JP4737713B2

JP4737713B2 - stocker

Info

Publication number: JP4737713B2
Application number: JP2005180306A
Authority: JP
Inventors: 正直村田
Original assignee: Muratec Automation Co Ltd
Current assignee: Muratec Automation Co Ltd
Priority date: 2005-06-21
Filing date: 2005-06-21
Publication date: 2011-08-03
Anticipated expiration: 2025-06-21
Also published as: JP2007001670A

Description

本発明は、例えば、半導体製造過程において、懸垂式昇降搬送台車（以下、ＯＨＴ台車という）によって搬送され、内部に挿脱自在に半導体製造用基板（以下、ウエハという）を収納する容器（以下、ＦＯＵＰという）用ストッカーに係り、特に、当該ストッカー内に備えられているＦＯＵＰの収納・取出しを行うロボットが停電その他の原因にて正常に動作できない異常事態発生に際して、ロボットの作用に頼らずマニュアル操作で所望のＦＯＵＰを取出す処理装置に関するものである。 The present invention, for example, in a semiconductor manufacturing process, is transported by a suspended lift carriage (hereinafter referred to as an OHT carriage) and accommodates a semiconductor manufacturing substrate (hereinafter referred to as a wafer) detachably inserted therein (hereinafter referred to as a wafer). FOUP (in particular, FOUP), especially when an abnormal situation occurs where the robot that stores and removes the FOUP provided in the stocker cannot operate normally due to a power failure or other cause The processing device for taking out a desired FOUP.

近年、クリーンルーム内の工程内環状軌道に沿って配置されるウエハの各種表面処理（洗浄、成膜、レジスト、ＣＶＤ、検査ほか）を行う一連の半導体製造装置（以下、ステーションという）の中で必要な処理を行うために前記ウエハを収納したＦＯＵＰを、ＯＨＴ台車を用いて搬送することが多い。
このような表面処理を受ける前あるいは少なくとも一部の表面処理を終えたウエハを収納したＦＯＵＰは夫々タグに付された情報により特定され、以降の必要な表面処理がこのタグ情報に基づきコンピュータによって管理される。 In recent years, it is necessary in a series of semiconductor manufacturing equipment (hereinafter referred to as stations) that perform various surface treatments (cleaning, film formation, resist, CVD, inspection, etc.) of wafers arranged along an in-process annular track in a clean room. In order to perform an appropriate process, the FOUP containing the wafer is often transported using an OHT carriage.
The FOUP containing the wafer that has undergone such surface treatment or at least a portion of the surface treatment is identified by the information attached to the tag, and subsequent necessary surface treatment is managed by the computer based on the tag information. Is done.

この際、各ステーションは表面処理の種類の相違に応じて処理に要する時間が相違し、工程時間調整などの理由により、ＦＯＵＰを一時待機させるためＦＯＵＰ用搬入ポート及び搬出ポートを備えたストッカーが設けられている。
このストッカーは、多数の棚と、ＦＯＵＰ用搬入ポート及び搬出ポートと、各棚に搬入ポートより導入されたＦＯＵＰを載置或いは各棚からＦＯＵＰを搬出ポートに移送するロボット（スタッカークレーン、移載装置ほかから構成される）と、を備えている。 At this time, each station has a different processing time depending on the type of surface treatment, and a stocker having a FOUP carry-in port and a carry-out port is provided to temporarily hold the FOUP for reasons such as process time adjustment. It has been.
This stocker is equipped with a number of shelves, FOUP carry-in ports and carry-out ports, and robots (stacker cranes, transfer devices) on which FOUPs introduced from the carry-in ports are placed or transferred from the shelves to the carry-out ports. Composed of others).

さて、殆どの場合、前記ロボットによるＦＯＵＰの移送は、前記コンピュータの指示に応じて適正になされ、何等不都合を生じない。
ところが、停電、タグの不良等の原因にてロボットの動作が適正に行なわれない事情が生じると、ストッカー内からその搬出口に所定の処理を行う予定のＦＯＵＰの移送ができない。
このように、ストッカー内部から所定のＦＯＵＰが搬出ポートに移送できない状況においては、ストッカー内から人手によって所定のＦＯＵＰをストッカー内部からＯＨＴ台車による搬送可能な個所まで移動させなければならない。 In most cases, the transfer of the FOUP by the robot is performed properly in accordance with the instruction from the computer, and no inconvenience is caused.
However, if a situation occurs in which the robot is not properly operated due to a power failure, a tag defect, or the like, the FOUP scheduled to perform a predetermined process cannot be transferred from the stocker to the carry-out port.
As described above, in a situation where the predetermined FOUP cannot be transferred from the inside of the stocker to the carry-out port, the predetermined FOUP must be manually moved from the inside of the stocker to a place where it can be transported by the OHT carriage.

ところで、人手によるＦＯＵＰの移動は、ＦＯＵＰに多数枚収納され、各種表面処理を受けるウエハのサイズが小さい場合は比較的容易に実行できるものの、近年、ウエハのサイズは大型化傾向にある。
ついては、ＦＯＵＰをストッカー内からストッカー外に人手により移動させることがかなりの時間を要し、更なるウエハの大きさの大型化を来すと、人手により、ストッカー内部からＦＯＵＰを搬出することが困難となる。 By the way, the movement of the FOUP manually can be performed relatively easily when the number of wafers stored in the FOUP and subjected to various surface treatments is small, but in recent years, the size of the wafer has been increasing.
Therefore, it takes considerable time to manually move the FOUP from the inside of the stocker to the outside of the stocker, and if the wafer size is further increased, it is difficult to manually carry out the FOUP from the inside of the stocker. It becomes.

このようにストッカー内のＦＯＵＰほかの物品が、電動手段により正常に搬送できないような状況となった場合に対処する手段の具体例として、下記特許文献１がある。
この特許文献１に開示の技術は、具体的に、図１〜図４に示されるような構成を有している。即ち、図１に示す自動倉庫（ＦＯＵＰほかの物品のストッカー等）１において、多数の物品収納棚２５を有し、対向する複数対の収納部２０と、当該各対の収納部２０の間に図１の前後方向に移動できるように上下端部において支持され、昇降台３４を上下方向に案内する機構を有するスタッカークレーン３の機構が開示されている。 As a specific example of means for dealing with such a situation that FOUP and other articles in the stocker cannot be normally conveyed by the electric means, there is Patent Document 1 below.
Specifically, the technique disclosed in Patent Document 1 has a configuration as shown in FIGS. That is, in the automatic warehouse (FOUP and other article stockers) 1 shown in FIG. 1, there are a large number of article storage shelves 25, and a plurality of opposing storage units 20 are disposed between the storage units 20 of each pair. The mechanism of the stacker crane 3 having a mechanism that is supported at the upper and lower ends so as to be movable in the front-rear direction of FIG.

