JP4712292B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Symposium on VLSI Technology Digest of Technology Papers, S.J.Lee et al., p64, 2002
11 非晶質のSixNyによって形成されたバッファ層
12 結晶質のシリコン窒化膜
13 アニール後の結晶質Si3N4膜
14 非晶質のSixNyによるバッファ層
15 窒化物系高誘電率膜
16 バッファ層
17 窒化メタル膜
20、21 低濃度ドープ領域
Claims (17)
- MIS構造トランジスタのゲート絶縁膜の少なくとも一部を構成するシリコン窒化膜を備えた半導体装置において、前記シリコン窒化膜は非晶質のシリコン窒化膜を用いてシリコン基板上に形成された部分を含み、前記非晶質のシリコン窒化膜は再結晶化されており、前記シリコン基板と前記シリコン窒化膜との間の界面層膜中にSi−H結合が存在しないことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1において、前記ゲート絶縁膜は高誘電率膜を含む積層型ゲート絶縁膜であり、前記シリコン窒化膜は前記高誘電率膜の下地界面層として設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項2において、前記高誘電率膜は酸素を含まない窒化物から生成されたものであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項3において、前記ゲート絶縁膜は前記高誘電率膜上に形成された窒化物系絶縁膜を有していることを特徴とする半導体装置。
- 請求項4において、前記窒化物系絶縁膜上には、導電材料によって構成されたゲート電極が設けられていることを特徴とする半導体装置。
- MIS構造トランジスタのゲート絶縁膜の少なくとも一部を構成するシリコン窒化膜を含む半導体装置において、前記シリコン窒化膜はシリコン基板上に形成された非晶質のシリコン窒化膜を再結晶化させて形成され、前記シリコン基板と前記シリコン窒化膜との間の界面層膜中にSi−H結合が存在せず、前記ゲート絶縁膜はプールフレンケル(Poole−Frenkel)電流によって支配されるようなリーク電流伝導機構を有していることを特徴とする半導体装置。
- MIS構造トランジスタのゲート絶縁膜として、シリコン基板上に形成された非晶質のバッファ層Si x N y 膜を再結晶化させたSi3N4膜と、当該Si3N4膜上に形成された窒化物系高誘電率膜と、当該窒化物系高誘電率膜上に形成された非晶質のバッファ層SixNy膜を再結晶化させたSi3N4膜とを有する積層構造を有し、前記シリコン基板と前記Si3N4膜との間の界面層膜中にSi−H結合が存在しないことを特徴とする半導体装置。
- 請求項7において、前記窒化物系高誘電率膜上のSi 3 N 4 膜の上に形成された窒化メタル膜を有していることを特徴とする半導体装置。
- 請求項8において形成された積層膜全体に水素ラジカルイオン照射による熱処理が行われたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1において、前記シリコン基板の面方位として(110)面あるいは(100)面から4°以下傾いたシリコン基板表面を用いることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1において、前記シリコン窒化膜は、SixNy層のN組成を膜厚とともに徐々に増加させた組成傾斜層を有することを特徴とする半導体装置。
- MIS構造トランジスタのゲート絶縁膜の少なくとも一部を構成するシリコン窒化膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法において、前記シリコン窒化膜を形成する工程に、非晶質のシリコン窒化物からなるバッファ層を形成する工程と、当該バッファ層を結晶質のシリコン窒化膜にする工程とを含んでいることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項12において、前記バッファ層を結晶質のシリコン窒化膜にする工程は、前記バッファ層の下部に、表面膜を形成する工程と、前記バッファ層及び前記表面膜を前記結晶質のシリコン窒化膜にする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- シリコン基板表面にMIS構造トランジスタのゲート絶縁膜を形成する工程は、室温又は100℃以下の低温で非晶質のSixNy膜を1nm以下形成する第1の工程と、前記非晶質SixNy膜の下部に500℃以下の低温で電荷を持たない中性の窒素又はNHラジカルイオンによるSi3N4窒化薄膜を形成する第2の工程を連続して有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14において、前記Si 3 N 4 窒化薄膜及び非晶質Si x N y 膜を再構成されたSi 3 N 4 膜とする第3の工程と、前記再構成されたSi3N4膜上に非晶質のSixNy膜を1nm以下形成する第4の工程と、前記非晶質SixNy膜上に500℃以下の低温で窒化物系高誘電率膜を形成する第5の工程を連続して有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14において、前記前記窒化物系高誘電率膜上に、更に、非晶質のSixNy膜を1nm以下形成する第6の工程と、前記非晶質SixNy膜を窒素ガス雰囲気の500℃以下の低温で再結晶化熱処理又は、500℃以下の低温で電荷を持たない中性の窒素ラジカルイオンのイオン照射による再結晶化アニール処理をする第7の工程を連続して有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項14から16のいずれかにおいて形成された積層膜全体に水素ラジカルイオンを照射する処理を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003310087A JP4712292B2 (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003310087A JP4712292B2 (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005079445A JP2005079445A (ja) | 2005-03-24 |
JP4712292B2 true JP4712292B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=34412058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003310087A Expired - Fee Related JP4712292B2 (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4712292B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4408787B2 (ja) * | 2004-10-19 | 2010-02-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 絶縁膜及びその製造方法、並びに絶縁膜を備えた電子デバイス |
WO2012165263A1 (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲート絶縁膜の形成方法およびゲート絶縁膜の形成装置 |
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-
2003
- 2003-09-02 JP JP2003310087A patent/JP4712292B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005079445A (ja) | 2005-03-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061011 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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