JP4711871B2 - Lcd配向膜印刷用スタンパー製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Description
LCD配向膜印刷用スタンパー製造装置1は、ベースフィルム3、液状UV感光性樹脂S、カバーフィルム5、及びイメージフィルム7を積層する積層部10と、得られた積層体100にベースフィルム3側からUV光を照射するベース露光部20と、ベースフィルム3とイメージフィルム7との間隔を調節する厚さ調節部30と、積層体100にイメージフィルム7側からUV光を照射するパターン露光部40と、積層体100を積層部10からパターン露光部40を経て完成品排出部51まで移送する手段50とを有する。
上記構成を有するLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置1を用いたスタンパー100aの製造方法を、図9及び図10〜図15を参照して詳細に説明する。スタンパー100aの製造方法は、ベースフィルム3、液状UV感光性樹脂S、カバーフィルム5及びイメージフィルム7を積層する積層工程(S01)と、液状UV感光性樹脂Sの下部領域を硬化させてベースフィルム3に固定させるベース硬化工程(S02)と、積層体100の厚さをスタンパー100aの目標厚さに対応するように調節する厚さ調節工程(S03)と、UV感光性樹脂Sのイメージフィルム7の透光部7aに対応する部分を硬化させるパターン硬化工程(S04)と、液状UV感光性樹脂Sの非硬化部を洗い流す洗浄工程(S05)とを有する。
5・・・カバーフィルム
7・・・イメージフィルム
10・・・積層部
20・・・ベース露光部
30・・・厚さ調節部
31・・・厚さ調節部材
33・・・間隔調節装置
40・・・パターン露光部
50・・・移送手段
100・・・積層体
100a・・・スタンパー
Claims (12)
- LCD配向膜印刷用スタンパーの製造装置であって、上流から順に、(a) ベースフィルム、液状感光性樹脂、カバーフィルム及びイメージフィルムを積層する積層部と、(b) 得られた積層体に前記ベースフィルム側からUV光を照射するベース露光部と、(c) 前記ベースフィルムと前記イメージフィルムとの間隔を調節する厚さ調節部と、(d) 前記積層体に前記イメージフィルム側からUV光を照射するパターン露光部とを具備し、前記積層体は移送手段により前記各部を通るように連続的に移送されることを特徴とするLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置。
- 請求項1に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記ベース露光部は、前記ベースフィルムが水平に移送されるように固定された所定の平坦度を有する透明なベースガラス板と、前記ベースガラス板及び前記ベースフィルムを介して前記感光性樹脂の下部領域にUV光を照射するベースUV照射装置とを有することを特徴とする装置。
- 請求項1又は2に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記厚さ調節部は、前記ベースフィルムの下面及び前記イメージフィルムの上面にそれぞれ接触する少なくとも一対の厚さ調節部材と、前記厚さ調節部材の間隔をスタンパーの目標厚さに対応するように調節する間隔調節装置とを有することを特徴とする装置。
- 請求項3に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記厚さ調節部材は棒状であり、少なくとも前記ベースフィルム及び前記イメージフィルムに接触する部分が曲面状であることを特徴とする装置。
- 請求項3又は4に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記間隔調節装置は前記厚さ調節部材を支持する支持部を具備し、前記支持部はラック&ピニオン構造又は上下スライド構造を有し、μmオーダーの精度で上下に調節可能であることを特徴とする装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記パターン露光部は、パターンガラス板と、前記パターンガラス板を介して前記イメージフィルムにUV光を照射するパターンUV照射装置と、スタンパーの目標厚さに対応するように前記パターンガラス板から離隔している厚さ補正ベースと、前記厚さ補正ベースの平坦度を調節する平坦度調節手段とを有することを特徴とする装置。
- 請求項6に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記平坦度調節手段は、前記厚さ補正ベースの下面全体に接し、複数の縦孔が穿設された固定ベースと、各孔に昇降可能に嵌合する微細調節ボルトとを具備することを特徴とする装置。
- 請求項6に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記パターン露光部は、前記厚さ補正ベース及び前記パターンガラス板の少なくとも一方に設けられた複数の吸着孔と、前記吸着孔から空気を吸引する吸引装置とを有することを特徴とする装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記移送手段は、前記パターン露光部の下流に設けられ、前記カバーフィルムを巻き取る巻き取りロールと、前記巻き取りロールを巻取方向に回転させるモータとを有することを特徴とする装置。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記ベースフィルム及び前記イメージフィルムの先端部を前記カバーフィルムに付着させることを特徴とする装置。
- LCD配向膜印刷用スタンパーの製造装置であって、上流から順に、(a) ベースフィルム、液状感光性樹脂、カバーフィルム及びイメージフィルムを積層する積層部と、(b) 得られた積層体に前記ベースフィルム側からUV光を照射するベース露光部と、(c) 前記ベースフィルムと前記イメージフィルムとの間隔を調節する厚さ調節部と、(d) 前記積層体に前記イメージフィルム側からUV光を照射するパターン露光部とを具備し、さらに前記積層体を前記各部を通るように連続的に移送する手段を有し、前記厚さ調節部は、前記ベースフィルムの下面及び前記イメージフィルムの上面にそれぞれ接触する少なくとも一対の厚さ調節部材と、前記厚さ調節部材の間隔をスタンパーの目標厚さに対応するように調節する間隔調節装置とを有し、前記厚さ調節部材は棒状であり、少なくとも前記ベースフィルム及び前記イメージフィルムに接触する部分が曲面状であり、前記間隔調節装置は前記厚さ調節部材を支持する支持部を具備し、前記支持部はラック&ピニオン構造又は上下スライド構造を有し、μmオーダーの精度で上下に調節可能であり、前記パターン露光部は、パターンガラス板と、前記パターンガラス板を介して前記イメージフィルムにUV光を照射するパターンUV照射装置と、スタンパーの目標厚さに対応するように前記パターンガラス板から離隔している厚さ補正ベースと、前記厚さ補正ベースの平坦度を調節する平坦度調節手段とを有し、前記平坦度調節手段は、前記厚さ補正ベースの下面全体に接し、複数の縦孔が穿設された固定ベースと、各孔に昇降可能に嵌合する微細調節ボルトとを具備し、前記パターン露光部は、前記厚さ補正ベース及び前記パターンガラス板の少なくとも一方に設けられた複数の吸着孔と、前記吸着孔から空気を吸引する吸引装置とを有し、前記移送手段は、前記パターン露光部の下流に設けられ、前記カバーフィルムを巻き取る巻き取りロールと、前記巻き取りロールを巻取方向に回転させるモータとを有し、前記ベースフィルム及び前記イメージフィルムの先端部を前記カバーフィルムに付着させることを特徴とするLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置。
- 請求項11に記載のLCD配向膜印刷用スタンパー製造装置において、前記ベース露光部は、前記ベースフィルムが水平に移送されるように固定された所定の平坦度を有する透明なベースガラス板と、前記ベースガラス板及び前記ベースフィルムを介して前記感光性樹脂の下部領域にUV光を照射するベースUV照射装置とを有することを特徴とする装置。
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