JP4723982B2 - プラズマディスプレイパネルとその製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、(100)面配向の保護膜であっても実際には、単一な面配向のみで構成されておらず幾種類かの面配向が混在した状態となってしまうことが多いので、PDPの駆動時間が長くなると、その耐久性の低い領域では、他の領域よりも放電特性の劣化が著しく、部分的に点灯不良などを招いてしまう。
本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであって、簡易な方法によって成膜され、且つ、安定した放電特性を有する保護膜を備えたPDPを提供することを目的とする。
本発明に係るPDPの保護層は、第1パネルおよび第2パネルがギャップ材を介して対向配置され、前記第1パネルおよび第2パネルの一方には複数の電極が列設されるとともに、当該複数の電極を覆うように誘電体層、保護層とが順に積層されたプラズマディスプレイパネルのであって、前記保護層は2層で構成されており、誘電体層に接している第1層はMg1-xAxO固溶体であって、Na-Cl型結晶構造を有し、(100)面に配向しており、且つ、第1層上に積層された第2層は、MgOを主成分とする酸化物で構成されていることを特徴としている。この前記第1層により、その上のMgOを主成分とする第2層がNa−Cl型結晶構造の(100)面の配向性に優れ、そのため、水分等の不純物の吸着が、従来に比べ低減され、放電特性が安定する。
本願のような上記2層構造ではなく、上記Mg1-xAxO固溶体1層で保護層を形成した場合は、(100)面の配向性に優れ、不純物吸着は減少するものの、A元素を含まないMgOに比べ、A元素の添加により、結晶欠陥が増大し、放電特性が悪化する。本発明の2層構造では、放電に係る上層のMgOは下層のMg1-xAxO固溶体の配向性を引き継ぎ、吸着量が少なく且つ、下層のような添加物を含まないため、放電特性の劣化もない。
前記第1層のA元素としては、具体的にはZn、Sr、Baもしくはこれらから複数選んだものを用いることができる。これらの元素はMgと同じく2価の元素であり、且つMgに比べて酸化性が低い。このためMg1-xAxO固溶体の形成時に、MgOのMgの位置に置換されやすい。また、形成途中で、AのまわりにMgとの酸化性の強弱の関係で酸素欠損ができやすく、そのため、Mgのマイグレーションを促進する。この結果、Mg1-xAxO固溶体層は、Na-Cl型構造として、最稠密充填面である(100)面に単一配向易くなると考えられる。また、第2層を(100)に配向させるためには、前記A元素の比率(x)が0.05以上であることが望ましい。また、A元素の比率が0.3を超えると、Na-Cl型構造以外の結晶層が出現するため、A元素の比率が0.3以下であることが望ましい。また、第1層の膜厚としては、十分な(100)面への配向性を有する必要があるため、10nm以上であることが望ましい。また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第1パネルおよび第2パネルがギャップ材を介して対向配置され、前記第1パネルおよび第2パネルの一方には複数の電極が列設されるとともに、当該複数の電極を覆うように誘電体層、保護層とが順に積層されたプラズマディスプレイパネルの保護層の製造方法であって、保護膜の形成工程が、前記誘電体層上にであって、Na-Cl型結晶構造を有し、(100)配向している、Mg1-xAxO固溶体層を保護層第1層として形成するステップと、前記保護層第1層上に保護層第2層として、MgOを主成分とする酸化物層を形成するステップとを有することを特徴としている。上記形成法では、第1層の上に第2層をエピタキシャル成長させるために、第1層および第2層の形成工程を、大気開放しないで連続に行うようにすることが望ましい。
さらに、上記構成の実現により保護膜における面配向の制御を容易、且つ、確実に行うことができるので、1つの保護膜の中での面内バラツキの防止だけでなく、複数の保護膜を形成する場合に各保護膜における面配向のバラツキをも制御することができる。結果、複数のの保護膜における放電特性、及びその経時的劣化を安定化させることができる。
(全体構成)
図1(a)は、本実施の形態におけるPDP100の展開斜視図、図1(b)はPDP100における前面基板10のXZ断面図である。PDP100は、前面パネル10と背面パネル20とが対向して接着密閉されてなり、後述する駆動回路が備えられて、画像表示可能な形態、即ち、プラズマディスプレイパネル装置(以下、「PDP装置」と記す。)となる。
(1)前面パネル10
前面パネル10は、前面基板11に表示電極対12が配設され、表示電極対12を覆うようにして誘電体層13、さらに保護膜14が順次積層されてなる。
(2)背面パネル20
背面パネル20は、背面基板21にデータ電極22が配設され、それらを覆うようにして誘電体層23が形成され、さらに所定の高さを有する隔壁が形成され、上記誘電体層23の上面(Z方向正方向側)と隔壁24の側面には蛍光体層25が形成されている。
誘電体層23は、主にPb-B系の低融点ガラスからなり、隔壁24がその上にストライプ状に形成されており、隔壁24間の内側、及び隔壁24に挟まれる誘電体層23の表面上には赤色、緑色、青色の蛍光体層25が順次塗布されている。
(3)放電空間30
放電空間30は、前面パネル10と背面パネル20が、封着材(不図示)によって封着されることで構成される。当該放電空間30内は、高真空状態となるように排気された後に、ネオンとキセノンを有する混合ガスが放電ガスとして充填される。
(保護膜14の構成について)
図1(b)を用いて、保護膜14の具体的な構成について説明する。図示されるように、保護膜14は、前面基板11から順に、Mg0.9Zn0.1Oを主成分とし、誘電体層23上に積層されてなる第1層141と、さらにその上にMgOを主成分として積層されてなる第2層142とからなる。
(PDP装置の構成)
次に、上記PDP100とともに接続されてPDP装置300を構成するPDP駆動装置200、及びそれらを用いてPDP100へ画像を表示する手順について図2を用いて説明する。なお、図2は、PDP100に各駆動装置が接続された状態を示すPDP装置300の模式図である。
(保護膜14の製造方法)
次に、本実施形態に係る保護膜14の形成方法について図3を用いて説明する。図3は、当該形成方法を示す前面パネル10の概略断面工程図である。
この誘電体層13上に真空蒸着法、例えばEB蒸着法を用いて、図3(b)のようにMg0.9Zn0.1Oを約50nmの厚さとなるまで付着させて第1層141を形成する。なお、このときMg0.9Zn0.1Oは、(100)面に単一に配向している状態である(第1層形成サブステップ)。
XRD回折図を示す。図から明らかなように従来の保護膜が全体的に回折強度が弱く、且つ、面方位が一定してないのに対して、本発明の保護膜14は(100)に強く配向しており、且つ強度も強いことがわかる。
(本実施形態の優位性)
以下では、本実施形態に係る保護膜14を備えたPDP100を利用した際に得られる有効性について説明する。
当該有効性について図5を用いて説明する。図5は、本実施形態の保護膜14を利用したPDP100(以下、「実施例」と記す。)と(111)面配向している保護膜を利用したPDP(以下、「従来例」と記す。)とにおいて、駆動電圧の初期値とその駆動時間に対する駆動電圧の変動を示したグラフである。