このスタッカークレーン３は、図２及び図４に示されるように梯子４７を備えている。そして、この梯子４７は、スタッカークレーン３が自動倉庫内を走行するに際して進行
方向に振動することを防止すべくスタッカークレーン３の剛性を増す作用のほか、停電ほかの原因にてスタッカークレーン３の稼動が停止した際に、人手による物品の取り出しに利用される。
即ち、スタッカークレーン３が、例えば、停電ほか何らかの原因にて稼動停止状態に至った場合であって、所定の棚に載置されている物品（ＦＯＵＰほか）をスタッカークレーン３の修復を待つことなく、緊急に人手により取り出すための手段に係る構成が図３及び図４に開示されている。 The stacker crane 3 includes a ladder 47 as shown in FIGS. 2 and 4. The ladder 47 not only acts to increase the rigidity of the stacker crane 3 so as to prevent the stacker crane 3 from vibrating in the traveling direction when the stacker crane 3 travels in the automatic warehouse, but also operates the stacker crane 3 for other reasons such as a power failure. When the machine stops, it is used for taking out articles by hand.
That is, for example, when the stacker crane 3 is brought into an operation stop state due to a power failure or any other cause, the articles (FOUP etc.) placed on a predetermined shelf are not waited for the repair of the stacker crane 3. 3 and 4 show a configuration relating to a means for emergency manual removal.

先ず、図３に開示の構成において、走行レール３８（図１を参照）に沿って移動するスタッカークレーン３は停電に際しては、ブレーキ５４が作動しているため、このままでは移動できない。
従って、ブレーキ解除レバー５４ａでブレーキ５４のブレーキ作用を解除し、ハンドル５４ｂの人手による回転にてスタッカークレーン３はレール上を水平方向に所望の収納棚の位置まで移動できる。 First, in the configuration disclosed in FIG. 3, the stacker crane 3 that moves along the traveling rail 38 (see FIG. 1) cannot move as it is because the brake 54 is operated during a power failure.
Accordingly, the brake action of the brake 54 is released by the brake release lever 54a, and the stacker crane 3 can move horizontally on the rail to the desired storage shelf position by the manual rotation of the handle 54b.

次に、スタッカークレーン３の非常時における物品３０の降下手段については、図４及び図５に示され、非常取出し対象物品３０が載置されている棚２５の高さまで、昇降台３４を移動させる。この動作は図５のブレーキ６３の解除レバーを開放したうえ、ハンドル６４を手動により回転させることにより行われる。
更に、作業者が梯子にて所定の高さまで昇り非常搬出すべき物品を棚２５より昇降台３４上に載せ、前記手動ハンドル６４を回転させることにより昇降台３４を降下させ、昇降台上の物品を、所望の場所に移動させる。 Next, with regard to the means for lowering the article 30 in an emergency of the stacker crane 3, as shown in FIGS. 4 and 5, the lifting platform 34 is moved to the height of the shelf 25 on which the emergency take-out object 30 is placed. . This operation is performed by opening the release lever of the brake 63 in FIG. 5 and manually rotating the handle 64.
Further, an article to be lifted up to a predetermined height on the ladder by the operator is placed on the elevator 34 from the shelf 25, and the elevator 34 is lowered by rotating the manual handle 64, and the article on the elevator is lowered. Is moved to a desired location.

特開２００３−２２６４０６JP 2003-226406 A

一般に、半導体製造用基板としてのウエハに洗浄、ＣＶＤほか多くの各種表面処理を施すためにウエハは多数枚（例えば、２４枚）挿脱自在に収納する多くのＦＯＵＰを用い、これらのＦＯＵＰは、ＯＨＴ台車等の搬送手段によって工程内環状軌道乃至工程間環状軌道に沿って搬送される。
そして、このＦＯＵＰの搬送経路（特に、工程内環状軌道）に配置される各種表面処理用ステーションにおいて所望の表面処理を受ける。 Generally, in order to perform cleaning, CVD, and many other surface treatments on a wafer as a semiconductor manufacturing substrate, a large number of FOUPs (for example, 24 sheets) that can be inserted and removed are used, and these FOUPs are It is transported along an in-process annular track or an inter-process annular track by transport means such as an OHT carriage.
Then, a desired surface treatment is performed at various surface treatment stations arranged on the FOUP transport path (in particular, the in-process annular track).

このような各種表面処理を行うステーションのほかに何ら表面処理を受けていないウエハを収納したＦＯＵＰ、或いは必要とする表面処理を一部又は全部完了したＦＯＵＰを保管するストッカーが所定の場所に配置されている。
このストッカーの大きさは、前記特許文献１に示されるような、比較的小規模のものから多段のＦＯＵＰ用収納棚を備え、所定段数毎にストッカー内部の保守、点検用扉を備える程度の大規模のものまで多様化している。
とりわけ、近年のウエハの大型化、所要枚数の増加に伴い、ＦＯＵＰ用ストッカーは大型化の傾向にある。 In addition to these various surface treatment stations, FOUPs containing wafers that have not undergone any surface treatment, or stockers for storing FOUPs that have partially or wholly completed the necessary surface treatments are arranged at predetermined locations. ing.
The stocker is large enough to have a relatively small to multi-stage FOUP storage shelf as shown in the above-mentioned Patent Document 1, and to provide maintenance and inspection doors inside the stocker every predetermined number of stages. Diversified to scale.
In particular, the FOUP stocker tends to increase in size with the recent increase in wafer size and the required number of wafers.

