JP2007158179A - 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】色収差の影響を低減することができる固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る固体撮像素子10は、各画素毎に設けられたカラーフィルタ45と、カラーフィルタ45に対応するように設けられ、色画素を構成する受光素子13と、受光素子13の各々に光を集光するためのレンズ層53とを備え、レンズ層53がアクロマートレンズ構造を有する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る固体撮像素子10は、各画素毎に設けられたカラーフィルタ45と、カラーフィルタ45に対応するように設けられ、色画素を構成する受光素子13と、受光素子13の各々に光を集光するためのレンズ層53とを備え、レンズ層53がアクロマートレンズ構造を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法に関する。
従来、CCD(Charge Coupled Device)などの固体撮像素子においては、その感度向上のために、各受光素子の受光面の上にオンチップレンズを設け、それら受光素子への入射光の集光効率を向上させる構成のものがある(例えば、下記特許文献1等)。
図8は、従来のオンチップのマイクロレンズを備えた固体撮像素子の構成の一例を示す模式図である。従来の固体撮像素子1は、受光素子2が形成されたシリコン基板上に、絶縁膜、転送電極、層間絶縁膜、遮光膜、を介して平坦化層3,カラーフィルタ4が形成されている。そして、カラーフィルタ4には平坦化層5を介して上方に凸面を有するマイクロレンズ6が設けられている。
ところで、上記固体撮像素子1に設けられたオンチップのマイクロレンズとしては、入射した光を受光素子2側に向って一点に集光する平凸レンズが使用されている。光にはその波長によって屈折率が異なる性質があり、例えば、従来の固体撮像素子1のように平凸レンズであるマイクロレンズ6に集光されるとともにカラーフィルタ4を透過した可視光は、波長の短い青色光が受光素子2に対して手前側に集光し、波長の長い赤色光が受光素子2に対して奥側に集光する。つまり、光が波長毎に焦点位置がずれてしまうといった、いわゆる色収差が生じてしまうという問題があり、この色収差の影響に起因して、受光領域における受光する光の感度にばらつきが生じてしまう点で改善の余地があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、色収差の影響を低減することができる固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法を提供することにある。
本発明の上記目的は、各画素毎に設けられたカラーフィルタと、前記カラーフィルタに対応するように設けられ、色画素を構成する受光素子と、前記受光素子の各々に光を集光するためのレンズ層とを備えた固体撮像素子であって、前記レンズ層がアクロマートレンズ構造を有することを特徴とする固体撮像素子によって達成される。
また、本発明の上記目的は、各画素毎に設けられたカラーフィルタと、前記カラーフィルタに対応するように設けられ、色画素を構成する受光素子と、前記受光素子の各々に光を集光するためのレンズ層とを備えた固体撮像素子の製造方法であって、前記カラーフィルタを有する基板上に塗布された第1のレンズ材料をグレースケールマスクを使用して露光し、現像後、熱処理を行うことで凹型レンズ層を形成し、前記凹型レンズ層に第2のレンズ材料を塗布し、該第2のレンズ材料を露光し、現像後、熱処理を行うことで前記凹型レンズ層上に両凸型レンズ層を形成することで、アクロマートレンズ構造を形成することを特徴とする固体撮像素子の製造方法によって達成される。
アクロマートレンズは、屈折率と色分散の異なる2枚のレンズを貼り合わせて2色(赤色と青色)の焦点位置のずれを補正することができる。このため、本発明に係る固体撮像素子は、レンズ層をアクロマートレンズ構造とすることで、レンズ層を透過した可視光における波長の短い青色光と波長の長い赤色光との焦点位置を一定とすることが可能となり、色収差の影響を低減することができる。
アクロマートレンズは、凹型レンズ層と、凹型レンズ層の上面に形成された両凸型レンズ層とを備え、凹型レンズ層の焦点距離をF2とし、アッベ数をV2とし、両凸型レンズ層の焦点距離をF1とし、アッベ数をV1としたとき、凹型レンズ層及び両凸型レンズ層がF1・V1=F2・V2を満たすことが好ましい。
本発明によれば、色収差の影響を低減することができる固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法を提供できる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図1は、本発明に係る固体撮像素子の一実施形態の構成を示す部分拡大断面図である。
図1に示す固体撮像素子10は、n型のシリコン基板11を有し、シリコン基板11の表面部に受光素子であるフォトダイオード13が複数形成されている。また、シリコン基板11には、各フォトダイオード13で発生した信号電荷を転送するための電荷転送部15が配設されている。
