 JP2005286684A JP2005286684A JP4765522B2 JP 4765522 B2 JP4765522 B2 JP 4765522B2 JP 2005286684 A JP2005286684 A JP 2005286684A JP 2005286684 A JP2005286684 A JP 2005286684A JP 4765522 B2 JP4765522 B2 JP 4765522B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- photosensitive resin
- inspection
- green
- black
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
一般に、液晶表示ディスプレイパネルにおいて、現在最も広く使用されている液晶セル駆動方式は、TN(ねじれネマティック)方式とSTN(超ねじれネマティック)方式による縦電界駆動型であり、近年、横電界駆動型(IPS)による液晶セル駆動方式の開発も進んでいる。
図6(a)〜(f)に一般的なカラーフィルタの製造方法の一例を工程順に示す。
まず、透明基板11上にアクリル系樹脂にカーボンブラック等の黒色顔料を分散した黒色感光性樹脂をスピンナーにて塗布し、黒色感光性樹脂層21を形成し(図6(a)参照)、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21bを形成する(図6(b)参照)。
ここで言う自動外観検査とは、各着色フィルタが同一パターンの集合体であることを利用して、隣接した同一パターンを比較検査することにより行うものである。
各着色フィルタの欠陥の抽出原理は、あくまで輝度値の比較であるから、正常部の輝度値が適切であることが正常な検査を行う上での前提となる。
着色フィルタの表面状態が異なると、検査に用いる反射照明が散乱することにより、イメージセンサで捕らえた正常部の輝度値にバラツキが発生し、結果として欠陥検査にバラツキが生じ、欠陥検査が正常に行えないと言う事態が起こる。
このような場合、着色フィルタ上の異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射検査における黒色欠陥は、正常部と輝度値の差(コントラスト)が発生せず、欠陥として認識できないという状態が発生し、問題となっている。
図1及び図2は本発明のカラーフィルタの検査方法の一実施例を示す説明図である。
これは、着色フィルタ形成、平滑化処理、自動外観検査を所定の色数だけ繰り返して行うカラーフィルタの検査方法の事例である。
まず、透明基板11上にアクリル系樹脂にカーボンブラック等の黒色顔料を分散した黒色感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布し、黒色感光性樹脂層21を形成し(図1(a)参照)、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21bを形成する(図1(b)参照)。
ここで、透明基板11としては、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス等のガラス基板及びプラスチックフィルム等が利用できる。
ここで、赤色フィルタ31R表面の平滑化処理としては、加熱処理、物理研磨、化学研磨等の手法が適用できる。
また、赤色フィルタ31R表面を平滑化した状態で外観検査を行うため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出される。
ここで、緑色フィルタ32G表面の平滑化処理としては、加熱処理、物理研磨、化学研磨等の手法が適用できる。
また、緑色フィルタ32G表面を平滑化した状態で外観検査を行うため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出される。
ここで、青色フィルタ33B表面の平滑化処理としては、加熱処理、物理研磨、化学研磨等の手法が適用できる。
また、青色フィルタ33B表面を平滑化した状態で外観検査を行うため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出される。
これは、所定の色数の着色フィルタ形成した後、一括平滑化処理を行って、各着色フィルタの自動外観検査を行うカラーフィルタの検査方法の事例である。
まず、透明基板11上にアクリル系樹脂にカーボンブラック等の黒色顔料を分散した黒色感光性樹脂溶液をスピンナーにて塗布し、黒色感光性樹脂層21を形成し(図3(a)参照)、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21bを形成する(図3(b)参照)。
ここで、透明基板11としては、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス等のガラス基板及びプラスチックフィルム等が利用できる。
また、赤色フィルタ31R、緑色フィルタ32G及び青色フィルタ33B表面が平滑化されているため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出される。
平滑化処理前後の赤色フィルタ31Rの表面形状のSEM写真を図4(a)及び(b)に示す。
図4(a)及び(b)のSEM写真から分かるように、平滑化処理後の赤色フィルタ31Rの表面形状が平滑化されているのが確認された。
また、赤色フィルタ31R表面を平滑化した状態で外観検査を行うため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出された。
平滑化処理前後の緑色フィルタ32Gの表面形状のSEM写真を図5(a)及び(b)に示す。
図5(a)及び(b)のSEM写真から分かるように、平滑化処理後の緑色フィルタ32Gの表面形状が平滑化されているのが確認された。
また、緑色フィルタ32G表面を平滑化した状態で外観検査を行うため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出された。
ーン幅140μmの青色フィルタ33Bを形成し、赤色フィルタ31R、緑色フィルタ32G及び青色フィルタ33Bからなる着色カラーフィルタ層30を形成した(図2(e)参照)。
ここで、青色フィルタ33B表面を平滑化した状態で外観検査を行うため、異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と反射系白欠陥とが良好に検出された。
21……黒色感光性樹脂層
21b……ブラックマトリクス
30……着色フィルタ層
31R……赤色フィルタ
32G……緑色フィルタ
33B……青色フィルタ
41……透明電極
51……柱状スペーサ
100……カラーフィルタ基板
Claims (1)
- 透明基板上に少なくとも複数の着色フィルタが形成されたカラーフィルタ基板の外観検査を行う検査方法において、前記着色フィルタの反射照明の散乱を防止するため表面を平滑化した状態で自動外観検査機を用いて反射、透過照明による比較検査を行い反射系黒欠陥や、反射系白欠陥や、透過系の白欠陥の外観検査を行うことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005286684A JP4765522B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | カラーフィルタの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005286684A JP4765522B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | カラーフィルタの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007093539A JP2007093539A (ja) | 2007-04-12 |
JP4765522B2 true JP4765522B2 (ja) | 2011-09-07 |
Family