このように、ＦＯＵＰ用ストッカーの大型化が一定限度を超えると、ストッカー内の棚に対してＦＯＵＰを授受するロボットが停電ほかの原因にて正常稼動が阻害された場合、手動にて所定のＦＯＵＰを取出すための手段として前記特許文献１に開示されている技術は採用できない。
即ち、高さ方向にＦＯＵＰ収納用棚の所定段数毎に保守、点検用扉が設けられる程度の規模のストッカーにおいては、ロボットの異常時には、所定のＦＯＵＰは前記保守、点検用扉より持ち出すことになり、もはやスタッカークレーンを用いて非常持出しを行うことができない。 In this way, if the size of the FOUP stocker exceeds a certain limit, the robot that sends and receives the FOUP to the shelves in the stocker is obstructed from normal operation due to a power failure or other cause. The technique disclosed in Patent Document 1 cannot be adopted as a means for taking out the image.
That is, in a stocker of a scale that is provided with maintenance and inspection doors for every predetermined number of FOUP storage shelves in the height direction, when a robot malfunctions, the predetermined FOUP is taken out from the maintenance and inspection doors. It is no longer possible to carry out emergency take-out using a stacker crane.

そこで、本発明の目的は、所定の搬送路に沿って搬送され、ウエハを挿脱自在に収納した容器（ＦＯＵＰ）のストッカーであって、搬入ポートよりＦＯＵＰ載置用の多数の棚へのＦＯＵＰの移載、或いは棚に載置されたＦＯＵＰの搬出ポートへの移送用ロボットを内装する構成において、多段棚を有し、所定段数毎に保守・点検用扉を備えるような大型のストッカーであって、前記移送用ロボットが正常に動作できない状況に至っても、ストッカー内にある所望のＦＯＵＰの緊急取出しを容易に行うことである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is a container (FOUP) stocker that is transported along a predetermined transport path and detachably accommodates wafers, and FOUPs are loaded from a loading port to a number of shelves for FOUP placement. This is a large stocker that has a multi-stage shelf and has a maintenance / inspection door for each predetermined number of stages in a configuration in which a robot for transferring to a carry-out port of a FOUP placed on the shelf is installed. Even when the transfer robot cannot operate normally, it is easy to take out the desired FOUP in the stocker in an emergency manner.

Means and effects for solving the problems

上記課題を解決するため、請求項１に記載のストッカーは、所定の搬送路に沿って走行する搬送台車によって搬送される物品を収納する多数の棚と、物品搬入ポートと、物品搬出ポートと、前記棚、物品搬入ポート及び物品搬出ポート相互間において物品の授受、搬送を担うロボットと、からなり、複数段構成をなすストッカーにおいて、前記複数段構成における所定段数毎に夫々設けられ作業者が出入可能な保守点検用扉と、少なくとも下方より２番目以上の扉の外側に位置するベランダ状足場と、各足場に連係可能の位置に垂直方向に立設される梯子と、該梯子に沿って前記物品を手動にて昇降させる手段と、を備え、前記物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と平行に配置される手摺りと、当該手摺りに沿って垂直方向に案内される台車と、当該台車によって支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルと、から構成され、前記ベランダ状足場と前記ストッカーの基礎レベルとの間で前記物品の搬送を行い得ることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, the stocker according to claim 1 includes a plurality of shelves that store articles conveyed by a conveyance carriage that travels along a predetermined conveyance path, an article carry-in port, an article carry-out port, In the stocker having a multi-stage configuration, each of which is provided for each predetermined stage in the multi-stage configuration, and an operator enters and exits the stocker having a multi-stage configuration. a maintenance door possible, and ladder erected and veranda-like scaffold positioned outside of the second or more doors than at least the lower, vertically to the position of the possible associated with each scaffold, along said該梯Ko Means for manually raising and lowering the article, and the means for manually raising and lowering the article is guided in a vertical direction along the handrail disposed in parallel with the ladder. A carriage, an elevator plate supported by the carriage, on which an article is placed, a wire that fixes one end to the elevator board and moves the elevator board up and down, and winding and feeding the other end of the wire And a handle having a locking action to prevent the winding and feeding, and the article can be transported between the veranda-like scaffold and the basic level of the stocker .

この請求項１に係る発明によれば、多数の物品保管用棚と、所定の棚への所定の物品の載置又は所定の棚からの所定の物品の取出しを担うロボットを有するストッカーにおいて、前記ロボットが、停電或いは物品に付されたタグの読取り不良などの諸般の事情により正常な動作が行えず、かつ、ロボットの修復に時間を要する事態が発生した場合に緊急処置を行うことができる。
より具体的に述べると、例えば、前記ストッカー内で荷役中のロボットが稼動不能となり、かつストッカー内の所定の棚に載置されている物品を緊急に取出す必要が発生すると、所定の棚が属する扉から人がストッカー内に入り、所定の物品を取出し、物品を所持して梯子から降り、近接する所定の場所（ＯＨＴ台車のステーション等）に搬送する。
また、前記梯子に沿って前記物品を手動にて昇降させる手段を備えるようにしている。そのため、特に人が物品を保持して梯子を昇降するに際して生じる物品の重量の制限を緩和できる。
更に、物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と平行に配置される手摺りと、当該手摺りに沿って垂直方向に案内される台車と、当該台車によって支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルから構成されるようにしている。そのため、ストッカー内の荷役用ロボットが稼動不能に至った際、重量、大きさにおいて、人為的に昇降不能の物品であってもストッカーの外壁に設けた梯子の手摺りに沿ってマニュアル操作で安全、確実に昇降させることができる。 According to the first aspect of the present invention, in the stocker having a plurality of article storage shelves and a robot responsible for placing the predetermined articles on the predetermined shelves or taking out the predetermined articles from the predetermined shelves, When the robot cannot operate normally due to various circumstances such as a power failure or reading failure of a tag attached to an article, and emergency takes time to repair the robot, emergency treatment can be performed.
More specifically, for example, when a robot that is being handled in the stocker becomes inoperable and an article placed on a predetermined shelf in the stocker needs to be taken out urgently, the predetermined shelf belongs. A person enters the stocker from the door, takes out a predetermined article, carries the article, gets off the ladder, and conveys it to a predetermined place (such as an OHT carriage station).
Further, means for manually raising and lowering the article along the ladder is provided. Therefore, it is possible to alleviate the restriction on the weight of the article that occurs particularly when a person holds the article and moves up and down the ladder.
Further, means for manually raising and lowering the article includes a handrail arranged in parallel with the ladder, a cart guided in the vertical direction along the handrail, and supported by the cart to place the article. From a lifting plate, a wire that fixes one end to the lifting plate, and moves the lifting plate up and down, and a handle that takes up the other end of the wire, winds it, and locks it to prevent winding and feeding. It is configured. Therefore, when the cargo handling robot in the stocker becomes inoperable, it is safe to manually operate along the ladder handrail provided on the outer wall of the stocker even if it is an article that cannot be lifted and lowered artificially in weight and size. Can be lifted and lowered reliably.