図1は、本発明に係る固体撮像素子の一実施形態の構成を示す部分拡大断面図である。
図1に示す固体撮像素子10は、n型のシリコン基板11を有し、シリコン基板11の表面部に受光素子であるフォトダイオード13が複数形成されている。また、シリコン基板11には、各フォトダイオード13で発生した信号電荷を転送するための電荷転送部15が配設されている。
電荷転送部15は、複数のフォトダイオード13に対応してシリコン基板11表面部に形成された複数の電荷転送チャネル17と、電荷転送チャネル17の上層に形成された電荷転送電極19と、フォトダイオード13で発生した電荷を電荷転送チャネル17に読み出すための電荷読み出し領域21とを有している。
本実施形態において、電荷転送電極19は、第1の電極19aと第2の電極19bとを有している。第1の電極19aと第2の電極19bの間は電極間絶縁膜29によって絶縁される。
シリコン基板11の表面部にはpウェル層23が形成され、pウェル層23の表面部にはp領域25aが形成され、p領域25aの下にはn領域25bが形成され、p領域25aとn領域25bがフォトダイオード13を構成している。フォトダイオード13で発生した信号電荷は、n領域25bに蓄積される。
p領域25aの右側には、少し離間してn領域からなる電荷転送チャネル17が形成される。n領域25bと電荷転送チャネル17の間のpウェル層23には電荷読み出し領域21が形成される。
シリコン基板11表面にはゲート酸化膜27が形成され、電荷読み出し領域21と電荷転送チャネル17の上には、ゲート酸化膜27を介して、第1の電極19aと第2の電極19bが形成される。
垂直転送チャネル17の右側にはp+領域からなるチャネルストップ31が設けられ、隣接するフォトダイオード13との分離が図られる。
電荷転送電極19の上には酸化シリコン膜33が形成され、更にその上に中間層35が形成される。中間層35のうち、47は遮光膜、39はBPSG(borophospho silicate glass)からなる絶縁膜、41はP−SiNからなる絶縁膜(パッシベーション膜)、43は透明樹脂膜からなる平坦化層である。遮光膜47は、フォトダイオード13の開口部分を除いて設けられる。中間層35上方には、カラーフィルタ45とレンズ層53が設けられる。カラーフィルタ45とレンズ層53との間には、絶縁性の透明樹脂等からなる図示しない平坦化層が充填されていてもよい。
本実施形態の固体撮像素子10において、レンズ層53は、アクロマートレンズ構造を有している。レンズ層53は、カラーフィルタ上に堆積された凹型レンズ層51と、この凹型レンズ層51の上面に形成された両凸型レンズ層52とを備えている。
凹型レンズ層51は、複数のフォトダイオード13のそれぞれの上方に、下方側に窪んだ形状の凹状の湾曲面が複数形成されている。両凸型レンズ層52は、上下の各面にそれぞれ突出する凸状の湾曲面が形成されている。ここで、凹型レンズ層51の凹状の湾曲面と両凸型レンズ層52の下型の湾曲面とのそれぞれ曲率は等しくなる。
ここで、凹型レンズ層51の焦点距離をF2とし、アッベ数をV2とし、両凸型レンズ層52の焦点距離をF1とし、アッベ数をV1としたとき、凹型レンズ層51及び両凸型レンズ層52がF1・V1=F2・V2を満たすようにそのレンズの材料を選定することが好ましい。一般に、白色光はプリズムを通過すると赤・橙・黄・緑・青・藍・紫の7色の色の帯を生じ、このときのこれらの色の帯の幅を色分散といい、アッベ数は、この色分散の大きさを表す量である。
アクロマートレンズは、屈折率と色分散の異なる2枚のレンズを貼り合わせて2色(赤色と青色)の焦点位置のずれを補正することができる。このため、本発明に係る固体撮像素子10は、レンズ層53をアクロマートレンズ構造とすることで、レンズ層53を透過した可視光における波長の短い青色光と波長の長い赤色光との焦点位置を一定とすることが可能となり、色収差の影響を低減することができる。こうして、フォトダイオード13に受光される光の感度にばらつきが生じることを防止することができる。
次に、本発明に係る固体撮像素子の製造工程を説明する。
図2から図6は、図1に示す本実施形態の固体撮像素子の製造工程の一部を示す部分拡大断面図である。以下、本実施形態の固体撮像素子10のレンズ層53の製造工程のみを説明し、カラーフィルタ45より下方の部分の製造工程は一般に知られている固体撮像素子と同じであるため説明を省略する。
図2から図6は、図1に示す本実施形態の固体撮像素子の製造工程の一部を示す部分拡大断面図である。以下、本実施形態の固体撮像素子10のレンズ層53の製造工程のみを説明し、カラーフィルタ45より下方の部分の製造工程は一般に知られている固体撮像素子と同じであるため説明を省略する。
先ず、図2に示す工程にように、カラーフィルタ45に凹型レンズ層51の母材となる第1のガラス材料を塗布する。ここで第1のガラス材料としてはポジ型の材料を使用する。
次に、図3に示す工程のように、塗布された第1のガラス材料にグレースケールマスクを使用してポジ型のフォトレジスト(感光性材料)に不均一な露光を行う。ここで、ポジ型又はネガ型の選択によりレジストに形状を転写する工程(フォトリソグラフィ工程)を行う。
