JP4710054B2 - Manufacturing method and manufacturing apparatus for heat sink for electronic device - Google Patents
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- B21D43/02—Advancing work in relation to the stroke of the die or tool
- B21D43/021—Control or correction devices in association with moving strips
- B21D43/023—Centering devices, e.g. edge guiding
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子機器用放熱板の製造方法及び製造装置、特に、パワー半導体モジュールやICパッケージのCuおよびCu基合金からなる放熱板を、複数のステージを備えた順送金型により加工して製造する方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
パワー半導体モジュールは、半導体素子、銅パターン、絶縁基板、導体層、放熱板より構成される半導体装置であり、エアコン、洗濯機等の家電製品や、自動車、産業用機器に広く使用されている。これらパワー半導体モジュールから発熱する熱を効率良く放散する必要があるため熱伝導性に優れているとともに、コスト面から安価である放熱板が求められており、CuおよびCu基合金が広く用いられている。パワー半導体モジュールの放熱板は、その基板とはんだ接合する場合、はんだが凝固したとき、絶縁基板と放熱板の熱膨張係数の差によって放熱板に反りが発生するが、その後時間経過と共にはんだのクリープによって徐々に復元していく。はんだ凝固時の反り量は放熱板に使用される材料の0.2%耐力、耐熱性や基板の大きさ、加熱条件に対応する。放熱板はさらに冷却フィンなどに放熱グリースを介し取り付けられるが、この際冷却フィンとの接触面積が大きいことが、放熱性を妨げないために重要となる。そこで放熱板には前記基板を半田付け接合後の平坦性を得るために、反りの復元量を考慮して、これを相殺できるような所定量の反りを予め付すようにしている。
【0003】
パワー半導体モジュールに多く使用されている板厚0.5〜6mmの放熱板の製造工程においては一般に、板材料から単発プレスで一旦製品を打ち抜き、その後別工程でレベラーや反り付け金型を備えたプレス機に通し、製品に必要な反りを付与する。板材から製品をプレスする場合、板材は事前にハンドリングしやすい大きさにシャーリングされる。この際材料が受ける歪や内部応力によりプレス後の製品形状に影響が出やすいため場合によってはプレス前にもレベラーを通す必要が生じていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように製造の際、工程が多く品質も安定しにくいことから生産性、コスト面で大きな問題となっていた。具体的な課題は以下の通りである。
【0005】
1)被加工材料の自重により順送金型内で移送する時に、製品に金型との接触キズが発生する。
【0006】
2)プレス装置・工程と反り付け装置・工程が別であり、製造コスト増加の原因である。
【0007】
3)プレスされた被加工材料は、板材から切り離されるため、金型内に反り付け金型を組み込んでも、その搬送、位置決めが困難で、被加工材料に所定量の反り付けができない。
【0008】
4)シャーリングされた板は、歪みや内部応力の影響が大きく反り付けが安定してできない。
【0009】
5)金型に反り付け装置を組み込むと、被加工材(製品)によって異なる反り付け量の調整に対応することが困難である。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子機器用放熱板の製造方法は、複数のステージを備えた順送金型内に、厚さ0.5〜6mmの放熱板用の被加工材料を順次移送し所定の加工を施す順送加工法であって、前記複数のステージは反りつけの前に被加工材料の幅方向を製品寸法にサイドカットするステージと、製品セパレートステージと、反り付けステージを有し、被加工材料を順送する際、金型に設けられた被加工材料を支持するガイドにより、被加工材料を下金型より浮かせ、前記製品セパレートステージにおいて前記被加工材料から分離した後の製品が、前記反り付けステージの反り付け金型部上に送られる際、前記製品は後続の前記被加工材料によって反り付けステージに押し進められ、製品のサイドからブレーキをかける構造の製品ストッパにより所定の位置で停止され、前記金型内で製品に必要な反りを付与することを特徴とする。
【0011】
上記支持ガイドは、被加工材料のエッジ部分のみと接触することを特徴とする。
【0015】
本発明の電子機器用放熱板の製造装置は、複数のステージを備えた順送金型と、前記複数のステージは反りつけの前に厚さ0.5〜6mmの放熱板用の被加工材料の幅方向を製品寸法にサイドカットするステージと、製品セパレートステージと、反り付けステージを有し、この順送金型内に、順次移送される被加工材料を前記順送金型内の下金型より浮かせて支持するガイドと、前記順送金型の前記製品セパレートステージにおいて前記被加工材料から製品を分離する手段と、前記製品に必要な反りを前記順送金型内で付与する反り付け金型部と、前記製品が後続の前記被加工材料によって前記反り付け金型部上に送られる際、これを製品のサイドからブレーキをかける構造の所定の位置に停止するための手段とより成ることを特徴とする。