請求項２に記載のストッカーは、請求項１に記載のストッカーにおいて、前記物品が、表面処理を受けるウエハを挿脱自在に収納する容器（ＦＯＵＰ）であることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用先の請求項１に係る発明の効果は元より、ストッカー内の多くの棚に載置され、以降の保有ウエハの表面処理が時間管理の基に実施される場合であってもストッカー内のロボットによって搬送される必要のあるＦＯＵＰを、ロボットの稼動不能時に手動にて取出し、必要時機を失することなく前記ウエハに対して必要な表面処理をロボットの修復を待つことなく的確に行うことができる。 A stocker according to a second aspect is the stocker according to the first aspect , wherein the article is a container (FOUP) for detachably storing a wafer subjected to a surface treatment.
According to the invention according to claim 2 , the effect of the invention according to claim 1 cited above is originally placed on many shelves in the stocker, and the subsequent surface treatment of the retained wafer is based on time management. The FOUP that needs to be transported by the robot in the stocker even if it is implemented is manually taken out when the robot is inoperable, and the robot performs the necessary surface treatment on the wafer without losing the necessary time. Can be done accurately without waiting for repair.

請求項３に記載のストッカーは、請求項１又は請求項２に記載のストッカーにおいて、昇降板の稼動に際してのみ、梯子と手摺り相互間に、当該昇降板の昇降に必要な間隔を前記梯子と手摺りとの間に設け、昇降板非稼動時には、手摺りを梯子に接近させる折り畳み機能を有する連結部材を備え、前記昇降板稼動時において前記手摺りの下端部が、ストッパを介してストッカー用基礎面に当接するようにしたことを特徴とする。
この請求項３に係る発明によれば、引用先の請求項１又は請求項２に係る発明の効果は元より、ストッカー内において稼動するロボットが正常に動作できない異常時期のみの非常用に使用される垂直方向に設置される梯子及びその手摺りの間隔を、前記ロボットが正常に稼動する状態においてなくすようにできるため、ストッカーの周囲領域を有効に利用することができる。 The stocker according to claim 3 is the stocker according to claim 1 or 2 , wherein the interval required for raising and lowering the lifting plate is set between the ladder and the handrail only when the lifting plate is operated. A connecting member is provided between the handrail and has a folding function that allows the handrail to approach the ladder when the lift plate is not in operation. The lower end of the handrail is connected to the stocker via a stopper when the lift plate is in operation. It is characterized by being in contact with the base surface.
According to the third aspect of the invention, the effect of the invention according to the first or second aspect of the cited reference is used for emergency use only in an abnormal period in which the robot operating in the stocker cannot operate normally. Since the distance between the ladder installed in the vertical direction and the handrail thereof can be eliminated in a state where the robot is operating normally, the area around the stocker can be used effectively.

請求項６に記載のストッカーは、請求項２又は３に記載のストッカーにおいて、物品を手動にて昇降させる手段が、前記梯子と並行に配置され、柱状をなすリニアガイド部材と、当該リニアガイド部材に支持され、物品を載置する昇降板と、この昇降板に一端部を固定し、当該昇降板を上下動させるワイヤーと、当該ワイヤーの他端部の巻取り、繰出し及び当該巻取り、繰出しを阻止するロック作用を担うハンドルから構成することを特徴とする。
この請求項６に係る発明によれば、引用先の請求項２又は３に係る発明の効果は元より、
ストッカー内の荷役用ロボットが稼動不能に至った際、重量、大きさにおいて、人為的に昇降不能の物品であってもストッカーの外壁に設けた梯子に並行に備えたリニアガイドに沿ってマニュアル操作で昇降させることができる。 The stocker according to claim 6 is the stocker according to claim 2 or 3, wherein means for manually raising and lowering the article is arranged in parallel with the ladder, and forms a columnar linear guide member, and the linear guide member Supported by the lift plate, the lifting plate for placing the article, one end fixed to the lift plate, the wire for moving the lifting plate up and down, the winding and feeding of the other end of the wire, and the winding and feeding. It is characterized by comprising the handle which bears the lock action which prevents.
According to the invention according to claim 6, the effect of the invention according to claim 2 or 3 to be cited is
When the handling robot in the stocker becomes inoperable, manual operation is performed along the linear guide provided in parallel with the ladder provided on the outer wall of the stocker even if it is an article that cannot be lifted and lowered artificially in weight and size. Can be moved up and down.

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１、図２は夫々本発明が適用されるストッカーの平面図及び正面図、図３はストッカーに設けた物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す正面図、図４は、図３の部分側面図、図５は図３の部分平面図、図６は昇降機構の折り畳み状態の要部を示す側面図、図７は昇降機構の手動操作機構の構成を示す構成図、図８は他の実施例を示す物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す斜視図である。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, the outline of the drawings will be described. FIGS. 1 and 2 are a plan view and a front view of a stocker to which the present invention is applied, respectively, and FIG. 3 is a front view and a view showing a lifting mechanism of an article (FOUP) provided in the stocker. 4 is a partial side view of FIG. 3, FIG. 5 is a partial plan view of FIG. 3, FIG. 6 is a side view showing the main part of the lifting mechanism in a folded state, and FIG. 7 is a configuration showing the configuration of the manual operation mechanism of the lifting mechanism. FIG. 8 is a perspective view showing a lifting mechanism for an article (FOUP) according to another embodiment.

さて、本願各発明が適用されるストッカーの周辺構成を図１及び図２に基づいて具体的に説明する。図１及び図２において、１はストッカーで、多数の棚２と当該棚２への物品（各種表面処理を受けるウエハを収納したＦＯＵＰ）３の載置或いは棚２から上記物品３の取出しを行うロボット４を内部に保有している。
次に、前記ストッカー１における本願各発明に係る構成を含む外部構成について説明する。５は物品３の搬入ポート、６は物品３の搬出ポートで、夫々ＯＨＴ台車７の走行経路８に沿ってストッカー１の側面部に突出して設けられている。 Now, the peripheral configuration of the stocker to which the inventions of the present application are applied will be specifically described with reference to FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a stocker, which places a large number of shelves 2 and articles (FOUPs containing wafers subjected to various surface treatments) 3 on the shelves 2 or takes out the articles 3 from the shelves 2. The robot 4 is held inside.
Next, an external configuration including the configuration according to each invention of the present application in the stocker 1 will be described. 5 is a carry-in port for the article 3, and 6 is a carry-out port for the article 3, which are provided on the side surface of the stocker 1 along the traveling path 8 of the OHT carriage 7.