グレースケースマスク61には、透過率が所定の分布となるパターンで形成されており、このパターンは、凹型レンズ層51の湾曲面の目標とする曲率や使用する第1のレンズ材料や後述する第2のレンズ材料に応じて、予めシミュレーションなどによって設定されている。露光後、図4に示すように、第1のレンズ材料を現像し、熱処理することで凹状の湾曲面51aが形成される。
なお、露光の際に、ポジ型又はネガ型の選択によってフォトリソグラフィ工程において用いるフォトマスクの形状が変化するが、基本的な形成手順は変わらない。本実施形態においては、ポジ型レジストを用いる場合について説明する。
図5に示す工程のように、凹型レンズ層51の湾曲面51a上に、両凸型レンズ層52の母材となる第2のレンズ材料を塗布する。第2のレンズ材料としては、第1のレンズ材料と屈折率及び色分散の異なる材料が使用される。
図6に示すように、マスク62を使用してポジレジストにフォトリソグラフィ工程によって所定のパターンを露光する。そして、現像後、熱処理を行うことで、図7に示すように、所望の曲率を有する凸状の湾曲面52aを有する両凸型レンズ層52を形成する。
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜な変形、改良などが可能である。
例えば、上記実施形態では、カラーフィルタ45より下の部分の構成は特に限定されず、レンズ層53によって集光された光をフォトダイオード13などの光電変換部に導く構成のものであれば適宜変更することができる。
例えば、上記実施形態では、カラーフィルタ45より下の部分の構成は特に限定されず、レンズ層53によって集光された光をフォトダイオード13などの光電変換部に導く構成のものであれば適宜変更することができる。
10 固体撮像素子
13 フォトダイオード(受光素子)
45 カラーフィルタ
51 凹型レンズ層
52 両凸型レンズ層
53 レンズ層
13 フォトダイオード(受光素子)
45 カラーフィルタ
51 凹型レンズ層
52 両凸型レンズ層
53 レンズ層
Claims (4)
- 各画素毎に設けられたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタに対応するように設けられ、色画素を構成する受光素子と、
前記受光素子の各々に光を集光するためのレンズ層とを備えた固体撮像素子であって、
前記レンズ層がアクロマートレンズ構造を有することを特徴とする固体撮像素子。 - 前記アクロマートレンズは、凹型レンズ層と、前記凹型レンズ層の上面に形成された両凸型レンズ層とを備え、
前記凹型レンズ層の焦点距離をF2とし、アッベ数をV2とし、前記両凸型レンズ層の焦点距離をF1とし、アッベ数をV1としたとき、前記凹型レンズ層及び前記両凸型レンズ層がF1・V1=F2・V2を満たすことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。 - 各画素毎に設けられたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタに対応するように設けられ、色画素を構成する受光素子と、
前記受光素子の各々に光を集光するためのレンズ層とを備えた固体撮像素子の製造方法であって、
前記カラーフィルタを有する基板上に塗布された第1のレンズ材料をグレースケールマスクを使用して露光し、現像後、熱処理を行うことで凹型レンズ層を形成し、前記凹型レンズ層に第2のレンズ材料を塗布し、該第2のレンズ材料を露光し、現像後、熱処理を行うことで前記凹型レンズ層上に両凸型レンズ層を形成することで、アクロマートレンズ構造を形成することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 前記凹型レンズ層の焦点距離をF2とし、アッベ数をV2とし、前記両凸型レンズ層の焦点距離をF1とし、アッベ数をV1としたとき、前記凹型レンズ層及び前記両凸型レンズ層がF1・V1=F2・V2を満たすことを特徴とする請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009031415A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Alps Electric Co Ltd | 光学素子 |
JP2010161180A (ja) * | 2009-01-07 | 2010-07-22 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法、カメラ |
JP2010232537A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
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2005
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US9313385B2 (en) | 2009-01-07 | 2016-04-12 | Sony Corporation | Solid-state image-taking apparatus to focus incoming light into an image, manufacturing method thereof, and camera |
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