JP4685154B2 - アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 - Google Patents
アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4685154B2 JP4685154B2 JP2008501614A JP2008501614A JP4685154B2 JP 4685154 B2 JP4685154 B2 JP 4685154B2 JP 2008501614 A JP2008501614 A JP 2008501614A JP 2008501614 A JP2008501614 A JP 2008501614A JP 4685154 B2 JP4685154 B2 JP 4685154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate insulating
- active matrix
- matrix substrate
- electrode
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136227—Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136204—Arrangements to prevent high voltage or static electricity failures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136213—Storage capacitors associated with the pixel electrode
Description
7a 第1金属層
7b 第2金属層
6 ゲート電極
8 ドレイン電極
9 ソース電極
10 アクティブマトリクス基板
11 コンタクトホール
12 TFT(トランジスタ)
15 データ信号線
16 走査信号線
17 画素電極
18 保持容量配線
21 第1ゲート絶縁層
22 第2ゲート絶縁層
24 半導体層
24a 高抵抗半導体層(i層)
24b 低抵抗半導体層(n+層)
40 ゲート絶縁膜
41 第1の膜厚部
42 第2の膜厚部
43 第3の膜厚部
116f・116b 前段(後段)の走査信号線
本発明の実施の形態1について図1〜図5に基づいて説明すれば以下のとおりである。
本発明の実施の形態2について図6(a)(b)および図7に基づいて説明すれば以下のとおりである。
本発明の実施の形態3について図9・図10(a)(b)に基づいて説明すれば以下のとおりである。
Claims (23)
- 各画素領域に、トランジスタと、画素電極と、保持容量の一方電極としての機能を有する導電体と、上記トランジスタのドレイン電極に接続するとともに上記導電体と重畳するドレイン引き出し電極と、該ドレイン引き出し電極および上記画素電極を接続するコンタクトホールと、を備えたアクティブマトリクス基板であって、
各トランジスタのゲート電極および上記導電体を覆うゲート絶縁膜に、コンタクトホールの少なくとも一部と重畳する第1の膜厚部と、該第1の膜厚部に隣接し、上記ドレイン引き出し電極と重畳する第2の膜厚部とが形成され、
上記第1の膜厚部は第2の膜厚部よりも膜厚が大きいことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - ドレイン引き出し電極と重畳しない第3の膜厚部を備え、
上記第2の膜厚部は第3の膜厚部よりも膜厚が小さいことを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス基板。 - 上記導電体は保持容量配線であることを特徴とする請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記導電体は、走査方向の前段あるいは後段にあたる走査信号線であることを特徴とする請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記コンタクトホールの開口下に、ドレイン引き出し電極が形成された部分と、ドレイン引き出し電極が形成されていない部分とが存在することを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記ドレイン引き出し電極は、第1金属層および第2金属層の積層構造を有し、
上記コンタクトホールにおいては、第1金属層のみが画素電極に接触し、第2金属層は画素電極と接触していないことを特徴とする請求項5に記載のアクティブマトリクス基板。 - 上記のドレイン引き出し電極が形成された部分は、ゲート絶縁膜上に半導体層を介して第1金属層が形成された構造となっていることを特徴とする請求項6記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記のドレイン引き出し電極が形成された部分は、ゲート絶縁膜上に直接第1金属層が形成された構造となっていることを特徴とする請求項6記載のアクティブマトリクス基板。
- 第2金属層がAlからなることを特徴とする請求項6に記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記半導体層は、ゲート絶縁膜側に位置する高抵抗半導体層と低抵抗半導体層との積層構造であることを特徴とする請求項7に記載のアクティブマトリクス基板。
- 第1の膜厚部が第1ゲート絶縁層からなり、第2の膜厚部が第2ゲート絶縁層からなることを特徴とする請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
- 第1の膜厚部が第1および第2ゲート絶縁層からなり、第2の膜厚部が第2ゲート絶縁層からなることを特徴とする請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記第1ゲート絶縁層はSOG(スピンオンガラス)材料からなり、基板上に形成されることを特徴とする請求項11または12に記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記導電体あるいは各種信号線に接続されるドライバ接続用端子を備え、
上記コンタクトホールは、上記ドライバ接続用端子の上層に存在したゲート絶縁膜および層間絶縁膜をエッチングし、これを露出させる工程と同一の工程によって形成されていることを特徴とする請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。 - 上記ゲート絶縁膜は複数のゲート絶縁層からなり、第2の膜厚部において1以上のゲート絶縁層を有し、第1の膜厚部においてそれより多いゲート絶縁層を有することを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス基板。
- 有機物を含むゲート絶縁層を備えることを特徴とする請求項15に記載のアクティブマトリクス基板。
- 各画素領域において、トランジスタのドレイン電極に接続するドレイン引き出し電極が、ゲート絶縁膜を介して保持容量の一方電極としての機能を有する導電体に重なるとともに該導電体上のコンタクトホールによって画素電極に接続するアクティブマトリクス基板であって、
上記ゲート絶縁膜は、コンタクトホール開口下の少なくとも一部の膜厚が周りよりも大きくなっていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 上記ゲート絶縁膜においては、上記膜厚が周りよりも大きくなっている部分にSOG(スピンオンガラス)材料が用いられていることを特徴とする請求項17記載のアクティブマトリクス基板。
- コンタクトホール開口下に、ドレイン引き出し電極が存在しない部分があることを特徴とする請求項17記載のアクティブマトリクス基板。
- 上記ゲート絶縁膜と画素電極との間に、有機物からなる層間絶縁膜が形成され、上記コンタクトホールの形成工程では、上記層間絶縁膜がエッチングされることを特徴とする請求項17記載のアクティブマトリクス基板。