９は梯子で、一対の直立する支柱９ａ、９ｂと当該支柱９ａ、９ｂの対向する面相互間に適宜に定められた間隔において配置される水平部材９ｃからなっており、前記支柱９ａ、９ｂはアングル部材１０を介してストッカー１の所定の外壁に支持固定されている。
１１は梯子９の手摺りで、前記ロボット４の稼動不能時にストッカー１内の所定の棚２に載置されている物品３の非常取出しのための物品３用昇降板（詳細は後述）１２を上下方向の案内を兼ねている。１２ａは突起で、ＦＯＵＰの底部に形成した図示しない凹部に係合し、ＦＯＵＰ３の昇降板１２上の載置位置を規制する。１３は前記昇降板１２を手動にて操作するワイヤー巻取り、繰り出し用操作機構でその詳細は後述する。 9 is a ladder, which is composed of a pair of upright columns 9a, 9b and a horizontal member 9c arranged at an appropriate interval between the opposing surfaces of the columns 9a, 9b. The columns 9a, 9b are It is supported and fixed to a predetermined outer wall of the stocker 1 via an angle member 10.
11 is a handrail for the ladder 9, and when the robot 4 cannot be operated, an article 3 lifting plate (details will be described later) 12 for emergency removal of the article 3 placed on a predetermined shelf 2 in the stocker 1 is provided. Also serves as a vertical guide. 12a is a protrusion that engages with a recess (not shown) formed at the bottom of the FOUP and regulates the placement position of the FOUP 3 on the lifting plate 12. Reference numeral 13 denotes a wire winding and feeding operation mechanism for manually operating the elevating plate 12, the details of which will be described later.

１４は保守・点検用扉で、ストッカー１内における棚２の所定の段数毎に設けられ、ロボットの故障などで、棚２への物品３への載置あるいは棚２から物品３の取出しが自動的に行われなくなった際に、人の出入りのために上下方向に棚の段数に応じた必要数設けられる。
１５は、ベランダ状足場で、各保守・点検用扉１４に対応して設けられ、当該扉１４からストッカー１に対して出入りする人が安定して作業を行えるような構成をなし、前記梯子９を通じて人の出入りが自由にできるように構成されている。
なお、このベランダ状足場１５は、最下段については、ストッカー１の設置レベルと、扉１４の最下部のレベルとの差がさほどない場合は、設けるには及ばない。 Reference numeral 14 denotes a maintenance / inspection door, which is provided for each predetermined number of shelves 2 in the stocker 1, and is automatically placed on the shelves 2 or taken out of the shelves 2 due to a robot failure or the like. Therefore, the necessary number corresponding to the number of shelves in the vertical direction is provided for people to enter and exit.
Reference numeral 15 denotes a veranda-shaped scaffold, which is provided corresponding to each maintenance / inspection door 14 and has a configuration in which a person entering and exiting the stocker 1 from the door 14 can stably perform the work. It is configured to allow people to enter and exit freely.
The veranda-like scaffolding 15 is not required to be provided at the lowest level if there is not much difference between the installation level of the stocker 1 and the lowest level of the door 14.

次ぎに、物品（ＦＯＵＰ）３の昇降機構について図３〜図５及び図７を参照して説明する。各図において、梯子９の支柱９ａ、９ｂと、手摺り１１とは、両端において双方に回動自在に支持され、適宜の間隔で配置される連結部材１６にて連結され、この連結部材１６の傾斜の変化によって梯子９の支柱９ａ、９ｂと、手摺り１１との間隔を調整することができる。
１７は台車で、その基板１７ａが昇降板１２の両側に固定される。当該台車の基板１７ａには２対の案内輪１７ｂが回動自在に固定され、手摺り１１を各対の案内輪１７ｂが挟むように配置さる。これによって、昇降板１２は、手摺り１１に沿って上下移動自在となる。
なお、案内輪１７ｂは手摺り１１の図３の前後方向に噛み合っているため、支柱９ａと手摺り１１の側面同士において回動自在に固定される連結部材１６に接する恐れはなく、連結部材１６は案内輪１７ｂが手摺り１１に沿って移動する妨げにはならない。 Next, the lifting mechanism of the article (FOUP) 3 will be described with reference to FIGS. 3 to 5 and FIG. In each figure, the columns 9a and 9b of the ladder 9 and the handrail 11 are rotatably supported at both ends at both ends, and are connected by connecting members 16 arranged at appropriate intervals. The interval between the pillars 9a and 9b of the ladder 9 and the handrail 11 can be adjusted by changing the inclination.
Reference numeral 17 denotes a carriage, and the substrate 17 a is fixed to both sides of the lifting plate 12. Two pairs of guide wheels 17b are rotatably fixed to the base plate 17a of the cart, and the handrail 11 is arranged so that each pair of guide wheels 17b sandwiches the handrail 11. As a result, the elevating plate 12 can move up and down along the handrail 11.
Since the guide wheel 17b meshes with the handrail 11 in the front-rear direction of FIG. 3, there is no fear of coming into contact with the connecting member 16 that is rotatably fixed between the side surfaces of the column 9a and the handrail 11. This does not prevent the guide wheel 17b from moving along the handrail 11.

１８はワイヤーで、その操作機構１３から巻取り・繰り出し操作を受け、その外方端は適宜の手段にてストッカーの適所に支持される滑車１９を介して昇降板１２に固定される。
２０はストッパーで、手摺り１１の下端部に設けられ、昇降板１２に図示しない物品（ＦＯＵＰ）が載置され、当該昇降板が上下動を行う稼動状況にある際、手摺り１１の下端部に加わる重量を支える。
なお、昇降板１２の上下への移動に際して振動が生じ、昇降板１２の安定した上下動が得られないような状況においては、別途ストッパー２０の振動を抑制する固定部材を周知の適宜の手段にて付加してもよい。 Reference numeral 18 denotes a wire, which receives a winding / unwinding operation from the operation mechanism 13, and an outer end thereof is fixed to the elevating plate 12 via a pulley 19 supported at an appropriate position of the stocker by an appropriate means.
Reference numeral 20 denotes a stopper, which is provided at the lower end of the handrail 11. When an unillustrated article (FOUP) is placed on the elevating plate 12, and the elevating plate is in an operating state in which the elevating plate moves up and down, the lower end of the handrail 11 Supports the weight added to the.
In a situation where vibration occurs when the elevating plate 12 moves up and down, and stable elevating movement of the elevating plate 12 cannot be obtained, a separate fixing member that suppresses vibration of the stopper 20 is used as a known appropriate means. May be added.

