JP4742890B2 - マイクロレンズ評価基板 - Google Patents
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Description
まず、本発明のマイクロレンズ評価基板について説明する。本発明のマイクロレンズ評価基板は、透明基板と、上記透明基板上に形成された遮光層と、上記遮光層上に形成された焦点距離調整層と、上記焦点距離調整層上に形成されたマイクロレンズとを有し、上記遮光層には、上記マイクロレンズに対して光を照射した際に、上記マイクロレンズにより集光された光が通過する位置に、測定用開口部が形成されていることを特徴とするものである。
まず、本発明に用いられる遮光層について説明する。本発明に用いられる遮光層は、透明基板上に形成されるものである。本発明においては、遮光層が少なくとも一つの測定用開口部を有するものであれば良いが、通常、複数の測定用開口部を有することが好ましい。複数の測定用開口部を有していれば、複数のマイクロレンズの評価を行うことができ、マイクロレンズアレイ全体としてのマクロな評価を行うことができ、SN比の良い計測が可能となるからである。
次に、本発明に用いられる焦点距離調整層について説明する。本発明に用いられる焦点距離調整層は、上述した遮光層上に形成される層である。さらに、上記焦点距離調整層は通常、透明性に優れる。
次に、本発明に用いられるマイクロレンズについて説明する。本発明に用いられるマイクロレンズは、上述した焦点距離調整層上に形成されるものである。本発明においては、マイクロレンズ評価基板が少なくとも一つのマイクロレンズを有するものであれば良いが、通常、複数のマイクロレンズを有することが好ましい。複数のマイクロレンズを有していれば、マイクロレンズアレイ全体としてのマクロな評価を行うことができ、SN比の良い計測が可能となるからである。
次に、本発明に用いられる透明基板について説明する。本発明に用いられる透明基板は、上記遮光層等を保持するものである。また、本発明のマイクロレンズ評価基板を用いたマイクロレンズの評価方法においては、透明基板から出射する光を測定することによって、マイクロレンズの評価を行う。
次に、本発明に用いられるカラーフィルタ層について説明する。本発明のマイクロレンズ評価基板は、焦点距離調整層とマイクロレンズとの間に、カラーフィルタ層を有していても良い。カラーフィルタ層を設けることで、マイクロレンズの評価に加えて、カラーフィルタ層の評価についても行うことができるからである。
本発明のマイクロレンズ評価基板は、マイクロレンズの評価の精度を高めるために、平坦化層を有していても良い。例えば、本発明のマイクロレンズ評価基板がカラーフィルタ層を有する場合は、カラーフィルタ層と焦点距離調整層との間、およびカラーフィルタ層とマイクロレンズとの間に平坦化層を設けることができる。一方、本発明のマイクロレンズ評価基板がカラーフィルタ層を有しない場合は、焦点距離調整層とマイクロレンズとの間に平坦化層を設けることができる。なお、平坦化層としては、一般的な固体撮像素子等に用いられるものを用いることができる。
本発明のマイクロレンズ評価基板は、上述した、透明基板、測定用開口部を有する遮光層、焦点距離調整層およびマイクロレンズを有するものであるが、本発明においては、全ての上記マイクロレンズに対し、上記測定用開口部が形成されていることが好ましい。マイクロレンズアレイ全体としてのマクロな評価を行うことができ、SN比の良い計測が可能となるからである。
次に、本発明のマイクロレンズの評価方法について説明する。本発明のマイクロレンズの評価方法は、上記マイクロレンズ評価基板を用いたことを特徴とするものである。具体的には、上記マイクロレンズ評価基板を用い、上記マイクロレンズ評価基板のマイクロレンズ側から光を照射し、上記マイクロレンズの透明基板側から出射する光を測定することによって、マイクロレンズの評価を行う。
この評価方法においては、例えば図3(a)に示すように、透明基板1と、透明基板1上に形成され、測定用開口部5を有する遮光層2と、遮光層2上に形成された焦点距離調整層3と、焦点距離調整層3上に形成されたマイクロレンズ4とを有し、焦点距離調整層3の厚みが、マイクロレンズ4の焦点距離に一致しているマイクロレンズ評価基板を使用する。
この評価方法においては、例えば図4(a)に示すように、透明基板1と、透明基板1上に形成され、測定用開口部5を有する遮光層2と、遮光層2上に形成された焦点距離調整層3と、焦点距離調整層3上に形成されたマイクロレンズ4とを有し、焦点距離調整層3の厚みが、マイクロレンズ4の焦点距離よりも大きいマイクロレンズ評価基板を使用する。または、例えば図4(b)に示すように、焦点距離調整層3の厚みが、マイクロレンズ4の焦点距離よりも小さいマイクロレンズ評価基板を使用する。
この評価方法においては、例えば図5に示すように、マイクロレンズ4の中心位置(線分A上に形成された中心位置)と、測定用開口部5の中心位置(線分B上に形成された中心位置)とを平面視上ずらしたマイクロレンズ評価基板を使用する。
この評価方法においては、例えば、図6に示すように、マイクロレンズ4の中心位置に対して、測定用開口部5の中心位置を、平面視上、行方向および列方向に連続的にずらしたマイクロレンズ評価基板を使用する。
この評価方法においては、カラーフィルタ層を有するマイクロレンズ評価基板を使用する。具体的には、図7(a)に示すように、透明基板1と、透明基板1上に形成され、測定用開口部5を有する遮光層2と、遮光層2上に形成された焦点距離調整層3と、焦点距離調整層3上に形成された第一平坦化層7と、第一平坦化層7上に形成されたカラーフィルタ層8と、カラーフィルタ層8上に形成された第二平坦化層9と、第二平坦化層9上に形成されたマイクロレンズ4とを有するマイクロレンズ評価基板等を使用する。
この評価方法においては、マイクロレンズが集光する領域以外の領域に測定用開口部を有するマイクロレンズ評価基板を用いることによって、他画素への光のもれを評価する。なお、この評価方法においては、カラーフィルタ層を有しないマイクロレンズ評価基板を用いても良く、カラーフィルタ層を有するマイクロレンズ評価基板を用いても良い。これらのマイクロレンズ評価基板の概略断面図については、上述した図3(a)および図7(a)等と同様であるので、ここでの説明は省略する。
次に、本発明のマイクロレンズ評価装置について説明する。本発明のマイクロレンズ評価装置は、上記マイクロレンズ評価基板と、上記マイクロレンズ評価基板のマイクロレンズ側から光を照射する照射機構と、上記マイクロレンズ評価基板の透明基板側から出射する光を検出する検出機構と、を有することを特徴とするものである。
本発明に用いられるマイクロレンズ評価基板は、上記「A.マイクロレンズ評価基板」に記載した内容と同様であるので、ここでの説明は省略する。
次に、本発明に用いられる照射機構について説明する。本発明に用いられる照射機構は、マイクロレンズ評価基板のマイクロレンズ側から光を照射する機構である。また、照射機構は、通常、光源と、上記光源の光を調整する光調整部とを有する。
次に、本発明に用いられる検出機構について説明する。本発明に用いられる検出機構は、マイクロレンズ評価基板の透明基板側から出射する光を検出する機構である。