【0016】
金型内で製品に必要な反りを付与するための反り付け金型部は、順送金型全体をプレス機から取り外すことなく単独で交換可能なことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下図面によって本発明の実施例を詳しく説明する。
【0018】
図において1はパイロットピアス及び製品ピアスの穿設用ステージ、2はアイドルステージ、3はサイドカットステージ、4はアイドルステージ、5は刻印付与ステージ、6は製品セパレートステージ、7は反り付けステージ、8はガイド、9はストリッパプレート、10はピアス用パンチ、11はサイドカット用パンチ、12は上反り付け駒、13は下反り付け駒、14は押し付け圧調整ボルト、15は製品ストッパー、16は製品、17は製品ガイド、18は金型、18aは下金型、18bは上金型、19は材料を示す。
【0019】
図8に本発明による順送金型を使用した放熱板製造ラインの構成例を示す。フープで供給された材料19は巻きぐせがついており、しかもフープの内、外のアールの違いにより長手方向で反りが異なる。これをこのままプレス、反り付けを行ったとしても安定した製品の反りは得られない。安定した製品の反りを得るためにはプレス前の材料の反りがフラットであることが望ましい。
【0020】
本発明はCuおよびCu基合金からなるパワーモジュール用として多く使用されている板厚0.5〜6mmの放熱板の製造において、シャーリングされた板に比べ歪や内部応力の影響が少ないフープ材を使用し順送加工化するとともに、順送金型内で反り付けまでを同時に行い、生産性の向上、品質の安定化を図ったものである。被加工材料(フープ材)19は図8に示す通り、レベラー20及び順送装置21を介して、巻きぐせをとった状態で順送金型22に送る。
【0021】
金型22内において順送の際、被加工材料19の自重により発生しやすい金型との接触キズ等を、順送時に被加工材料19を下金型18aから浮かせて支持可能なガイド8を備えることで抑えることが可能である。図2A,図2Bにガイド8の動作を示す。ガイド8は下金型18a内に組み込まれているスプリング(図示せず)により通常は図4に示すように上昇位置にあり、プレス時にはストリッパプレート9に押され材料19とともに下降する。この際ガイド8は図2Aに示すように材料19と下金型18aに干渉しない位置で停止するよう、ストリッパプレート9に溝がつけられている。順送時には図2Bに示すようにストリッパプレート9の上昇に伴い、ガイド8も材料19とともに上昇し、下金型18aと材料19は接触しない状態で順送される。
【0022】
本発明においては図1A,図1B、図7において金型18内に搬送されてきた材料19はステージ1で、パンチ10および図示されていない同様のパンチにより、パイロットピアス10aおよび製品ピアス10bを穿設する。パイロットピアスは材料の位置決め及び順送金型内を等ピッチで移送するため材料中央付近に設けた2つの孔であり、この部分はステージ6においてカットされ製品にはならない。製品ピアスは製品となったパワー半導体モジュールをネジ留めする際必要な両端の孔である。ステージ2はアイドルステージである。
【0023】
次に、ステージ3でパンチ11により材料の幅方向を製品寸法にサイドカットする。ステージ4はアイドルステージである。
【0024】
次に、ステージ5で製品識別のための刻印が付与される。これは製品仕様にもより、必ずしも必要なものではない。刻印部のみ交換可能な構造とし、様々な仕様に対応可能としている。
【0025】
即ち、これらステージを材料19が順送される際はガイド8によってサイド部が保持され、図2A,図2B,図3A及び図3Bに示すように材料表面は金型18にもガイド8にも接触しない状態で送られる。ガイド8は図4に示すように金型18内に設置されたスプリングにより材料19を下金型18aから約1mm浮かせるように設定している。しかしこれは決まった数値ではなく、材料19の供給状態の違い等により調整が必要な場合には、ガイド8は上下2分割されボルトで連結している構造のため、この隙間調整により変更可能である。また万一順送トラブルが発生した場合にもこのボルトを取り外すことで材料19をガイド8から開放でき、復帰が容易となる。上記ガイド8と被加工材料19の接触部は図3A,図3Bのようにテーパー加工され、各角部もアールをつけており被加工材料表面とは接触しない構造となっている。これらにより被加工材料19は順送される際、金型と接触せず、またガイド8自身も被加工材料表面と接触しないため、製品16のスリキズ等の表面不良を大幅に低減することが可能となる。
【0026】
次に、ステージ6で材料19から所定の寸法に製品16を分離する。ここで材料移送のためのパイロットピアス部は切除される。
【0027】