一方、ストッカー１内のロボット４が稼動できる正常時（通常この状況が殆ど）においては、図６に示す通り、昇降板１２を最上部まで移動させて、手摺り１１を上方に移動させる。これによって、連結部材１６は上向に回動し、梯子９の支柱９ａ、９ｂに対応する各手摺り１１は当該支柱９ａ、９ｂに近接する。 On the other hand, when the robot 4 in the stocker 1 is in a normal state (usually in most situations), the elevator plate 12 is moved to the top and the handrail 11 is moved upward as shown in FIG. As a result, the connecting member 16 rotates upward, and the handrails 11 corresponding to the columns 9a and 9b of the ladder 9 come close to the columns 9a and 9b.

次に、ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３について、その具体的機構例を説明する。図７において、１３ａはリールで、前記ワイヤー１８の巻取り・繰出しを行う。１３ｂは歯車で、前記リール１３ａと一体的に回転するように当該リール１３ａに連結される。
１３ｃはウォーム歯車で前記歯車１３ｂと噛合い、ハンドル１３ｄの回転に伴って回転する。
この際、歯車１３ｂ及びウォーム歯車１３ｃは、各歯数の相違に応じた減速比での減速作用を行う。
これによって、はハンドル１３ｄによる回転速度は、前記歯車１３ｂと、ウォーム歯車１３ｃとの各歯数に応じて決まる減速比にて減速され、リール１３ａはハンドル１３ｄに加えられる力に比べて前記減速比に応じて大きな回転力を得る。 Next, a specific mechanism example of the wire winding and feeding operation mechanism 13 will be described. In FIG. 7, reference numeral 13 a denotes a reel that winds and feeds the wire 18. A gear 13b is connected to the reel 13a so as to rotate integrally with the reel 13a.
A worm gear 13c meshes with the gear 13b and rotates with the rotation of the handle 13d.
At this time, the gear 13b and the worm gear 13c perform a reduction action at a reduction ratio corresponding to the difference in the number of teeth.
As a result, the rotational speed of the handle 13d is decelerated at a reduction ratio determined in accordance with the number of teeth of the gear 13b and the worm gear 13c, and the reel 13a has the reduction ratio compared to the force applied to the handle 13d. A large rotational force is obtained according to

１３ｅはブレーキで、ウォーム歯車１３ｃに適度な制動力を与え、ハンドル１３ｄが逆回転するのを阻止する。これによりワイヤー１８の巻取り・繰出し作業でハンドル操作を誤った場合であってもハンドル１３ｄが自然の状態で逆回転しないように定められる。
なお、このブレーキ１３ｅは、ハンドル１３ｄを操作しない状態では当該ハンドル１３ｄをロックする適宜の周知手段に変更することもできる。 Reference numeral 13e denotes a brake that applies an appropriate braking force to the worm gear 13c and prevents the handle 13d from rotating in the reverse direction. Thus, even if the handle operation is mistaken in the winding / unwinding operation of the wire 18, it is determined that the handle 13d does not reversely rotate in a natural state.
The brake 13e can be changed to an appropriate well-known means for locking the handle 13d when the handle 13d is not operated.

前記図１〜図７の構成において、その作用について説明する。
先ず、ストッカー１内で稼動するロボット４が正常にＦＯＵＰ３を識別して、ＦＯＵＰ搬入ポート５に載置されたＦＯＵＰ３を所定の棚２への移載或いは所定の棚２から所定のＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ搬出ポート６への移載が適正に行われる状況下においては、定期的に行われるストッカー１の保守・点検を除き、人は扉１４を通じて出入りする余地がない。
このような、ストッカー１が正常に稼動している場合においては、昇降板１２は稼動の余地なく、図６に示されるように台車１７は手摺り１１の最上部にまで上昇させる。このための手段は、図７に示すワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３のハンドル１３ｄを手動にて作動させ、このハンドル１３ｂに直結されるウォーム歯車１３ｃと歯車１３ｂとの噛合いに伴う減速機構によりトルクを増幅し、リール１３ａにワイヤー１８を巻取ることよって達成される。 The operation of the configuration shown in FIGS. 1 to 7 will be described.
First, the robot 4 operating in the stocker 1 normally identifies the FOUP 3 and transfers the FOUP 3 placed in the FOUP carry-in port 5 to the predetermined shelf 2 or unloads the predetermined FOUP 3 from the predetermined shelf 2. Under the situation where the transfer to the port 6 is properly performed, there is no room for people to go in and out through the door 14 except for the regular maintenance and inspection of the stocker 1.
In such a case where the stocker 1 is operating normally, the elevating plate 12 has no room for operation, and the carriage 17 is raised to the top of the handrail 11 as shown in FIG. A means for this purpose is to manually operate the handle 13d of the wire winding / feeding operation mechanism 13 shown in FIG. 7, and to reduce the gear according to the meshing between the worm gear 13c and the gear 13b directly connected to the handle 13b. This is achieved by amplifying the torque and winding the wire 18 around the reel 13a.

この際、昇降板１２は台車１７の手摺り１１に沿って当該手摺り１１の最上部にまで上昇した後、図６に示すように手摺り１１を図示しない適宜の手段により上昇させ、連結部材１６を傾斜させることに伴って手摺り１１と梯子９の支柱９ａ、９ｂ（図６においては支柱９ｂのみが表れている）の間の間隔がないように適宜の手段による固定されている。
これによって、ストッカー１の正常稼動時には、手摺り１１の位置を梯子９の支柱９ａ、９ｂに近接させ、ストッカー１の周囲の作業面積を広く確保することができる。 At this time, the elevating plate 12 rises to the top of the handrail 11 along the handrail 11 of the carriage 17, and then raises the handrail 11 by an appropriate means (not shown) as shown in FIG. In accordance with the inclination of 16, it is fixed by appropriate means so that there is no space between the handrail 11 and the columns 9 a and 9 b of the ladder 9 (only the column 9 b appears in FIG. 6).
As a result, during normal operation of the stocker 1, the position of the handrail 11 can be brought close to the columns 9a and 9b of the ladder 9 to ensure a wide working area around the stocker 1.

