JP4765378B2 - レーザ加工装置 - Google Patents

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Description

本発明は、レーザ発振器からのレーザ光を分割し、一つのレーザ発振器で複数の被加工物の加工を同時に行うことが出来るレーザ加工装置に関する。
従来のレーザ発振器からのレーザ光を複数の分割して複数の被加工物の加工を同時に行うレーザ加工装置の例として、以下、プリント基板の穴あけレーザ加工装置を用いて説明する(例えば特許文献1参照)。
図3において、レーザ発振器1から出射されたレーザビーム2は分割光学手段であるビームスプリッタ10により2本に分岐され、X−Y2軸のガルバノメータ4、5とfθレンズ6とを備えた2組の位置決め手段である加工ヘッド部A、Bに導かれる。
前記ビームスプリッタ10で分岐した各レーザビーム2a、2bが加工ヘッド部A、Bそれぞれのfθレンズ6による集束点に到達する光路長は同一距離になるように設定されている。
即ち、ビームスプリッタ10で分岐したレーザビーム2aが反射鏡3b、3cで反射してガルバノミラー4aに入射する光路長と、ビームスプリッタ10で分岐したレーザビーム2bが反射鏡3d、3e、3fで反射してガルバノミラー4aに入射する光路長とは同一長さである。
このように光路長を一致させることによって各レーザ照射部A、Bにおけるレーザビーム2a、2bの集束状態が同一となり、2枚の基板17に対する同時加工を精度よく行うことができる。
上記レーザ照射構造により加工される基板17、17は、XYテーブル19の所定位置に保持されている。
この基板17の加工範囲は各加工ヘッド部A、Bの走査領域より広いので、破線で示すように複数に加工範囲を分割して、各レーザ照射部A、Bによる走査により1つの加工範囲の加工が終了すると、XYテーブル19により次の加工範囲を各レーザ照射部A、Bの下方に移動させる。
特開平11−192571号公報
上記従来の構成のようにレーザ光を分割する構成では、片方の加工ヘッド部、例えばX−Y2軸のガルバノメータやfθレンズが汚れてレーザ出力が低下し、加工で不具合が発生した場合、どちらの加工ヘッドで加工したかわからず、対象となる被加工物の選別がし辛いという問題があった。
本発明は上記課題に鑑み、片方の加工ヘッド部に不具合が生じた場合でも、どの被加工物が対象となるか確認し易いレーザ加工装置を提供するものである。
上記課題を解決するために本発明は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器から射出したレーザ光を分割する分割光学手段と、前記分割した一方のレーザ光を入射して前記入射したレーザ光を一方の被加工物上の加工位置へ位置決めする第1の位置決め手段と、前記分割光学手段によって分割した他方のレーザ光を入射して前記入射したレーザ光を他方の被加工物上の加工位置へ位置決めする第2の位置決め手段と、データに記述された命令が刻印加工命令であるか否かを判断し、刻印加工命令でない場合、前記第1被加工物上の加工位置および前記第2被加工物上の加工位置に穴加工を行、刻印加工命令である場合に前記第1の位置決め手段と前記第2の位置決め手段を制御する制御手段を備え、前記制御手段は、前記第1の位置決め手段で加工を行った旨を前記一方の被加工物にレーザ光で記載し、前記第2の位置決め手段で加工を行った旨を前記他方の被加工物にレーザ光で記載し、前記記載に必要なレーザ照射数が異なるときは、少ないほうのレーザ照射数で双方の被加工物に同期を取って加工した後、残りのレーザ照射で一方の被加工物に加工し、他方の被加工物への照射は遮光するものである。
このように構成したので、第1の位置決め手段で加工したものか第2の位置決め手段で加工したものか、その旨が被加工物に記載されており、容易にレーザ加工後で確認できる。
以上のように本発明によれば、どの位置決め手段で加工したか被加工物に記載されるため、片方のレーザ照射部に不具合が生じても、その位置決め手段で加工した被加工物の選別が容易にでき、これら被加工物の対処も容易となるという効果を奏する。
(実施の形態)
以下、本発明の実施の形態について図1、2を用いて説明する。
図1は、本発明の実施の形態における実施例の図である。
図1において、110は加工位置や加工条件が記述されているドリルデータ、120はドリルデータ110を位置データ131と加工条件データ132に分割する主制御部である。
171と172は被加工物であるプリント基板であり加工テーブル170に載置する。
161はY軸駆動装置、162はX軸駆動装置、160は加工テーブル制御装置で加工テーブル制御装置160は両駆動装置を制御して加工テーブル170を2次元的に駆動する。
レーザ発振器151から出力されたレーザ光152はミラー153a、153bにより加工テーブル170と向かい合う位置に固定された第1の位置決め手段である加工ヘッド181に導かれる。
また、ミラー153aと153bの間にはビームスプリッタ154が設置されており、レーザ光152を分光して第2の位置決め手段である加工ヘッド182に導かれる。
加工ヘッド181および182は加工ヘッド制御装置180によって制御され、入射されたレーザ光152を2次元的に位置決めしプリント基板171および172上に照射する。
図2は主制御部2におけるドリルデータ110の処理を図示したものである。
ドリルデータ110に記述された命令から刻印加工命令201の判断を行なう。刻印加工命令201でない場合は穴加工と判断し穴加工211の処理を実行する。そして加工が終了したかどうかを加工終了231にて判断する。加工終了であれば処理は終了し、終了でなければ処理は刻印加工命令201の判断に戻る。刻印加工命令201の場合は加工ヘッド識別刻印命令221の判断を実行する。


このとき加工ヘッド識別刻印命令221でない場合は共通刻印加工222の処理を実行し、加工ヘッド識別刻印命令221の場合は加工ヘッド識別加工223の処理を実行する。
加工ヘッド識別加工223は加工ヘッドの識別を示す文字列を生成して加工ヘッド181および182に位置情報を伝達し、それぞれプリント基板171および172にレーザ光152を2次元的に位置決めし文字列または記号を加工する。
文字列または記号をプリント基板171および172に記載するために必要なレーザ照射数は加工ヘッド181および182で違うため片方の加工ヘッドでレーザ照射後、残りの加工ヘッドでレーザ照射する、または、各加工ヘッドで少ないほうのレーザ照射数を加工ヘッド181、182間で同期を取って加工した後、残りのレーザ照射を一方の加工ヘッドで行う。
このとき、レーザ照射を行わない加工ヘッドは図示しないレーザ光152遮光手段にてプリント基板171または172への照射を防止する。
本発明によれば、どの加工ヘッドで加工したか被加工物に記載されるため、片方のレーザ照射部に不具合が生じても、その加工ヘッドで加工した被加工物の選別が容易にでき、これら被加工物の対処も容易となるという効果を奏する産業上有用なレーザ加工装置を提供できる。
本発明の実施の形態におけるレーザ加工装置の構成図 本発明の実施の形態におけるレーザ加工方法のフローチャート 従来のレーザ加工装置の構成図
符号の説明
110 ドリルデータ
120 主制御部
131 位置データ
132 加工条件データ
140 位置決め制御部
150 レーザ制御部
151 レーザ発振器
152 レーザ光
153a、153b ミラー
154 ビームスプリッタ
160 加工テーブル制御部
161 Y軸駆動装置
162 X軸駆動装置
170 加工テーブル
171、172 プリント基板
180 加工ヘッド制御部
181、182 加工ヘッド

Claims (1)