ID=37979427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005286684A Expired - Fee Related JP4765522B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | カラーフィルタの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4765522B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017119005A1 (de) | 2016-09-21 | 2018-03-22 | Subaru Corporation | Antriebskraft-steuerung für fahrzeuge |
DE102017119007A1 (de) | 2016-09-21 | 2018-03-22 | Subaru Corporation | Antriebskraft-steuerung für fahrzeuge |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4983535B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2012-07-25 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ欠陥検査方法 |
JP5471157B2 (ja) * | 2009-08-21 | 2014-04-16 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板面の付着物の検出方法および装置 |
JP2013134417A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2633723B2 (ja) * | 1990-11-19 | 1997-07-23 | 株式会社東芝 | カラーフィルター基板の製造方法 |
JP3296039B2 (ja) * | 1993-09-13 | 2002-06-24 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
JP2003344299A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Toray Ind Inc | カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法 |
JP2006162968A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示パネルの製造方法及びこの表示パネルを用いた表示装置 |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005286684A patent/JP4765522B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017119005A1 (de) | 2016-09-21 | 2018-03-22 | Subaru Corporation | Antriebskraft-steuerung für fahrzeuge |
DE102017119007A1 (de) | 2016-09-21 | 2018-03-22 | Subaru Corporation | Antriebskraft-steuerung für fahrzeuge |
DE102017119007B4 (de) | 2016-09-21 | 2020-06-18 | Subaru Corporation | Antriebskraft-steuerung für fahrzeuge |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007093539A (ja) | 2007-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9684210B2 (en) | Curved liquid crystal display panel and manufacturing method thereof | |
US20050134763A1 (en) | Liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
JP4765522B2 (ja) | カラーフィルタの検査方法 | |
US9250466B2 (en) | Transreflective color filter and method for manufacturing the same and liquid crystal display device | |
CN104678639A (zh) | 一种彩色滤光片基板的制作方法 | |
US20180188597A1 (en) | Color filter substrate, method for manufacturing the same and display device | |
KR100877015B1 (ko) | 컬러 필터 기판, 컬러 액정 표시 장치, 및 그 제조 방법 | |
JP2006300892A (ja) | カラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置 | |
WO2018059090A1 (zh) | 触控基板消影检测方法及制造方法、触控基板及触控装置 | |
WO2013131371A1 (zh) | 液晶显示器亮点维修方法 | |
JP2007286590A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルター基板及びその製造方法 | |
KR20080105656A (ko) | 액정 디스플레이 패널의 결함 자동 리페어 장치 및 방법,액정 디스플레이 패널의 제조 방법 | |
JP2011170078A (ja) | カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
JP5125481B2 (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
CN103633101B (zh) | 一种阵列结构及其制作方法、阵列基板和显示装置 | |
KR100701671B1 (ko) | 컬러필터 제조방법 | |
JP5572925B2 (ja) | Vaパターン欠損検査方法および検査装置 | |
CN101592827A (zh) | 液晶显示装置及其制造方法 | |
JP2007121800A (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板 | |
JP4706374B2 (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法 | |
JP2007114654A (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法 | |
JP2007279026A (ja) | 基板検査装置とこれを用いた基板検査方法 | |
TWI330265B (en) | Color filter substrate of liquid crystal display panel and manufacture method thereof | |
US20130279038A1 (en) | Color filter and manufacturing method thereof | |
JP2006284668A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080822 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110418 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |