JP4764775B2 - 形状測定方法 - Google Patents
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Description
ΦX0=tan−1(df/dx|x=x0)
102 載置台
103 X方向測定系
104 Y方向測定系
105 XY方向駆動装置
106 Z方向駆動装置
107 XY方向測定装置
108 Z方向測定装置
109 制御装置
110 台板
111 プローブ
Claims (3)
- 形状測定装置に設置される基準となる基準面と被測定面とを有する被測定物の前記被測定面の形状を表す設計式上の測定基準点を前記形状測定装置上の基準点に平行移動して前記設計式を平行移動する平行移動ステップと、
前記平行移動後の前記設計式上の複数の離散点を点群データとして設定する離散点設定ステップと、
前記平行移動後の設計式上の測定基準点を中心に前記点群データを、前記被測定面を前記設計式に一致させた状態での基準面と前記被測定物を前記形状測定装置に設置した状態での基準面とのなす角度分回転して、前記点群データを座標変換する座標変換ステップと、
前記座標変換後の前記点群データから最適関数を算出する最適関数算出ステップと、
前記被測定面の少なくとも一部を測定する第一測定ステップと、
前記最適関数と前記第一測定ステップにより得られた第一測定データとを用いて、前記被測定面上の基準点と前記最適関数上の基準点とのズレ量を算出するズレ量算出ステップと、
前記被測定面の全面を測定する第二測定ステップと、
前記第二測定ステップにより得られた第二測定データと前記ズレ量算出ステップにより得られたズレ量と前記座標変換ステップに用いた角度と前記設計式とに基づいて前記被測定面の形状を求める形状測定ステップと
を具備する形状測定方法。 - 前記第一測定ステップは、前記被測定面上の任意の一点を中心とする直線上の測定を行い、
前記ズレ量算出ステップは、前記第一測定ステップにより得られた第一測定データを近似した関数の前記任意の一点における接線の傾きと前記最適関数の前記基準点における接線の傾きとに基づいてズレ量を算出する請求項1記載の形状測定方法。 - 前記最適関数算出ステップは、前記座標変換後の前記離散点から、多項式またはスプライン曲面を用いた近似により、前記最適関数を算出する請求項1記載の形状測定方法。
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