JP4691959B2 - 温度測定装置 - Google Patents
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Description
従って本発明が解決しようとする課題は、マイクロチャネルの温度を単純な構成で高精度に測定することが可能な温度測定装置を実現することにある。
測定領域に注入した蛍光物質が光源の出力光の照射によって発光する蛍光の強度を用いて測定領域の温度を測定する温度測定装置において、
光源と、この光源の出力光が入射され蛍光物質が注入された被測定流体が流れるマイクロチャネルと、このマイクロチャネルの温度を変調する温度変調手段と、前記マイクロチャネルで発生した蛍光を検出する光検出手段と、この光検出手段で検出された蛍光強度から変調成分及び直流成分を求め、変調成分を直流成分で除算し検量線に基づき温度を計算する信号処理手段とを備えたことにより、マイクロチャネルの温度を単純な構成で高精度に測定することが可能になる。
請求項1記載の発明である温度測定装置において、
前記光検出手段で前記マイクロチャネルを走査させ、或いは、複数の光検出手段で構成される光センサアレイを用いて複数の測定点の温度を測定することにより、平面的(2次元的)な温度分布(相対温度分布)を測定することも可能である。
請求項1又は請求項2に記載の発明である温度測定装置において、
前記マイクロチャネルと前記光検出手段との間に像の拡大や縮小を行なう光学手段を設けることにより、測定点を数マイクロメートル程度の微小な分解能で測定したり、或いは、広範囲の領域で測定することが可能になる。
請求項1又は請求項2に記載の発明である温度測定装置において、
前記光源が、
レーザ光源、LED、或いは、長期的な安定性が得られないランプであることにより、マイクロチャネルの温度を単純な構成で高精度に測定することが可能になる。
請求項1又は請求項2に記載の発明である温度測定装置において、
前記温度変調手段が、
ペルチェ素子、電熱素子、熱交換器、或いは、電磁波等の照射による加熱器であることにより、マイクロチャネルの温度を単純な構成で高精度に測定することが可能になる。
請求項1,4及び請求項5の発明によれば、温度変調手段を制御してマイクロチャネルに温度変調を加えると共に光検出手段で検出された蛍光強度から変調成分及び直流成分を求め、変調成分を直流成分で除算し検量線に適用して温度を計算することにより、マイクロチャネルの温度を単純な構成で高精度に測定することが可能になる。
ΔT=(I1−I2)/Iac×Tac (1)
で求まる。
2,12 ビームスプリッタ
3,6 ビームストッパ
4,11 ミラー
5 標準セル
7,8 レンズ
9,10 チョッパ
13 フィルタ
14 光電変換素子
15 信号処理器
16 レーザ光源
17 マイクロチャネル
18 温度変調手段
19 光学手段
20 光検出手段
21 信号処理手段
Claims (5)
- 測定領域に注入した蛍光物質が光源の出力光の照射によって発光する蛍光の強度を用いて測定領域の温度を測定する温度測定装置において、
光源と、
この光源の出力光が入射され蛍光物質が注入された被測定流体が流れるマイクロチャネルと、
このマイクロチャネルの温度を変調する温度変調手段と、
前記マイクロチャネルで発生した蛍光を検出する光検出手段と、
この光検出手段で検出された蛍光強度から変調成分及び直流成分を求め、変調成分を直流成分で除算し検量線に基づき温度を計算する信号処理手段と
を備えたことを特徴とする温度測定装置。 - 前記光検出手段で前記マイクロチャネルを走査させ、或いは、複数の光検出手段で構成される光センサアレイを用いて複数の測定点の温度を測定することを特徴とする
請求項1記載の温度測定装置。 - 前記マイクロチャネルと前記光検出手段との間に像の拡大や縮小を行なう光学手段を設けることを特徴とする
請求項1又は請求項2に記載の温度測定装置。 - 前記光源が、
レーザ光源、LED、或いは、長期的な安定性が得られないランプであることを特徴とする
請求項1又は請求項2に記載の温度測定装置。 - 前記温度変調手段が、
ペルチェ素子、電熱素子、熱交換器、或いは、電磁波等の照射による加熱器であることを特徴とする
請求項1又は請求項2に記載の温度測定装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0364812B2 (ja) * | 1985-05-25 | 1991-10-08 | Hitachi Densen Kk | |
JPH0638060B2 (ja) * | 1979-10-10 | 1994-05-18 | 株式会社高岳製作所 | ファイバを用いた光学式温度測定装置 |
JP2000029541A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Hitachi Ltd | 温度制御装置 |
JP2001337083A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | マイクロ化学分析システム用光学系 |
WO2002090912A1 (fr) * | 2001-05-07 | 2002-11-14 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Methode de mesure et de commande de la temperature d'une phase liquide dans un micropassage de mini circuit integre, dispositif pour la mise en oeuvre du procede et mini circuit integre |
-
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- 2004-11-04 JP JP2004320258A patent/JP4691959B2/ja not_active Expired - Fee Related
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