ステージ6で材料19から分離された製品16は後続の材料19によってステージ7の反り付け金型へ押し進められ、上反り付け駒12、下反り付け駒13で上下から押えることにより所定の反りが付与され最終製品16になるが、この際反り付け駒12,13と製品16の中心が一致していることが重要である。順送金型内で安定した反り付けを行うためには、材料19を放熱板の形状にプレスで打ち抜いた後に反り付けを行う必要がある。材料19に反り付けを行った場合平坦な材料の一部に変形を与えることになり、金型内で順送がスムーズに行えなくなったり、製品に打ち抜いた際材料の応力が開放され安定した反りが得られない等の不具合が発生する。従って安定した反りの製品を製造するには材料から製品を分離した後に反り付けを行うのが望ましい。ただし、図1A,図1Bに示すステージ6で製品16が材料から分離されるため、ステージ7以降製品16は後続の材料に押されて順送金型18内を進むことになるが、製品16は材料から切り離されてフリーの状態となっているため、次のステージ7の反り付け金型上で停止位置が一定しなくなる。このように反り付け駒12,13の所定の位置からずれた状態で反り付けを行えば、付与される反り量は安定せず製品性能にも支障が生じる。このため図6に示す製品ストッパー15によって製品16が反り付け金型上の所定の位置に停止するよう調整できるようにする。製品ストッパー15は製品16のサイドからブレーキをかけるような構造としており、調整はボルト14によりスプリング圧を変えることで行う。これにより製品16の反り量が安定し、不良率を大きく低減することが可能となる。
【0028】
図6に示す製品ストッパー15と製品ガイド17の間隔は、製品16の大きさ等により、反り付け金型ごとに調整される。製品ストッパー15の押し付け圧は押し付け圧調整ボルト14によるスプリング圧の変更で行い、製品16が定位置で停止するよう調整している。
【0029】
反り付け金型内には反り付け駒12,13と製品ストッパー15が組み込まれているが、図5A及び図5Bに示すようにこれらを一体として取り外し可能な構造とする。同一寸法で反り量違いの製品に切り替える場合だけでなく、素材の供給状態の違いにより所定の反り量が得られない場合でも、予め数種類準備してある反り量違いの駒に容易に交換ができ、段取り替え時間の短縮が可能となる。
【0030】
本発明では製品の反り付けを順送金型内で行うこともできる。パワー半導体モジュールの放熱板は、基板とはんだ接合する場合、はんだが凝固すると、絶縁基板と放熱板の熱膨張係数の差によって反りが発生し、その後時間経過と共にはんだのクリープによって徐々に復元していくが、放熱板には接合後の平坦性を得るために、反りの復元量を考慮して、これを相殺できるような反りを予め付けておく必要がある。図5A,図5Bに反り付け金型の外観を示す。金型内には半球状に凸及び凹の1セットの反り付け駒がセットされており、駒の寸法や形状は、製造される放熱板の寸法、材質、反り仕様等によって異なり、それぞれ専用の反り付け駒を用意する必要がある。これらは図のようにボルト留めされ、順送金型内に組み込まれているものの順送金型全体をプレス機から取り外すことなく、必要に応じて反り付け金型部のみを交換できる構造としている。例えば同一寸法で反り量違いの製品に切り替える場合や、素材の供給状態の違いにより所定の反り量が得られず、反り付け駒の交換が必要になった場合にも容易に段取替えができ、段取り替え時間の短縮が可能となる。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、放熱板の製造において従来別工程により行われていたプレスによる打ち抜きと反り付けを同時に順送加工で行うことが可能である。また順送に伴い、可動ガイドによるスリキズの防止、反り付け金型部上での位置決め精度の向上等により不良発生も低減し、これらにより順送加工による低コストな大量生産が可能になり、不良品発生の低減化と相俟って製品コストを大幅に低減できる大きな利益ががある。
【図面の簡単な説明】
【図1A】本発明による順送金型のレイアウトを示す平面図である。
【図1B】本発明による順送金型のレイアウトを示す正面図である。
【図2A】製品ガイドの動作説明図である。
【図2B】製品ガイドの動作説明図である。
【図3A】製品ガイドの正面図である。
【図3B】製品ガイドの側面図である。
【図4】製品ガイドの構造図である。
【図5A】反り付け金型の取り付け説明用正面図である。
【図5B】反り付け金型の取り付け説明用側面図である。
【図6】製品ストッパーの正面図である。
【図7】図1Aに示す順送金型の説明図である。
【図8】本発明の放熱板の製造ラインの説明図である。
【符号の説明】
1 パイロットピアス、製品ピアスの穿設用ステージ
2 アイドルステージ
3 サイドカットステージ
4 アイドルステージ
5 刻印付与ステージ
6 製品セパレートステージ
7 反り付けステージ
8 ガイド
9 ストリッパプレート
10 ピアス用パンチ
10a パイロットピアス
10b 製品ピアス
11 サイドカット用パンチ
12 上反り付け駒
13 下反り付け駒
14 押し付け圧調整ボルト
15 製品ストッパー
16 製品
17 製品ガイド
18 金型
18a 下金型
18b 上金型
19 材料
20 レベラー
21 順送装置
22 順送金型[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing a heat sink for electronic equipment, and in particular, manufacturing a heat sink made of Cu and a Cu-based alloy of a power semiconductor module or an IC package by a progressive die having a plurality of stages. It relates to a method and a device.