さて、ストッカー１内において、ＦＯＵＰ搬入ポート５に載置されたＦＯＵＰ３を所定の棚２への移載或いは所定の棚２から所定のＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ搬出ポート６への移載などの荷役作業を担うロボット４が正常に稼動できなくなり、所定のＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ搬出ポート６に自動的に移送できなくなると、基本的には、ロボットの稼動再開を待つことになる。
しかし、ＦＯＵＰ３内に収納されているウエハは順次、必要な表面処理を受けるために
順次所定の表面処理を受けるステーションに移行させるに要する時間が長引くことになると、時間管理の必要な工程では、製品の歩留まりを著しく低下させる。またストッカー１内に収納されているＦＯＵＰ３の表面処理作業効率も低下し、ひいては、ストッカー１を含む工程内環状軌道８において、ＯＨＴ台車７によって搬送されるＦＯＵＰ３を含めて全体の表面処理の効率低下を来す。 Now, in the stocker 1, load handling operations such as transfer of the FOUP 3 placed in the FOUP carry-in port 5 to the predetermined shelf 2 or transfer of the predetermined FOUP 3 from the predetermined shelf 2 to the FOUP carry-out port 6 are performed. When the robot 4 cannot operate normally and the predetermined FOUP 3 cannot be automatically transferred to the FOUP carry-out port 6, basically, the operation of the robot is resumed.
However, the wafers stored in the FOUP 3 are sequentially subjected to the necessary surface treatment, so that it takes a long time to move to the station that receives the predetermined surface treatment. Significantly reduces the yield. Further, the surface treatment work efficiency of the FOUP 3 housed in the stocker 1 is also lowered, and consequently the overall surface treatment efficiency of the in-process annular track 8 including the stocker 1 including the FOUP 3 conveyed by the OHT carriage 7 is lowered. Come on.

このような弊害を改善するために、前記ロボット４が非稼動状況になった場合において、ストッカー１内の緊急取出し対象ＦＯＵＰ３は、作業者によって外部のステーションに移送される。
この間の工程は、次の通りである。
第一工程：
梯子９の支柱９ａ、９ｂと、手摺り１１の相対位置を図６に示す接近状態から連結部材１６の傾斜を図４に示すように水平状態とし、台車１７及び当該台車１７に固定される支持板１２が手摺り１１に沿って上下方向に移動可能とする。 In order to improve such an adverse effect, when the robot 4 is in a non-operating state, the emergency extraction target FOUP 3 in the stocker 1 is transferred to an external station by an operator.
The process during this time is as follows.
First step:
The relative positions of the columns 9a and 9b of the ladder 9 and the handrail 11 are changed from the approaching state shown in FIG. 6 to the horizontal state as shown in FIG. The plate 12 is movable in the vertical direction along the handrail 11.

第二工程：
台車１７及び当該台車１７に固定される昇降板１２の高さを、緊急取出しを要するＦＯＵＰ３の位置するベランダ状足場１５からＦＯＵＰ３を昇降板１２に載置するのに適する高さにワイヤーを巻取り、繰出し用操作機構１３のハンドル１３ｄを手動にて作動させる。
第三工程：
作業者が、緊急取出しを要するＦＯＵＰ３が属する扉１４からストッカー内に入り、該当するＦＯＵＰ３を対応するベランダ状足場１５に運び出す。 Second step:
The height of the carriage 17 and the lifting plate 12 fixed to the carriage 17 is wound up to a height suitable for placing the FOUP 3 on the lifting plate 12 from the veranda-like scaffold 15 where the FOUP 3 that requires emergency removal is located. Then, the handle 13d of the feeding operation mechanism 13 is manually operated.
Third step:
The operator enters the stocker from the door 14 to which the FOUP 3 requiring emergency removal belongs, and carries the FOUP 3 to the corresponding veranda-like scaffold 15.

第四工程：
ベランダ状足場１５において、待機している昇降板１２に、緊急取出しを要するＦＯＵＰ３を安定状態（ＦＯＵＰ底部に形成した凹部に昇降板の上部平面に位置して配置される突起１２ａに係合する状態）にて載置する。
第五工程：
ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３のハンドル１３ｄを手動にて作動させ、ＦＯＵＰ３をストッカー１の基礎となる地上レベルまで降下させる。
第６工程：
緊急取出しを要するＦＯＵＰ３を所望の表面処理を行うステーションあるいは工程内環状軌道にあるストッカー１に近接するステーションまで作業者が搬送する。 Fourth step:
In the veranda-like scaffolding 15, the FOUP 3 requiring urgent take-out is placed on the waiting lifting plate 12 in a stable state (a state in which it is engaged with a protrusion 12 a located on the upper plane of the lifting plate in a recess formed in the bottom of the FOUP ).
Fifth process:
The handle 13d of the wire winding and feeding operation mechanism 13 is manually operated, and the FOUP 3 is lowered to the ground level that is the basis of the stocker 1.
Step 6:
An operator transports the FOUP 3 that requires emergency removal to a station that performs a desired surface treatment or a station that is close to the stocker 1 in the in-process annular track.

なお、前記第１〜６の工程は、ストッカー１から緊急取出しを必要とするＦＯＵＰ３を外部に搬出する例を開示しているが、逆の工程において緊急にストッカー１内の棚２にロボット４の動作を伴うことなく、所定のＦＯＵＰ３を手動により所定の棚２に収納することもできる。
ところで、前記構成における梯子に沿って設けられる物品（ＦＯＵＰ他）３を手動にて昇降させる手段は、人が物品を所持した状態にて梯子９を昇降できる程度の物品（ＦＯＵＰ他）３の規模（大きさ、重量等）であれば設けるには及ばない。
この場合、前記工程4、５はなく、工程３から工程６に移行する。 In addition, although the said 1st-6th process has disclosed the example which carries out the FOUP3 which needs emergency removal from the stocker 1 outside, the robot 2 is urgently put on the shelf 2 in the stocker 1 in the reverse process. The predetermined FOUP 3 can be manually stored in the predetermined shelf 2 without any operation.
By the way, the means for manually raising and lowering the article (FOUP etc.) 3 provided along the ladder in the above configuration is the scale of the article (FOUP etc.) 3 that can raise and lower the ladder 9 while a person is holding the article. If it is (size, weight, etc.), it does not need to be provided.
In this case, the steps 4 and 5 are not performed, and the process proceeds from the step 3 to the step 6.