次に、本発明のマイクロレンズの製造方法について説明する。本発明のマイクロレンズの製造方法は、上記マイクロレンズ評価基板を用いたことを特徴とするものである。
2 … 遮光層
3 … 焦点距離調整層
4 … マイクロレンズ
5 … 測定用開口部
6 … 平行光
7 … 第一平坦化層
8 … カラーフィルタ層
9 … 第二平坦化層
10 … 赤色層
11 … 緑色層
12 … 青色層
Claims (5)
- 受光素子を有さず、マイクロレンズの評価を直接的に行うために用いられ、透明基板と、前記透明基板上に形成された遮光層と、前記遮光層上に形成された焦点距離調整層と、前記焦点距離調整層上に形成され、前記焦点距離調整層とは別体のマイクロレンズとを有し、前記遮光層には、前記マイクロレンズに対して光を照射した際に、前記マイクロレンズにより集光された光が通過する位置に、測定用開口部が形成されているマイクロレンズ評価基板と、
前記マイクロレンズ評価基板のマイクロレンズ側から光を照射する照射機構と、
前記マイクロレンズ評価基板の透明基板側から出射する光を検出し、前記マイクロレンズ評価基板とは別体の検出機構と、
を有することを特徴とするマイクロレンズ評価装置。 - 全ての前記マイクロレンズに対し、前記測定用開口部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズ評価装置。
- 前記焦点距離調整層の厚みが、前記マイクロレンズの焦点距離に一致していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のマイクロレンズ評価装置。
- 前記焦点距離調整層と前記マイクロレンズとの間に、カラーフィルタ層を有することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズ評価装置。
- 前記カラーフィルタ層は複数色の着色層からなり、前記測定用開口部は前記複数色の着色層のうちの一色の着色層に対する位置にのみ形成されていることを特徴とする請求項4に記載のマイクロレンズ評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006020742A JP4742890B2 (ja) | 2006-01-30 | 2006-01-30 | マイクロレンズ評価基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006020742A JP4742890B2 (ja) | 2006-01-30 | 2006-01-30 | マイクロレンズ評価基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007199609A JP2007199609A (ja) | 2007-08-09 |
JP4742890B2 true JP4742890B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=38454264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006020742A Active JP4742890B2 (ja) | 2006-01-30 | 2006-01-30 | マイクロレンズ評価基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4742890B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5157437B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2013-03-06 | 株式会社ニコン | 素子検査用光源、素子検査装置および素子検査方法 |
KR100941053B1 (ko) | 2008-01-17 | 2010-02-05 | 한양대학교 산학협력단 | 디스플레이 장치 |
JP5169781B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2013-03-27 | 凸版印刷株式会社 | 情報記録体及びその情報記録方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07161794A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-06-23 | Sony Corp | 固体撮像素子の集光レンズ検査方法 |
JPH07281165A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平面基板の貼り合わせ方法および平板型レンズアレイの製造方法 |
JPH1039286A (ja) * | 1996-07-19 | 1998-02-13 | Toray Ind Inc | 液晶表示装置 |
JPH11101902A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Goyo Paper Working Co Ltd | 遮光性マトリックスを有するマイクロレンズシートの製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000155071A (ja) * | 1998-11-19 | 2000-06-06 | Omron Corp | 焦点距離測定装置及び焦点距離測定方法 |
JP4522848B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2010-08-11 | 三菱レイヨン株式会社 | ロッドレンズアレイの光学性能評価方法 |
-
2006
- 2006-01-30 JP JP2006020742A patent/JP4742890B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07161794A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-06-23 | Sony Corp | 固体撮像素子の集光レンズ検査方法 |
JPH07281165A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 平面基板の貼り合わせ方法および平板型レンズアレイの製造方法 |
JPH1039286A (ja) * | 1996-07-19 | 1998-02-13 | Toray Ind Inc | 液晶表示装置 |
JPH11101902A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Goyo Paper Working Co Ltd | 遮光性マトリックスを有するマイクロレンズシートの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007199609A (ja) | 2007-08-09 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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