- 周辺部に、上記導電体あるいは各種信号線に接続される端子を備え、
該端子の露出工程では、その上層に存在した上記層間絶縁膜がエッチングされることを特徴とする請求項20に記載のアクティブマトリクス基板。 - 請求項1〜21のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板を備えることを特徴とする表示装置。
- 請求項22に記載の表示装置と、テレビジョン放送を受信するチューナ部とを備えていることを特徴とするテレビジョン受像機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008501614A JP4685154B2 (ja) | 2006-02-24 | 2006-11-14 | アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006049362 | 2006-02-24 | ||
JP2006049362 | 2006-02-24 | ||
PCT/JP2006/322676 WO2007097078A1 (ja) | 2006-02-24 | 2006-11-14 | アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 |
JP2008501614A JP4685154B2 (ja) | 2006-02-24 | 2006-11-14 | アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007097078A1 JPWO2007097078A1 (ja) | 2009-07-09 |
JP4685154B2 true JP4685154B2 (ja) | 2011-05-18 |
Family
ID=38437133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008501614A Expired - Fee Related JP4685154B2 (ja) | 2006-02-24 | 2006-11-14 | アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8023056B2 (ja) |
JP (1) | JP4685154B2 (ja) |
CN (1) | CN101384950B (ja) |
WO (1) | WO2007097078A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7880169B2 (en) * | 2009-01-05 | 2011-02-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display apparatus and manufacturing method thereof |
EP2487539A1 (en) * | 2009-10-08 | 2012-08-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device and method for manufacturing same |
JP5342411B2 (ja) * | 2009-11-09 | 2013-11-13 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置及びその製造方法 |
WO2011114404A1 (ja) * | 2010-03-19 | 2011-09-22 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板 |
US20120307173A1 (en) * | 2010-04-19 | 2012-12-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device and method for fabricating the same |
JP5269254B2 (ja) * | 2010-08-03 | 2013-08-21 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタ基板 |
KR20120042029A (ko) * | 2010-10-22 | 2012-05-03 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
WO2014002448A1 (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-03 | シャープ株式会社 | 表示装置用基板及びそれを備えた表示装置 |
CN110476200B (zh) * | 2017-03-29 | 2021-11-16 | 夏普株式会社 | Tft基板、tft基板的制造方法、显示装置 |
CN111902855B (zh) * | 2018-03-26 | 2022-02-18 | 夏普株式会社 | 显示装置的制造方法以及显示装置 |
US10712624B2 (en) * | 2018-07-24 | 2020-07-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing active matrix substrate and active matrix substrate |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002123192A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法 |
WO2003088193A1 (fr) * | 2002-04-16 | 2003-10-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrat, affichage a cristaux liquides comprenant ce substrat et procede de production du substrat |
JP2005242306A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-09-08 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板及び表示装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2956380B2 (ja) | 1992-09-28 | 1999-10-04 | 日本電気株式会社 | 薄膜トランジスタアレイおよびその製造方法 |
US5380555A (en) * | 1993-02-09 | 1995-01-10 | Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd. | Methods for the formation of a silicon oxide film |
JPH10102003A (ja) | 1996-10-03 | 1998-04-21 | Nippon Steel Corp | 絶縁膜および絶縁膜形成用塗布液 |
JPH11133457A (ja) | 1997-10-24 | 1999-05-21 | Canon Inc | マトリクス基板と表示装置及びその製造方法及び投写型液晶表示装置 |
US6274516B1 (en) * | 1997-10-27 | 2001-08-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for manufacturing interlayer insulating film and display apparatus using this film and its manufacturing method |
JP2001098224A (ja) | 1999-09-28 | 2001-04-10 | Hitachi Chem Co Ltd | シリカ系被膜、シリカ系被膜の形成方法及びシリカ系被膜を有する電子部品 |