このような効果が得られるのは、実施例における保護膜14のうち、Mg0.9Zn0.1Oを主成分とする第1層141がその面内において、単一に(100)面配向しているので、それを種層として積層方向に結晶成長してなる第2層142も(100)面で単一配向していることに起因する。つまり、放電空間30を臨む第2層142は、不純物吸着抑制機能の高い(100)面配向を維持したまま積層方向に伸びた柱状結晶からなる。これにより、例えば、(111)面に配向している保護膜や様々な面配向が混在している保護膜と比較して、不純物吸着による放電特性の劣化が抑制される。また、保護膜14がスパッタなどで少しずつ削られたとしても、本実施形態に係る保護膜14は表面だけでなく内部においても(100)面配向を維持しているため、不純物吸着によって経時的に放電特性が大きく劣化するような事態を回避でき、駆動電圧の上昇を防ぐことができる。
(その他の事項)
本発明に係るPDP装置の構成及びその製造方法に関しては、上記内容に限定するものではない。
11 前面基板
12 表示電極対
13 誘電体層
14 保護膜
20 背面パネル
21 背面基板
22 データ電極
23 誘電体層
24 隔壁
25 蛍光体層
100 PDP
121 スキャン電極
122 サステイン電極
121a、122a 透明電極
121b、122b バス電極
141 第1層
142 第2層
Claims (5)
- 放電空間を挟んで対向配置された2枚の基板を有し、一方の基板における前記放電空間を臨む領域に保護膜が形成されているプラズマディスプレイパネルであって、
前記保護膜は、基板側から順に、Mg 1−x A x O層(AはMg及びO以外の元素、0<x<1)と、MgO層とが積層されてなり、
前記Mg 1−x A x O層は、主として(100)面に配向したNa-Cl型結晶構造を有し、且つ、A元素はZn、Sr、Baもしくはこれらの元素から選択的に組み合わされたものであり、前記MgO層は、前記Mg 1−x A x O層と同一の面配向を有するプラズマディスプレイパネル。 - 前記Mg 1−x A x O層におけるA元素の組成率xが0.05以上0.3以下である
請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 前記Mg 1−x A x O層の厚みが10nm以上である
請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネル。 - 放電空間を挟んで対向配置する2枚の基板のうち、一方の基板に前記放電空間を臨む保護膜を形成するステップを含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記保護膜の形成ステップでは、
Mg 1−x A x O層(AはMg及びO以外の元素、0<x<1)を形成するMg 1−x A x O層形成サブステップと、
前記Mg 1−x A x O層形成ステップの後に、前記Mg 1−x A x O層を種層として結晶成長させてMgO層を形成するMgO層形成サブステップとを含んでなり、
前記Mg 1−x A x O層は、(100)面に配向したNa-Cl型結晶構造を形成させ、且つ、A元素はZn、Sr、Baもしくはこれらの元素から選択的に組み合わされたものであるプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 前記Mg 1−x A x O層形成サブステップから前記MgO層形成サブステップにかけて減圧下もしくは減圧ガス雰囲気中を維持する
請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005333090A JP4723982B2 (ja) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005333090A JP4723982B2 (ja) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007141618A JP2007141618A (ja) | 2007-06-07 |
JP4723982B2 true JP4723982B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=38204247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005333090A Expired - Fee Related JP4723982B2 (ja) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4723982B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100988362B1 (ko) * | 2008-10-10 | 2010-10-19 | (주)씨앤켐 | 피디피용 저전압 보호막 재료 및 그 제조방법 |
JP2016132690A (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-25 | スタンレー電気株式会社 | 紫外光源 |
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JPH08287833A (ja) * | 1995-04-11 | 1996-11-01 | Nec Corp | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JPH0995627A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shinto Paint Co Ltd | 金属酸化物薄膜形成用コーティング剤 |
JP2000331601A (ja) * | 1999-05-20 | 2000-11-30 | Mitsubishi Materials Corp | Fpd用保護膜の製造方法及びそのfpd用保護膜並びにこれを用いたfpd |
JP2002150953A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-05-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法ならびにプラズマディスプレイパネル表示装置 |
JP2002352730A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
-
2005
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JP2002352730A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007141618A (ja) | 2007-06-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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