  1. レーザ発振器と、前記レーザ発振器から射出したレーザ光を分割する分割光学手段と、前記分割した一方のレーザ光を入射して前記入射したレーザ光を一方の被加工物上の加工位置へ位置決めする第1の位置決め手段と、前記分割光学手段によって分割した他方のレーザ光を入射して前記入射したレーザ光を他方の被加工物上の加工位置へ位置決めする第2の位置決め手段と、データに記述された命令が刻印加工命令であるか否かを判断し、刻印加工命令でない場合、前記第1被加工物上の加工位置および前記第2被加工物上の加工位置に穴加工を行い、刻印加工命令である場合に前記第1の位置決め手段と前記第2の位置決め手段を制御する制御手段を備え、前記制御手段は、前記第1の位置決め手段で加工を行った旨を前記一方の被加工物にレーザ光で記載し、前記第2の位置決め手段で加工を行った旨を前記他方の被加工物にレーザ光で記載し、前記記載に必要なレーザ照射数が異なるときは、少ないほうのレーザ照射数で双方の被加工物に同期を取って加工した後、残りのレーザ照射で一方の被加工物に加工し、他方の被加工物への照射は遮光するレーザ加工装置。
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009002011A1 (en) * 2007-06-28 2008-12-31 Eo Technics Co., Ltd. Method of dividing marking objects in multi-laser marking system
JP2010188396A (ja) * 2009-02-19 2010-09-02 Hitachi High-Technologies Corp レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP5328406B2 (ja) * 2009-02-19 2013-10-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
WO2010119537A1 (ja) * 2009-04-15 2010-10-21 三菱電機株式会社 レーザ加工方法およびレーザ加工装置
JP2011036881A (ja) * 2009-08-10 2011-02-24 Hitachi Via Mechanics Ltd レーザ加工方法
KR101036157B1 (ko) * 2010-03-11 2011-05-23 에스엔유 프리시젼 주식회사 마킹 기능을 가진 레이저 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 태양 전지 가공 방법
JP5430488B2 (ja) * 2010-05-11 2014-02-26 株式会社日本製鋼所 レーザアニール処理装置、レーザアニール処理体の製造方法およびレーザアニール処理プログラム
KR101012138B1 (ko) * 2010-11-09 2011-02-07 김미선 레이저를 이용한 입체적인 도체 패턴의 제조 방법 및 이를 위한 장치
JP5926592B2 (ja) * 2012-03-27 2016-05-25 川崎重工業株式会社 パターニング用レーザ加工装置
CN105195904B (zh) * 2014-06-23 2020-03-10 三菱电机株式会社 激光加工装置
JP2016074956A (ja) * 2014-10-08 2016-05-12 セイコーエプソン株式会社 3次元形成装置および3次元形成方法
JP6599098B2 (ja) * 2014-12-12 2019-10-30 株式会社ディスコ レーザー加工装置
CN105921887B (zh) * 2016-05-25 2019-04-02 青岛自贸激光科技有限公司 一种基于超快激光制造三维结构电池的装置和方法
JP6826427B2 (ja) * 2016-12-22 2021-02-03 株式会社村田製作所 レーザ加工装置およびレーザ加工方法
JP6844901B2 (ja) * 2017-05-26 2021-03-17 株式会社ディスコ レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP6869623B2 (ja) * 2017-10-26 2021-05-12 住友重機械工業株式会社 レーザ加工装置
KR102125030B1 (ko) * 2018-12-07 2020-06-19 주식회사 이오테크닉스 레이저 마킹 장치 및 이를 이용하는 레이저 마킹 방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60115222U (ja) * 1984-01-10 1985-08-03 株式会社 富士電機総合研究所 レ−ザ印字装置
JPH024544A (ja) * 1988-06-22 1990-01-09 Mitsubishi Electric Corp 光分岐回路付レーザマーキング装置
JPH06226472A (ja) * 1993-02-05 1994-08-16 Hitachi Ltd 液晶マスク式レーザマーカ
JP3655675B2 (ja) * 1995-09-22 2005-06-02 株式会社シンク・ラボラトリー 印刷用版面のレーザ加工方法
JPH09308983A (ja) * 1996-05-17 1997-12-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置
JP2001079674A (ja) * 1999-09-10 2001-03-27 Shibaura Mechatronics Corp マーキング装置
JP2003290939A (ja) * 2002-03-28 2003-10-14 Sunx Ltd レーザマーキング装置
JP2004337943A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置

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