[0002]
[Prior art]
A power semiconductor module is a semiconductor device composed of a semiconductor element, a copper pattern, an insulating substrate, a conductor layer, and a heat sink, and is widely used in home appliances such as air conditioners and washing machines, automobiles, and industrial equipment. Because it is necessary to efficiently dissipate the heat generated from these power semiconductor modules, a heat sink that is excellent in thermal conductivity and inexpensive in terms of cost is required, and Cu and Cu-based alloys are widely used. Yes. When the heat sink of the power semiconductor module is soldered to the board, when the solder is solidified, the heat sink warps due to the difference in thermal expansion coefficient between the insulating board and the heat sink. Will gradually restore. The amount of warping during solder solidification corresponds to 0.2% proof stress, heat resistance, board size, and heating conditions of the material used for the heat sink. The heat radiating plate is further attached to a cooling fin or the like via heat radiating grease. At this time, a large contact area with the cooling fin is important in order not to disturb the heat radiation performance. Therefore, in order to obtain flatness after soldering and joining the substrates, a predetermined amount of warpage that can cancel out the warpage is taken into consideration in advance.
[0003]
In the process of manufacturing heat sinks with a thickness of 0.5 to 6 mm, which are often used for power semiconductor modules, generally, a punching machine is used to punch a product from a plate material once with a single press. The necessary warpage is given to the product. When a product is pressed from a plate material, the plate material is sheared in advance to a size that is easy to handle. At this time, the product shape after pressing is likely to be affected by the strain and internal stress applied to the material. In some cases, it is necessary to pass a leveler before pressing.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, since many processes are involved and the quality is difficult to stabilize, there has been a serious problem in terms of productivity and cost. Specific issues are as follows.
[0005]
1) When the material to be processed is transferred in the progressive die due to its own weight, the product is scratched with the die.
[0006]
2) The pressing device / process is different from the warping device / process, which causes an increase in manufacturing cost.
[0007]
3) Since the pressed work material is cut off from the plate material, even if a warping die is incorporated in the die, its conveyance and positioning are difficult, and a predetermined amount of warping cannot be applied to the work material.
[0008]
4) The sheared plate is greatly affected by distortion and internal stress and cannot be warped stably.
[0009]
5) When a warping device is incorporated in a mold, it is difficult to cope with the adjustment of the warping amount that varies depending on the workpiece (product).
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The manufacturing method of the heat sink for electronic devices of this invention is the order which carries out a predetermined | prescribed process by sequentially transferring the workpiece for a heat sink of thickness 0.5-6mm in the progressive metal mold | die provided with the several stage. The plurality of stages include a stage for side-cutting the width direction of the workpiece material into a product dimension before warping, a product separation stage, and a warping stage, and the workpiece materials are sequentially processed. When feeding, the product after the work material is lifted from the lower mold by the guide for supporting the work material provided in the mold and separated from the work material in the product separation stage, the warping stage When the product is fed onto the warp mold part, the product is pushed forward to the warp stage by the subsequent work material, and a predetermined position is provided by a product stopper structured to brake from the side of the product. In is stopped, characterized by imparting a warp required to the product in the mold.
[0011]
The support guide is in contact with only an edge portion of the work material.
[0015]
An apparatus for manufacturing a heat radiating plate for electronic equipment according to the present invention comprises a progressive die having a plurality of stages, and a work material for a heat radiating plate having a thickness of 0.5 to 6 mm before the plurality of stages are warped. It has a stage that side-cuts the width direction to the product dimensions, a product separation stage, and a warping stage. In this progressive mold, the work material to be sequentially transferred is floated from the lower mold in the progressive mold. A guide for supporting the product, means for separating the product from the material to be processed in the product separation stage of the progressive die, and a warp die portion for imparting a warp necessary for the product in the progressive die, And means for stopping the product at a predetermined position of a structure for applying a brake from the side of the product when the product is fed onto the warping mold part by the subsequent work material. .
[0016]
The warpage die portion for imparting the necessary warpage to the product within the die is characterized in that it can be replaced independently without removing the entire progressive die from the press.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0018]
In the figure, 1 is a pilot piercing and product piercing stage, 2 is an idle stage, 3 is a side cut stage, 4 is an idle stage, 5 is an engraving stage, 6 is a product separation stage, 7 is a warping stage, 8 Is a stripper plate, 10 is a punch for piercing, 11 is a punch for side cut, 12 is a warping piece, 13 is a lower warping piece, 14 is a pressing pressure adjusting bolt, 15 is a product stopper, and 16 is a product. , 17 is a product guide, 18 is a mold, 18a is a lower mold, 18b is an upper mold, and 19 is a material.
[0019]
FIG. 8 shows a configuration example of a heat sink production line using a progressive die according to the present invention. The
[0020]
The present invention uses a hoop material that is less affected by strain and internal stress than a sheared plate in the manufacture of a heat sink with a thickness of 0.5 to 6 mm that is often used for power modules made of Cu and Cu-based alloys. In addition to progressive processing, the process of warping in the progressive mold is simultaneously performed to improve productivity and stabilize quality. As shown in FIG. 8, the work material (hoop material) 19 is sent to the
[0021]
A
[0022]
In the present invention, the
[0023]
Next, the width direction of the material is side-cut to the product dimension by the
[0024]
Next, an inscription for product identification is given at
[0025]
That is, when the
[0026]
Next, the
[0027]
The
[0028]
The distance between the
[0029]
Although the warping
[0030]
In the present invention, the product can be warped in a progressive die. When the power semiconductor module heatsink is soldered to the board, when the solder solidifies, warpage occurs due to the difference in thermal expansion coefficient between the insulating board and heatsink, and then gradually recovers due to solder creep over time. However, in order to obtain flatness after joining, it is necessary to add a warp that can offset this in consideration of the amount of warp restoration. 5A and 5B show the appearance of the warp die. The mold has a set of hemispherical convex and concave warping pieces, and the size and shape of the pieces vary depending on the size, material, warpage specifications, etc. of the heat sink to be manufactured. It is necessary to prepare a tag. Although these are bolted as shown in the figure and incorporated in the progressive die, the entire progressive die is removed from the press machine, and only the warped die portion can be replaced as needed. For example, when switching to a product with the same warpage and a different amount of warpage, or when a predetermined amount of warpage cannot be obtained due to the difference in the supply state of the material, it is easy to change the setup. The replacement time can be shortened.
[0031]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to simultaneously perform stamping and warping with a press, which has been conventionally performed in a separate process in manufacturing a heat sink, by progressive feeding. In addition, along with the progressive feeding, the occurrence of defects is reduced by preventing scratches by the movable guide and improving the positioning accuracy on the warped die part, etc., which enables mass production at low cost by progressive feeding. Combined with the reduction in the number of non-defective products, there is a significant benefit that can significantly reduce product costs.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a plan view showing a layout of a progressive die according to the present invention.
FIG. 1B is a front view showing a layout of a progressive die according to the present invention.
FIG. 2A is an operation explanatory diagram of a product guide.
FIG. 2B is an operation explanatory diagram of a product guide.
FIG. 3A is a front view of a product guide.
FIG. 3B is a side view of the product guide.
FIG. 4 is a structural diagram of a product guide.
FIG. 5A is a front view for explaining attachment of a warping die.
FIG. 5B is a side view for explaining attachment of a warp die.
FIG. 6 is a front view of a product stopper.
FIG. 7 is an explanatory diagram of the progressive die shown in FIG. 1A.
FIG. 8 is an explanatory diagram of a production line for a heat sink according to the present invention.
[Explanation of symbols]
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