図８は、前述した図３とほぼ均等な作用を行う構成例を示しており、この図８において、
図３と均等な構成要素については同一符号を付し、その説明を省略する。図８において、３０はリニアガイド部材で、柱状をなし、梯子９の一方の支柱９ａに隣接して立設されている。そして、昇降板１２の図示しない係合子が前記リニアガイド部材３０に形成した凹条３０ａ案内され、昇降板１２を、水平状態を保ったまま上下に案内できる構成をなしている。 FIG. 8 shows an example of a configuration that performs substantially the same operation as FIG. 3 described above.
Constituent elements equivalent to those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. In FIG. 8, reference numeral 30 denotes a linear guide member, which has a columnar shape and is erected adjacent to one of the columns 9 a of the ladder 9. An engaging element (not shown) of the elevating plate 12 is guided by the recess 30a formed in the linear guide member 30, and the elevating plate 12 can be guided up and down while maintaining a horizontal state.

２８はワイヤーで、前記昇降板１２のリニアガイド部材３０に形成したに凹条３０ａに案内されて、その先端部は昇降板１２の係合子に固定される。２９は第１の滑車で、前記ワイヤー２８の方向転換作用をなすために設けられ、適宜の手段によってリニアガイド部材３０及びこれと隣接する梯子９の支柱９ａの上部に位置して設けられる。
１３ｘは第２の滑車で、ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構１３から外部に繰出し又は巻き取られるワイヤー２８がリニアガイド部材３０の凹条３０ａの長手方向に並行になるように規制している。 Reference numeral 28 denotes a wire, which is guided by the concave line 30a formed in the linear guide member 30 of the elevating plate 12, and its tip end is fixed to the engaging element of the elevating plate 12. A first pulley 29 is provided to change the direction of the wire 28, and is provided at an upper portion of the linear guide member 30 and the column 9a of the ladder 9 adjacent thereto by an appropriate means.
Reference numeral 13x denotes a second pulley that restricts the wire 28 that is fed or wound outward from the wire winding / feeding operation mechanism 13 in parallel with the longitudinal direction of the recess 30a of the linear guide member 30.

本発明が適用されるストッカーの平面図である。It is a top view of a stocker to which the present invention is applied. 本発明が適用されるストッカーの正面図である。It is a front view of a stocker to which the present invention is applied. ストッカーに設けた物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す正面図である。It is a front view which shows the raising / lowering mechanism of the articles | goods (FOUP) provided in the stocker. 図３の部分側面図である。FIG. 4 is a partial side view of FIG. 3. 図３の部分平面図である。FIG. 4 is a partial plan view of FIG. 3. 昇降機構の折り畳み状態の要部を示す側面図である。It is a side view which shows the principal part of the folding state of an raising / lowering mechanism. 昇降機構の手動操作機構の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the manual operation mechanism of an raising / lowering mechanism. 他の実施例を示す物品（ＦＯＵＰ）の昇降機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the raising / lowering mechanism of the articles | goods (FOUP) which shows another Example.

Explanation of symbols

１・・・・・・・・・・ストッカー
２・・・・・・・・・・棚
３・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ
４・・・・・・・・・・ロボット
５・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ搬入ポート
６・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ搬出ポート
７・・・・・・・・・・ＯＨＴ台車
８・・・・・・・・・・ＯＨＴ台車走行経路
９・・・・・・・・・・梯子
９ａ、９ｂ・・・・・・梯子用支柱
９ｃ・・・・・・・・・梯子用水平部材
１１・・・・・・・・・手摺り
１２・・・・・・・・・載置台
１３・・・・・・・・・ワイヤー巻取り、繰出し用操作機構
１４・・・・・・・・・扉
１５・・・・・・・・・ベランダ状足場
１６・・・・・・・・・連結部材
１８、２８・・・・・・ワイヤー
３０・・・・・・・・・リニアガイド部材
１７・・・・・・・・・台車 1 ... Stocker 2 ... Shelf 3 ... FOUP
4 ... Robot 5 ... FOUP carry-in port 6 ... FOUP carry-out port 7 ... · OHT cart 8 ··· OHT cart travel route 9 · · · Ladder 9a, 9b · · · ladder support 9c · · · · .. Ladder horizontal member 11... Handrail 12... Mounting table 13... Wire winding and feeding operation mechanism 14. ... door 15 ... veranda-like scaffold 16 ... connecting members 18, 28 ... wire 30 ... .... Linear guide member 17 ... Carriage

Claims

A number of shelves for storing articles conveyed by a conveyance cart traveling along a predetermined conveyance path, an article carry-in port, an article carry-out port, and exchange of articles among the shelves, the article carry-in port and the article carry-out port In a stocker consisting of a robot responsible for transport and having a multi-stage configuration,
And respectively provided worker can and out a maintenance door for each predetermined number of stages in the multi-stage configuration, a veranda-like scaffold positioned outside of the second or more doors than at least the lower, the linkable position in the scaffold A ladder erected vertically , and means for manually raising and lowering the article along the ladder ,
The means for manually raising and lowering the article includes a handrail arranged in parallel with the ladder, a cart guided in the vertical direction along the handrail, and a lift supported by the cart and placing the article A plate, a wire for fixing one end of the lift plate, a wire for moving the lift plate up and down, a handle for taking up the other end of the wire, feeding and locking, and preventing the winding and feeding, The stocker is characterized in that the article can be transported between the veranda-like scaffold and the basic level of the stocker.

The stocker according to claim 1 , wherein the article is a container that removably accommodates a wafer to be surface-treated.

Folding between the ladder and the handrail between the ladder and the handrail only when the lift plate is in operation, so that the necessary distance for raising and lowering the lift plate is provided between the ladder and the handrail. a connecting member having a function, the lower end of the handrail during the elevating plate production is according to claim 1 or claim 2, characterized in that so as to abut against the base face stocker through the stopper Stocker.