KR100878242B1 (ko) * | 2002-10-14 | 2009-01-13 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
-
2006
- 2006-11-14 JP JP2008501614A patent/JP4685154B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-11-14 CN CN2006800533141A patent/CN101384950B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-11-14 WO PCT/JP2006/322676 patent/WO2007097078A1/ja active Application Filing
- 2006-11-14 US US12/279,029 patent/US8023056B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002123192A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法 |
WO2003088193A1 (fr) * | 2002-04-16 | 2003-10-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrat, affichage a cristaux liquides comprenant ce substrat et procede de production du substrat |
JP2005242306A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-09-08 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板及び表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007097078A1 (ja) | 2007-08-30 |
US8023056B2 (en) | 2011-09-20 |
JPWO2007097078A1 (ja) | 2009-07-09 |
CN101384950B (zh) | 2012-05-23 |
CN101384950A (zh) | 2009-03-11 |
US20090091676A1 (en) | 2009-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4685154B2 (ja) | アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 | |
WO2019169848A1 (en) | Array substrate, display apparatus, and method of fabricating array substrate | |
JP4907659B2 (ja) | アクティブマトリクス基板、液晶パネル、表示装置、テレビジョン受像機 | |
JP4277874B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP4485559B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP5203391B2 (ja) | アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機 | |
US7319239B2 (en) | Substrate for display device having a protective layer provided between the pixel electrodes and wirings of the active matrix substrate, manufacturing method for same, and display device | |
TWI352249B (en) | Liquid crystal display device and manufacturing me | |
JP4584332B2 (ja) | アクティブマトリクス基板、表示装置、テレビジョン受像機 | |
US20050205866A1 (en) | Thin film transistor array panel for liquid crystal display and method of manufacturing the same | |
JPH11311805A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP2019035884A (ja) | 液晶表示装置 | |
WO2009081633A1 (ja) | アクティブマトリクス基板、これを備えた液晶表示装置、及びアクティブマトリクス基板の製造方法 | |
JP2007293072A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
US8089574B2 (en) | Active matrix substrate, display, and television receiver | |
US7768590B2 (en) | Production method of active matrix substrate, active matrix substrate, and liquid crystal display device | |
JP2010102220A (ja) | 液晶装置の製造方法および液晶装置 | |
WO2010071159A1 (ja) | 絶縁ゲート型トランジスタ、アクティブマトリクス基板、液晶表示装置及びそれらの製造方法 | |
US8654268B2 (en) | Active matrix substrate with thin insulating layer not overlapping capacitance electrode, liquid crystal panel, liquid crystal display device, liquid crystal display unit, and television receiver | |
US8426867B2 (en) | Thin film capacitor, and display device and memory cell employing the same, and manufacturing methods of them | |
US7079198B2 (en) | Wiring structure, method of manufacturing the same, electro-optical device, and electronic device | |
JP2007248903A (ja) | 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 | |
JP4274108B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JPH08236777A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008032855A (ja) | 液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110208 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110209 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4685154 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |